Workshop. Neues aus der Mikrosystemtechnik in Thüringen und Sachsen

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1 Workshop Neues aus der Mikrosystemtechnik in Thüringen und Sachsen am 11. Mai 2006 im Institut für Physikalische Hochtechnologie e.v. in Jena Innovative Kombination von Mikrosystemtechnik und RFID in Transportüberwachungssystemen

2 Foundry Chemnitz University of Technology FraunhoferInstitute Reliability and Microintegration Department of Micro Devices and Equipment MEMSFAB CHEMNITZ Customer

3 our partners in R&D Fraunhofer Institute for Reliability and Microintegration University of Technology Chemnitz / Centre for Microtechnologies Department: Micro Devices and Equipment Chemnitz (Prof. Dr. T. Geßner, since 1998) Fraunhofer Building with IZM labs in Chemnitz (within FhG-IWU) development of MEMS advanced Technology Development assembly of mechanical and electronic Components wafer and Chip Bonding of new Materials 3D-Patterning Technologies process and Equipment Simulation CVD, PVD

4 core competences in Microsystems Technology MEMS Design Silicon Micromachining MEMS Packaging

5 Innovative Kombination von Mikrosystemtechnik und RFID in Transportüberwachungssystemen

6 Radio Frequency Identification (RFID)-Systems Transponder 1 Reader Data Energy Cloc k Transponder 3 Transponder 2 Transmit + Respond = Transponder

7 Anwendung von RFID-Systemen: Beförderung von Fluggepäck Low cost -Wegwerf-Elektronik vollautomatischer Gepäcktransport sehr geringe bzw. keine Fehlerrate keine direkte Sicht auf das Label erforderlich lesbar unabhängig von der Position das Labels

8 Schock- und Kippsensoren Kippsensor und 2 Schocksensoren an einer Transportkiste;

9 Schock- und Kippsensoren Kippsensor für 40 links und rechts Preis ca. 3 Euro pro Stück

10 Schock- und Kippsensoren Kippsensor für 20, 30, 40, 50, 60, 70 und 80 Verkippung links und rechts; Preis ca. 3 Euro pro Stück

11 Schock- und Kippsensoren Schocksensor Preis ca. 3 Euro pro Stück

12 ShockDisplay MONI LOG SDY 1. Datenlogger mit Anzeige zur Registrierung der 99 größten Stöße 2. speichert und zeigt die 99 größten Stöße in allen drei Raumrichtungen nach Amplitude / Zeitdauer / Richtung mit Datum und Uhrzeiten Stoßschwelle vom Nutzer über Tastatur einstellbar; löschbarer Speicher; Paßwortschutz, Tabellenausgabe in Verbindung mit externem Rechner 3. routinemäßige Transportüberwachung verschiedener Produktgruppen, übersichtsmäßige Verpackungsprüfung 4. Bewertung der Stoßparameter im Gerät, einfache Vor-Ort-Anwendung ohne externen Rechner Transportdatenlogger , ,00 ShockDisplay Mit Software bis WIN , ,00 Mit RS-232 Kabel, Montageplatte NiCd-Akku für 330 Betriebs , ,00 stunden Messbereich bis 10 g , ,00

13 ShockDisplay MONI LOG Internetbox GSM-Kommunikationsgerät Funktion: GSM-Tribandmodem mit automatischer Frequenzumschaltung und automatischer Netzsuche und separater Stromversorgung Anwendung: weltweiter Einsatz zur Datenübertragung von schwer zugänglichen Messgeräten oder von Datenloggern per E- Mail, SMS oder Fax in voreingestellten Zeitintervallen, funktioniert mit hoher Wahrscheinlichkeit auch innerhalb von Containern Übermittelt werden nicht nur die Messwerte, sondern auch Informationen über den Standort zum Zeitpunkt der Datenübermittlung. An jedes beliebige Messgerät anschließbar Vorteile: durch eine stromsparende Konstruktion ist es gelungen, ein sehr kompaktes Gerät zu erhalten und den Betrieb auch bei sehr langen, über Monate dauernden Transporten sicherzustellen Transportdatenlogger , ,00 ShockDisplay Mit Internetbox , ,00 Mit Software bis WIN 2000 Mit RS-232 Kabel, Montageplatte , ,00 Externe Batterien für 4000 Betriebs- Stunden , ,00 Messbereich bis 10 g

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15 VTI: Global market leader in high accuracy low-g accelerometers

16 VTI: Global market leader in high accuracy low-g accelerometers SCA100T Series - The most accurate 2-axis MEMS inclinometer in the world 2-axis inclination measurement (X and Y) Measuring ranges ±30 (±0,5g) and ± 90 (±1g). Internal temperature measurement and compensation Digital SPI acceleration/inclination and temperature output For customised products please contact VTI Technologies SCA100T Data sheet (eng) (PDF 208 kb) (de) (PDF 320 kb)

17 AIM* Process Flow (simplified) and Anchor Structure * AIM = Airgap Isolation of Microstructures: DE C2; U.S.No.10/296,771; PCT/DE01/ Isolator 2. Metal 3. Silicon Component SiO 2 Al Si

18 AIM7E SEM of Seismic Mass and Counter Part seismic mass electrodes

19 AIM7E Dual Axis low g Sensor before capping with cap wafer

20 Anwendung von RFID-Systemen: Beförderung von Fluggepäck Low cost -Wegwerf-Elektronik vollautomatischer Gepäcktransport sehr geringe bzw. keine Fehlerrate keine direkte Sicht auf das Label erforderlich lesbar unabhängig von der Position das Labels

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25 AIM Dual Axis low g Sensor sensor with glass cover plate (glass frit bonding) AIM7E sensor with M ASIC (ELMOS)

26 AIM low g Sensor System Prototypes Fabricated AIM7 sensor with IMD 9801 ASIC CLCC44 AIM7E sensor with M ASIC (ELMOS) PLCC44 AIM5 sensor with AD7746 (24 Bit) > evaluation by HL Planar AIM5I sensor with CVC ASIC (GEMAC)

27 contact us memsfab GmbH Annaberger Str Chemnitz phone: +49 (0) fax: +49 (0) web: managing director: Dr. Torsten Thieme

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