Qualifikation und Fehleranalyse an ICs
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- Alma Roth
- vor 8 Jahren
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1 Qualifikation und Fehleranalyse an ICs 12. FED-Konferenz Ulm, 16. September 2004 service for microelectronics Referent: Hubert Knab
2 Wann und Wo können Fehler an integrierten Schaltungen auftreten? zunehmende Folgekosten Qualitätsmodule D A,B,C E Qualifikation Monitoring Requalifikation Fortschrittliche Testmethoden in der Mikroelektronik - microtec GmbH - Hubert Knab September FED-Konferenz 2
3 Nach Auftreten eines Ausfalls sind folgende Punkte zur Lösung des Problems zu beachten: die Historie des Ausfallteiles sollte möglichst lückenlos nachvollziehbar aufgearbeitet werden ( Ehrlichkeit!) Bei Ausfall eines Bauteils auf der Baugruppe: Bauteil auf der BG belassen oder bei kunststoffverkapselten Gehäusen sollte unter Berücksichtigung des MSL das Bauteil abgelötet werden (d.h. vorheriges Drybaking). Sonst besteht die Gefahr des Popcorn-Effektes! Fortschrittliche Testmethoden in der Mikroelektronik - microtec GmbH - Hubert Knab September FED-Konferenz 3
4 Zerstörungsfreie Analysen: elektrischer (Funktions-) Test Kennlinienmessung Röntgenuntersuchung Ultraschalluntersuchung Zerstörende Analysen mechanisches / naßchemisches Öffnen des IC visuelle Inspektion (LM und SEM) Deprocessing (naßchemisches Abätzen der aktiven Schichten, Metallisierungen und Dielektrika) Fortschrittliche Testmethoden in der Mikroelektronik - microtec GmbH - Hubert Knab September FED-Konferenz 4
5 Advanced Fehleranalysen Emissionsmikroskopie (z.b. ESD) Infrarot-Mikroskopie (z.b. Backside-Imaging) Potentialkontrast, (z. B. Leiterbahnunterbrechung) Focused Ion Beam Micro Sectioning etc.... erfordern hohen präparativen und IC-kundigen Aufwand, der im Vorfeld schwer abzuschätzen ist. Fortschrittliche Testmethoden in der Mikroelektronik - microtec GmbH - Hubert Knab September FED-Konferenz 5
6 FA 1: Erhöhte Ausfallrate beim InCircuit- Test nach der Baugruppenfertigung der elektrische Funktionstest ergab bei den betroffenen SOP-Bauteilen Leitungsunterbrechungen, sog. Opens mittels Ultraschallmikroskopie konnten das für den Popcorn-Effekt typische Package Cracking detektiert werden mittels Röntgenmikroskopie konnten Einschnürungen an den Bonddrähten oberhalb des Balls gefunden werden Fortschrittliche Testmethoden in der Mikroelektronik - microtec GmbH - Hubert Knab September FED-Konferenz 6
7 SEM-Inspektion nach Decapsulation Polyimid Abgerissene Bonddrähte Fortschrittliche Testmethoden in der Mikroelektronik - microtec GmbH - Hubert Knab September FED-Konferenz 7
8 Ursachenanalyse des Popcorn-Effektes: Feuchteabsorption der betroffenen Bauteile: 0,18 Gew.-% MSL-Ranking: 1 (unbegrenzte Lagerung in Industrieklima) Feuchteabsorption gemäß MSL 1: 0,32 Gew.-% Feuchteabsorption gemäß MSL 3: 0,15 Gew.-% SAM nach Lötsimulation zeigte katastrophale Ausfälle nur bei den MSL-1 vorbehandelten Bauteilen. Die MSL-3 - vorbehandelten jedoch zeigten keine Auffälligkeiten. Fortschrittliche Testmethoden in der Mikroelektronik - microtec GmbH - Hubert Knab September FED-Konferenz 8
9 Fehlermechanismus: Maximale Feuchteabsorption des MC: ca. 0,35 Gew.-% Maximale Feuchteabsorption des Polyimid: ca. 4,0 Gew.-% Delamination / Risse MC PI Si d Fortschrittliche Testmethoden in der Mikroelektronik - microtec GmbH - Hubert Knab September FED-Konferenz 9
10 Konsequenzen: Umstellung des MSL von 1 auf 3 Dry bake und dry packing der bisher offen gelagerten Bauteile Fortschrittliche Testmethoden in der Mikroelektronik - microtec GmbH - Hubert Knab September FED-Konferenz 10
11 FA 2: Ausfall eines Bauteils während der Qualifikation Ausfall elektrischer Test bei Tieftemperatur (- 40 C) keine Auffälligkeiten bei der visuellen Inspektion nach dem mechanischen Öffnen des Bauteils Advanced FA Fortschrittliche Testmethoden in der Mikroelektronik - microtec GmbH - Hubert Knab September FED-Konferenz 11
12 Verdacht auf ESD-Schädigung erfordert Emissionsmikroskopie zur Lokalisierung des betroffenen Bereiches Bereitstellung eines golden device (Referenz) Stimulation der Emission mittels statischer Beschaltung Vergleich mit dem Referenzbauteil zur Lokalisierung der Fehlerstelle naßchemisches Deprocessing SEM-Inspektion Fortschrittliche Testmethoden in der Mikroelektronik - microtec GmbH - Hubert Knab September FED-Konferenz 12
13 Lichtoptische visuelle Inspektion keine Auffälligkeiten Fortschrittliche Testmethoden in der Mikroelektronik - microtec GmbH - Hubert Knab September FED-Konferenz 13
14 Emissionsmikroskopie Emission an der Fehlerstelle Fortschrittliche Testmethoden in der Mikroelektronik - microtec GmbH - Hubert Knab September FED-Konferenz 14
15 Visuelle Inspektion mittels SEM SEM -Foto des betroffenen Bereiches Fortschrittliche Testmethoden in der Mikroelektronik - microtec GmbH - Hubert Knab September FED-Konferenz 15
16 SEM-Inspektion nach Deprocessing ESD -Durchbruch Fortschrittliche Testmethoden in der Mikroelektronik - microtec GmbH - Hubert Knab September FED-Konferenz 16
17 : Die FA ist ein weites Feld... (Theodor Fontane in Effi Briest) Aufgrund der Vielzahl aller möglichen Fehlermechanismen konnten hier nur die wichtigsten und auch die i. A. finanziell vertretbaren Analysemethoden vorgestellt werden. Wichtig ist jedoch, aus den Fehlern zu lernen, um sie zukünftig zu vermeiden....und sie wird es bleiben, denn neue Technologien erzeugen oft auch neue Fehlermechanismen! Fortschrittliche Testmethoden in der Mikroelektronik - microtec GmbH - Hubert Knab September FED-Konferenz 17
18 Hubert Knab Fortschrittliche Testmethoden in der Mikroelektronik - microtec GmbH - Hubert Knab September FED-Konferenz 18
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