Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik 2013

Transkript

1 5. VDI/VDE Fachtagung Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik 2013 Normgerechte Auswertung, Charakterisierung und Tolerierung von Rauheit und Mikroformelementen Hören Sie Vorträge zu folgenden Themen: Messen technischer Oberflächen im Bereich der Mikro- und Nanotechnik Praxisgerechtes Trennen der Gestaltabweichungen: Normgerechte Einpassverfahren und Filter nach ISO Kenngrößen und Messbedingungen zur Charakterisierung der Rauheit nach DIN EN ISO Strategien zum robusten Messen von Mikroformelementen und Bauteilen Industrierelevante Messeinrichtungen: taktil/optisch/computertomografisch Kalibrierung und Rückführung der Messeinrichtungen 4 Praxisorientierte Tutorials mit Diskussion Termin und Ort: 23. und 24. Oktober 2013 Nürtingen Tagungsleitung: Prof. Dr.-Ing. Jörg Seewig Universität Kaiserslautern Treffen Sie Experten u.a. aus folgenden Unternehmen/Institutionen: Daimler Deutsches Krebsforschungszentrum (DKFZ) Dyadic-computing Fraunhofer Institut Fries Research & Technology Hexagon INPRO Jenoptik Mahr NanoFocus Physik.-Techn. Bundesanstalt Polytec Universitäten: Braunschweig, Ilmenau, Kaiserslautern, Kassel Volkswagen Werth Messtechnik

2 Mittwoch, 23. Oktober :30 Registrierung 09:00 Begrüßung und Eröffnung Prof. Dr.-Ing. Jörg Seewig, Lehrstuhl für Messtechnik & Sensorik, TU Kaiserslautern 09:10 Dimensionelles Messen technischer Oberflächen im Bereich der Mikro- und Nanotechnik Prof. Dr.-Ing. Jörg Seewig, TU Kaiserslautern 09:15 Taktile Referenzmessungen für die Mikro- und Nanotechnik Profilscanner für rückführbare dimensionelle Messungen in HARMS (High Aspect Ratio Micro structures) HRTS (High Resolution Topo Scanner) für rück führbare taktile Oberflächenmessungen Verfahren zur präzisen taktilen dimensionellen Messung weicher Materialien (neue DIN-Norm 32567) Bestimmung von Spitzenradius und Antastkraft bei Tastschnittgeräten Dr. Uwe Brand, Leiter der Arbeitsgruppe Härte und taktile Antastverfahren, Dr. Peter Thomsen-Schmidt, Dr.-Ing. Zhi Li, Dr. Min Xu, Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig 09:45 Tendenzen der Oberflächenmesstechnik: Linien- oder flächenhafte Erfassung? Bestandsaufnahme Profilschnitt und Fläche Vom Ziel der Messung zur Auswahl des Mess verfahrens Praktische Beispiele mit unterschiedlichen Verfahren Dipl.-Ing. Tobias Hercke, Verantwortlicher für Oberflächenmesstechnik, Daimler AG, Stuttgart 10:15 Praxisgerechtes Einpassen von Formelementen und praxisgerechtes Trennen von Gestalt abweichungen Dipl.-Ing. Tobias Hercke, Daimler AG, Stuttgart 10:20 Mathematische Einpassverfahren zur Charakterisierung von Formelementen Gauß, Tschebyschow, L1: Gemeinsamkeiten und Unterschiede Dr. rer. nat. Andreas Groh, Algorithmen- und Softwareentwicklung, Hexagon Metrology PTS GmbH 10:45 Praxisgerechte Auswahl linearer und robuster Filter Eigenschaften der linearen Profilfilter nach ISO 16610: Gauß und Spline Anwendung der Filter bei kurzen Messstrecken Robuste Profilefilter und die richtige Wahl der Grenzwellenlänge Allgemeine Empfehlungen zur Verwendung der Filter Prof. Dr.-Ing. Jörg Seewig, Lehrstuhl für Messtechnik & Sensorik, TU Kaiserslautern 11:10 Kaffeepause und Besuch der Ausstellung 11:30 Messen rauer Oberflächen Kenngrößen und Messbedingungen in der Anwendung Dr. rer. nat. Georg Wiora, NanoFocus AG, Oberhausen 11:35 Übersicht über Kenngrößen und Mess bedingungen Harmonisierung der 2D- und 3D Kenngrößen Topographisch abgeleitete Kenngrößen zur Oberflächencharakterisierung Profil- und flächenhafte Messtechnik, taktile und optische Messtechnik, Rastersondenmikroskopie Funktionale Oberflächen Dr. rer. nat. Ludger Koenders, Fachbereichsleiter Oberflächenmetrologie, Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig, Prof. Dr.-Ing. Jörg Seewig, Lehrstuhl für Messtechnik und Sensorik, Universität Kaiserslautern, Kaiserslautern 12:00 Die Messkette zur Auswertung der Rauheit: Gegenüberstellung von 2D und 3D Messwertkorrekturen SF-, SL-Oberfläche, P-, W-, R-Profil F Operation Interpolationsverfahren kurzwelliges ls-filter, L Filterung, lc-filter Dr. Andreas Beutler, R&D Advanced Technologies, Mahr GmbH, Göttingen 12:25 Fertigungs- und funktionsorientierte Auswertung durch Anwendung der Kenngrößen nach DIN EN ISO Fallbeispiel 1 Charakterisierung des Schleifprozesses mit Hilfe von Rauheitskenngrößen Vorhersage zu Standzeiten der Werkzeuge Dipl.-Ing. Thorsten Höring, Strategische Entwicklung und Innovationsmanagement, NanoFocus AG, Oberhausen 12:40 Optische 3D-Rauheitsmessung an Zylinderlaufbahnen in der Praxis Fallbeispiel 2 Hontexturmessung Oberflächenauswertung Rauheitskenngrößen gemäß DIN EN ISO Melanie Jauernick, B.Sc., Labor Tribologie, Honung, Volkswagen AG, Salzgitter, Dipl.-Ing. (FH) Stefan Rubach, Technische Entwicklung Messtechnik, Volkswagen AG, Wolfsburg 12:55 Zeichnungseintragungen für die 2D und 3D Oberflächenmessungen Aufgabe und Konsequenzen von Zeichnungs toleranzen Stand der internationalen Normung bzgl. Oberflächenspezifikation Unterschiedliche Sichtweisen bzgl. Zeichnungseintragungen Dipl.-Ing. Tobias Hercke, Verantwortlicher für Oberflächenmesstechnik, Daimler AG, Stuttgart 13:15 Fragen- und Diskussionsrunde 13:45 Mittagspause und Besuch der Ausstellung

3 Mittwoch, 23. Oktober :45 Messen von Mikroformelemente und Bauteilen mit kleinen Toleranzen Dipl.-Ing. Thomas Wiedenhöfer, Werth Messtechnik GmbH, Gießen 14:50 Methoden der 3D-Datenauswertung für die hochauflösende Bauteilmessung kombinierte Messung mit Computertomographie und Fasertaster am Beispiel von Einspritzdüsen hochauflösende Oberflächenerzeugung Regelgeometriemessung mit Best-Fit-Verfahren Dipl.-Math. Ira Effenberger, Gruppenleiterin 3D Bild- und Datenverarbeitung, Dipl.-Inform. Julia Kroll, Fraunhofer Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA, Stuttgart 15:15 Wege zur stabilen Auswertung von Mikroformelementen Stabile Auswertestrategie für Routinemessungen Automatisierung In-Line oder produktionsnahe Messungen unter schwierigen Bedingungen Dr. rer. nat. Wilfried Bauer, Product und Business Manager, Polytec GmbH, Waldbronn 15:40 Segmentierung von 3D-Punktewolken Um Funktionsflächen einer 3D-Punktewolke selektieren und prüfen zu können ist diese vorher zu segmentieren. Ein automatisierbares Verfahren hierfür wird vorgestellt und dessen Wirksamkeit an einem Beispiel demonstriert. Dipl.-Inf. (FH) Andreas Gläser, Softwareentwickler, Werth Messtechnik GmbH, Gießen, Prof. Dr.-Ing. habil. Ulrich Lunze, Westsächsische Hochschule Zwickau 16:05 Kaffeepause und Besuch der Ausstellung 16:20 Lösungsansätze durch eigene Auswertestrategien Dr. rer. nat. Wilfried Bauer, Polytec GmbH, Waldbronn 16:25 Strukturorientierte Auswertung von Honstrukturen Motivation zur Strukturorientierten Charakteri sierung von Oberflächen Detektion von Honstrukturmerkmalen Softwaretechnische Auswertung Anwendungsnahe Beispiele Dr.-Ing. Thomas Böttner, Geschäftsführer, Dyadiccomputing, Hannover, Dipl.-Ing. Tobias Hercke, Daimler AG, Stuttgart 16:50 Berechnung von Kenngrößen zum Erscheinungsbild aus konfokalen Topographiemessungen durchgängige Messtechnik entlang der Prozess kette Automobilbau patentierter Auswertealgorithmus Rauigkeit und Langwelligkeit Berechnung von Wavescan-Werten aus Topo graphie daten Dipl.-Inform. Karl-Heinz Horras, Projektleiter, Beschichtungs- und Verbundtechnologien, Inpro GmbH, Berlin 17:15 Charakterisierung von Mikrowerkzeugen Grundlage für die wirtschaftliche Mikroproduktion Herausforderungen in der Mikroproduktionstechnik Messtechnik zur Charakterisierung von Mikrowerkzeugen Anwendungsbeispiele Dr.-Ing. Stephan Bichmann, Abteilungsleiter, Dipl.-Ing. Hans-Christian Hill, Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie, Aachen 17:40 Ende des ersten Vortragstages 18:30 Abendempfang Zum Ausklang des ersten Veranstaltungstages lädt Sie das VDI Wissensforum zu einem Get-Together mit Abend imbiss herzlich ein. Nutzen Sie die entspannte Atmosphäre, um Ihr Netzwerk zu erweitern und mit anderen Teilnehmern und Referenten vertiefende Gespräche zu führen. Donnerstag, 24. Oktober :30 Optische und taktile Messeinrichtungen Prof. Dr.-Ing. Tutsch, Technische Universität Braunschweig 08:35 Anwendungsbezogene Auswahl physikalischer Messprinzipien für die Mikro- und Nanotechnik Übersicht über den aktuellen Stand industrie relevanter Messeinrichtungen Vertikale und horizontale Auflösung Einsatzgebiete Prof. Dr.-Ing. Eberhard Manske, Institut für Prozessmessund Sensortechnik, TU Ilmenau 09:00 Kalibrierung von Rasterkraftmikroskopen für die Rauheitsmessungen Rasterkraftmikroskopie/Atomic Force Microscopy (AFM) Kalibrierung/Calibration Rauheit/Roughness dimensionelle Nanometrologie/dimensional nano metrology Dipl. Phys. Torsten Dziomba, Wissenschaftlicher Mitarbeiter, Bereich Rastersondenmikroskopie, Peter Krebs, Dr. Ludger Koenders, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig 09:25 Kohärente und inkohärente Interferometrie Interferometrie und Interferenzmikroskopie kohärentes/inkohärentes Licht Phasenmessende Interferometrie Weißlichtinterferometrie Prof. Dr.-Ing. habil. Peter Lehmann, Fachgebiets leiter Messtechnik, Universität Kassel 09:50 Prinzipien der punktweisen und flächenhaften konfokalen Messtechnik Prinzipien der Konfokalen Topographiemessung konfokale Punktsensoren flächenhafte Konfokalsensoren Grenzen und Potentiale der Konfokaltechnik Dr. Jürgen Koglin, Leiter Applikation, FRT Fries Research & Technology GmbH, Bergisch Gladbach, Dr. rer.nat. Georg Wiora, NanoFocus AG, Oberhausen 10:15 Dimensionelles Messen durch Fokusvariation Prinzip der Fokusvariation Messen von Form und Rauheit Einfluss der Oberflächenbeschaffenheit auf das Messergebnis Dipl.-Math. Franz Helmli, Alicona Imaging GmbH, Graz (A)

4 Donnerstag, 24. Oktober :40 Messung von Mikromerkmalen mit Computer tomografie, taktil-optischen und optischen Fasersensoren Hochgenaue Erfassung von Merkmalen an Mikrostrukturen mittels 2D- und 3D-Fasersensoren in einem Multisensorkoordinatenmessgerät. Bestimmung innenliegender bzw. schwer zugänglicher Mikromerkmale mittels Computertomografie und automatische Korrektur dieser Ergebnisse. Dipl.-Ing. Thomas Wiedenhöfer, Leiter Forschungs- und Entwicklungskooperationen, Dr.-Ing. Ingomar Schmidt, Werth Messtechnik GmbH, Gießen 11:05 Ein Faires Datenblatt für optische Topographiemessgeräte Warum brauchen wir ein standardisiertes Datenblatt? Ausgewählte Kenngrößen des Fairen Datenblattes Dr. rer. nat. Wilfried Bauer, Product und Business Manager, Polytec GmbH, Waldbronn, Dr. rer. nat. Georg Wiora, NanoFocus AG, Oberhausen, Dipl.-Math. Franz Helmli, Alicona Imaging GmbH, Graz (A) 11:30 Kaffeepause und Besuch der Ausstellung 12:00 Kalibrierung von Messeinrichtungen Prof. Dr.-Ing. Eberhard Manske, Techn. Universität Ilmenau 12:05 Normale für die optische Oberflächenmesstechnik Geometrienormale für die flächenhafte Rauheitsmesstechnik (Topografie) Geometrienormale für die sichere Messung von Mikroform optische Messverfahren (Interferometrie & konfokale Systeme) Dipl.-Ing. André Felgner, F&E im Bereich optische Rauheitsmesstechnik, Dr. Ing. Rolf Krueger-Sehm (ehem. PTB), Dr. Ing. Rudolf Meeß, Physikalisch Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig 12:30 Messen rauer Oberflächen optisch und taktil vergleichbar? Rückführungskette durch Kalibrierung Bandbreite Unsicherheitskomponenten Dr.-Ing. Rolf Krüger-Sehm, Beratung und Standardi sierung, Fertigungsmesstechnik, (ehem.) Physik.-Techn.- Bundesanstalt, Vordorf 12:55 Kalibrierung-Rückführbarkeit-Vergleichbarkeit Messunsicherheit: Fallbeispiel Messen von Formelementen Definition von Formelementen bei idealen und bei realen Geometrien Strategien zur Bestimmung der Begrenzung von Formelementen Unsicherheit von aus Formelementen abgeleiteten Maßen Prof. Dr.-Ing. Rainer Tutsch, Institutsleiter, Dr.-Ing. Marcus Petz, Institut für Produktions messtechnik, Technische Universität Braunschweig 14:30 bis 15:20 Uhr 4 Tutorials 15:20 bis 16:10 Uhr Wiederholung der 4 Tutorials Normgerechtes Messen und Auswerten der Oberflächenrauheit Konfokale Rauheitsmessung am Beispiel eines Mobilsystems Praxisgerechte Wahl von Messbedingungen Funktions- und fertigungsorientierte Auswertung Dipl.-Ing. Thorsten Höring, Strategische Entwicklung und Innovationsmanagement, NanoFocus AG, Oberhausen Möglichkeiten und Grenzen taktiler Mess einrichtungen laterale und vertikale Eigenschaften taktiler Sensoren beim Messen von Konturen physikalische und technische Grenzen Vergleich zwischen Groß- und Kleinsignal verhalten beim Messen von Rauheit und Kontur Anwendungsbeispiele mit Messgeräten Dr. Andreas Beutler, R&D Advanced Technologies, Mahr GmbH, Göttingen, Dr. Raimund Volk, Leiter Grundlagenentwicklung, JENOPTIK, Industrielle Messtechnik GmbH, Villingen-Schwenningen Laterale und vertikale Auflösung von optischen Messeinrichtungen Theorie und Praxis laterale und vertikale Eigenschaften optischer Sensoren Live-Messungen Möglichkeiten zur Überwindung bestehender physikalischer und technischer Grenzen Dr. rer. nat. Wilfried Bauer, Product und Business Manager, Polytec GmbH, Waldbronn, Dr. Jürgen Koglin, Leiter Applikation, FRT Fries Research & Technology GmbH, Bergisch Gladbach Anwendungen und Grenzen der Computer tomografie Artefaktkorrektur Multisensorik Koordinatenmesstechnik Prof. Dr. Marc Kachelrieß, Leiter des Bereichs Röntgenbildgebung und Computertomografie, Deutsches Krebsforschungszentrum (DKFZ), Heidelberg, Dipl.-Ing. Martin Heath, Werth Mess technik GmbH, Gießen 16:10 Schlussworte Prof. Dr.-Ing. Jörg Seewig, TU Kaiserslautern 16:20 Ende der Fachtagung 13:20 Mittagspause und Besuch der Ausstellung

5 Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik 2013 Vorwort Die 5. VDI/VDE Fachtagung Metrologie für die Mikro- und Nanotechnik gibt einen umfassenden Überblick über die norm- und praxisgerechte Auswertung, Charakterisierung und Tolerierung von Rauheit und Mikroformelementen unter Berücksichtigung aktueller technischer Regeln. Als messtechnische Basis dienen die taktile Profilometrie, Rastersondenmikroskopie, Interferometrie, konfokale Mikroskopie, Fokusvariation und die Computer-Tomografie. Es werden zudem die physikalischen Grundlagen industrierelevanter Messeinrichtungen und deren Kalibrierung vorgestellt. Am Beispiel optischer Messeinrichtungen wird von Messgeräteherstellern übergreifend diskutiert, wie Datenblätter dem Kunden gegenüber fair gestaltet werden können. Anwendungsorientierte Tutorials z.b. über das normgerechte Auswerten von Oberflächenrauheit, das Ermitteln der lateralen und vertikalen Auflösung optischer Messeinrichtungen oder über Anwendungen und Grenzen der Computer-Tomografie, geben praktische Hinweise für alle, die sich täglich mit dem Thema dimensionelle Messtechnik im Bereich der Mikro- und Nanotechnik auseinandersetzen müssen. Prof. Dr.-Ing. Jörg Seewig Tagungsleiter Programmausschuss Dr. rer. nat. Wilfried Bauer, Polytec GmbH, Waldbronn Dipl.-Ing. Jürgen Berthold, VDI/VDE-GMA, Düsseldorf Dr. Dipl.-Phys. Jürgen Koglin, Fries Research & Technology GmbH, Bergisch Gladbach Dr. rer. nat. Sven Schröder, Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik, Jena Prof. Dr.-Ing. Jörg Seewig, Universität Kaiserslautern (Vorsitz) Dipl.-Ing. Thomas Wiedenhöfer, Werth Messtechnik GmbH, Gießen Dr. rer. nat. Georg Wiora, NanoFocus AG, Oberhausen Fachlicher Träger VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA) Die VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA) ist eine gemeinsame Fachgesellschaft des VDI und des VDE. In etwa 75 Gremien werden aktuelle Fragestellungen zur Mess- und Automatisierungstechnik und zu Optischen Technologien behandelt. Handlungsempfehlungen in Form von VDI-Richtlinien, Erfahrungsaustausch und Veranstaltungen sind Ergebnisse der GMA-Aktivitäten. Fachausstellung und Sponsoring Sie möchten Kontakt zu den hochkarätigen Teilnehmern dieser VDI-Tagung aufnehmen und Ihre Produkte und Dienstleistungen einem Fachpublikum Ihres Marktes ohne Streuverluste präsentieren? Vor, während und nach der Veranstaltung bieten wir Ihnen vielfältige Möglichkeiten, rund um das Tagungsgeschehen Flagge zu zeigen und mit Ihren potenziellen Kunden ins Gespräch zu kommen. Informationen zu Ausstellungsmöglichkeiten und zu individuellen Sponsoringangeboten erhalten Sie von: Frau Antonia Schlemmer Projektreferentin Ausstellungen & Sponsoring Telefon:

6 Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik 2013 Praxisgerechte Anwendung von Messeinrichtungen für die Rauheit und Mikroform VDI Wissensforum GmbH, Postfach , Düsseldorf 1111 VDI Wissensforum GmbH Kundenzentrum Postfach Düsseldorf Telefon: Telefax: Internet: Ich nehme an der 5. VDI/VDE Fachtagung Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik 2013 am 23. und 24. Oktober 2013 in Nürtingen teil. (01TA702013) Ich interessiere mich für Ausstellungs- und Sponsoringmöglichkeiten. Bitte Preiskategorie wählen Preisstufe Preis p./p. zzgl. MwSt. Teilnahmegebühr 1 EUR 860,- persönliche VDI/VDE-Mitglieder 2 EUR 760,- hochschulang. VDI/VDE-Mitglieder 2 EUR 430,- VDI/VDE-Mitgliedsnummer (Für die Preisstufen 2 und 3 ist die Angabe der VDI- bzw. VDE-Mitgliedsnummer erforderlich.) Ich nehme an folgenden 2 Tutorials teil: Tutorial 1: Normgerechtes Messen und Auswerten der Oberflächenrauheit Tutorial 2: Möglichkeiten und Grenzen taktiler Messeinrichtungen Tutorial 3: Laterale und vertikale Auflösung von optischen Messeinrichtungen Theorie und Praxis Tutorial 4: Anwendungen und Grenzen der Computertomografie Nachname Vorname Abteilung Titel Anmeldungen müssen schriftlich erfolgen. Anmeldebestätigung und Rechnung werden zugesandt. Gebühr bitte erst nach Rechnungseingang unter Angabe der Rechnungsnummer überweisen. Veranstaltungsort BEST WESTERN Hotel Am Schlossberg Europastr. 13, Nürtingen Tel.: , Fax: info@schlossberg.bestwestern.de Tagungsbüro Dienstag, 23. Oktober :30 18:00 Uhr Mittwoch, 24. Oktober :30 16:00 Uhr Während der Tagung erreichen Sie uns unter: Zimmerbuchung Im Tagungshotel ist ein Kontingent für die Tagungsteilnehmer zum Sonderpreis vorreserviert. Bitte reservieren Sie Ihr Zimmer unter dem Stichwort VDI möglichst frühzeitig, das Abrufkontingent mit Sonderpreisen gilt bis zum 13. Sept Tel.: ; Fax: ; info@schlossberg.bestwestern.de Weitere Hotels in der Nähe des Veranstaltungsortes finden Sie auch über unseren kostenlosen Service von HRS, Leistungen: Im Leistungsumfang sind die Tagungsunterlagen (VDI Bericht Nr.: 2133), Pausengetränke, Mittagessen sowie die Abendveranstaltung enthalten. Die Tagungsunterlagen werden den Teilnehmern am Veranstaltungsort ausgehändigt. Tätigkeitsbereich Funktion Firma/Institut Straße/Postfach PLZ, Ort, Land Telefon Telefax Abweichende Rechnungsanschrift Teilnehmer mit Rechnungsanschrift außerhalb von Deutschland, Österreich und der Schweiz zahlen bitte mit Kreditkarte. Visa Mastercard American Express Karteninhaber Kartennummer gültig bis (MM/JJ) Exklusiv-Angebot: Als Teilnehmer dieser Veranstaltung bieten wir Ihnen eine 3-monatige, kostenfreie VDI-Probemitgliedschaft an. (Dieses Angebot gilt ausschließlich bei Neuaufnahme) Geschäftsbedingungen: Mit der Anmeldung werden die Geschäftsbedingungen der VDI Wissensforum GmbH verbindlich anerkannt. Abmeldungen müssen schriftlich erfolgen. Bei Abmeldungen bis 14 Tage vor Veranstaltungsbeginn erheben wir eine Bearbeitungsgebühr von 50, zzgl. MwSt. Nach dieser Frist ist die volle Teilnahmegebühr gemäß Rechnung zu zahlen. Maßgebend ist der Posteingangsstempel. In diesem Fall senden wir die Veranstaltungsunterlagen auf Wunsch zu. Es ist möglich, nach Absprache einen Ersatzteilnehmer zu benennen. Einzelne Teile der Veranstaltung können nicht gebucht werden. Muss eine Veranstaltung aus unvorhersehbaren Gründen abgesagt werden, erfolgt sofortige Benachrichtigung. In diesem Fall besteht nur die Verpflichtung zur Rückerstattung der bereits gezahlten Teilnahmegebühr. In Ausnahmefällen behalten wir uns den Wechsel von Referenten und/oder Änderungen im Programmablauf vor. In jedem Fall beschränkt sich die Haftung der VDI Wissensforum GmbH ausschließlich auf die Teilnahmegebühr. Datenschutz: Die VDI Wissensforum GmbH erhebt und verarbeitet Ihre Adressdaten für eigene Werbezwecke und ermöglicht namhaften Unternehmen und Institutionen, Ihnen im Rahmen der werblichen Ansprache Informationen und Angebote zukommen zu lassen. Bei der technischen Durchführung der Datenverarbeitung bedienen wir uns teilweise externer Dienstleister. Wenn Sie zukünftig keine Informationen und Angebote mehr erhalten möchten, können Sie bei uns der Verwendung Ihrer Daten durch uns oder Dritte für Werbezwecke jederzeit wider sprechen. Nutzen Sie dazu die Adresse: wissensforum@vdi.de oder eine andere oben angegebene Kontaktmöglichkeit. Prüfziffer Datum Unterschrift X