AUS LEIDENSCHAFT FÜR PERFEKTION. HiPace M. Kompakte, magnetgelagerte Turbopumpen mit integrierter Antriebselektronik

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1 AUS LEIDENSCHAFT FÜR PERFEKTION HiPace M Kompakte, magnetgelagerte Turbopumpen mit integrierter Antriebselektronik

2 HiPace M Kompakte, magnetgelagerte Turbopumpen mit integrierter Antriebselektronik Führend Kompatibel Sicher Technisch perfekt Hervorragende Leistungsdaten bei Saugvermögen, Kompression und Gasdurchsatz sowie vibrationsarmer Betrieb sind nur einige Merkmale, auf die wir bei der Entwicklung der neuen HiPace M besonderen Wert gelegt haben. Das macht sie zur perfekten Lösung für nichtkorrosive Anwendungen und Prozesse aus den Bereichen Analytik, Beschichtung und Halbleiter sowie Forschung & Entwicklung. Unterschiedliche Schnittstellen-Standards erschweren Ihre Arbeit? Wir haben für alle magnet- oder hybridgelagerten Pumpen der HiPace Serie eine integrierte Antriebselektronik mit einheitlicher Panel-Lösung entwickelt: Standardisierte Anschlüsse, Parameter und Schnittstellen sorgen für maximale Kompatibilität. Ob E74 oder Remote, RS 485, Profibus oder DeviceNet. In unseren wartungsfreien HiPace M sind nur hochwertige Fanglager verbaut. Service benötigen diese erst nach mehr als 20 Ausläufen von Nenndrehzahl bis Rotorstillstand. Getaktetes Belüften und eine automatische Unwuchtkompensation sind weitere Vorteile, die für einen höchst zuverlässigen Betrieb sorgen. Selbst der Einsatz unter härtesten Umgebungsbedingungen ist für unsere Pumpen dank Schutzart IP 54 kein Problem. Unsere Produkttests gemäß ISO bestätigen das niedrige Burstmoment, welches wir mit dem einzigartigen Hybrid rotor-design erzielen. Die HiPace M verfügt über eine aktive 5-Achsen Magnet - lagerung und eine elektrische Bremse. Der niedrige Energieverbrauch und niedrige Servicekosten garantieren einen wirtschaftlichen Betrieb. Forschung & Entwicklung Analytik 2

3 Vorteile auf einen Blick Einfachste Installation beliebige Einbaulage, integrierte Antriebselektronik; Flutventil im Lieferumfang enthalten Langlebigkeit und Zuverlässigkeit automatische Unwuchtkompensation und patentiertes, getaktetes Belüften Innovatives Lagersystem extrem niedrige Vibrationen und geringes magnetisches Streufeld Sehr hohe Vorvakuumverträglichkeit ermöglicht prozessoptimierte, flexible Vorpumpenauswahl Höchste Sicherheit im Betrieb überdurchschnittliche Fanglagerhaltbarkeit Industrietauglich durch Schutzart IP 54 3

4 Baureihen und Anwendungen im Überblick Analytik Halbleiter & Elektronik Beschich - tung Industrie Forschung & Entwicklung empfohlen Elektronenmikroskopie Lecksuche Massenspektrometrie Oberflächenanalyse Restgasanaylse Beschichtung (PVD) Implantation - Beamline Inspektion Bonding Transferkammern / Schleusen Handlingsysteme Festplattenbeschichtung CD / DVD / Blu-ray-Fertigung (PVD) Optische Beschichtungen (PVD) Medizintechnik Industrielle Lecksuche Elektronenstrahlschweißen Lampen- und Röhrenherstellung Kernforschung Plasmaforschung Teilchenbeschleuniger Kryotechnik Nanotechnologie Biotechnologie HiPace 300 M HiPace 700 M HiPace 800 M Technik im Detail Hybridrotor Antriebselektronik TM 700 mit Schnittstellenpanel 5-Achsen-Magnetlagerung Holweckstufe Integrierte Wasserkühlung 4

5 Saugvermögen HiPace 300 M DN 100 N 2 He H 2 Ar Saugvermögen [l/s] Druck [mbar] HiPace 700 M DN 160 N 2 He H 2 Ar Saugvermögen [l/s] Druck [mbar] HiPace 800 M DN 200 N 2 He H 2 Ar Saugvermögen [l/s] Druck [mbar] 5

6 Massbilder HiPace 300 M DN 100 ISO-F Ø150 VV DN 16 ISO-KF / G1/4" Ø162 HV DN 100 ISO-F G1/8" ,5 4x(=180 ) Ø8 / G1/4" (2x) M8 (6x) HiPace 700 M DN 160 ISO-F Ø VV DN 25 ISO-KF / G1/4" G1/8" Ø208 HV DN 160 ISO-F ,5 4x(=180 ) Ø8 / G1/4" (2x) M8 (6x) HiPace 800 M DN 200 ISO-F VV DN 25 ISO-KF / G1/4" Ø G1/8" Ø208 HV DN 200 ISO-K Ø8 / G1/4" (2x) M8 (6x) ,5 4x(=180 ) 145 HV: Hochvakuum VV: Vorvakuum Maße in mm 6

7 Technische Daten Pumpentyp HiPace 300 M HiPace 700 M HiPace 800 M Anschlussnennweite Eingang DN 100 DN 160 DN 200 Ausgang ISO-KF DN 16 DN 25 DN 25 Flutanschluss G 1/8 G 1/8 G 1/8 Hochlaufzeit min < 2 4,5 4,5 Saugvermögen für Stickstoff (N 2 ) l/s Helium (He) l/s Wasserstoff (H 2 ) l/s Argon (Ar) l/s Kompressionsverhältnis für Stickstoff (N 2 ) > > > Helium (He) > 10 8 > 10 7 > 10 7 Wasserstoff (H 2 ) Argon (Ar) > > > Max. Vorvakuumdruck Stickstoff (N 2 ) mbar Max. Gasdurchsatz bei Nenndrehzahl Stickstoff (N 2 ) mbar l/s Argon (Ar) mbar l/s Eingangsspannung Controller V DC 48 ± 5% 48 ± 5% 48 ± 5% Max. Leistungsaufnahme W Gewicht kg 13,1 17,2 15,7 20,8 17,1 21,5 Bestellnummer Pumpe HiPace 300 M HiPace 700 M HiPace 800 M DN 100 DN 160 DN 200 ISO-K ISO-F CF-F ISO-K ISO-F CF-F ISO-K ISO-F CF-F RS-485 PM P PM P PM P PM P PM P PM P PM P PM P PM P Profibus PM P PM P PM P PM P PM P PM P PM P PM P PM P DeviceNet PM P PM P PM P PM P PM P PM P PM P PM P PM P Zubehör Umfangreiches Zubehör: Netzteile Kabel Sperrgasventil und Sperrgasdrossel Zubehör zum Kühlen und Heizen Ansteuerung Vorvakuumpumpe Befestigungsmaterial Detaillierte Informationen siehe 7

8 AUS LEIDENSCHAFT FÜR PERFEKTION Führend. Zuverlässig. Kundennah. Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Vakuumlösungen, für deutsche Ingenieurskunst, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. Als Erfinder der Turbopumpe setzen wir in unserer Branche immer wieder Maßstäbe. Dieser Führungsanspruch wird uns auch in Zukunft antreiben. Sie suchen eine perfekte Vakuumlösung? Sprechen Sie uns an: Deutschland (Headquarter) Pfeiffer Vacuum GmbH Tel. +49 (0) Benelux Pfeiffer Vacuum GmbH Sales & Service Benelux Tel.: +800-pfeiffer Brasilien Pfeiffer Vacuum Brasil Ltda. Tel.: China Pfeiffer Vacuum (Shanghai) Co., Ltd. Tel.: Frankreich Pfeiffer Vacuum France SAS Tel.: Großbritannien Pfeiffer Vacuum Ltd. Tel.: Indien Pfeiffer Vacuum India Ltd. Tel.: Italien Pfeiffer Vacuum Italia S.p.A. Tel.: Korea Pfeiffer Vacuum Korea Ltd. Tel.: Österreich Pfeiffer Vacuum Austria GmbH Tel.: Russland OOO Pfeiffer Vacuum Rus Tel.: Schweden Pfeiffer Vacuum Scandinavia AB Tel.: Schweiz Pfeiffer Vacuum (Schweiz) AG Tel.: USA Pfeiffer Vacuum Inc. Tel.: Irrtümer und/oder Änderungen vorbehalten. PT 0183 PD (April 2011/10)

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