1 Titel GES 21: Sputter-Abscheidung

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1 1 Titel GES 21: Lebenszyklus Frei gewählter Kurztitel Endnutzung DU von Ni-Metall Systematischer Titel auf Grundlage der Verwendungsdeskriptoren SU: SU 3 Industrielle Verwendung PC: Nicht relevant ERC: SPERC Verarbeitung von gediegenem Metall PROC: PROC 1 Verwendung in geschlossenem Verfahren, keine Expositionswahrscheinlichkeit Prozesse, Aufgaben und Aktivitäten, die abgedeckt werden (Umwelt): Prozesse, Aufgaben und Aktivitäten, die abgedeckt werden (Arbeitsplatz): 2. Anwendungsbedingungen und Risikomanagement-Maßnahmen 2.1 Kontrolle der Umweltexposition Umweltbezogener frei gewählter Kurztitel Systematischer Titel auf Grundlage der Verwendungsdeskriptoren (Umwelt) SPERC Verarbeitung von gediegenem Metall Prozesse, Aufgaben und Aktivitäten, die abgedeckt werden (Umwelt): Umweltbewertungsmethode Bei der Berechnung der PEC im Kompartiment Boden werden die auf dem SPERC-Einsatz basierenden Abschätzungen der Lokalkonzentrationen bei der Verarbeitung von gediegenem Metall und die gemessenen Regionalkonzentrationen verwendet. Produkteigenschaften Reinnickel-Sputtertargets, Nickelreinheit > 99.5 % Nickelhaltige Mischmetall-Sputtertargets Eingesetzte Menge Begrenzung der täglichen Menge an einem Standort 500 g am Tag pro Sputterkathode in einem 7/24-Prozess. (Typischerweise verwenden 1-10 Prozesslinien pro Standort denselben Prozess) Begrenzung der jährlichen Menge an einem Standort Liegt nicht vor Häufigkeit und Dauer der Verwendung Freisetzung in die Umwelt Freisetzung ins Abwasser Umweltbezogene Parameter, die nicht von Risikomanagement-Maßnahmen beeinflusst werden. Für die Nutzung von nachgelagerten Kunden Vale nur 1/5

2 Wasserdurchsatz an der Eintrittsfläche - Nicht relevant Dilutionskapazität, Trinkwasser - Nicht relevant Dilutionskapazität, Meerwasser - Nicht relevant Weitere Anwendungsbedingungen, die die Umweltexposition beeinflussen Technische Bedingungen und Maßnahmen auf Prozess-Ebene (Quelle), um Freisetzungen zu vermeiden Technische Bedingungen am Einsatzort und Maßnahmen zur Verringerung oder Begrenzung von Freisetzungen ins Wasser, Luftemissionen und Freisetzungen in den Boden Abgasanlage wird vorausgesetzt (keine Informationen vorhanden) Freisetzungsfaktor nach Aufbereitung am Einsatzort bei Verarbeitung: g/t Organisatorische Maßnahmen um Freisetzungen am Einsatzort zu verhindern/zu begrenzen Bedingungen und Maßnahmen bezogen auf die kommunale Kläranlage Kommunale Kläranlage - Nicht relevant Abflussgröße der kommunalen Kläranlage - Nicht relevant Verbrennung des Abwasserschlamms aus der kommunalen Kläranlage - Nicht relevant Bedingungen und Maßnahmen bezogen auf die externe Abfallbehandlung zur Entsorgung Nickelenthaltender Abfall wird als Giftmüll eingestuft und von einem zugelassenen Abfallbeseitigungsunternehmen entsorgt, entweder verbrannt oder wieder aufbereitet Bedingungen und Maßnahmen bezogen auf die externe Verwertung von Abfall Nicht zutreffend 2.2 Kontrolle der Exposition am Arbeitsplatz Auf den Arbeiter bezogener frei gewählter Kurztitel Verwendungsdeskriptoren, die abgedeckt werden Liegt nicht vor Prozesse, Aufgaben und Aktivitäten, die abgedeckt werden Bewertungsmethode Expositionsabschätzung auf Grundlage von Messdaten Produkteigenschaften Reinnickel-Sputtertargets, Nickelreinheit > 99.5 % Nickelhaltige Mischmetall-Sputtertargets Eingesetzte Menge Nicht relevant Für die Nutzung von nachgelagerten Kunden Vale nur 2/5

3 Häufigkeit und Dauer der Verwendung/Exposition 8-Stunden-Schichten Auf den Mensch bezogene Parameter, die nicht von Risikomanagement-Maßnahmen beeinflusst werden. Atemvolumen unter Einsatzbedingungen - Nicht relevant Rauröße und Ventilationsleistung - Nicht relevant Bereich des Hautkontakts mit der Substanz unter Einsatzbedingungen - Nicht relevant Körpergewicht - Nicht relevant Weitere Anwendungsbedingungen, die die Exposition am Arbeitsplatz beeinflussen Die verwendeten Ni-Mengen sind extrem klein, was das Potenzial der dermalen Exposition einschränkt. Komplett geschlossener Prozess der Gasphasenabscheidung. Ni-Emissionen von der Quelle als Ergebnis von Ionen- oder Atombeschuss im Vakuum; Prozessbedingungen (z. B. Anwesenheit anderer Gase in der Kammer) hängen vom jeweiligen Anwendungsfall ab (nicht relevant, da Prozess innerhalb einer geschlossenen Apparatur stattfindet und Gase keineswegs in die Umwelt freigesetzt werden können) Die einzige Exposition während des Verfahrens findet beim Austausch der Targets statt (dermale Exposition durch Verwendung geeigneter Handschuhe verhindern). Oral: Gute Hygiene-Praxis am Arbeitsplatz Technische Bedingungen und Maßnahmen auf Prozess-Ebene (Quelle), um Freisetzungen zu vermeiden Komplette Einhausung des Prozesses der Gasphasenabscheidung Technische Bedingungen und Maßnahmen, um die Verbreitung von der Quelle zum Arbeiter zu verhindern Organisatorische Maßnahmen um Freisetzungen, Verbreitung und Exposition zu verhindern/zu begrenzen Bedingungen und Maßnahmen für den persönlichen Schutz, zur Hygiene und zur Gesundheitsbeurteilung Dermal: Handschuhe und sonstige geeignete Schutzkleidung sind bei Prozessen erforderlich, wo direkter Kontakt mit Ni-Metall möglich ist, z. B. beim Uang mit den Targets, Ausgangs- oder beschichteten Stoffen, beim Öffnen und Schließen der Abscheidungskammer vor und nach Benutzung. 3. Expositions- und Risikoabschätzung Umwelt SPERC Verarbeitung von gediegenem Metall Kompartiment Einheit PNEC PEC Regional C lokal PEC RCR Methoden der Berechnung der Umweltkonzentrationen und der PNEC Trinkwasser μg Ni/l Meerwasser μg Ni/l Festland Ni/kg 29,9 16,2 5,4E-5 16,2 0,54 Messwerte, Stufe 3-RWC Für die Nutzung von nachgelagerten Kunden Vale nur 3/5

4 Arbeiter Dermal Akut Akut lokal lokal Einheit DNEL Expositionskonzentration Ni/kg/Tag Ni/cm 2 /Tag Ni/kg/Tag Ni/cm 2 /Tag RCR Methoden der Expositionsberechnung 0,015 5*10-6 <0,001 Abgeschätzt für speziellen Reinraum, kein direkter dermaler Kontakt mit Ni Inhalation Akut Ni/m ,01 <0,001 Abgeschätzt als 10-mal größer als der Prozentrang Exposition. Akut lokal Ni/m 3 1,6 1 0,01 0,006 Abgeschätzt als 10-mal größer als der Prozentrang Exposition. lokal Ni/m 3 0,05 2,3 0,001 0,02 Abgeschätzter Prozentrang Exposition bei komplett geschlossenen Prozessen Ni/m 3 0,05 2,3 0,001 0,02 Abgeschätzter Prozentrang Exposition bei komplett geschlossenen Prozessen 1 Basierend auf einem MMAD von 1,5 um, steigt beim ansteigenden MMAD an (schätzungsweise 6,4 Ni/m 3 bei einer Exposition mit Teilchen mit einem MMAD von 30 um. 2 Bei der Bearbeitung von Pulver mit einem Teilchendurchmesser von weniger als 10 μm sollte die Exposition (Durchschnittswert für einen 8 Stunden Arbeitstag) mit diesem Pulver unter 0,01 Ni/m 3 liegen. 3 Bei einer Exposition ausschließlich mit metallischem und nickeloxidhaltigem Staub (ohne eine Exposition mit löslichem oder sulfidischem Nickel) und bei einer mittleren Teilchengröße des Aerosols mit einem aerodynamischen Durchmesser von größer als 10 μm ( 10 % der Aerosolmasse im einatembaren Anteil), kann die einatembare Expositionshöhe von bis zu 0,2 Ni/m 3 als ungefährlich betrachtet werden. Für die Nutzung von nachgelagerten Kunden Vale nur 4/5

5 4. Hilfestellung für den DU zur Überprüfung, ob er sich mit seiner Anwendung innerhalb der Grenzen des Expositionsszenarios befindet Umwelt Skalierungswerkzeug: EUSES IT-Tool für Metalle (kostenloser Download: Die Skalierung der Freisetzung an die Luft und in die Wasserumwelt beinhaltet: Verfeinerung des Faktors für die Freisetzung an die Luft und ins Abwasser bzw. Verbesserung der Effizienz des Luftfilters und der Abwasseraufbereitungsanlage. Skalierung von PNEC für aquatische Umwelt unter Verwendung eines mehrstufigen Ansatzes zur Korrektur der biologischen Verfügbarkeit und der Hintergrundkonzentration (C lokal -Ansatz). Skalierung von PNEC für das Boden-Kompartiment unter Verwendung eines mehrstufigen Ansatzes zur Korrektur der biologischen Verfügbarkeit und der Hintergrundkonzentration (C lokal - Ansatz). Arbeiter Skalierung in Bezug auf Dauer und Häufigkeit der Verwendung. Erfassung von prozessüberwachenden Informationen. Nutzung der Informationen zur Aerosol- Teilchengröße (sofern vorhanden) zur Bestätigung der ordnungsgemäßen Verwendung einer einatembaren DNEL. Daten zur chemischen Speziation zeigen, dass nur die in der Luft des Arbeitsplatzes vorhandenen Ni-Metalle bzw. Nickeloxide genutzt werden können, um bei einem Expositionsniveau zwischen 0,05 und 0,2 Ni/m 3 einen RCR-Wert von <1 zu indizieren. Für die Nutzung von nachgelagerten Kunden Vale nur 5/5

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