TURBOVAC ix Turbomolekular-Pumpen 90 l/s l/s

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1 TURBOVAC i Turbomolekular-Pumpen 90 l/s l/s

2 Entdecken Sie neue Vakuum-Dimensionen TURBOVAC i vereint erausragende Performance mit öcster Funktionalität. Unsere Turbomolekular-Pumpen mit integrierter Vakuumsystem-Steuereineit bieten Inen zalreice Optionen, die biser nur bei teuren externen Steuereineiten verfügbar waren. Vorvakuumpumpen, Külungen, Ventile und weitere Zubeörteile können jetzt ganz unkompliziert direkt über die Turbopumpe angesteuert und die über die Vakuummessröre ausgelesenen Druckdaten zum Betrieb des Pumpsystems verwendet werden. Mit dem besten Verältnis von Leistung zu Größe im ISO 63-, 100- und 160- Bereic bietet die TURBOVAC i ein innovatives Rotor- und Holweckstufendesign. Das Resultat: ervorragende Performance und bislang unerreictes Saugvermögen vor allem für leicte Gase. Für noc mer Flexibilität können Sie zwiscen versciedenen elektroniscen Steuerungsfunktionen, Geäuse- und Flansckonfigurationen sowie einem breiten Angebot an Zubeör wälen. Das einzigartige ölfreie Hybridlager- System mit wartungsfreiem Kugellager steigert Ire Produktivität und senkt gleiczeitig die Betriebskosten. Ire Vorteile auf einen Blick Price & Performance: Bestes Preis-Leistungs-Verältnis Flexible & Fast: Höcste Produktflexibilität und damit perfekte Anpassung an Ire Bedürfnisse Plug & Play: Einface und scnelle Installation, Prozessabläufe und Steuerung dank flexiblen Produktdesigns, integrierter Elektronik und einem breiten Angebot an Kommunikationsscnittstellen Fit & Forget: Absolute Zuverlässigkeit durc inno - vatives Pumpendesign und dem einzigen auf dem Markt befindlicen ölfreien Hybridlagerkonzept mit wartungsfreiem Kugellager 02 TURBOVAC i

3 Typisce Anwendungen Analytisce Tecnologien/ Forscung & Entwicklung Massenspektrometrie Elektronenmikroskopie Oberfläcenanalyse Röntgenanalyse Teilcenbescleuniger und Syncrotrone Labor-Bescictungssysteme MBE (Molekularstralepitaxie) UHV-Systeme Life Sciences Protonenterapie Gammasterilisation Produktion von ocwertigen Implantaten Industrielle Anwendungen und Bescictungen PVD (Pysikalisce Absceideverfaren) - Optisce Bescictungen - Produktion von CD/DVD/Blu-Ray - Dünnscicttecnologien, Potovoltaik Sputteranlagen, Transferkammern, Handabungssysteme Elektronenstralscweißen Vakuumisolation und Lecksuce TURBOVAC i 03

4 Maximale Leistung Dank seines variablen Rotor- und Holweckstufen-Designs bietet unsere neue TURBOVAC i-produktlinie auc bei untersciedlicsten Anforderungen immer maximale Leistung. So sind TURBOVAC i Modelle für UHV- Anwendungen und kompakte Pumpsystemlösungen die perfekte Wal. Mit einem Saugvermögen für leicte Gase, das bis zu 60 % über dem vergleicbarer Produkte liegt, und einem Kompressionswert, der rund 100 Mal öer ist als bei Produkten der vorerigen Generation, sind sie besonders für Prozesse mit kleinen Vorpumpen geeignet. Ire Vorteile: ein ereblic kompakteres Vakuum-System sowie reduzierte Anscaffungs- und Betriebskosten. Wenn es um ansprucsvolle Applikationen mit oem Gasdurcsatz get, überzeugen die T-Varianten der TURBOVAC i Reie durc gesteigerten Gasdurcsatz und kürzere Hoclaufzeiten sowie ire eröte Toleranz gegenüber Staub- und Partikelanfall. Überdurcscnittlice Zuverlässigkeit Die einzigartige ölfreie Hybridlagerung mit Lebens dauerscmierung zeicnet sic durc extreme Zuverlässigkeit und Haltbarkeit aus und mact Regelwartungen aufgrund Ölwecsel überflüssig. Das spezielle Lagersystem sorgt für einen vibrations- und geräuscarmen Betrieb und damit für wenig Beansprucung oder negative Auswirkungen bei vibrationsempfindlicen Anwendungen. Das optimierte termisce Design der TURBOVAC i-produktlinie gewärleistet eine bestmöglice Külung des Lagersystems. Um die Lager vor kritiscen Gasen oder Partikeln zu scützen, sind alle Pumpen mit einem Sperrgasanscluss ausgestattet. Dadurc wird nict nur die Laufzeit der Pumpe deutlic eröt, sondern auc die Anlagenverfügbarkeit und damit Ire Produktivität. Zusammen mit den geringen Betriebskosten wird Ir Vakuum system so effizienter, zuverlässiger und günstiger als jemals zuvor. 04 TURBOVAC i

5 Zalreice Optionen Um Installation, Betrieb und Steuerung so unkompliziert wie möglic zu gestalten, ist die TURBOVAC i mit einer integrierten Antriebselektronik mit direkter 24/48V DC-Versorgung sowie einer eingebauten Vakuumsystem- Steuereineit für erweiterte Funktionen und Pumpsystemkontrolle ausgestattet. Die Steuereineit bietet USB- und digitale In/Out-Ports sowie einen zusätzlicen Anybus-Port, der mit typiscen auf dem Markt erältlicen Scnittstellen (RS 485, RS 232, Profibus und vielen anderen) bestückt werden kann. Die TURBOVAC i verfügt darüber inaus über drei Zubeöransclüsse, mit denen sic die Luftküler, Belüftungsund Sperrgasventile sowie die Relais- Boxen für den Betrieb einer Vorvakuumpumpe, einer Heizmanscette oder weiteren Zuörteilen steuern lassen. Für öcste Flexibilität sorgen bei der TURBOVAC i einzigartige Funktionen wie ein Vakuummess rörenanscluss für den Messrörenbetrieb. Die so gewonnenen Druckdaten können direkt zur Ansteuerung des angesclossenen Zubeörs verwendet werden. Die TURBOVAC i ist mit einer drebaren Vorvakuum-Flanscverbindung ausgestattet und optional mit einem zusätzlicen Zwiscen-Anscluss im Geäuse erältlic, um das Abpumpen einer weiteren Kammer zu ermöglicen. Die flexiblen Optionen und zalreicen Vorteile macen die TURBOVAC i so zu einer ausgesprocen kosteneffizienten Lösung für die Vakuumsystemsteuerung und zu einer mer als wett bewerbsfäigen Alternative zu kostenintensiven, externen Steuerungseineiten. Ein variables und umfangreices Angebot an Zubeör ergänzt die neue Produktreie. Es umfasst unter anderem kostengünstige Netzteile für 100 bis 240 V Netzspannungsversorgung, justierbare Luft- oder Wasserkülungen, Heizmanscetten, Belüftungs- und Sperrgaszubeör sowie Installationsund Befestigungssets, die die Inbetriebname vereinfacen. Entdecken Sie unendlice Möglickeiten mit der Flexibilität der TURBOVAC i! TURBOVAC i 05

6 Mer für Sie drin... Leistung Brancenbestes Saugvermögen insbesondere für leicte Gase (bis zu 60 % öer als vergleicbare Produkte) Optimierter Rotor-Durcmesser für ISO 63-, 100- und 160-Flansc resultiert in maximaler Pumpleistung Flexibilität Individualisierbares Design der Vakuumansclüsse Drebarer Vorvakuumanscluss Versciedene Zwiscen-Ansclüsse verfügbar Variables Rotor- und Holweckstufen-Design zur Unterstützung der Leistung gemäß Irer Vorgaben Installation, Betrieb und Steuerung Integrierte Antriebselektronik mit 24/48V DC-Versorgung vermeidet kostenintensive Verkabelung Integrierte Vakuumsystem-Steuereineit für Plug and Play- Pumpsystembetrieb Standard USB- und digitale 15-Pin In/Out-Scnittstelle Optionale Scnittstellen (RS 485, RS232, Profibus etc.) Steuerung von bis zu secs Zubeörkomponenten Vakuummessrörenanscluss für die Messrörenversorgung und Datenerfassung, auc zur druckabängigen Steuerung des Zubeörs Vorvakuumpumpen-Steuerung Hoceffizienter Motor Optimiertes termisces Design für bestmöglice Külung der Lager und verlängerte Laufzeit der Pumpe Innovatives Lagersystem zur Reduzierung von Vibrationen Wartungsfreies oberes Permanentmagnetlager Ölfreies, lebensdauergescmiertes unteres mecanisces Keramikkugellager, vor Ort austauscbar 06 TURBOVAC i

7 ... olt mer für Sie raus Bestes Preis-Leistungs-Verältnis Flexible Leistungsanpassung individuell auf individuell auf Ire Anforderungen zugescnitten Hervorragende Leistung bei allen Applikationen dank innovativer Pumpentecnologie Installation, Betrieb und Steuerung scnell und einfac Plug & Play: integrierte Elektronik und Vakuumsystem- Steuereineit, versciedene Kommunikationsscnittstellen und flexibles Zubeör Installation in jeder Lage möglic Gesteigerte Produktivität und Systemverfügbarkeit bei niedrigen Kosten Höcste Zuverlässigkeit dank des innovativen Pumpen- und Lagerkonzepts Fit & Forget: erste und einzige mecanisce Turbomolekularpumpe mit ölfreiem Hybridlagerkonzept und wartungsfreiem Kugellager keine Ölwecsel nötig Eröte Anlagenverfügbarkeit und reduzierte Betriebskosten durc Lagerwecselmöglickeit vor Ort TURBOVAC i 07

8 Tecnisce Spezifikationen TURBOVAC 90 i TURBOVAC 250 i 100 Pumping speed (l/s) Coming soon Argon Helium Wasserstoff 185. Stickstoff 43.7 Hig-vacuum pressure (mbar) TURBOVAC 90 i Purg e Ve nt TURBOVAC (T) 250 i D N 100 I SO- K 2 x M x M DN 16 K F x M TURBOVAC i Ve nt Purg e Ø 1 31 Ø Ø130

9 TURBOVAC 450 i Saugvermögen (l/s) Ø 165 Ø Hocvakuum-Druck (mbar) VEN Hocvakuum-Druck (mbar) Stickstoff Argon Helium Wasserstoff 21 Ø 165 Ø 130 TURBOVAC (T) 350 i Ø 165 Ø Saugvermögen (l/s) TURBOVAC 350 i 2x M6-10 VENT x M4-8; PURGE DN 25 KF x M4-8; x M Ø VENT 2x M TURBOVAC (T) 350 i DN 100 ISO-K DN 100 CF TURBOVAC (T) 450 i DN 160 ISO-K DN 160 CF TURBOVAC (T) 350 i DN 100 ISO-K DN 100 CF VENT TURBOVAC (T) 450 i DN 160 ISO-K DN 160 CF x M4-8; Ø PURGE DN 25 KF Ø 165 Ø x M4-8; 138 PURGE DN 25 KF x M Ø 165 Ø 130 TURBOVAC (T) 450 i 101 2x M VENT 3x M Ø Ø1 PURGE DN 25 KF TURBOVAC (T) 350 i DN 100 ISO-K DN 100 CF 350 i TURBOVAC (T) ISO-K DN CF DN 160 TURBOVAC (T) 450 i DN 160 ISO-K TURBOVAC i DN 160 CF

10 Tecnisce Spezifikationen Tecnisce Daten TURBOVAC 90 i 250 i T 250 i Hocvakuumanscluss DN 63 ISO-K 63 CF Vorvakuumanscluss DN 16 KF Saugvermögen für I s -1 N 2 90 Ar 83 He 90 H 2 78 Gasdurcsatz mbar I s -1 N 2 10 Ar 3 He 11 H 2 11 Kompressionsverältnis N Ar He _ H Enddruck ISO-K/CF mit zweistufiger mbar < 10-8 /< ölgedicteter Drescieberpumpe Maximaler mbar 14 Vorvakuumdruck für N 2 Nenndrezal U/min Külung Standard Konvektion Külung optional Luft- oder Wasserkülung Gewict ISO-K/CF kg 3,6 / 5,3 Empfolene Vorvakuum-Pumpen TRIVAC D 2,5 E / D 4 B SCROLLVAC SC 5 D DIVAC 1,4 HV3 Versorgungsspannung 24/48V DC ±10 % Maximale Stromaufname 10 A bei 24 V DC Maximaler Stromverbrauc W 240 Scnittstellen USB, 15-Pin digital I/O, Anybus (Optional RS485, RS232, Profibus; weitere auf Anfrage) - Coming soon - 10 TURBOVAC i

11 Tecnisce Daten TURBOVAC 350 i 450 i T 350 i T 450 i Hocvakuumanscluss DN 100 ISO-K 160 ISO-K 100 ISO-K 160 ISO-K 100 CF 160 CF 100 CF 160 CF Vorvakuumanscluss DN 25 KF 25 KF 25 KF 25 KF Saugvermögen für I s -1 N Ar He H Gasdurcsatz mbar I s -1 N 2 4,5 4,5 11,5 11,5 Ar 2,0 2,0 6,0 6,0 He 8,0 8,0,0,0 H 2 8,0 8,0,0,0 Kompressionsverältnis N Ar He H Enddruck ISO-K/CF mit zweistufiger mbar < 10-8 /< ölgedicteter Drescieberpumpe Maximaler mbar Vorvakuumdruck für N 2 Nenndrezal U/min Külung Standard Konvektion Külung optional Luft- oder Wasserkülung Gewict ISO-K/CF kg 8,0/12,0 8,2/13,0 7,5/11,5 7,7/12,5 Empfolene Vorvakuum-Pumpen TRIVAC D 4 B D 4 B D 16 B D 16 B SCROLLVAC SC 5 D SC 5 D SC 15 D SC 15 D SC 15 D SC 15 D SC 30 D SC 30 D DIVAC 3,8 HV3 3,8 HV3 Versorgungsspannung 24/48V DC ± 10 % Maximale Stromaufname 10A bei 24V DC Maximaler Stromverbrauc 240W Scnittstellen USB, 15-Pin digital I/O, Anybus (Optional RS485, RS232, Profibus; weitere auf Anfrage) TURBOVAC i 11

12 Bestellinformationen Für den Betrieb einer TURBOVAC i werden eine passende Vorvakuumpumpe sowie ein Netzgerät und entsprecende Kabel benötigt. Je nac Einsatzgebiet und Anwendung ist weiteres Zubeör notwendig. Pumpen TURBOVAC 90 i 250 i T 250 i 350 i 450 i T 350 i T 450 i Hocvakuumfl ansc 63 ISO-K 100 ISO-K 160 ISO-K 100 ISO-K 160 ISO-K Kat.-Nr. * ) V3300 Coming soon V V V V3300 Hocvakuumfl ansc 63 CF 100 CF 160 CF 100 CF 160 CF Kat.-Nr. * ) 8100V V V V V3300 * alle angegebenen Katalognummern mit USB+, 15-Pin digital I/O und RS485; weitere Scnittstellen auf Anfrage Zubeör Netzgerät, Kabel und Zubeör V0003 TURBO.POWER integra inkl. 0,3 m Kabel V0100 Kabel TURBOVAC i TURBO.POWER integra, 1 m V0300 Kabel TURBOVAC i TURBO.POWER integra, 3 m V0500 Kabel TURBOVAC i TURBO.POWER integra, 5 m V0002 Netzleitung für Netzgeräte, 3 m, Euro-Stecker V0003 Netzleitung für Netzgeräte, 3 m, UK-Stecker V1002 Netzleitung für Netzgeräte, 3 m, US-Stecker 5-15P, 115V 800V0016 Zubeörkabel TURBOVAC i, M8-M8, 2m 800V00 Y-Verteiler TURBOVAC i, M8 800V0021 Start-Stopp Scalter für TURBOVAC i 800V0108 USB-Kabel 2.0 Typ A/B, 1,8 m V01 LEYASSIST Software für Turbomolekularpumpen 800V0030 Relaisbox für Vorpumpe, 1-pasig, 10 A inkl. 2m M8-M8-Kabel Külung V0007 Luftkülung radial TURBOVAC TURBOVAC 90 i() V0009 Luftkülung radial TURBOVAC TURBOVAC 250 i() V0005 Luftkülung radial TURBOVAC i() V0008 Luftkülung axial TURBOVAC 90 i() und 250 i() V0006 Luftkülung axial TURBOVAC i() V0005 Wasserkülung TURBOVAC i() Heizung V0003 Heizmanscette DN 63 CF, 230 V V0004 Heizmanscette DN 63 CF, 115 V V0005 Heizmanscette DN 100 CF, 230V V0006 Heizmanscette DN 100 CF, 115V V0007 Heizmanscette DN 160 CF, 230V V0008 Heizmanscette DN 160 CF, 115V Belüftung und Sperrgas 8001V0012 Belüftungsventil TURBOVAC i, 24V DC, G 1/8 8001V0013 Sperrgasventil TURBOVAC i, 24V DC, 24 sccm, G 1/8 8001V0014 Sperrgasdrossel TURBOVAC i, 24 sccm, G 1/8 8001V0022 Stromausfallfl uter TURBOVAC i, 24V DC, G 1/8 800V0022 Luftfi lter für TMP, G 1/8 Headquarter Germany Oerlikon Leybold Vacuum GmbH Bonner Straße 498 D Köln T +49 (0) F +49 (0) info.vacuum@oerlikon.com Bicom_ Printed in Germany on clorine-free bleaced paper Tecnical alterations reserved