Benutzer-handbuch. CEM Flüssigkeitsdosiersystem mit geregelter Verdampfung. Doc. no.: I Date:

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1 Benutzer-handbuch CEM Flüssigkeitsdosiersystem mit geregelter Verdampfung Doc. no.: I Date: ACHTUNG Es wird empfohlen, vorliegendes Benutzer-Handbuch vor dem Einbau und vor der Inbetriebnahme des Produktes sorgfältig zu lesen. Die nichtbeachtung der Anleitung kann Personenschäden und/oder Beschädigungen der Anlage zur Folge haben.

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3 BRONKHORST HIGH-TECH Auch wenn die Informationen und Inhalte in diesem Manual nach bestem technischen Wissen und Gewissen erstellt worden sind, so können wir keine Verantwortung für Inhalte, Missverständnisse, Fehler, Ungenauigkeiten der Angaben oder ähnliches übernehmen. Der Verwendungszweck dieser Anleitung hat rein informativen Zweck und die Inhalte können ohne Ankündigung jederzeit geändert werden. Garantiebedingungen Bronkhorst HIGH-TECH B.V. Juli 2011 Die Garantie der Produkte von Bronkhorst High-Tech BV bezieht sich auf den bestimmungsgemäßen Gebrauch und auf Material- und Verarbeitungsfehler. Die Garantiezeit beträgt 36 Monate beginnend vom Versanddatum des Werks. Voraussetzung ist der Betrieb innerhalb der bestellten und bestätigten Spezifikationen sowie dem Einhalten der Anwendungs- und Installationsinstruktionen aus dem Betriebshandbuch. Schäden bedingt durch physikalische Einflüsse oder Kontamination sind ausgeschlossen.geräte, die nicht einwandfrei arbeiten, können während der Garantiefrist kostenlos repariert oder ausgetauscht werden. Für Reparaturen gilt in der Regel eine Garantiefrist von einem Jahr, es sei denn, die restliche Garantiefrist ist länger. Es gilt also immer die für den Kunden günstigere Frist. Siehe auch Paragraph 9 von die Allgemeine Lieferbedingungen. Die Garantie gilt für alle offenen und versteckten Mängel, Zufallsfehler und nicht bestimmbare Ursachen. Ausgeschlossen sind hingegen alle Störungen und Schäden, die vom Verwender verursacht wurden, wie z.b. Kontamination, fehlerhafter elektrischer Anschluß, mechanische Beschädigungen, usw. Für die Wiederherstellung von Geräten, die zur Garantiereparatur eingesandt wurden, bei denen ein Garantieanspruch aber nicht oder nur teilweise besteht, werden die Reparaturkosten entsprechend in Rechnung gestellt. Bronkhorst HIGH-TECH B.V. trägt die Versandkosten für ausgehende Sendungen mit Geräten und Teilen, die ausschließlich Garantieleistungen darstellen, wenn nichts anderes im voraus vereinbart wurde. Wenn jedoch die Anlieferung bei Bronkhorst HIGH-TECH B.V. unfrei erfolgt war, werden die Kosten dafür den Reparaturkosten zugeschlagen. Import- und/oder Exportabgaben sowie Kosten Dritter trägt der Kunde Seite 3

4 BRONKHORST HIGH-TECH Bedienungsanleitung in Kurzform Bevor Sie Ihr CEM-System installieren, lesen Sie bitte das Typenschild und prüfen Sie: * Meßbereich * zu regelndes / zu verdampfendes Fluid * Vor- und Hinterdruck * Ausgangssignale * Heizungstemperatur Beachten Sie den roten Aufkleber und versichern Sie sich, daß der Testdruck mit den normalen Sicherheitsfaktoren für Ihre Anwendung übereinstimmt. Überprüfen Sie, ob das Rohrsystem sauber ist. Für absolute Sauberkeit müssen immer Filter installiert sein, um einen fremdkörperfreien Flüssigkeitsstrom sicherzustellen. Installieren Sie das CEM-System und befestigen Sie die Anschlüsse gemäß Herstelleranweisung. Bitte Überprüfen Sie immer das System nach Undichtigkeiten bevor es mit Mediumsdruck beaufschlagt wird. Dies gilt besonders, wenn toxische, gefährliche Medien verwendet werden. In Systemen mit korrosiven oder reaktiven Fluids ist das Spülen mit einem Inertgas bevor Gebrauch absolut notwendig. Nach Gebrauch ist vollständiges Spülen auch erforderlich bevor das System der Luft ausgesetzt wird. Nach dem Einschalten der Spannungsversorgung benötigt das Gerät eine Aufwärm- und Stabilisierungszeit von ca. 30 Minuten. Dies muß ohne Flüssigkeitsstrom vorgenommen werden. Nun ist Ihr CEM-System betriebsbereit. Versichern Sie sich, daß Ihr Flüssigkeitssystem frei von Gasblasen ist. Falls notwendig, entfernen Sie zur Entlüftung die Entlüftungsschraube auf der Oberseite des CEM- Regelventils. Seite

5 BRONKHORST HIGH-TECH INHALTSVERZEICHNIS 1 Einführung 1.1 Allgemeine Beschreibung... Seite Funktionsweise... Seite CEM-Aufbau... Seite 7 2 Installierung 2.1 Eingang der Sendung... Seite Rücksendung... Seite Service... Seite Einbaulage... Seite Einfüllen der Flüssigkeit... Seite In-Line-Filter... Seite Flüssigkeitsanschlüsse... Seite Elektrische Anschlüsse... Seite Sicherheitshinweise... Seite Betriebsdruck... Seite Reinigung des Systems... Seite Dichtungen... Seite 9 3 Betrieb 3.1 Allgemein... Seite Spannungsversorgung und Aufwärmen... Seite Starten / Ausschalten... Seite 10 4 Kabel 4.1 EMC und Kabel... Seite 12 Anhang Empfehlungen für die Anwendung des DLI (CEM) Systems von Bronkhorst High-Tech A. Vakuum-System B. Überdruck-System Seite 5

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7 BRONKHORST HIGH-TECH 1 Einführung 1.1 Allgemeines Mit dem CEM-System von Bronkhorst High-Tech können Massendurchflußregelungen von Dämpfen und Gemischen, die bis zu 1000 g/h Dampf enthalten, durchgeführt werden. Das komplette System ist eine Kombination aus Mischventil, Heizung, Flüssigkeitsmesser mit Regelfunktion und Massendurchflußregler für das Trägergas. Der Flüssigkeitsfluß durch den Flüssigkeitsmesser wird durch das Mischventil geregelt. Ein vollständiges System beinhaltet außerdem eine Auswerte-/Regeleinheit mit Spannungsversorgung für den Betrieb der verschiedenen Geräte des CEM-Systems. 1.2 Funktionsweise Die Abkürzung CEM steht für: C die Regelung des Flusses einer Gasmischung, eines Gases, einer Flüssigkeit oder Flüssigkeits-/Gasmischung, E die Verdampfung des Flusses einer Flüssigkeits-/Gasmischung durch eine temperaturgeregelte Heizung, M die Mischung eines Gases und einer Flüssigkeit (Dampf). Bei Raumtemperatur wird die Flüssigkeit, z.b. Wasser oder TEOS, aus einem Vorratsbehälter mit Inertgas-Polster oder einer Membrane abgezogen und von einem Massendurchflußmesser für Flüssigkeiten der Modellreihen µ- FLOW* oder LIQUI-FLOW*gemessen. Die Regelung des Durchflusses auf den Sollwert erfolgt durch ein Regelventil, das ein integrierter Bestandteil des CEM -Systems ist. Ein von einem Massendurchflußregler* geregeltes Trägergas wird verwendet, um den Verdampfungsprozess als Mischkomponente anzuregen und außerdem, um den Dampf weiterzuleiten. Der Vorgang zeichnet sich durch hohe Reproduzierbarkeit und Genauigkeit aus. Die völlige Verdampfung der Flüssigkeit erfolgt im Verdampfer. * Bitte beachten Sie die entsprechenden Bedienungsanleitungen für diese Geräte. 1.3 CEM-Aufbau Das CEM -System besteht aus drei verschiedenen Teilen; einem Regelventil, einem Mischgerät und einem Wärmetauscher, in dem der Flüssigkeitsmischung zur Verdampfung und zur Verhinderung von Kondensation Wärme zugefügt wird. Die Temperatur des Wärmetauschers wird durch einen Temperaturregler geregelt, der in der Auswerte- und Regeleinheit enthalten ist Seite 7

8 2 INSTALLATION BRONKHORST HIGH-TECH 2.1 Eingang, Auspacken, Kontrolle der Sendung Verpackung auf äußere, vom Transport herrührende Schäden untersuchen. Sind solche vorhanden, muß das Transportunternehmen verständigt werden, um diese zu begutachten. Gleichzeitig sollte der Lieferant verständigt werden. Paket mit Lieferschein und Geräten vorsichtig auspacken. Den Inhalt anhand des Lieferschein auf Vollständigkeit und auf evtl. Schäden kontrollieren. Kleinteile nicht mit dem Verpackungsmaterial wegwerfen. 2.2 Rücksendungen Sofern Sie Geräte zurücksenden, teilen Sie in einem Begleitschreiben mit, was Sie zu beanstanden haben. Bitte teilen Sie dabei unbedingt mit, ob mit dem Gerät giftige oder gefährliche Fluids gemessen wurden. Ist dies der Fall, muß das Gerät vorher vom Anwender sachkundig und sorgfältig gereinigt werden. Verpacken Sie das Gerät sorgfältig, wenn möglich in der Originalverpackung; es muß in einer Plastikhülle verschlossen sein. Kontaminierte Geräte müssen mit einer vollständig ausgefüllten Erklärung über die Art der Kontaminierung versandt werden, sofern es nicht möglich ist, diese vorher zu reinigen. Kontaminierte Geräte ohne diese Erklärung werden nicht angenommen. Dies ist unbedingt notwendig, um die Gesundheit unserer Mitarbeiter in der Serviceabteilung zu schützen. Wichtig: Notieren Sie auf dem Paket deutlich die Verzollungskundennummer von Bronkhorst High-Tech B.V.: 2.3 Service NL B01 Wenn die Geräte nicht sachgemäß gewartet werden, muß mit Gefahr für das Bedienungspersonal und Schäden an den Geräten gerechnet werden. Es ist daher wichtig, daß die Wartung von ausgebildetem und qualifiziertem Servicepersonal ausgeführt wird. Nehmen Sie ggf. unseren Werksservice in Anspruch. 2.4 Einbaulage Das CEM-System sollte in vertikaler Position montiert werden, wobei das Regelventil nach oben und der Dampfausgang nach unten ausgerichtet sein muß. Das System sollte nicht in der Nähe einer starken Wärmequelle installiert werden und der die Stelle muß frei von mechanischen Erschütterungen bzw. Vibrationen sein. 2.5 Einfüllen der Flüssigkeit Mit dem Spülanschluß kann Luft aus dem Flüssigkeitssystem entfernt werden. Falls erforderlich, entfernen Sie die Luft aus dem Ventil und dem Flüssigkeitsmesser mittels Vakuum, bevor Sie die Flüssigkeit einfüllen. 2.6 In-Line-Filter Obwohl Flüssigkeiten und Verrohrung absolut schmutzfrei sein müssen, empfiehlt sich der Einbau eines In-Line- Filters vor dem Meßgerät. Seite

9 BRONKHORST HIGH-TECH 2.7 Fluidanschlüsse Beachten Sie beim Anschluß des Flüssigkeitsmessers die entsprechende Bedienungsanleitung. Der Ausgang dieses Meßgerätes sollte am Flüssigkeitseingangsport des CEM-Ventils angeschlossen werden. Das CEM-Ventil wird vom Reglerteil des Flüssigkeitsmessers geregelt. Elektrische Anschlüsse müssen entsprechend der Kundensystembeschreibung ausgeführt werden. Der Ausgang des Gasflußreglers muß am Gaseingangsport des CEM-Ventils angeschlossen werden. Der Dampfauslaß des CEM sollte direkt an den Prozess angeschlossen sein. Die Temperatur in diesem Rohr sollte höher sein als in der Heizung, um eine Kondensation des Dampfes in dieser Rohrleitung zu verhindern. Vermeiden Sie Kältebrücken am Auslaß. Anmerkung: Überprüfen Sie das System bevor es mit Mediumsdruck beaufschlagt wird. 2.8 Elektrische Anschlüsse Bronkhorst High-Tech B.V. empfiehlt die Verwendung ihrer Standardkabel, die mit dem System zusammen getestet wurden. Diese Kabel haben die richtigen Anschlüsse. Falls lose Enden verwendet werden, werden diese markiert, um ein falsches Anschließen zu verhindern. 2.9 Vorsichtsmaßnahmen Jedes System wird geprüft mit mindestens 1,5-fachem Betriebsdruck unter den vom Kunden angegebenen Betriebsbedingungen und mit einem Mindestdruck von 8 bar. Dieser Testdruck wird auf dem CEM-Ventil auf einem roten Aufkleber angegeben. Prüfen Sie den Testdruck, bevor Sie das Gerät installieren. Wenn der Aufkleber nicht vorhanden ist oder der Testdruck nicht richtig ist, sollte das Gerät nicht installiert, sondern ans Werk zurückgesandt werden. Jedes Gerät ist mit mindestens mbar l/s Helium nach außen leckgetestet Versorgungsdruck Bevor die elektrischen Anschlüsse hergestellt sind, darf das Gerät nicht unter Druck gesetzt werden. Wenn Sie dem Gerät Druck zuführen, achten Sie darauf, Druckstöße im System zu vermeiden, und erhöhen Sie den Druck stufenweise. Versichern Sie sich, daß dabei alle Sollwerte auf 0 sind Reinigung des Systems Falls korrosive oder explosive Fluids verwendet werden, ist das Spülen mit einem Inertgas absolut notwendig, denn wenn die Rohre der Luft ausgesetzt werden, entsteht eine chemische Reaktion mit Luft oder Luftfeuchte, die zum Korrodieren oder Verschmutzen des Systems führt. Vollständiges Spülen ist auch erforderlich, um derartige Fluids zu entfernen, bevor das System der Luft ausgesetzt wird. Das System sollte nicht mit Luft in Berührung kommen, wenn mit solchen korrosiven Fluids gearbeitet wird. Kreislaufspülung und Evakuierung sind zu bevorzugen Dichtungen Bronkhorst High-Tech hat eine Liste beständiger Dichtungswerkstoffe aus verschiedenen Quellen zusammengetragen. Es handelt sich jedoch nur um eine allgemeine Empfehlung, deren Zuverlässigkeit erheblich von den Betriebsbedingungen abhängt. Daher kann Bronkhorst High-Tech keine Haftung übernehmen für Schäden, die durch Beschädigungen von Dichtungen entstehen. Der Kunde muß für seinen speziellen Anwendungsfall die Zuverlässigkeit des verwendeten Dichtungsmaterials überprüfen. Versichern Sie sich daher, ob die Dichtungen für den Prozess geeignet sind. Das CEM-System hat jedoch für alle Anschlüsse Metalldichtungen. Nur der Ventilkegel ist eine elastomere Dichtung Seite 9

10 BRONKHORST HIGH-TECH 3 Betrieb 3.1 Allgemeines Das CEM -System von Bronkhorst High-Tech ist so konstruiert, daß es die Anforderungen des Anwenders in größtmöglicher Weise erfüllt. Um gute Ergebnisse zu erzielen, beachten Sie bitte die in den folgenden Abschnitten aufgeführten Richtlinien. 3.2 Einschalten und Aufwärmen Bevor Sie die Stromzufuhr einschalten, prüfen Sie, ob alle Anschlüsse entsprechend der Systembeschreibung und/oder dem Anschlußplan durchgeführt sind. Prüfen Sie die Flüssigkeits- und Gasanschlüsse auf Dichtigkeit. Wenn Sie nun die Stromzufuhr einschalten, warten Sie mindestens 30 Minuten, damit sich das Gerät thermisch stabilisieren kann. Starten Sie den Flüssigkeitsregler, wie in der entsprechenden Bedienungsanleitung beschrieben. Während der Aufwärmphase kann der Wärmetauscher auf Betriebstemperatur gebracht werden. 3.3 Anfahren / Herunterfahren Versichern Sie sich, daß die Temperatur des Wärmetauschers den jeweiligen Prozessbedingungen entspricht. Außerdem sollten alle Drücke die richtigen Werte aufweisen. Danach muß der Trägergasfluß richtig eingestellt werden. Wenn dieser Fluß stabilisiert ist, kann der Flüssigkeitsfluß im System gestartet werden, indem der Sollwert des Flüssigkeitsreglers langsam erhöht wird. Jetzt ist Ihr CEM - System in Betrieb. Beim Herunterfahren des Systems verfahren Sie in umgekehrter Reihenfolge. Zuerst muß der Flüssigkeitsfluß und dann der Gasfluß gestoppt werden. Anmerkung: Versichern Sie sich, daß bei Flüssigkeitsfluß immer auch Gasfluß vorhanden ist. Betriebsbeispiel: Anwendung: Erzeugung von feuchtem Gas Das CEM-System kann zur Erzeugung einer bestimmten Feuchte in einem Gasfluß verwendet werden. Der Gasfluß wird durch den Gasflußregler F-201 geregelt und die Feuchte, das Wasser, wird durch den LIQUI-FLOW-Regler geregelt. Das Wasser wird mit dem Gas vermischt und danach verdampft. Die Feuchte entspricht bei einer bestimmten Temperatur einem bestimmten Verhältnis von Gas und Wasser; dieses Verhältnis kann mit dem Durchflußregler festgelegt werden. Beispiel: Bei atmosphärischem Druck und bei 80 C sollen 2 ln/min Luft befeuchtet werden. Welcher Wasserfluß wird benötigt für eine relative Feuchte von 50 %? Der Dampfdruck von Wasser bei 80 C ist mbar (siehe Graphik). Bei 100 % relativer Feuchte ist das Mol-Verhältnis zwischen Gas und Wasser: Das Mol-Verhältnis: X ( ) Daher ist in einem Gasfluß von 2 ln/min der gesättigte Wassergehalt (100% r.f.): und in [g/h] water X gas [ln/min] 1.752[ ln min ] 18[ 22.4[ g mol ln mol ] 60[ ] min h ] 83.5 [g/h] Seite

11 BRONKHORST HIGH-TECH Bei 50 % relativer Feuchte ist das Mol-Verhältnis zwischen Gas und Wasser: e r. h.% 100 e [mbar] 100 e sat Das Mol-Verhältnis: X ( ) Daher ist in einem Gasfluß von 2 ln/min der gesättigte Wassergehalt (50% r.f.): water X gas [ln/min] und in [g/h] 0.61[ ln min ] 18[ 22.4[ g mol ln mol ] 60[ ] min h ] [g/h] Ergebnis: bei 50% relativer Feuchte, dem Gasfluß ist g/h Seite 11

12 BRONKHORST HIGH-TECH 4 Kabel Die Verwendung von Bronkhorst High-Tech Standardkabeln wird empfohlen. 4.1 EMC und Kabel Alle in diesem Handbuch beschriebenen Geräte tragen das CE-Zeichen. Sie müssen daher den EMC-Anforderungen für diese Ausrüstungen entsprechen. Jedoch ist die Übereinstimmung mit den EMC-Anforderungen nur möglich unter Verwendung der richtigen Kabel und Anschlüsse. Um ein gutes EMC-Verhalten zu erreichen, sollten die Abschirmungen vorsichtig an beiden Kabelenden mit dem Metallgehäuse des Anschlußsteckers verbunden werden. Für Sensoren und Ventile beachten Sie bitte die Hinweise in den entsprechenden Handbüchern. Seite

13 ANHANG Empfehlungen für die Anwendung des CEM-Systems von Bronkhorst High-Tech Vakuum-System Überdruck-System

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15 Vakuum-System Inertgassupply Vacuum Vacuum LFM MFC Carrier Processgas 3 5 Liquid Gas CEM Heated line Liquid Valve Process Vacuum A) Füllen des Systems: Vorgang: A1) Evakuieren der Vakuum-Rohrleitungen. Pumpen starten A2) Evakuieren aller Rohrleitungen Schließen: 2, 3, 5, 10 und 9. Inertgas an den Trägergaseinlaß anschließen. Öffnen: 1, 4, 7, 11. Sollwert für Gas- und Flüssigkeitsregelung setzen (Regelventile 6 und 8 offen). Längere Zeit pumpen. Hinweis: wenn das System nicht völlig trocken ist, verfahren Sie wie unter E3, E4 (E5) angegeben A3) Spülen der Rohrleitung zwischen Schließen: 4. Inertgasquelle und Ventil 2 Öffnen Sie Ventil 2 kurz für einige Sekunden. A4) Spülen der Rohrleitung zwischen Prozeß Geben Sie dem Flüssigkeitsmesser Sollwert 0 Gasquelle und Gas MFC (6 schließt). Öffnen Sie Ventil 9 kurz für einige Sekunden. A5) Evakuieren von Flüssigkeits dämpfen. 3 kurz öffnen und wieder schließen. A6) Flüssigkeitsversorgung unter Druck setzen. Schließen Sie 1, geben Sie der Inertgas- Versorgung den richtigen Druck. Öffnen Sie 2, öffnen Sie 3 kurz. A7) Füllen von Flüssigkeit in das System (1). Während des Füllens des System lassen in das Trägergasrohr fließen. Schließen Sie 7. Öffnen Sie 5 kurz, lassen Sie das Mischventil auffüllen. A8) Optional: Entgasung des Mischventils Öffnen Sie 7. Um zu verhindern, daß zu viel Flüssigkeit weggepumpt wird, eignet sich am besten ein Nadelventil. A9) Das System ist nun betriebsbereit. Anlage, Seite 3

16 B) Aufstart des Prozesses: Vorgang: B1) Einstellen der CEM-Heizung auf die richtige Temperatur Geben Sie dem Temperaturregler einen Sollwert, warten Sie, bis die Temperatur erreicht ist. B2) Starten des Gasflusses. (1) Öffnen Sie 9. Geben Sie dem Gas-MFC einen Sollwert.. B3) Starten des Flüssigkeitsflusses. Geben Sie dem Flüssigkeitsregler einen Sollwert, warten Sie bis zur Stabilisierung. B4) Verbindung mit dem Prozeß. Öffnen Sie 10, schließen Sie 11. C) Beenden des Prozesses Vorgang: C1) Prozeß abschließen. Öffnen Sie 11, schließen Sie 10. C2) Flüssigkeitsfluß stoppen. Geben Sie dem Flüssigkeitsregler den Sollwert 0. C3) Optional: Gasfluß stoppen. (1) Geben Sie dem Gas-MFC den Sollwert 0. D) Einstellung des Systems über Nacht: Vorgang: D1: Versorgungsdruck von Flüssigkeits-zufuhr Schließen Sie 2, schließen Sie 5 und öffnen Sie 1 für einige und Rohrleitungen nehmen. Sekunden.Nehmen Sie den Druck vor der Inertgasversorgung, öffnen Sie 2. D2) Das System wird nicht benutzt. Schließen Sie 3. Pumpen Sie vor allem die Rohrleitungen ab, schließen Sie 2, öffnen Sie 1. D3) Vor dem Start setzen Sie die Schließen Sie 1 und öffnen Sie 2. Flüssigkeitsversorgung unter Druck Öffnen Sie 3 und 5. D4) Das System ist betriebsbereit. Verfahren Sie wie unter B). E) Leeren und Spülen des Systems: (3,4) Vorgang: E1) Befolgen Sie die Anweisungen Einstellung Siehe D1 und D2. des Systems über Nacht bis Das System wird nicht benutzt. E2) Spülen der Flüssigkeit aus den Öffnen Sie 4 und 7. Rohrleitungen E3) Spülen der Rohre mit Inertgas. Schließen Sie 1. Öffnen Sie 2 für kurze Zeit. E4) Evakuieren des Flüssigkeitssystems Schließen Sie 2, öffnen Sie 1. (wiederholen). E5) Optional: Mehrmalige Wiederholung der letzten 2 Schritte. 1 Versichern Sie sich, daß bei Flüssigkeitsfluß immer auch Trägergasfluß vorhanden ist. Lassen Sie vorzugsweise immer Gasfluß im Trägergasrohr, wenn das System mit Flüssigkeit befüllt wird. 2 Schließen Sie während des Vorgangs den Versorgungsdruck im Flüssigkeitsbehälter. Der Druckregler der Inertgas-Versorgung kann die Stabilität des Flüssigkeitsreglers beeinflussen. 3 Bei explosiven oder aggressiven Flüssigkeiten lassen Sie vorsichtshalber Luft und Wasserdampf ab, bevor Sie das System mit Flüssigkeit befüllen. 4 Bei der Verwendung von explosiven, aggressiven, giftigen oder leicht entflammbaren Flüssigkeiten versichern Sie sich, bevor Sie das System öffnen, ob es vollständig gespült wurde (vorzugweise mit Inert-Flüssigkeit, E3, E4, E5). Hinweise: - bei verunreinigten Flüssigkeiten muß ein Filter vor das Liqui-Flow-Gerät gesetzt werden. - montieren Sie das CEM-System vertikal. Anlage, Seite 4

17 Überdruck-System Inertgassupply Atmospheric / waste LFM 6 MFC 9 Carrier Processgas 3 5 Liquid Gas CEM Liquid Heated line Valve Process Atmospheric / waste A) Befüllen des Systems: Vorgang: A1) Spülen aller Rohrleitungen. Schließen: 3, 5 und 10. Schließen Sie das Inertgas an den Trägergas-Einlaß an. Öffnen: 2, 4, 7, 9 und 11. Geben Sie dem Gasregler einen Sollwert, das Regelventil 8 öffnet sich. Geben Sie dem Flüssigkeitsregler einen Sollwert. Spülen Sie für längere Zeit. A2) Unterdrucksetzen der Flüssigkeitsversorgung. Schließen Sie 4, geben Sie der Inertgas- Versorgung den richtigen Druck. Öffnen Sie 3.. A3) Befüllen des Systems mit Flüssigkeit. (1) Beim Befüllen des Systems muß Gasfluß im Trägergasrohr sein. Öffnen Sie kurz 5, befüllen Sie mit Mischventil 6. Wenn keine Gasblasen mehr im System vorhanden sind, schließen Sie 7. A4) Das System ist nun betriebsbereit. 1 Versichern Sie sich, daß bei Flüssigkeitsfluß immer auch Trägergasfluß vorhanden ist. Lassen Sie immer Gasfluß im Trägergasrohr, wenn das System mit Flüssigkeit befüllt wird. Anlage, Seite 5

18 B) Aufstart des Prozesses: Vorgang: B1) Einstellen der CEM-Heizung auf die richtige Temperatur Geben Sie dem Temperaturregler einen Sollwert, warten Sie, bis sich die Temperatur stabilisiert hat B2) Starten des Gasflusses. (1) Geben Sie dem Gasregler einen Sollwert. B3) Starten des Flüssigkeitsflusses. (2) Geben Sie dem Flüssigkeitsregler einen Sollwert, warten Sie bis zur Stabilisierung. B4) Verbindung mit dem Prozess. Öffnen Sie 10, schließen Sie 11. C) Beenden des Prozesses: Vorgang: C1) Prozeßleitung absperren. Öffnen Sie 11, schließen Sie 10. C2) Stoppen der Flüssigkeitszufuhr. Geben Sie dem Flüssigkeitsregler den Sollwert 0. C3) Optional: Stoppen des Gasflusses. Geben Sie dem Gasregler den Sollwert 0. D) Einstellen des Systems über Nacht: Vorgang: D1) Versorgungsdruck von Flüssigkeitszufuhr und Schließen Sie 5. Rohrleitungen nehmen. Nehmen Sie den Druck von der Inertgas-versorgung. Öffnen Sie 2. D2) Das System wird nicht benutzt. Schließen Sie 3. Schließen Sie 2. D3) Vor dem Start setzen Sie die Öffnen Sie 2. Flüssigkeitsversorgung unter Druck Öffnen Sie 3 und 5. D4) Das System ist betriebsbereit. Verfahren Sie wie unter B). (3, 4) E) Entleeren und Spülen des Systems: Vorgang: E1) Befolgen Sie die Anweisungen Einstellung des Siehe D1 und D2. Systems über Nacht bis Das System wird nicht benutzt. E2) Spülen der Flüssigkeit aus den Rohrleitungen. Öffnen Sie 4 und 7, öffnen Sie 2 E3) Spülen der Rohre mit Inertgas. Spülen Sie längere Zeit. E4) Optional: Spülen mit Inert-Flüssigkeit. Schließen Sie die Inertflüssigkeit an die Inertgas- Versorgung an. Verfahren Sie wie unter E2. E5) Optional: Mehrmaliges Ändern von E3 und E4. 1 Versichern Sie sich, daß bei Flüssigkeitsfluß immer auch Trägergasfluß vorhanden ist. Lassen Sie immer Gasfluß im Trägergasrohr, wenn das System mit Flüssigkeit befüllt wird. 2 Schließen Sie während des Vorgangs den Versorgungsdruck im Flüssigkeitsbehälter. Der Druckregler der Inertgas-Versorgung kann die Stabilität des Flüssigkeitsreglers beeinflussen. 3 Bei explosiven oder aggressiven Flüssigkeiten lassen Sie vorsichtshalber Luft und Wasserdampf ab, bevor Sie das System mit Flüssigkeit befüllen. 4 Bei der Verwendung von explosiven, aggressiven, giftigen, toxischen oder leicht entflammbaren Flüssigkeiten versichern Sie sich, bevor Sie das System öffnen, ob es vollständig gespült wurde (vorzugsweise mit Inert-Flüssigkeit, E3, E4, E5). Hinweise: - Bei verunreinigten Flüssigkeiten muß ein Filter vor das Liqui-Flow-Gerät gesetzt werden. - Montieren Sie das CEM-System vertikal. Anlage, Seite 4 6