Prozessenergie von TRUMPF Hüttinger Lösungen für eine fortschrittliche Welt. generating. solutions

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1 Prozessenergie von TRUMPF Hüttinger Lösungen für eine fortschrittliche Welt generating solutions

2 Wer Flachbildschirme, Halbleiter, Flugzeugturbinen oder Automobile herstellt, vertraut auf die Prozessenergie von TRUMPF Hüttinger. Unsere Geschäftsfelder Plasmaanregung Der Siegeszug der Plasmatechnologie ist in vollem Gange. Und TRUMPF Hüttinger steht in vorderster Linie, wenn es darum geht, die passende Prozessenergie zu erzeugen. Bereits unser Standard-Generatorenprogramm begeistert durch weite Anpassbereiche, hohe Reproduzierbarkeit, Kurzschlussfestigkeit und Spannungssicherheit. Induktionserwärmung Präzise, berührungslose, wirtschaftliche Wärme: Generatoren von TRUMPF Hüttinger bieten volle Leistung bei breiten Frequenz- und Anpassungsbereichen. Sie überzeugen durch Zuverlässigkeit und Robustheit im harten Industriealltag quer durch alle Branchen, vom Löten, Schweißen und Versiegeln bis hin zu den extremen Dauerlast-Anforderungen des Kristall- und Zonenziehens. CO 2 -Laseranregung Industrielle Laseranwendungen sind die dritte Zukunftstechnologie, die wir mit Energie versorgen. Ihre Vorteile: Flexibilität, Präzision und Schnelligkeit in der Bearbeitung von Werkstücken. Seit vielen Jahren entwickeln und produzieren wir Generatoren für das TRUMPF Geschäftsfeld Lasertechnik, den Weltmarktführer in der Laser-Materialbearbeitung. Überall in der Welt sehen wir Beweise Ihres Vertrauens. Gibt es eine bessere Motivation? Prozessstromversorgungen von TRUMPF Hüttinger sind an vielen Schlüsselprozessen in Forschung, Entwicklung und Produktion beteiligt. Ohne unsere Generatoren wäre moderne Industrieproduktion und damit ein Leben, wie wir es kennen und schätzen, nicht möglich. In jede neu erarbeitete Lösung fließt dabei unsere Erfahrung ein: ein einzigartiges Expertenwissen aus den Gebieten der Induktionserwärmung, Plasma- und Laseranregung. So treiben wir seit Jahrzehnten zusammen mit Ihnen die Entwicklung der Prozessenergie voran. Lohn der Mühe: ein Potenzial gegenseitigen Vertrauens, das in der Branche unerreicht sein dürfte. Es fasziniert uns zu sehen, was Sie mit unserer Prozessenergie realisieren. Und so ist diese Broschüre, die Sie gerade in Händen halten, auch eine Anerkennung, die Ihnen gilt.

3 Zwei leistungsstarke Mittelstandsunternehmen bündeln ihre Kräfte. Profitieren Sie davon. Aus deutschen Wurzeln zum weltweiten Anbieter 1922 Gründung als Unter nehmen zur Herstellung elektrischer Apparate durch Fritz Hüttinger, Freiburg 1926 Herstellung von medizinischen Geräten für Chirurgie und Therapie 1936 Entwicklung und Fertigung von HÜTTINGER Hoch vakuum- Verstärkerröhren 1949 Erweiterung des Produktions programms um HF-und MF-Generatoren für induktive und kapazitive Anwendungen, Zielgruppe: indu strielle An bieter 1960 Einführung von HF-Generatoren für Halbleiterfertigung (BALZERS, IBM) 1983 Produktionsbeginn von HF-Generatoren für die Laseranregung 1990 Eintritt von TRUMPF als Gesellschafter in die HÜTTINGER Gruppe 1992 Gründung der US-Tochter-Gesellschaft HUETTINGER Electronic, Inc. in Farmington, CT, USA 1996 Zertifizierung gemäß ISO Errichtung eines Vertriebs- und Servicebüros in Fremont, CA, USA. Gründung der Vertriebsund Servicegesellschaft HÜTTINGER Electronic K.K. in Yokohama, Japan 1999 Marktführer bei Generatoren für die Großflächenbeschichtung. Umstellung der Fertigung auf synchrone Produktion 2004 Auslieferung des IS HF-Genera tors. Weltweit größte Anzahl an ausgelieferten Generatoren für die HF-Laseranregung 2005 Eintritt in das Marktsegment Flachbildschirme 2007 Erwerb von Advanced Converters und Integration als Tochtergesellschaft. Erweiterung des Produktspektrums im Bereich DC-Generatoren 2008 Marktführer bei Generatoren für kritische Beschichtungsprozesse bei der Flachbildschirmherstellung TRUMPF Hüttinger ist TRUMPF. Seit Errichtung eines Test- und Qualifikationszentrum (TQZ) zur Prüfung von Neuentwicklungen im Bereich Plasmageneratoren 2013 Umfirmierung von HÜTTINGER Elektronik in TRUMPF Hüttinger Es gibt Unternehmen, die sind einfach wie geschaffen füreinander. Weil sie ähnliche Kulturen haben. Weil ihre Geschäftsfelder sich ergänzen. Oder weil eine gemeinsame Vision sie eint. Am besten, alles kommt zusammen. Wie bei TRUMPF Hüttinger und TRUMPF. Ein führendes Laserund Maschinenbauunternehmen traf den führenden Anbieter von Prozessenergie. Seit 1990 gehört TRUMPF Hüttinger zur TRUMPF Gruppe. Clou dieser Beziehung war von Anfang an, dass TRUMPF Hüttinger sein Bestes behalten hat, um es stetig auszubauen: Flexibilität, Innovationskraft und die Fähigkeit zu schnellen Entscheidungen. TRUMPF Hüttinger hat nachhaltige Ziele, die sich nur durch lange und intensive Kundenbeziehungen erreichen lassen. Oder wie es bei TRUMPF Hüttinger heißt: generating confidence! 2014 TruPlasma MF Serie 7000 (G2) Weitere Verbesserung des Arc-Managements für optimale Produktivität auch bei kritischen, reaktiven Prozessen. Damit behauptet TRUMPF Hüttinger seine Position als Technologie- und Marktführer im Bereich Großflächenbeschichtungen

4 TRUMPF Hüttinger steht für die Gesamtlösung. Qualifizierte Mitarbeiter machen den Fortschritt. Hinzu kommen die zahlreichen Erfindungen und Patente, auf die wir zurückgreifen. Diese Erfolgsgeheimnisse von TRUMPF Hüttinger verrate ich Ihnen gerne. Bernhard Moosmann, Entwicklung Schade, dass wir uns nicht öfter sehen! Natalie Philipp, Service Die zentralen Bauteile unserer Systeme entwickeln, fertigen und testen wir selbst für kompromisslose Qualität, die sich bei unseren Kunden bewährt. Zuverlässig und über viele Jahre. Thomas Zipfel, Produktion Ein guter Vertrieb ist einer, der zuhören kann. Wir verstehen Ihre Aufgabenstellung vollständig und entwickeln dann die optimale Lösung. Lassen Sie sich durch TRUMPF Hüttinger begeistern vom ersten Kontakt an! Dirk Künzig, Vertrieb Mehr muss Ihnen zum Thema Prozessenergie eigentlich nicht einfallen. TRUMPF Hüttinger positioniert sich als Partner für die gesamte Prozessenergie in vielen Branchen. Beispiel: die Herstellung von Solarzellen. Je nach Typ kristalline oder Dünnschichtsolarzelle sind unterschiedliche Prozesse der Materialaufbringung bzw. des -abtrags erforderlich, für die TRUMPF Hüttinger ein breites Spektrum an Generatoren bereitstellt. Sehen Sie also den Namen TRUMPF Hüttinger als Markenzeichen für integrierte Branchenlösungen. Dahinter steckt ein voll stufiges Unternehmen mit Entwicklung, Produktion, Vertrieb und Service. Rund 700 Mitarbeiter sind bei TRUMPF Hüttinger heute beschäftigt. Viele von ihnen haben sich innerbetrieblich zu sehr erfahrenen Spezialisten ausgebildet. Mit solchen Menschen wollen wir nachhaltige Erfolge erzielen. Wir wären daher schlecht beraten, würden wir dieses einmalige Potenzial nicht wie unseren Augapfel hüten und weiterentwickeln.

5 TRUMPF Hüttinger erzeugt und nährt das Plasma Produktfamilien für die Plasmaanregung: TruPlasma DC Serie 3000 Kompakte, modulare Generatoren mit höchster Leistungsdichte. TruPlasma Bias Serie 3000 DC-Generatoren für Bias-Anwendungen. TruPlasma Arc Serie 3000 DC-Generator für Arc-Kathoden-Anwendungen. TruPlasma DC Serie 4000 Modulare DC-Leistungspakete mit Puls-Modus. TruPlasma Bias Serie 4000 Gepulste DC-Generatoren für Bias-Anwendungen. TruPlasma Highpulse Serie 4000 Hoch-Impuls-DC-System für äußerst präzise Sputter-Prozesse. TruPlasma Bipolar Serie 4000 Bipolar pulsende DC-Generatoren mit breitem Leistungsspektrum. Plasmaanregung: Prozesse Aktivierungs-, Ätz- und Sputterprozesse Plasmaunterstützte CVD-Prozesse (PEVCD) Plasmaunterstützte PVD-Prozesse Plasmapolymerisation Plasmareinigung Plasmadiffusion Hartstoffbeschichtung TruPlasma MF Serie 3000 / 7000 MF-Systeme zur Erzeugung ultra-dünner Schichten als auch für großflächige Sputterprozesse mit hohen Beschichtungsraten. TruPlasma RF Serie 1000 Robuster und energieeffizienter HF-Generator mit exakter Leistungsregelung für PECVD-Prozesse in der Halbleiterfertigung. TruPlasma RF Serie 7000 Leistungsstarke HF-Generatoren für Großflächenaktivierungs-, Ätz- und Sputteranwendungen. Zugegeben, nicht jede Plasmaanregung kommt von TRUMPF Hüttinger. Natürlich kann TRUMPF Hüttinger nicht mit der Sonne als Energiequelle konkurrieren. Das wäre auch nicht sinnvoll. Die Anforderungen an uns sind weit diffiziler. Es geht um konstant ablaufende Plasmaprozesse. Es geht darum, das kalte Feuer Plasma kontrolliert zu erzeugen. Das er fordert Generatoren mit hohen Leistungsbandbreiten, mit Variabilität in den Steuergrößen, mit präziser Regel- und Wiederholgenauigkeit. Höchste Sicherheitspotenziale gegen Störungen und Fehlanpassungen sind Pflicht. Unabdingbar außerdem: eine moderne Steuerungsund Schnittstellenarchitektur. Arc-Management SensorLine, DetectLine und CompensateLine Intelligente Sensorik zur Erkennung auftretender Arcs. Sofortige Identifikation und angemessene Reaktion für optimale Prozessergebnisse. CombineLine Am Markt einzigartige Hochfrequenz-Combiner-Technik mit echter 50-Ohm-Ausgangsimpedanz. Ermöglicht stabile Plasmaprozesse für höchste Produktivität.

6 TRUMPF Hüttinger beherrscht die Induktionserwärmung. Sagen unsere Kunden. Produktfamilien für die Induktionserwärmung: TruHeat MF Serie 3000 / 5000 / 7000 MF-Generatoren mit weitem Frequenz- und Anpassungsbereich, dadurch für eine Vielfalt von Anwendungen einsetzbar. TruHeat HF Serie 1000 / 3000 / 5000 Äußerst kompakte, leistungsstarke HF-Generatoren mit besonders weitem Frequenzbereich für viele industrielle Standard-Erwärmungen. TruHeat HF Serie 7000 HF-Generator für besonders energieintensive Anwendungen, vom Härten bis zum Zonenziehen. Induktionserwärmung: Prozesse Härten, Glühen, Anlassen Kabelerwärmen Löten, Schmelzen, Schrumpfen Verdampfen Trocknen, Kleben Versiegeln, Tubenschweißen Kristall- und Zonenziehen Epitaxie Induktiv gekoppeltes Plasma Gelobt sei, was hart macht. Und weich. Die Induktionserwärmung spielt eine Schlüsselrolle in vielen industriellen Prozessen. Durch sie lassen sich Werkstücke punktgenau und berührungslos erwärmen. So können Oberflächen gehärtet, Kristalle gezüchtet und Behälter versiegelt werden. Letzteres sogar, ohne Verpackung und Füllgut zu erwärmen. Induktion ermöglicht hohe Energieeffizienz und erlaubt kurze Durchsatztakte im industriellen Herstellungsverfahren. Generatoren von TRUMPF Hüttinger liefern die nötige Energie exakt abgestimmt auf die Anforderungen ihres Einsatzfeldes. Die Generatoren sind besonders robust und zuverlässig; Vorteile, auf die es im industriellen Alltag entscheidend ankommt. Hinter diesen Produktleistungen stehen jahrzehnte lange Erfahrungen und zahlreiche in enger Kooperation mit den Kunden entwickelte Branchenlösungen.

7 Wer Energiequellen liefert, übernimmt jede Menge Prozessverantwortung. Die künstliche Herstellung von Kristallen ist ein Schlüsselprozess in vielen Industrien. Der Erfolg von Unternehmen der Halbleiter- und der optischen Industrie beruht geradezu auf der Qualität künstlicher Kristalle. Entsprech end viel hängt daher vom Einsatz leistungsstarker Induk tionsgeneratoren ab. TRUMPF Generatoren beweisen ihre über legene Prozessleistung in allen Verfahren des Zonenziehens und -schmelzens. Der Erfolg Ihres Unternehmens darf nicht an ein paar Hertz Frequenzschwankung in der Woche scheitern. Welche Ansprüche die moderne Industrie an unsere Generatoren stellt, zeigen beispielhaft die Applikationen in der Halbleiterherstellung. Waferproduktionsprozesse gehören zu den schwierigsten industriellen Produktionsaufgaben, die man sich denken kann. Entsprechendes müssen die dazugehörigen Energiequellen leisten. Zehn und mehr Tage konstanter Frequenzleistung sind oft nötig, um die Prozessziele zu erreichen. Nur minimale Leistungsdifferenzen in dieser Zeit, und der Prozess scheitert. Führende Unternehmen überlegen sich deshalb sehr genau, wen sie als Partner für die Prozessenergie ihrer Hightech-Anwendungen wählen: TRUMPF Hüttinger den Generator-Hersteller mit dem technisch führenden Konzept.

8 Was darf ich für Sie tun? Kompetenz in Rufweite: 24-Stunden-Hotlines bieten wir in Europa, Nord- und Südamerika, Südkorea und Taiwan an. Präsenz zählt: Servicezentren in Europa, Amerika, China, Japan, Südkorea und Taiwan sorgen für umfassenden globalen Support. Gutes Gefühl: TRUMPF Hüttinger Ersatzteildepots in Amerika, Europa und Asien erlauben kurze Reaktionszeiten im Servicefall. Eigentlich schade, dass Sie unsere Serviceleute kaum jemals zu Gesicht bekommen werden. Der beste Service, sagt man, ist derjenige, den man nicht benötigt. Schon richtig. Aber ein gutes Gefühl ist es doch zu wissen, dass Sie immer ein TRUMPF Hüttinger Serviceteam in Reichweite haben. Mit Spezialisten, die zu allen möglichen und unmöglichen Zeiten zu Ihnen kommen. Denn hohe Verfügbarkeit und stabile Prozesse sind im harten Wettbewerb von heute wichtiger denn je. Unsere Produkte geben Ihnen die Gewähr für jahre langen störungsfreien Einsatz auch unter harten Bedingungen. Für die seltenen anderen Fälle oder im Wartungsfall vertrauen Sie bitte unserem Service. Er betreut Sie zuverlässig und versorgt Sie zügig mit Ersatzteilen. Auch Geräteschulungen werden durch unseren Service übernommen. Wahlweise bei uns oder bei Ihnen vor Ort. Egal, wo auf der Welt sich Ihr Unternehmen befindet.

9 Trumpf Hüttinger GmbH + Co. KG Bötzinger Straße Freiburg Telefon Fax Info.Elektronik@de.trumpf.com Homepage TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG, Alle Rechte vorbehalten. Fehler und technische Änderungen vorbehalten V08 Abbildungen mit freundlicher Genehmigung von Aixtron, Haldor Topsoe.