X:/herstell/satz/labo/tab-10/mai/schichtdicken-messgeraete

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1 X:/herstell/satz/labo/tab-10/mai/schichtdicken-messgeraete Anbieterverzeichnis Schichtdicken-Messgeräte Firmenname Straße PLZ/Ort Tel. Fax Internet Accurion GmbH Stresemannstraße Göttingen 0551/ / amtec Analysenmesstechnik GmbH Braunstraße Leipzig 0341/ / Automation Dr. Nix GmbH & Co. KG Robert-Perthel-Straße Köln 0221/ / info@automation.de DRE-Dr. Riss Ellipsometerbau GmbH Feldstraße Ratzeburg 04541/ /7434 dr.riss@dre.de Elcometer Instruments GmH Ulmer Straße Aalen 07361/ / de_info@elcometer.de ElektroPhysik Dr. Steingroever GmbH & Co. KG Pasteurstraße Köln 0221/ / info@elektrophysik.com getamo.com Emil-Figge-Straße Dortmund 0231/ / s.thomassen@getamo.com Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik Industriestraße Sindelfingen 07031/ / mail@helmut-fischer.de HORIBA Scientific Hauptstraße Unterhaching 089/ / christophe.deraed@horiba.com mtv messtechnik ohg Engeldorfer Straße Köln 02232/ / info@mtv-messtechnik.de Ocean Optics Germany GmbH Maybachstraße Ostfildern 0711/ / sales@oceanoptics.de optische messtechnik gmbh Hörvelsinger Weg Ulm 0731/ / info@omt-instruments.com PCE Deutschland GmbH Im Langel Meschede 02903/ / info@warensortiment.de PHYNIX GmbH & Co. KG Alexe-Altenkirch- Straße Köln 0221/ / info@phynix.de Roenalytic GmbH Georg-Ohm-Straße Taunusstein 06128/ /73601 info@roenalytic.com tec5 AG In der Au Oberursel 06171/ / info@tec5.com

2 Marktübersicht Schichtdicken-Messgeräte (Diese und weitere Marktübersichten finden Sie unter www. Anbieter Modell Außenmaße (B x H x T cm) Gewicht (kg) Messprinzip Accurion nanofilm_ep3sw 105 x 74 x 47 ca. 140 abbildende Ellipsometrie (single wave) nanofilm_ep3se 110 x 78 x 47 ca. 140 abbildende Ellipsometrie (spektroskopisch) Zerstörungsfreies Messverfahren Einsatz während der Schichtherstellung möglich? Dielektrika Halbleiter Metalle Einzelfallprüfung Einzelfallprüfung amtec XRF 940 Röntgenfluoreszenz Automation Dr. Nix QNix ,6 x 6,4 x 3,4 ca. 0,13 Hall Effekt / nein QNix ,0 x 6,0 x 2,7 ca. 0,11 Hall Effekt / nein QNix ,5 x 6,8 x 3,3 Hall Effekt / Sondenabhängig nein CarCheck System 12,5 x 6,8 x 3,3 ca. 0,13 Hall Effekt / nein QNix ,6 x 6,4 x 3,2 Hall Effekt nein QNix 1500M 16,6 x 6,4 x 3,4 Hall Effekt / nein QNix ,0 x 6,0 x 2,7 ca. 0,11 Hall Effekt nein QNix ,0 x 6,0 x 2,6 Hall Effekt / nein QNix 7500M 12,0 x 6,0 x 2,6 ca. 0,12 Hall Effekt / nein DRE-Dr. Riss EL X-02C 50 x 40 x Ellipsometrie EL X x 40 x Ellipsometrie EL X-01R 50 x 40 x Ellipsometrie EL R 30 x 5 x 5 5 Ellipsometrie EL X x 10 x 10 5 Ellipsometrie Elcometer ,8 x 6,8 x 2,8 ab 130 g nein nein nein ,2 x 7,4 x 3,4 ca. 120 g Magnetinduktiv, oder kombiniert nein nein nein ,2 x 5,7 x 2,4 ca. 100 g nein nein nein ,5 x 8,5 x 4,5 ca. 620 g Magnetinduktiv, nein nein nein ElektroPhysik MikroTest 21,5 x 5,5 x 2,9 ca. 0,56 inkl. Koffer MiniTest ,7 x 7,55 x 4,9 ca. 0, ,230 magnetisches Haftkraftverfahren nein nein nein nein MiniTest 600 6,4 x 11,5 x 2,5; Sonde: Ø 1,5 x 6,2 ca. 0,27 magnetinduktives Verfahren nein nein und verfahren MiniTest 4100 / 3100 / 2100 / x 8,2 x 3,5 ca. 0,27 nein nein QuintSonic 15 x 8,2 x 3,5 ca. 0,150 Ultraschallverfahren nein nein nein GalvanoTest 26 x 25 x 10 ca. 2,5; Standard-Messstativ: ca. 2,5 coulometrisches Ablöseverfahren nein nein nein getamo.com getspec Thinfilm 15 x 10 x 20 2 Weißlichtinterferenz nein nein nein Helmut Fischer DUALSCOPE MP0 6 x 8,5 x 3 0,2 magnetinduktiv / nein nein MP0R 6 x 8,5 x 3 0,2 magnetinduktiv / nein nein MP0R-FP 6 x 8,5 x 3 0,3 magnetinduktiv / nein nein MP0RH-FP 6 x 8,5 x 3 0,3 magnetinduktiv / nein nein FMP20 8,9 x 17 x 4 0,395 magnetinduktiv / nein nein FMP40 8,9 x 17 x 4 0,395 magnetinduktiv / nein nein DELTASCOPE FMP10 8,9 x 17 x 4 0,395 magnetinduktiv nein nein

3 labo.de LABO Marktübersichten) Marktübersicht Schichtdicken-Messgeräte Messbereich von bis < 1 nm bis 1 µm (Maximale Schichtdicke kann durch mangelnde Transparenz der Schicht limitiert werden) laterale Auflösung 1 µm Messung mehrlagiger Mobil Schnittstellen Spezielle Messsoftware nötig lieferbar Standard- nein nein LAN nein LAN Basispacket im Gerätepreis enthalten 0,1 nm...50 µm nein Ethernet, Profibus, R S232 Fe: μm NFe: Fe: 0, μm NFe: 0, µm Sondenabhängig Fe: 0, μm NFe: Welche? Daten liegen im ASCII Format vor Bevorzugter Einsatzzweck Schichtdickenverteilung, mikroskopisch strukturierte, auf mikroskopischen Substraten Excel, Word,. Inline-Messung zur Steuerung des Beschichtungsprozesses 0 nein nein nein Schichtdickenmessung 0 nein nein nein Schichtdickenmessung 1 nein Excel Schichtdickenmessung 1 nein Excel Schichtdickenmessung und Dokumentation im Automobilbereich Fe: 0, μm 0 nein nein nein Schichtdickenmessung Fe: 0, μm NFe: 1 nein Excel Schichtdickenmessung Fe: 0, μm 0 nein nein nein Schichtdickenmessung 0 nein nein nein Schichtdickenmessung 1 nein Excel Schichtdickenmessung 0, nm nein USB nein Dünnstschichten 0, nm nein USB nein Dünnstschichten 0, nm nein USB nein nm nein nein USB nein Vermessung von Nanoschichten auf Dachpfannen nm nein nein spezielle Schnittstelle mm abhängig von Sonde RS 232, Bluetooth nein Inprozess-Lebensdauerprognostik von Halbleiterchips nein ElcoMaster (Excel Link) µm keine nein nein nein µm keine nein nein nein mm abhängig von Sonde RS 232 nein ElcoMaster (Excel Link) Messung von Beschichtungen auf Metallsubstrat mm nein nein nein nein galvanische, Nickel-, Phosphatschichten, Farbe, Plastik, , usw. auf Stahl mm nein IrDA 1.0 nein MSoft 7 Basic Edition, MSoft 7 Professional Edition mm nein RS 232 C MSoft 7000, Microsoft mm nein RS 232 C MSoft41, Microsoft Windows Hyperterminal Einfachschicht: µm; Mehrfachschicht: Gesamtdicke max. 500 µm RS 232 C QSoft, Microsoft 0, µm nein RS 232 C Microsoft Lack-, Kunststoff-, und andere isolierende auf Kunststoff, Holz, Glas, Keramik und auf Metallen praktisch alle galvanischen Ein- und Mehrfachschichten 10 nm...50 um USB nein Messung transparenter wie z.b. optische Filter oder SiO µm nein nein nein µm nein USB nein µm nein USB nein µm µm nein USB nein µm nein USB nein µm nein USB, Bluetooth, seriell nein COM-Port COM-Port Nichteisen auf Eisen oder Iso (Lack) auf Nichteisen Nichteisen auf Eisen oder Iso (Lack) auf Nichteisen µm nein USB nein Nichteisen auf Eisen

4 Marktübersicht Schichtdicken-Messgeräte (Diese und weitere Marktübersichten finden Sie unter www. Anbieter Modell Außenmaße (B x H x T cm) Gewicht (kg) Messprinzip Zerstörungsfreies Messverfahren Einsatz während der Schichtherstellung möglich? Helmut Fischer FMP30 8,9 x 17 x 4 0,395 magnetinduktiv nein nein Dielektrika Halbleiter ISOSCOPE FMP30 8,9 x 17 x 4 0,395 nein nein nein DUALSCOPE FMP100 8,9 x 17 x 4 0,395 magnetinduktiv / nein nein PHASCOPE PMP10 8,5 x 18 x 4 0,4 phasensensitives verfahren FISCHERSCOPE X-RAY XAN Serie 38 x 34 x Metalle nein nein nein nein X-RAY XUL Serie 39,5 x 51 x nein nein X-RAY XDL Serie 57 x 65 x nein nein X-RAY XDAL Serie 57 x 65 x EDXRF nein nein X-RAY XDLM Serie 57 x 65 x Röntgenfluoreszenz nein nein X-RAY XDV Serie 66 x 72 x 83,5 120 nein nein X-RAY XUV Serie 64 x 76 x nein nein X-RAY 4000 Serie spezifisch >120 nein X-RAY 5000 Serie 23,6 x 37 x nein COULOSCOPE CMS 35 x 14 x 20 3,5 Coulometrie nein nein nein nein BETASCOPE 36 x 18 x 27 4 Beta Rückstreuverfahren MMS-PC2 36 x 18 x 27 4 verschiedene, modular nein nein HORIBA Scientific GD-Profiler 2 86 x 127 x Glimmentladungsspektrometrie - GDOES nein nein mtv PosiTest DFT 4 x 10 x 3 0,3 - bzw. magnetinduktiv nein nein nein PosiTector x 18 x 4 0,5 Ultraschall nein nein nein nein PosiTector x 18 x 4 0,5 - bzw. magnetinduktiv nein nein nein Ocean Optics NanoCalc-2000 Reflektometer SpecEl-2000 Ellipsometer nein omt - optische messtechnik TFA - Spektral - Ellipsometer Gerät: 66 x 40,5 x 26 Controller: 24 x 18,5 x 34 Gerät: 14,8 Controller: 5,6 Änderung des Polarisationszustandes des Lichtes nach Reflexion an der Probe nein, bis ca. 50 nm TFA - Reflektometer Gerät: 26 x 33 x 30 Controller: 26 x 27 x 21 Gerät: 5,6 Controller: 6,2 Schichtdicke: Interferenz Farbe, Feuchtigkeit usw.: Reflektion/Transmission Messkopf kann in eine Produktionsanlage integriert werden, bis ca. 50 nm PCE PCE-CT 30 5,8 x 11,8 x 3,8 0,15 und magnetischinduktiv nein PCE-CT 40 5,8 x 11,8 x 3,8 0,15 magnetisch-induktiv nein PCE-CT 25 10,5 x 14,8 x 4,2 0,157 magnetisch-induktiv, nur bei festen nein PCE-CT 26 6,5 x 12,6 x 2,7 0,13 magnetisch-induktiv PCE-CT 28 6,5 x 12,6 x 2,7 0,12 magnetisch-induktiv PCE-CT 50 5,8 x 11,8 x 3,8 0,15 nein PHYNIX Surfix Pro 13,5 x 6,5 x 2,5 0,2 nein Surfix 13,5 x 6,5 x 2,5 0,2 nein Pocket-Surfix 10,7 x 5,0 x 2,5 0,09 magnet-induktiv und nein Surfix easy 10,7 x 5,0 x 2,5 0,09 nein PaintCheck 10,7 x 5,0 x 2,5 0,09 nein Roenalytic maxxi 5 70 x 67 x Röntgenfluoreszenz nein nein ComPact 5 40 x 45 x Röntgenfluoreszenz nein nein Compact eco 40 x 45 x Röntgenfluoreszenz nein nein ecomaster 58 x 55 x Röntgenfluoreszenz nein nein NanoMaster 78 x 56 x Röntgenfluoreszenz nein nein tec5 MultiSpec 42,7 x 18,0 x 41,1 12 Weisslichtinterferenz nein nein EvaluationLine 22,0 x 15,0 x 7,2 (2x) 2,7 Weisslichtinterferenz nein nein

5 labo.de LABO Marktübersichten) Marktübersicht Schichtdicken-Messgeräte Messbereich von bis Messung mehrlagiger Mobil Schnittstellen Spezielle Messsoftware nötig lieferbar Standard- Welche? Bevorzugter Einsatzzweck µm nein nein Nichteisen auf Eisen USB, Bluetooth, µm nein nein Iso (Lack) auf Nichteisen seriell µm nein nein COM-Port Iso (Lack) auf Nichteisen µm PC nein Iso (Lack) bzw. Duplex (Lack auf Zink) auf Eisen, Automotive dünne, Mehrfachschichten, Dicke, Zusammensetzung 100 nm...50 µm nein PC dünne, Mehrfachschichten, Dicke, Aufbau 500 nm 50 µm nein PC COM-Port dünne, Mehrfachschichten, µm nein PC Dicke Schichtdicke von 10 nm µm - fast alle Elemente inklusive N, O, H, C, F, Cl, Li etc von 1 ppm bis zu 100 % nein integriert integriert nein µm nein nein nein nein Schichtdickenmessung auf metallischen Untergründen (Stahl, Aluminium etc.) µm je nach Modell USB, Blue Tooth nein Windows Schichtdickenmessung auf nichtmetallischen Untergründen (Kunststoff etc.) µm je nach Modell USB, Blue Tooth nein Windows Schichtdickenmessung auf metallischen Untergründen (Stahl, Aluminium etc.) 5 nm µm Active-X nein nein nein µm nein USB 2.0 (omt-) 10 nm...0 µm USB 2.0 (omt-) µm mils µm mils µm mils nein nein nein nein nein Best. von Halbleiterbeschichtungen Messung der optischen Konstanten n/k + der Leitfähigkeit von TCO s (transparent, conducting oxides) nein Best. von Halbleiterbeschichtungen Messung der Leitfähigkeit von TCO s (transparent, conducting oxides) Best. Reflexionsindex, Farbe, chem. Zusammensetzung (z.b. Feuchtigkeit) Kontrollmessungen in der Produktion, Werkstatt und in der Qualitätssicherung nein nein Kfz-Bereich µm nein nein Kfz-Bereich µm nein nein µm mils je nach Sonde 0...0,2 mm bis mm nein nein Infrarot und RS232 nein ProSoft 0...1,5 mm Infrarot nein FixSoft 0...1,5 mm Infrarot nein FixSoft Kontrollmessungen in der Produktion, Werkstatt und in der Qualitätssicherung Lackierereien und Galvanisierbetriebe, Automobile und Zulieferer 0...3,5 mm nein nein nein Automobilindustrie, Maschinenbau, Gutachter mm nein nein nein nein Automobilindustrie, Gutachter 50 nm...90 µm nein RS 232, USB Windows etc. 50 nm...90 µm nein RS 232, USB Windows etc. 50 nm...90 µm nein RS 232, USB für optionale Windows etc. 50 nm...90 µm nein RS 232, USB Anwendung Windows etc. Qualitässicherung Schichtdicke und Materialanalyse 10 nm...90 µm nein RS 232, USB Windows etc. Forschung und Entwicklung Materialanalyse und Schichtdicke 0, µm USB 2.0 TFM ProVis lite 0, µm highspeed, Ethernet TFM ProVis lite Folien, Klebeauftrag, Halbleiter, transparente Coatings, Fotolacke