AMS 5915 Verstärkter Drucksensor mit Digitalausgang (I²C)

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1 EIGENSCHFTEN Kalibrierter und temperaturkompensierter Drucksensor mit Digitalausgang (I²C) Differentielle/relative, bidirektional differentielle, absolute (barometrische) Varianten Digitaler Druck- und Temperaturwert über I²C-Schnittstelle Hohe Genauigkeit bei RT Kleiner Gesamtfehler im Temperaturbereich von -2 8 C Versorgungsspannung von 3,0 3,6 V Hohe Langzeitstabilität Programmierbare 7 Bit I²C dresse Kleines DIP-Gehäuse Ready-to-use RoHS and RECH konform TYPISCHE NWENDUNGEN Statische und dynamische Druckmessung Barometrische Messung Vakuummessung Durchflussmessung Füllstandsmessung Medizintechnik (Beatmungsgeräte) Heizung / Lüftung /Klima (HVC) LLGEMEINE BESCHREIBUNG Die Drucksensoren der Serie MS 91 sind hochgenaue OEM-Drucksensoren mit einer digitalen I²C-Schnittstelle. Sie kombinieren ein qualitativ hochwertiges piezoresistives Drucksensorelement mit einem modernen mixed-signal CMOS-SIC auf einem Keramiksubstrat. Die Sensoren der MS 91 Serie sind kalibriert und in einem weiten Bereich von -2 8 C temperaturkompensiert. Die Sensoren der Serie MS 91 werden in einem Dual-In-Line Package (DIP) zur Leiterplattenmontage geliefert und sind ohne weitere Komponenten betriebsbereit. Der elektrische nschluss erfolgt über Lötpins in DIP-Konfiguration, der Druckanschluss über zwei vertikale metallische Stutzen. Die Sensoren der Serie MS 91 sind für verschiedenste nwendungen und Druckbereiche verfügbar: von 0 mbar bis zu 0 10 bar als differentielle (relative) Variante, im Bereich 0 1 bar als bsolutdruckvariante und als barometrische Variante. Für die Druckbereiche von ± mbar bis ±1000 mbar liegt die Sensorserie als bidirektionale differentielle Version vor. Kundenspezifische Druckbereiche oder Modifikationen sind auf nfrage möglich Telefon:+49 (0)6131/ Fax: +49 (0)6131/ Internet: nalog Microelectronics GmbH n der Fahrt 13, D 124 Mainz pril 201 Rev. 2.1

2 DRUCKBEREICHE Typ (Bezeichnung) Druckart Druckbereich in mbar Berstdruck 1) in bar Druckbereich in PSI Berstdruck 1) in PSI Niedrigstdruck MS D MS D MS D-B MS D-B >0,3 >0,3 >0,3 >0,3 0 0,0 0 0,14-0,0 +0,0-0,14 +0,14 > > > > Niederdruck MS D MS D MS D MS D-B MS D-B MS D-B >0, >1 >1 >0, >1 >1 0 0, , 0 1,40-0,290 +0,290-0, +0, -1,40 +1,40 >7, >1 >1 >7, >1 >1 Standarddruck MS D MS D MS D MS D MS D MS D MS D MS D-B MS D-B MS D-B MS MS B absolut barometrisch ,901 0, ,0 0 29,01 0 8, , 0 14,0-2,901 +2,901 -,076 +,076-14,0 +14,0 0 14, 10,88 17, Tabelle 1: Standarddruckbereiche des MS 91 (andere Bereiche auf nfrage) GRENZWERTE Parameter Minimum Typisch Maximum Einheit Maximale Versorgungsspannung : V S (max) Betriebstemperatur: T op Lagertemperatur: T amb 2) Systemdruck: P cm V C C bar Tabelle 2: Grenzwerte NMERKUNGEN 1) Der Berstdruck ist definiert als der Maximaldruck, der an einen Druckanschluss relativ zu dem anderen Druckanschluss angelegt werden darf (oder wenn nur ein Druckanschluss angeschlossen ist), ohne dass Undichtigkeiten im Sensor auftreten. 2) Der Systemdruck ist definiert als der Maximaldruck, der an beide Druckanschlüsse eines Differenzdrucksensors gleichzeitig angeschlossen werden kann, ohne das Sensorgehäuse zu beschädigen. pril 201 Rev. 2.1 Seite 2/12

3 SPEZIFIKTIONEN lle Parameter gelten für V S =3,3 V und T op =2 C, falls nicht anders angegeben. Parameter Minimum Typisch Maximum Einheit Digitales usgangssignal (Druckmessung) spezifiziertem Minimaldruck (gem. Druckbereiche) spezifiziertem Maximaldruck (gem. Druckbereiche) 1) Spanne des usgangssignals (FSO) 3) ohne Druckbeaufschlagung () Digitales usgangssignal (Temperaturmessung) 4) bei Minimaltemperatur -2 C bei Maximaltemperatur 8 C Genauigkeit ) T = 2 C Niedrigstdrucksensoren (, 10 mbar) Niederdrucksensoren (20, 0, 100 mbar) Standarddrucksensoren Gesamtfehler 6) T = C Niedrigstdrucksensoren (, 10 mbar) Niederdrucksensoren (20, 0, 100 mbar) Standarddrucksensoren Gesamtfehler Temperaturmessung ±1, ±1,0 ±0. ±2,0 ±1, ±1,0 Counts Counts Counts Counts Counts Counts %FSO %FSO %FSO %FSO %FSO %FSO alle Sensortypen T = C ±3,0 %FSO Langzeitstabilität < 0, %FSO/a uflösung /D-Wandler 14 Bit uflösung (Drucksignal) 12 Bit uflösung (Temperatursignal) 11 Bit Versorgungsspannung (V S) 3,3 V Gesamt-Ratiometriefehler = V) ±0,02 ±0,1 %FSO Eigenstromaufnahme m Reaktionszeit (10 %...90 % nstiegszeit) 0, 1 ms Startzeit (Verzögerung nach Power On) 10 ms I²C Schnittstelle Input-High-Level Input-Low-Level Output-Low-Level Load SD Clock frequency SCL Pull-up Resistor Druckwechsel 10 6 Kompensierter Temperaturbereich 2 8 C Gewicht 3 Gramm 7) 8) Medienkompatibilität vgl. nmerkungen Tabelle 3: Spezifikationen % V S % V S % V S pf khz Ω pril 201 Rev. 2.1 Seite 3/12

4 NMERKUNGEN 1) Vgl. Tabelle 1 2) Das digitale Druckausgangssignal ist nicht ratiometrisch zur Versorgungsspannung. 3) Der Full Span Output (FSO) ist die algebraische Differenz zwischen dem usgangssignal bei dem spezifiziertem Maximaldruck und dem usgangssignal bei dem spezifiziertem Minimaldruck (gemäß Druckbereich) 4) Das digitale Temperaturausgangssignal ist nicht ratiometrisch zur Versorgungsspannung. Der ausgegebene Temperaturwert ist die Sensortemperatur (inklusive der Eigenerwärmung). ) Die Genauigkeit ist definiert als maximale bweichung des Messwertes von der idealen Kennlinie bei RT in %FSO inklusive Einstellfehler (Nullpunkt und Spanne), Nichtlinearität, Druckhysterese und Wiederholgenauigkeit. Die Nichtlinearität ist die gemessene bweichung von dem Best Fit Straight Line (BFSL) über den gesamten Druckbereich. Die Druckhysterese ist die maximale bweichung des usgangswertes bei einem beliebigen Druckwert innerhalb des Druckbereichs bei einer zyklischen Änderung des Drucks innerhalb des Druckbereichs. Die Wiederholgenauigkeit ist die maximale bweichung des usgangswertes bei einem beliebigen Druckwert innerhalb des Druckbereichs nach 10 Druckzyklen. 6) Der Gesamtfehler ist definiert als die maximale bweichung des Messwertes von der idealen Kennlinie in %FSO im gesamten Temperaturbereich (-2 8 C) 7) Medienverträglichkeit nschluss 1 (Bezeichnung Port 1 siehe bbildung ): Saubere, trockene Gase, die nicht aggressiv sind gegen Silizium, RTV-Silicone, Gold (basische oder säurehaltige Flüssigkeiten können zur Zerstörung des Sensors führen) 8) Medienverträglichkeit nschluss 2 (Bezeichnung Port 2 siehe bbildung ): Flüssigkeiten und Gase, die nicht aggressiv sind gegen Silizium, Pyrex, RTV-Silicone. FUNKTIONSBESCHREIBUNG Die Drucksensoren der Serie MS 91 kombinieren eine hochwertige piezoresistive Silizium- Druckmesszelle und ein modernes mixed-signal CMOS-SIC mit digitaler Korrektur zur Signalauswertung auf einem Dickschicht-Keramiksubstrat. Dies ermöglicht hochpräzise Messungen und eine hervorragende Drift- und Langzeitstabilität. Das Funktionsprinzip der Sensoren MS 91 wird anhand von bbildung 1 erläutert. bbildung 1: Funktionsprinzip Die physikalische Druckmessung findet an der piezoresistiven Druckmesszelle des MS 91 statt. Dort wird der zu messende Druck in ein differentielles, weitgehend druckproportionales Spannungssignal gewandelt. Dieses differentielle Spannungssignal wird dann im SIC in mehreren Schritten aufbereitet und korrigiert. Zunächst wird das Spannungssignal von der Messzelle im SIC verstärkt, über einen Multiplexer zum DC weitergeleitet und dort in einen Digitalwert konvertiert. Zur Digitalisierung wird eine Wandlungstiefe von pril 201 Rev. 2.1 Seite 4/12

5 14 Bit verwendet. Im nachfolgenden Mikrokontrollerblock des SICs wird das digitalisierte Signal dann korrigiert und kalibriert. Durch den werksseitigen Präzisionsabgleich der Sensoren werden für jeden einzelnen Sensor Korrekturkoeffizienten ermittelt und im EEPROM gespeichert. uf diese Weise werden eine individuelle Kalibration und eine individuelle Korrektur (d.h. Temperaturkompensation und Linearisierung) des digitalisierten Drucksignals möglich. Das zur Temperaturkompensation notwendige Temperatursignal wird im Temperaturreferenzblock des SICs erzeugt, über den Multiplexer zum DC weitergeleitet und dort in einen Digitalwert konvertiert. Im Mikrokontrollerblock des SICs läuft ein zyklisches Programm, das fortlaufend auf Basis der jeweils digitalisierten Druck- und Temperaturwerte mit Hilfe der Korrekturkoeffizienten das korrigierte und normierte digitale Drucksignal errechnet. Zusätzlich wird auch ein normiertes Temperatursignal berechnet. Die so bestimmten, korrigierten Digitalwerte (14-Bit-Druckwert und 11-Bit-Temperaturwert) werden in das usgangsregister des SICs geschrieben und ständig aktualisiert (typ. alle 0,ms). Über die I²C-Schnittstelle an PIN3 (SD) und PIN4 (SCL) des Sensors kann das korrigierte digitale Drucksignal und das normierte digitale Temperatursignal ausgelesen werden. Die über die I²C-Schnittstelle verfügbaren Digitalwerte (Druck und Temperatur) sind nicht ratiometrisch zur Versorgungsspannung. INBETRIEBNHME Zum elektrischen nschluss wird der Sensor auf eine Leiterplatte montiert. Pin 1 4 müssen gemäß bbildung 2 angeschlossen werden. Wichtig: Jede I²C-Busleitung muss über einen Pull-Up Widerstand (Empfehlung 4,7 kω ) an die Versorgungsspannung (Pin VCC oder +3,3 V) angeschlossen werden. bbildung 2: Elektrische Beschaltung (Prinzip) Der Druckanschluss erfolgt über die metallischen Druckanschlussstutzen des Sensors. Je nach Sensortyp und Druckart werden ein oder zwei Druckanschlussstutzen an das jeweilige Messmedium / -volumen angeschlossen. Für die Drücke an den nschlussstutzen 1 und 2 (Bezeichnung siehe bbildung ) gelten die folgenden Bedingungen (mit der Definition p 1 = Druck am nschluss 1 und p 2 = Druck am nschluss 2): für differentielle / relative Drucksensoren: p 1 > p 2 für e Sensoren: p 1 > p 2 sowie p 1 < p 2 möglich. für bsolutdrucksensoren, barometrische Sensoren: p 1 = Messdruck. Es gelten die Richtlinien bezüglich der Medienkompatibilität (vgl. nmerkungen zu Spezifikationen 7 und 8) nmerkungen: 1. Für Druckanschlüsse bis zu 2 bar empfiehlt nalog Microelectronics einen Silikonschlauch (Innendurchmesser Ø = 2 mm, ußendurchmesser Ø = 6 mm). 2. ESD-Schutzmaßnahmen sind notwendig. Es ist unerlässlich, dass alle Maschinen sowie das Personal beim Einbau und der Handhabung des Bauteils geerdet werden. pril 201 Rev. 2.1 Seite /12

6 Die I²C-Schnittstelle des MS 91 Die Drucksensoren der Serie MS 91 verfügen über einen digitalen usgang (I²C-Schnittselle). Über die I²C-Schnittstelle können die jeweils aktuellen, korrigierten digitalen Druck- und Temperaturwerte aus dem usgangsregister des Sensors gelesen werden. Die Kommunikation über den I²C-Bus erfolgt nach dem Master-Slave Prinzip, d.h. der Datentransfer wird immer durch einen Master z.b. einen Mikroprozessor, der die Sensoren anspricht, initiiert und der MS 91 Sensor, der immer als Slave arbeitet, antwortet. Für die Kommunikation über die I²C-Schnittstelle sind zwei Bus-Leitungen erforderlich: eine serielle Datenleitung SD (serial data) und eine serielle Taktleitung SCL (serial clock). SD und SCL sind bidirektionale Leitungen, die über Pull-up Widerstände (Empfehlung R = 4,7 kω) an die positive Versorgungsspannung angeschlossen werden (siehe bbildung 2). Die Kommunikation erfolgt nach dem üblichen I²C-Protokoll (siehe bbildung 3) 1. I2C principle characteristics: start conditon valid Data Bit proper change of data SD SCL I2C Data transfer: SD S R 8 Data Bits P SCL start condition Data Byte stop condition S: start condition P: stop condition R: Read : cknowledge bbildung 3: Grundlagen I2C-Protokoll 1 Das Kommunikationsprotokoll des MS 91 unterscheidet sich von dem Standard-I2C-Protokoll in drei Punkten: 1. Das direkte Senden einer Stoppbedingung nach einer Startbedingung ohne einen dazwischen liegenden Clock- Impuls ist nicht erlaubt. Dies führt zu einem Kommunikationsfehler bei der nächsten Kommunikation. 2. Eine zweite Startbedingung (Restart) während einer Datenübertragung, wenn der Pegel auf der SCL-Leitung High ist, ist nicht erlaubt. 3. Zwischen der Startbedingung und der ersten ansteigenden Flanke auf der SCL-Leitung ist eine fallende Flanke auf der SD-Leitung nicht erlaubt. pril 201 Rev. 2.1 Seite 6/12

7 Es werden folgende I²C-Kommunikationsphasen unterschieden: Idle Period (Bus im Freilauf) Im Freilauf werden beide I²C-Busleitungen (SD und SCL) über die Pull-up Widerstände auf Versorgungsspannung gezogen (Pegel High ) Start S (Startbedingung) Vor jedem Datentransfer auf dem Bus muss die Startbedingung generiert werden. Die Startbedingung wird immer durch den I²C-Master generiert. Sie ist erfüllt, wenn auf der SD-Leitung ein Übergang vom Pegel High auf Low stattfindet, während der Pegel auf der SCL-Leitung High ist. Das uslesen von digitalen Werten aus dem usgangsregister beginnt immer mit einer Startbedingung. Stop P (Stoppbedingung) Die Stoppbedingung wird immer durch den I²C-Master generiert. Sie ist erfüllt, wenn auf der SD-Leitung ein Übergang vom Pegel Low auf High stattfindet, während der Pegel auf der SCL-Leitung High ist. Das uslesen von digitalen Werten endet mit einer Stoppbedingung. Valid Data (gültige Daten) Die Datenübertragung erfolgt immer in Bytes (8 Bit) beginnend mit dem höchstwertigen Bit (MSB). Es wird jeweils ein Bit pro Clock-Impuls übertragen. Die übertragenen Bits sind nur gültig, wenn (nach einer Startbedingung) der Pegel auf der SD-Leitung konstant bleibt während der Pegel auf der SCL-Leitung High ist. Änderungen des SD-Pegels müssen stattfinden, während der Pegel auf der SCL-Leitung Low ist. cknowledge (Bestätigung) Nach der Datenübertragung eines Bytes muss vom jeweiligen Empfänger (Master bzw. Slave) eine Empfangsbestätigung (zusätzliches cknowledge Bit) gesendet werden. Dazu erzeugt der Master einen zusätzlichen, dem cknowledge Bit zugeordneten Clock-Impuls. Der Empfänger sendet das cknowledge Bit, indem er den Pegel auf der SD-Leitung während des zusätzlichen Clock-Impulses auf Low zieht. dressing/ Slave dresse (dressierung / I²C dresse MS 91) Nach der Start-Bedingung sendet der Master ein dressierungs-byte (das erste Byte nach der Start- Bedingung), das bestimmt, welcher Slave ausgewählt wurde. Das dressierungs-byte enthält die individuelle 7-bit Slave dresse des jeweils angesprochenen Slave (MS 91) und ein sog. data direction bit (R/ W ). Eine 0 für das R/ W -bit. steht für einen Datentransfer von Master zum Sensor/Slave (W: Schreiben), eine 1 steht für eine Datenanforderung (R: Lesen, der Master fordert die Daten vom Slave). Die MS 91 haben werksseitig die 7 bit Slave dresse 0x28Hex ( b). Sollen mehrere MS 91 an einen I²C-Bus zu einem Sensornetzwerk angeschlossen werden, so muss jedem Sensor eine individuelle dresse einprogrammiert werden. uf nfrage kann jedem Sensor werksseitig eine individuelle 7 Bit-dresse einprogrammiert werden (Die dressierung mit 7 Bit ermöglicht 128 verschiedene dressen). lternativ kann der Kunde diese Programmierung auch mit dem USB-Starter-Kit selbst vornehmen (siehe Zubehör). pril 201 Rev. 2.1 Seite 7/12

8 uslesen der Digitalwerte über die I²C-Schnittstelle der MS 91 Das uslesen der Digitalwerte für Druck (14 Bit-Wert) und Temperatur (11 Bit-Wert) aus dem usgangsregister des MS 91 erfolgt über die I²C-Schnittstelle des MS 91. Das uslesen erfolgt Byte für Byte und wird in bbildung 4 erläutert. ddress :28 HEX (= ) SD SCL Start condition 7-bit address p-data byte 1 p-data byte 2 T-data byte 1 T-data byte 2 N Stop condition adressing byte 1st data byte MSB pressure 2nd data byte LSB pressure 3rd data byte MSB temperature 4th data byte LSB temperature S R N P 7 bit-slave address [6:0] pressure data [13:8] pressure data [7:0] temperature data [10:3] temperature data [2:0] Sent by master Sent by slave S: Start condition P: Stop condition R: read bit =1 : acknowledge N: no acknowledge bbildung 4: uslesen der digitalen Druck- und Temperaturwerte Der Datentransfer über den I²C-Bus beginnt immer mit einer Datenanforderung durch den I²C-Master. Dazu generiert der I²C-Master eine Startbedingung auf den Busleitungen. Danach sendet der I²C-Master das dressierungs-byte, das die 7 Bit Slave dresse des angesprochenen Drucksensors (werksseitig haben die MS 91 die Slave dresse 0x28Hex = b) und das Data Direction Bit R/ W = 1 (für Read) enthält. Der angesprochene Drucksensor antwortet darauf zunächst mit einem cknowledge-bit. Danach beginnt der angesprochene Drucksensor mit der Datenübertragung aus dem usgangsregister. Für den aktuellen Druck- und Temperaturwert werden insgesamt 4 Datenbytes vom Drucksensor an den I²C- Master übertragen. Zuerst werden 2 Bytes für den aktuellen Druckwert und danach 2 Bytes für den aktuellen Temperaturwert gesendet, wobei immer zuerst das höherwertige Byte gesendet wird. Nach jedem übertragenen Datenbyte muss eine Bestätigung durch den I²C-Master in Form eines cknowledge Bits erfolgen. Nach dem 4. Daten-Byte erzeugt der Master ein NO-cknowledge-Bit (N), der Drucksensor wird daraufhin inaktiv gesetzt. Der I²C-Master beendet die Datenübertragung durch das Senden einer Stoppbedingung. Der 14-Bit Druckwert wird bestimmt durch die letzten 6 Bit des 1. Datenbytes und die 8 Bit des 2. Datenbytes, wobei immer mit dem höchstwertigen Bit begonnen wird. Der 11-Bit Temperaturwert wird bestimmt durch die 8 Bit des 3. Datenbytes und die ersten 3 Bit des 4. Datenbytes. Beim uslesen des Druckwertes kann der Datentransfer erst nach zwei Datenbytes gestoppt werden. In diesem Falle sendet der I²C-Master ein NO-cknowledge-Bit nach dem 2. Datenbyte und beendet die Datenübertragung durch Senden einer Stoppbedingung. pril 201 Rev. 2.1 Seite 8/12

9 Berechnung des aktuellen Druck- und Temperaturwertes Um den Druck- und Temperaturwert in physikalischen Einheiten zu erhalten, müssen die digitalen Druckwerte (14-Bit Werte) und Temperaturwerte (11-Bit Werte) in die physikalischen Einheiten Druck in bar (oder PSI) und Temperatur in C umgerechnet werden. Der gemessenen Drucks p in bar (oder PSI) wird von den digitalen Druckwerten gemäß den folgenden Formeln berechnet: ( ) Digoutp p Digoutp = pmin mit Sensp min p + Sensp Digoutp max min = (1) p max Digoutp Darin bezeichnet p den aktuellen Druck in bar (oder PSI), p min bezeichnet den Minimaldruck und p max den Maximaldruck in bar (oder PSI) gemäß des spezifizierten Druckbereichs, Digoutp(p) den aktuellen digitalen 14-Bit Druckwert in Counts, Digoutp min und Digoutp max den digitalen Druckwert bei Minimaldruck bzw. Maximaldruck in Counts und Sensp die Sensitivität des Drucksensors in Counts/bar (oder Counts/PSI). p min Die Berechnung der aktuellen Sensortemperatur T in C erfolgt aus dem digitalen Temperaturwert mit der folgenden Formel: DigoutT(T) 200 T = 0 in C (2) 2048 Hier ist T die Sensortemperatur in C und DigoutT(T) der aktuelle digitale 11-Bit Temperaturwert in Counts. Beispiel Für einen Drucksensor vom Typ MS D-B (- + mbar ) werden die folgenden Datenbytes 1 4 ausgelesen: Byte 1: Byte 2: Byte 3: Byte 4: Wenn man die letzten 14 Bit von Byte 1 und Byte 2 nimmt, ergibt sich der folgende digitale 14-Bit Druckwert: Digoutp(p) = bin counts = 2CCD Hex counts = Dec counts und mit den ersten 11 Bit von Byte 3 und Byte 4 ergibt sich der digitale Temperaturwert: DigoutT(T) = bin counts = 2E7 Hex counts = 743 Dec counts Mit den für den MS 91 spezifizierten Werten p min = - mbar, p max = mbar, Digoutp min = 1638 und Digoutp max = 1474 berechnet sich der aktuelle Druck nach Formel (1) zu: ( ) counts p = + (- ) mbar = 2,01mbar (13107 / 10) counts/mbar Mit Formel (2) ergibt sich die aktuelle Sensortemperatur in C: (743 * 200) counts * C T = 0 C = 22,6 C 2048 counts pril 201 Rev. 2.1 Seite 9/12

10 BMESSUNGEN UND PINBELEGUNG Die Sensoren MS 91 werden in einem Dual-In-Line Package (DIL) zur Leiterplattenmontage geliefert. bbildung zeigt das Pin-Out und die bmessungen des DIL-Gehäuses. Pinout und Druckanschlüsse: Differentiell: bsolut, barometrisch : Druckanschluss PIN Markirung Druckanschluss PIN Markirung Druckanschluß 1 Pin Beschreibung GND VCC SD SCL N.C. N.C. N.C. N.C. Gehäuse Dimensionen : Seitenansicht : ufsicht : 2 Stützen OD = 0.12 [3.17] 0.60 [1.24] 0.49 [12.4] 0.1 [3.81] 0.1 [2.4] 0.17 [4.3] Keramic Substrate typ [1.0] 0.34 [8.6] 0.60 [1.24] 0.32 [8.13] 0.8 [14.73] Keramic Kappe 0.37x0. [9.4x13.4] 8 Pin 0.02 [0.] 0.02 [0.] 0.37 [9.40] 0.2 [.08] 0.12 [3.0] alle bmessungen in inch [mm] bbildung : bmessungen und Pin-Out lle Sensoren der MS 91 sind über ihre gesamte Lebensdauer hinweg wartungsfrei. nmerkungen 1. Ein Drucksensorgehäuse ohne Tubes (für O-Ring Montage) ist ebenfalls erhältlich. 2. Eine SMD-Variante ist auf nfrage erhältlich. pril 201 Rev. 2.1 Seite 10/12

11 BESTELLINFORMTIONEN Bestellcode: Druckbereich: Code Druckbereich mbar PSI kpa 000 0, , , , , , , , , , , , , Tabelle 4: Druckbereiche Druckart: Code Drucktyp verfügbare Druckbereiche D (gage) 0 mbar bis 0 10 bar D-B - + mbar bis -1 1 bar absolut mbar B barometrisch (absolut) mbar Tabelle : Druckarten Zubehör Für die Sensoren der MS 91 Serie ist ein Starter-Kit mit Software erhältlich. Das Starter-Kit ermöglicht eine einfache Inbetriebnahme des Digitalausgangs (I²C-Bus) über den USB-nschluss eines PCs. Darüber hinaus kann mit dem Starter-Kit dem jeweiligen Sensor eine individuelle I²C-dresse einprogrammiert werden. Dies ermöglicht den Betrieb von mehreren Sensoren an einem I²C-Bus. Bestellcode USB Starter-Kit MS 91 Beschreibung MS 91- Starter-Kit (2PCBs mit Software) nalog Microelectronics behält sich Änderungen von bmessungen, technischen Daten und sonstigen ngaben ohne vorherige nkündigung vor. pril 201 Rev. 2.1 Seite 11/12

12 Notizen pril 201 Rev. 2.1 Seite 12/12

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