Intelligente Lösungen aus Quarzglas Intelligent Solutions made of Quartz Glass. iqsemiquarz

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1 Intelligente Lösungen aus Quarzglas Intelligent Solutions made of Quartz Glass iqsemiquarz

2 Über uns Vom 1997 gegründeten Ein Mann -Betrieb zur hochmodernen Produktionsstätte für Quarzglasprodukte Nur siebzehn Jahre nach der Firmengründung zählen wir zu den führenden Lieferanten von Quarzglasprodukten für die Halbleiterindustrie in Europa. Mit hoher Flexibilität, herausragender Qualität und optimaler Betreuung überzeugen wir unsere Kunden. Kundenzufriedenheit ist uns besonders wichtig. Wir legen Wert auf qualifizierte Beratung und spezifische Einzellösungen und betreuen unsere Kunden langfristig. About us From a one-man business founded in 1997 to a state-of-the-art production facility for quartz glass products Only seventeen years after the company was founded we have become one of the leading suppliers of quartz glass products for the semiconductor industry in Europe. We have a well-earned reputation for maximum flexibility, outstanding quality and first-class customer service. We attach great importance to customer satisfaction. We regard the provision of expert advice and individually designed solutions as a priority and our customer service continues to be available for as long as a client may need it.

3 semiquarz Quality Quality in all areas is the key to our success. Qualität Qualität in allen Bereichen ist unser Erfolgsfaktor. Für uns ist es ein wichtiger Schritt zur Absicherung unserer Marktposition und unserer Wettbewerbsfähigkeit. Wir legen besonderen Wert darauf, Ihre hohen Anforderungen zu erfüllen und hervorragende Produkte und Dienstleistungen anbieten zu können. Seit dem Jahr 2000 sind wir nach DIN EN ISO 9001:2000 und zertifiziert. Diese Zertifizierung soll als Basis für eine dauerhafte und partnerschaftliche Zusammenarbeit mit unseren Kunden dienen. Wir setzen bei der Fertigung Ihrer Produkte auf unser bewährtes Qualitätsmanagement. Dieses beinhaltet zum Beispiel: Kontrollierte und dokumentierte Produktionsabläufe Erstmusterprüfungen bei Serienfertigung Vermessen Ihrer Produkte auf unseren 3D-Mess maschinen For us it is an important element in securing our market position and ensuring that we remain competitive. We attach great importance to meeting your high expectations and offering outstanding products and services. Since 2000 we have had DIN EN ISO 9001:2000 and certification. We see this certification as laying the foundation for a strong and collaborative working relationship with our clients. The manufacture of our products is backed by our tried and tested quality management system, which includes: controlled and documented production processes tests on first samples for series production measuring of your products on our 3D CMMs

4 iq Bearbeitungstechniken Heißbearbeitung In unserer Fertigung werden unter optimierten Reinheits - bedingungen Quarzglasprodukte aller Art gefertigt. Unser engagiertes und gut ausgebildetes Team vom Mitarbeitern wird durch zielgerichtete Schulungen und Weiterbildungsmaßnahmen ständig weiterentwickelt. Im Rahmen dieser Weiterbildungsmöglichkeiten konnten unter anderem 30% unserer Mitarbeiter eine Meisterausbildung mit dem Schwerpunkt Quarzglasbearbeitung mit Erfolg abschließen. Kaltbearbeitung Fräs- und Schleifteile fertigen wir aus Quarzglas und auch aus technischer Keramik bis zu einem Durchmesser von 450 mm. Auf unseren Poliermaschinen bearbeiten wir Quarzglasplatten bis zu einer Größe von 720 mm in der Diagonale. Laserbearbeitung Drei CNC-Laserschneidzentren eröffnen viele Bearbeitungsmöglichkeiten. Wir fertigen nach Ihren Zeichnungen und aktuellen CAD-Datensätzen. Manufacturing Capabilities Quartz shop In its optimized, clean work environment facilities, we are able to manufacture quartz glass products of any kind meeting the highest industry quality standards. Continuous work improvement programs, dedicated education and training projects are established and are kept available and updated for our employees. This has enabled 30% of our highly motivated work force members, to get a high degree of education, (example meister Quartz glass manufacturing ) achieved over the past few years. Grinding We make milling and grinding parts of quartz glass and also of technical ceramic up to a diameter of 450 mm. Our polishing machine can handle quartz glass plates measuring up to 720 mm on the diagonal. Lasershop Three CNC laser cutting centres open up a wide range of processing possibilities. We can manufacture from your drawings and up-to-date CAD data.

5 Reparaturen, Überarbeitung & Umbau von Quarzglasprodukten Quarzglas ist ein sehr kostenintensiver Werkstoff. Zur Reduzierung Ihrer Betriebs kosten prüfen wir, ob der Austausch eines Produktes gegen ein Neuteil vermeidbar ist. Wir analysieren für Sie die Rentabilität von Umbau- und Reparaturmaßnahmen. Durch regelmäßige Überarbeitung und Wartung lässt sich die Lebensdauer diverser, teurer Quarzglasprodukte (wie z. B. von ASM-Kammern) um ein Vielfaches verlängern. Solche Serviceleistungen führen wir für unsere Kunden in regelmäßigen Abständen durch. Dazu gehören z. B. das Entfernen von prozessbedingten Materialablagerungen oder die Versiegelung von Kratzern und Oberflächendefekten durch Feuerpolitur. Fragen Sie uns direkt nach unseren Möglichkeiten. Nach der Reparatur oder Überarbeitung erhalten Sie Ihr Produkt geprüft und vermessen zurück. Repairing & Rebuilding of Quartz Ware Quartz glass is a very expensive material to work with. We help reduce your operating costs by identifying whether it is possible to avoid replacing a product with a new part. We analyze whether remodeling and repair measures would be worthwhile for you. Regular reworking and maintenance significantly extends the life of many expensive quartz glass products (such as AS M chambers). We carry out these servicing procedures for our clients at regular intervals. Servicing includes the removal of material deposits, which have arisen in the course of use, and the sealing of scratches and surface defects by fire polishing. Please ask for further details. After repair or reworking your product will be returned to you having been tested and measured.

6 Reinigung Alle Reinigungsabläufe sind nach ISO 9001 schriftlich festgelegt. Damit garantieren wir Ihnen hervorragende Ergebnisse und hohe Reproduzierbarkeit. Besonderen Wert legen wir auf folgende Punkte: Chemikalien werden nur in p.a. Qualität (oder höher) verwendet Zur Reinigung der Produkte wird ausschließlich VE-Wasser benutzt Die Produkte werden in speziellen Schränken mit Flow-Boxen getrocknet Das Handling der Produkte erfolgt ausschließlich mit Schutzhandschuhen aus halbleitergerechtem Material Seit Anfang 2009 haben wir unseren Reinraum (Klasse 1000) in Betrieb und können unsere Produkte "ready to install" liefern. Cleaning All cleaning procedures are defined in writing in accordance with ISO In consequence we can grarantee excellent results and high reproducibility. We take particular care to ensure that: all chemicals used are of pa quality (or higher) only demineralised water is used for product cleaning products are dried in special cabinets with flow boxes products are handled only with protective gloves of material suitable for handling semiconductors. Since 2009 we have our clean room (class 1000) in use and we are able to deliver our products ready to install.

7 Produkte Products Der Schwerpunkt unserer Fertigung liegt in der Herstellung von Quarzglasprodukten für die Halbleiter- und die Solar - industrie. Wir werden bei den weltweit führenden Halbleiter- und Anlagen-Herstellern als qualifizierter Quarzlieferant geführt. Unsere Produkte werden unter anderem in folgenden Fertigungsbereichen eingesetzt: CVD-/Diffusionsofentechnik (Vertikal und Horizontal): Prozessrohre, Liner, Boote, Pedestal, Wafer-Handling-Teile und Injektoren. Nass-Reinigung: Becken und Vorlagetanks, Wafer-Transport-Behälter (Carrier), Durchflussheizer, Spezialanfertigungen und Sonderteile. Epitaxy: Prozesskammern, Wafer-Handling-Teile, TC Sheats und alle im Inneren der Kammer verwendeten Quarzbauteile. RTP (Rapid Thermal Processing): Prozesskammern, Wafer- Handling-Teile, Trägersysteme, GDP`s und alle weiteren anwenderspezifischen Quarzbauteile. Dünnschicht-Solar-Applikationen: Boote, Abdeckplatten, Transportrohre und andere Bauteile von Transportsystemen und Thermoelementrohre. Wir fertigen aber auch Produkte für Anwendungen in der Chemie- und Pharmaindustrie sowie für die Medizin-, Luftund Raumfahrtfahrttechnik. Sollten wir Ihr Interesse geweckt haben, nehmen Sie bitte Kontakt mit uns auf. Wir erstellen Ihnen gern ein Angebot und stehen bei technischen Fragen zur Verfügung. We are dedicated towards the manufacturing of quartz glass products for the use inside the Semiconductor and the PV Solar Industry. Our company is qualified as core quartz supplier, by various worldwide operating, high volume device manufacturing companies, as well as by several OEM s within the Semiconductor and Solar industry. Our Mainstream products and services are used in the following device and equipment manufacturing areas: CVD/ Diffusion furnace technology (vertical and horizontal): process tubes; liner, boats, pedestals, wafer handling elements; injectors, tc-sheaths, torches etc. Wet bench equipment: tanks and supply items, wafer carrier, heat exchanger, special- and customized parts Epitaxy (single wafer and batch reactors): process chambers; wafer handling elements; tc-sheaths, inner quartz items, special and customized items, refurbishment RTP (rapid thermal processing): process chambers and tubes, wafer handling elements, wafer trays; GDP s, special and customized items Solar thin film products, belt furnace specific items, boats, cover plates, various pipes, carrier and belt guidance items, special lamp and tc-sheaths Furthermore we supply our products and services into the chemical-, the pharmaceutical-, the medical-, the space- and aircraft-industry. In case we could get you interested, please do not hesitate to let us know about, we would be glad to help you out.

8 Kontakt / Contact Geschäftsführer/General Manager Ann-Dorothée Büsche +49 (0) 1573 / Qualitätsmanager/Quality Manager Eddy Jäger +49 (0) / Thorsten Müller +49 (0) 176/ Michael Simson +49 (0) / Produktionsleiter/Production Manager Marko Jazvic +49 (0) / Produktionsplanung/Production Planer Andrea Gottschaller +49 (0) / Auftragssachbearbeitung/Order Processing Silke Hausner +49 (0) / Barbara Katzenski +49 (0) / Finanzbuchhaltung & Personal/ Financial Accounting and Administration Manager Tanja Treffer +49 (0) / se miqu ar z SemiQuarz GmbH Bürgermeister-Neumeyr-Str. 3a Allershausen Deutschland/Germany Telefon +49 (0) / Telefax +49 (0) /

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