the thin-film company FHR Anlagenbau GmbH Sachsen Transfer von Mikrotechnologien in Photovoltaik-Applikationen Dr. Harald Liepack

Größe: px
Ab Seite anzeigen:

Download "the thin-film company FHR Anlagenbau GmbH Sachsen Transfer von Mikrotechnologien in Photovoltaik-Applikationen Dr. Harald Liepack"

Transkript

1 FR Anlagenbau Gmb Sachsen the thin-film company Transfer von Mikrotechnologien in Photovoltaik-Applikationen Dr. arald Liepack

2 FR Anlagenbau Gmb Überblick FR Anlagenbau Gmb Am ügel 2, D Ottendorf-Okrilla Gegründet 1991 in Dresden 6,600 qm Montageflächen 160 feste Mitarbeiter, 25 Zeitarbeitskräfte Umsatz: 21,5 Mio (2007) Gehört seit 2008 zur centrotherm pv AG

3 centrotherm photovoltaics Gruppe Überblick centrotherm photovoltaics AG Solar Silicon Solar Cell Thin Film Sales & Services centrotherm SiQ Gmb centrotherm photovoltaics Technology Gmb FR Anlagenbau Gmb centrotherm photovoltaics Asia Pte. Ltd., SING SolMiC Gmb GP Solar Gmb CT PV Asia Pte. Ltd., Taiwan Branch Schlüsselfertige Produktionslinien für Solarzellen Schlüsselequipment, Prozesstechnologie, Fabrikdesign > 800 Beschäftigte Auftragsbestand: > 950 Mio CT PV USA Inc. CT PV Italia S.r.L.

4 Das Ziel ist unsere Mission Beschichtungslösungen für jede Anwendung FR entwickelt Beschichtungslösungen für die Forschung und Industrieproduktion Fotovoltaik Solarthermie albleiter Mikroelektronik Mikrosysteme MEMS & Sensoren Datenspeicherung Optik Felgenveredelung Schmuckveredelung Verpackungen

5 Unsere Kernkompetenzen Technologien FR bietet die Schlüsseltechnologien für effiziente Vakuum- und Plasmaprozesse Beschichten Physical Vapor Deposition Chemical Vapor Deposition Atomic Layer Deposition Ätzen Plasma Etching Reactive Ion Etching Thermische Behandlung Rapid Thermal Processing Flash-Lamp Annealing Reinigen UV-Ozone Cleaning

6 Unsere Kernkompetenzen Sonderanlagenbau Basierend auf den Schlüsseltechnologien betreten unsere FR-Ingenieure Pionierpfade, um maßgeschneiderte und kundenspezifische Lösungen zu entwickeln. In-line-Systeme Cluster-Systeme Rolle-zu-Rolle-Systeme Schlüsselequipment Zubehör Sputtertargets

7 FR Anlagenbau Gmb Sachsen the thin-film company Reaktives Sputtern Reactive Magnetron Sputtering Technologie 1

8 Technologie 1 Reaktives Sputtern Oxide & Nitride the thin-film company Spannung, Intensität, Rate metallic mode transition mode oxide mode TiN SiO 2, Al 2 O 3 ITO, ZAO TiO 2, Ta 2 O 5, Nb 2 O 5 In 2 O 3, ZnO, Si 3 N 4, SnO 2 Reaktivgas-Fluss Quelle: VON Ardenne Anlagentechnik Gmb

9 Technologie 1 Reaktives Sputtern Dekorative Schichtsysteme

10 Technologie 1 Reaktives Sputtern Absorbtionsschichten the thin-film company

11 FR Anlagenbau Gmb Sachsen the thin-film company ochrate Plasmaätzen igh Rate Plasma Etching (PE) Technologie 2

12 Technologie 2 ochrate Plasmaätzen ICP-Quelle the thin-film company

13 Technologie 2 ochrate Plasmaätzen Ätzprofile the thin-film company ochrate-ätzlösung für Glas, Pyrex... Große Tiefen (> 100 µm) und hohe Raten (0,8... 1,6 µm/min) Kreisförmige bis senkrechte Ätzprofile einstellbar Zwei-Phasen-Ätzprozess: 1) Chemisch dominiertes ochrateätzen 2) Physikalisch dominiertes Reinigungsätzen Patentiertes Verfahren (FR/TU Chemnitz: DE ) Anwendung: Isolationen, Leitungsdurchgänge, Strömungskanäle...

14 Technologie 2 ochrate Plasmaätzen Schrägwandätzen the thin-film company Prozessbedingungen 1 SF 6 =10 sccm 20 Pa P ICP : 1000 W P BIAS : 50 W 400 C Prozessbedingungen 2 C 4 F 8 /Ar=36/20 sccm 1 Pa P ICP : 1000 W P BIAS : 300 W 400 C Vor Spülung DIW Definition Anisotropie A = 1 R lat /R vert A 0,3 ; Tiefe 45 µm 65 Nach Spülung DIW

15 FR Anlagenbau Gmb Sachsen the thin-film company Atomlagenabscheidung Atomic Layer Deposition (ALD) Technologie 3

16 Technologie 3 Atomlagenabscheidung Chemisorption 1 Saturation 1 Chemisorption 2 Saturation 2 Sequenzieller Prozess Gut steuerbares Wachstum einatomiger Schichten (Monolayer) omogene Schichtdicke auch auf komplexen 3D-Oberflächen Metallschichten, Sperr- und aftschichten, optische Schichten Plattformen für 100 mm bis 300 mm Wafer verfügbar

17 Technologie 3 Atomlagenabscheidung Zyklus für Al 2 O 3 (1) Trimethylaluminium Al(C3)3(g) Methylgruppe (C3) Al C ydroxylgruppe (O) O Substratoberfläche 2 O-Dampf aus der Luft wird an vielen Oberflächen absorbiert, es bildet sich eine ydroxylgruppe Trimethylaluminium (TMA) wird in die Reaktionskammer eingelassen

18 Technologie 3 Atomlagenabscheidung Zyklus für Al 2 O 3 (2) Reaktionsprodukt Methan C4 Reaktion TMA mit O C Al C C O Substratoberfläche Trimethylaluminium (TMA) reagiert mit ydroxylgruppe Als Reaktionsprodukt entsteht Methan

19 Technologie 3 Atomlagenabscheidung Zyklus für Al 2 O 3 (3) Überschüssiges TMA Reaktionsprodukt Methan C4 C Al O C Substratoberfläche Trimethylaluminium (TMA) reagiert mit der absorbierten ydroxylgruppe bis die Oberfläche gesättigt ist TMA reagiert nicht weiter mit sich selbst (selbstbegrenzende Reaktion) Das überschüssige TMA wird zusammen mit dem Methan abgepumpt

20 Technologie 3 Atomlagenabscheidung Zyklus für Al 2 O 3 (4) 2O O C Al O C Substratoberfläche Nach dem Abpumpen von TMA und Methan wird Wasserdampf ( 2 O) in die Reaktionskammer eingelassen

21 Technologie 3 Atomlagenabscheidung Zyklus für Al 2 O 3 (5) Neue ydroxylgruppe Reaktionsprodukt Methan Reaktionsprodukt Methan O Al O O Sauerstoffbrücke Substratoberfläche 2 O reagiert mit den freien Methylgruppen Auf der neuen Oberfläche bilden sich Aluminium-Sauerstoff-Brücken und neue ydroxylgruppen Wieder ist Methan das Reaktionsprodukt

22 Technologie 3 Atomlagenabscheidung Zyklus für Al 2 O 3 (6) Al O O Al O O Al Substratoberfläche Das Reaktionsprodukt Methan ist abgepumpt, der überschüssige Was- serdampf reagiert nicht mit den ydroxylgruppen an der Oberfläche

23 Technologie 3 Atomlagenabscheidung Zyklus für Al 2 O 3 (7) O O O O Al O Al O Al O Al O Al Al Al Al Al O O O O O O O Substratoberfläche Eine TMA- und eine 2 O-Spülung zusammen formen einen Zyklus

24 Technologie 3 Atomlagenabscheidung In Gräben the thin-film company

25 Technologie 3 Atomlagenabscheidung ALD-Reaktor the thin-film company ALD 300 Reaktor zur Atomlagenabscheidung 300 mm Waferdurchmesser Oxide: fo 2, Al 2 O 3, La 2 O 3, SiO 2... Nitride: TiN, TaN, SiN x... Metalle: W, Ta, Ti, Cu, Ru... Dielektrika, Metallschichten, Nanolaminate Abscheidung von nanoporösen Strukturen Anwendungen: albleiter, OLEDs, MEMS Bereit für F & E und Serienproduktion

26 FR Anlagenbau Gmb Sachsen the thin-film company Blitzlampen-Temperung Flash Lamp Annealing (FLA) Technologie 4

27 Technologie 4 Blitzlampen-Temperung Flash Lamp Annealing (FLA) Zweigeteiltes System (1) Vorheizen mit alogenlampen ähnlich RTP, bis max C (2) Blitzlampenmodul mit Xenon-Gasentladungslampen und Reflektor zur Realisierung von Oberflächentemperturen bis 2000 C Pulslängen von 20 ms bis 0.6 ms Energiedichten bis zu 120 Joule/cm 2 Endtemperatur Waferoberfläche T end = T Vorheizung + T Blitz

28 Technologie 4 Blitzlampen-Temperung (FLA) Schaltungsaufbau Pulsdauer t = (L * C) 1/2 C... Kapazität der Kondensatoren L... Induktivität der Spulen Ladestation Umax_ 4 kv Trigger-Transformator Uzünd_ kv LC-Netzwerk zur Pulsformung Xe-Gasentladungslampen

29 Technologie 4 Blitzlampen-Temperung FLA-Anlagen the thin-film company FLA 100 DL FLA 100

30 Technologie 4 Blitzlampen-Temperung Vergleich RTP mit FLA erkömmliches RTP (Rapid Thermal Processing) FLA (Flash Lamp Annealing) Vorteile FLA gegenüber RTP Ultra-schnelle Aufheizraten: 250 K/s vs. > 10 5 K/s Kürzere altezeiten: 1 s (Spike) vs. 20 ms µs Nur Oberflächenaufheizung des Materials Rückseite bleibt nahezu kalt Reduzierter Energieeintrag

31 Technologie 4 Blitzlampen-Temperung Vergleich Xenon & alogen

32 Technologie 4 Blitzlampen-Temperung Angepasste Pulsformen LC-Netzwerkes ermöglich Verändern der Pulsform innerhalb des ms-bereiches Pulsform kann so direkt an die spezielle Anwendung angepasst werden

33 Technologie 4 Blitzlampen-Temperung Temperaturverlauf Si-Wafer Pulslänge: 3 ms Pulslänge: 20 ms Quellen: Dr. W. Skorupa (FZD Rossendorf, Dr. Thoralf Gebel (IONServices Dresden,

34 Technologie 4 Blitzlampen-Temperung Vergleich FLA mit RTP 1100 C 1200 C the thin-film company Quelle: Dr. Thoralf Gebel (IONServices Dresden, Flash lamp annealing with millisecond pulses for ultra shallow boron profiles in silicon; T. Gebel, M. Voelskow, W. Skorupa, G. Mannino, V. Privitera, F. Priolo, Napolitani, A. Carnera; Nucl. Instr. Meth. B 186, 287 (2002) Erzeugung flacher Leitungsübergänge durch Aktivierung von in Silizium implantiertem Bor

35 Technologie 4 Blitzlampen-Temperung Anwendung für flexible Solarzellen Sputterbeschichtung Rückkontakt Mo Thermische Behandlung Flash Lamp Annealing Sputterbeschichtung Frontkontakt ZnO Ionenstrahlverdampfung Absorberschicht CIGS Chemische Beschichtung Pufferschicht CdS

36 Technologie 4 Blitzlampen-Temperung Anwendungsbeispiele Kristallisation von amorphem Si auf Glas (TFT LCD) Thermische Behandlung von ITO-Schichten auf Glas & Polymeren (OLED) Defektausheilung in oberflächennahen Bereichen Flache pn-übergänge Produkte für die Datenspeicherung (D)

37 FR Anlagenbau Gmb Sachsen the thin-film company Sonderanlagenbau Special Purpose Machine Construction Ingenieurleistungen und Produkte

38 Engineering & Products IN-LINE Type SV 400 Vertical substrate position Substrate width: 400 mm Substrate length: 3,300 mm Processing: sputtering & etching S 700 orizontal substrate position Substrate size: 700 mm Processing: reactive sputtering Coating: 7 layers simultaneous

39 Engineering & Products Large Area Coating IN-LINE Type FR developes advanced metallization and etching technologies and offers equipment for efficient large area coating Large area sputtering solutions for glass substrates Coating width from 400 mm to 4,000 mm Optical layers, conductive layers, oxide & nitrite layers Applications in architecture, photovoltaics, solar thermals

40 Engineering & Products Large Area Glas Coating Next Generation general features Flexible system based on identical design of compartments Compartments used either for sputtering or pumping Compartment pitch: 680 mm 2 rotatable cathodes or 1 planar cathode per sputtering compartment Coating width according to requirements Rectangular openings on both sides of the compartment (flanges mountable for rotary feedthroughs, sensors, process gas...) Chamber material: stainless steel or mild steel Double sealing system applied on top and between the chambers Be composed of four identical compartments the new chamber design by FR. substrate transport features Belt system on air Ferrofluidic feedthrough used for torque transmission Roller material: aluminium, stainless steel, mild steel, ceramics Roller diameter selectable from 70 to 140 mm process gas system Process gas system at the separation wall of the compartment Main gas and trim gas inlet (up to 5 segments) cathode surround Water cooled or heated environment feasible

41 Engineering & Products CLUSTER Type MS 120 Multi purpose sputtering system Substrate size: 120 mm diameter Substrate materials: metals, synthetics, glass Processing: sputtering, etching, annealing

42 Engineering & Products Schematic Diagram CLUSTER Type Sputtering 2 RF DC CIGS-Chamber DC DC Sputtering 1 DC DC Metal- & TCO-Chamber RTP Robot DC Res. Load lock

43 Engineering & Products Various Modules CLUSTER Type substrate sizes 75 mm to 300 mm diameter various process chambers available Single process chambers Multi process chambers supported sputtering Metals, alloys, oxides, nitrites additional process modules RTP, Flash-RTP, Etching PECVD on request

44 Engineering & Products ROLL Type RC 200 Roll-to-roll coating system Substrate materials: foils, plastic films Substrate width: 200 mm Applicable for flexible CIGS solar cells

45 Exhibitions and Trade Shows Meet FR the thin-film company upcoming presentations SEMICON Europe October, Stuttgart glasstec October, Düsseldorf nano tech February, Tokyo SEMICON China March, Shanghai

46 Please Visit Our Webpage for Additional Information

47 Vielen Dank für Ihre Aufmerksamkeit FR Anlagenbau Gmb Dr. arald Liepack Am ügel 2, Ottendorf-Okrilla (Sachsen) Telefon , Fax Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Informationen.

Innovative Beschichtungskonzepte für die Herstellung optischer Schichten. H. Liepack, W. Hentsch

Innovative Beschichtungskonzepte für die Herstellung optischer Schichten. H. Liepack, W. Hentsch FHR Anlagenbau GmbH Eine Hochtechnologiefirma für Vakuumbeschichtungs- und Strukturierungstechnik 1991-2005: 15 Jahre erfolgreich weltweit tätig! Gründer und geschäftsführende Gesellschafter: Dr.-Ing.

Mehr

Multi-Funktionale Coating Competence Center

Multi-Funktionale Coating Competence Center Multi-Funktionale Beschichtungen @ Coating Competence Center Kontakt: stephan.buecheler@empa.ch Direkt: +41 58 765 6107 yaroslav.romanyuk@empa.ch Direkt: +41 58 765 4169 Laboratory for Thin Films and Photovoltaics,

Mehr

1 Abscheidung. 1.1 CVD-Verfahren. 1.1.1 Siliciumgasphasenepitaxie. 1.1 CVD-Verfahren

1 Abscheidung. 1.1 CVD-Verfahren. 1.1.1 Siliciumgasphasenepitaxie. 1.1 CVD-Verfahren 1 Abscheidung 1.1 CVD-Verfahren 1.1.1 Siliciumgasphasenepitaxie Epitaxie bedeutet obenauf oder zugeordnet, und stellt einen Prozess dar, bei dem eine Schicht auf einer anderen Schicht erzeugt wird und

Mehr

Hahn-Meitner-Institut Berlin

Hahn-Meitner-Institut Berlin Nickel-induzierte schnelle Kristallisation reaktiv gesputterter Wolframdisulfid-Schichten Stephan Brunken, Rainald Mientus, Klaus Ellmer Hahn-Meitner-Institut Berlin Abteilung Solare Energetik (SE 5) Arbeitsgruppe

Mehr

ATOMLAGENABSCHEIDUNG (ALD) FÜR FUNKTIONALE SCHICHTEN AUF TEXTILEN STRUKTUREN

ATOMLAGENABSCHEIDUNG (ALD) FÜR FUNKTIONALE SCHICHTEN AUF TEXTILEN STRUKTUREN ATOMLAGENABSCHEIDUNG (ALD) FÜR FUNKTIONALE SCHICHTEN AUF TEXTILEN STRUKTUREN Mario Krug SmartTex-Workshop, Weimar 13.10.2016 INHALT 1. Einleitung 2. Was ist ALD? 3. Beschichtungsmaterialien 4. Beispiel:

Mehr

Beschichtungen mit Polyparylen durch (plasmaunterstützte) Dampfabscheidung

Beschichtungen mit Polyparylen durch (plasmaunterstützte) Dampfabscheidung Beschichtungen mit Polyparylen durch (plasmaunterstützte) Dampfabscheidung Gerhard Franz mailto:info @ plasmaparylene.de Kompetenzzentrum Nanostrukturtechnik FH München Plasma Parylene Coating Services,

Mehr

Leistungsangebot des Methodischen Kompetenzzentrums Synthese

Leistungsangebot des Methodischen Kompetenzzentrums Synthese Funktionales Strukturdesign neuer ochleistungswerkstoffe durch Atomares Design und Defekt-Engineering ADDE Leistungsangebot des Methodischen Kompetenzzentrums Synthese Methodische Schwerpunkte Nasschemische

Mehr

Planetary Screw Assembly

Planetary Screw Assembly 1 Planetary Screw Assembly (PLSA = Planetary Screw Assembly) Customer Presentation 1 Your Requirements Screw assemblies with high power density offered at market-oriented prices High load capacities, high

Mehr

Produktionstechnologien für die Photovoltaik

Produktionstechnologien für die Photovoltaik Produktionstechnologien für die Photovoltaik Robin Schild* ), Martin Dimer* ) und Michael Powalla** ) * ) VON ARDENNE, Dresden ** ) ZSW, Stuttgart 1 Inhalt Wachstum der Photovoltaik Vakuumtechnik für die

Mehr

Kathodenzerstäubung bei Atmosphärendruck

Kathodenzerstäubung bei Atmosphärendruck Kathodenzerstäubung bei Atmosphärendruck Roland Gesche 1, Horia-Eugen Porteanu 1, Frank Niehardt 1, Reinhold Kovacs 2, Joachim Scherer 2 1 Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik,

Mehr

FVS Workshop 2000. TCO in Solarmodulen

FVS Workshop 2000. TCO in Solarmodulen 60 TCO-Schichten in CIGS- Dünnschichtsolarmodulen Michael Powalla*, Mike Oertel und Richard Menner Zentrum für Sonnenenergie und Wasserstoff-Forschung michael.powalla@zsw-bw.de 61 Die CIGS-Modul-Technologie

Mehr

Stefan Seeger, Klaus Ellmer. HMI-Berlin Abteilung Solare Energetik Glienicker Str. 100 14109 Berlin. Seeger@hmi.de

Stefan Seeger, Klaus Ellmer. HMI-Berlin Abteilung Solare Energetik Glienicker Str. 100 14109 Berlin. Seeger@hmi.de Präparation von CuInS Schichten durch reaktives Magnetronsputtern: Einfluss der Teilchenenergie auf Morphologie und elektrische und optische Eigenschaften Stefan Seeger, Klaus Ellmer HMIBerlin Abteilung

Mehr

TCO-Schichten für die CIGS- Solarmodulproduktion

TCO-Schichten für die CIGS- Solarmodulproduktion TCO-Schichten für die CIGS- Solarmodulproduktion Die Firma Würth Solar GmbH & Co. KG hat im Jahre 2000 eine Pilotfertigung für CIGS-Dünnschichtsolarzellen in Betrieb genommen. Diese Linie mit einer maximalen

Mehr

11. ThGOT 2015. Funktionelle Beschichtungen auf Basis der Sol-Gel-Technik

11. ThGOT 2015. Funktionelle Beschichtungen auf Basis der Sol-Gel-Technik INNOVENT e.v. Technologieentwicklung Wirtschaftsnahe Forschungseinrichtung Gründung 1994 11. ThGOT 2015 Funktionelle Beschichtungen auf Basis der Sol-Gel-Technik Grenz- und Oberflächentechnologie Biomaterialien

Mehr

Narrow Bandpass Filter

Narrow Bandpass Filter Narrow Bandpass Filter Schneider-Kreuznach magnetron sputtered industrial narrow bandpass filters feature steep slopes for sophisticated applications that require a sharp transition between high transmission

Mehr

Spezielle Herstellungsverfahren der Mikrosystemtechnik. Ferienakademie 2004

Spezielle Herstellungsverfahren der Mikrosystemtechnik. Ferienakademie 2004 Mikrosystemtechnik Ferienakademie 2004 1 Einleitung Übernahme zahlreicher Prozessschritte aus Mikroelektronik Verwendung von Siliziumtechnologie Neue Prozessschritte zur Realisierbarkeit 3-dimensionaler

Mehr

Sputtern von aluminium dotierten Zinkoxid -Schichten mit dem Rotatable-Magnetron

Sputtern von aluminium dotierten Zinkoxid -Schichten mit dem Rotatable-Magnetron Sputtern von aluminium dotierten Zinkoxid -Schichten mit dem Rotatable-Magnetron Einleitung M. Dimer dimer.martin@ vonardenne.biz A. Köhler J. Strümpfel VON ARDENNE Anlagentechnik GmbH Transparentes und

Mehr

Bild 1: links tiefengeätzter Graben, rechts freibewegliche Siliziumstruktur

Bild 1: links tiefengeätzter Graben, rechts freibewegliche Siliziumstruktur Ausbildung von Kondensatorflächen in schmalen, tiefen Siliziumgräben für die oberflächennahe Silizium-Bulk-Mikromechanik K. Griesbach, A. Bertz, Th. Geßner TU Chemnitz-Zwickau, Zentrum für Mikrotechnologien

Mehr

Deceleration Technology. Rotary Dampers with high-torque range WRD-H 0607 WRD-H 0805 WRD-H 1208 WRD-H 1610 WRD-H

Deceleration Technology. Rotary Dampers with high-torque range WRD-H 0607 WRD-H 0805 WRD-H 1208 WRD-H 1610 WRD-H Rotary Dampers with high-torque range WRD-H 67 WRD-H 85 WRD-H 128 WRD-H 161 WRD-H 21 Deceleration Technology ONLINE CALCULATION AND 2D / 3D CAD DOWNLOAD M m L F Benefits Applications: - Mechanical and

Mehr

Moderne Oberflächentechnologie im Jahr 1900

Moderne Oberflächentechnologie im Jahr 1900 Moderne Oberflächentechnologie im Jahr 1900 Was ist PLASMA? Jeder kennt Plasma von: Kerzenflammen Blitze beim Gewitter Unsere Sonne Xenon Autoscheinwerfer Was ist PLASMA? Ionisiertes Gas mit den Bestandteilen:

Mehr

Spiegelbeschichtungen in Dünnschichttechnik

Spiegelbeschichtungen in Dünnschichttechnik Spiegelbeschichtungen in Dünnschichttechnik WTT-CHost Workshop EMPA Dübendorf, 28. Juni 2006 Dr. Markus Michler, -NTB Dr. Markus Michler Spiegelbeschichtungen in Dünnschichttechnik Dübendorf, 28.Juni 2006

Mehr

Lehrbuch Mikrotechnologie

Lehrbuch Mikrotechnologie Lehrbuch Mikrotechnologie für Ausbildung, Studium und Weiterbildung von Sabine Globisch 1. Auflage Lehrbuch Mikrotechnologie Globisch schnell und portofrei erhältlich bei beck-shop.de DIE FACHBUCHHANDLUNG

Mehr

III.2 Prozessierung von Halbleiterbauelementen. Lithografie Abscheidung Dotierung Strukturierung Packaging

III.2 Prozessierung von Halbleiterbauelementen. Lithografie Abscheidung Dotierung Strukturierung Packaging III.2 Prozessierung von Halbleiterbauelementen Lithografie Abscheidung Dotierung Strukturierung Packaging Herstellungstechnologien III.2.1 Lithografie Grundprinzipien der Lithografie Abb. Verschiedene

Mehr

2. Herstellung dünner Schichten: CVD, LPE, Sol-Gel u.a.

2. Herstellung dünner Schichten: CVD, LPE, Sol-Gel u.a. 2. Herstellung dünner Schichten: CVD, LPE, Sol-Gel u.a. [Aixtron] 1 CVD Chemical vapor deposition(cvd) reaktive Gase im Vakuum Dissoziation unter Energiezufuhr (Substrattemperatur, Gasentladung, Mikrowellen,

Mehr

1. Auftraggeber client. 1.1. Firmenname: company name: 1.2. Straße: street: 1.3. Ort: place: 1.4. Telefon: phone: 1.5. Fax: fax:

1. Auftraggeber client. 1.1. Firmenname: company name: 1.2. Straße: street: 1.3. Ort: place: 1.4. Telefon: phone: 1.5. Fax: fax: Seite 1 von 10 page 1 of 10 Antrag zur Zertifizierung eines PV Moduls und einer Fertigungsstätteninspektion des zu zertifizierenden Produkts Information about the certificate owner and the manufacturing

Mehr

Unsere Pulvertechnologie erlaubt eine schnelle Fertigung. Die Targets liefern wir als Einzelstück oder in Serie zu einem wirtschaftlichen Preis.

Unsere Pulvertechnologie erlaubt eine schnelle Fertigung. Die Targets liefern wir als Einzelstück oder in Serie zu einem wirtschaftlichen Preis. 1 Sputter Targets Sie benötigen ein Target in einer speziellen Zusammensetzung? Auszug Materialien Target Bonding Unsere Pulvertechnologie erlaubt eine schnelle Fertigung. Die Targets liefern wir als Einzelstück

Mehr

Optiken = Materialien + Oberflächen + Schichten (BMBF-Programm Photonik Forschung Deutschland Licht mit Zukunft, 2011)

Optiken = Materialien + Oberflächen + Schichten (BMBF-Programm Photonik Forschung Deutschland Licht mit Zukunft, 2011) 1 Funktionale optische Oberflächen und Schichten - Trends und Herausforderungen - 50 Jahre F.O.M 07. November 2013 Norbert Kaiser Norbert.Kaiser@iof.fraunhofer.de Einordnung in die KET* Photonik Optiken

Mehr

DEMAT GmbH Company Profile

DEMAT GmbH Company Profile DEMAT GmbH Company Profile DEMAT GmbH Company Profile - one of the most renowned trade fair organisers in Germany - since 1994 organiser of the World Fair EuroMold in Frankfurt / Main - constantly developing

Mehr

Speetronics Technologies

Speetronics Technologies Speetronics Technologies spee tronics T E C H N O L O G I E S Design / Engineering Manufacturing / Assembly Quality Management / Logistics Know-How Durch das fundierte Know How ist Speetronics GmbH ein

Mehr

Die ATLAS Pixel Story

Die ATLAS Pixel Story Die ATLAS Pixel Story Oswin Ehrmann Fraunhofer Institut Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) Berlin ATLAS Detektor im LHC am CERN PIXEL Detektor, Länge 1.3 m Ziel: Höchste Auflösung ATLAS Detektor

Mehr

Beschichtung von Zerspanungswerkzeugen

Beschichtung von Zerspanungswerkzeugen Beschichtung von Zerspanungswerkzeugen TOOLING DAYS KAPFENBERG, Juni 2014 Dr. Wolfgang Kalss Oerlikon Balzers Pro Arbeitstag beschichtet Oerlikon Balzers weltweit über 1 Million Teile 1978 Erste PVD beschichtete

Mehr

Dekorative Oberflächenveredelung mit PVD-Technologien

Dekorative Oberflächenveredelung mit PVD-Technologien Frank Hollstein, Jana Scholz, Rudolf Förster, Klaus Seibt Hochschule Zittau/Görlitz (FH) - Institut für Oberflächentechnik Dekorative Oberflächenveredelung mit PVD-Technologien 1 Oberflächenveredelung

Mehr

Ein Beitrag zu Dünnschichtsolarzellen auf der Basis von Cu(In, Ga)Se 2

Ein Beitrag zu Dünnschichtsolarzellen auf der Basis von Cu(In, Ga)Se 2 1. Seminarvortrag Graduiertenkolleg 1 Seminarvortrag Graduiertenkolleg Neue Hochleistungswerkstoffe für effiziente Energienutzung Ein Beitrag zu Dünnschichtsolarzellen auf der Basis von Cu(In, Ga)Se 2

Mehr

Abscheidung von ZnO-Schichten mittels der LPCVD-Technik für die Anwendung in der Dünnschichtphotovoltaik

Abscheidung von ZnO-Schichten mittels der LPCVD-Technik für die Anwendung in der Dünnschichtphotovoltaik U. Kroll Session III FVS Workshop 2005 Abscheidung von ZnO-Schichten mittels der LPCVD-Technik für die Anwendung in der Dünnschichtphotovoltaik Transparente, leitfähige Oxidschichten (TCO, transparent

Mehr

F limyé. Automotive Professional Consumer

F limyé. Automotive Professional Consumer F limyé Automotive Professional Consumer Flach, leicht und flexibel Mit der patentierten Technologie von EDC eröffnen sich völlig neue Möglichkeiten der Lichtgestaltung. Die Besonderheit der Produktlinie

Mehr

Wiederholung: praktische Aspekte

Wiederholung: praktische Aspekte Wiederholung: praktische Aspekte Verkleinerung des Kathodendunkelraumes! E x 0 Geometrische Grenze der Ausdehnung einer Sputteranlage; Mindestentfernung Target/Substrat V Kathode (Target/Quelle) - + d

Mehr

Recycling strategischer Metalle Forschungsstrategie und -ergebnisse eines sächsischen KMU

Recycling strategischer Metalle Forschungsstrategie und -ergebnisse eines sächsischen KMU Agenda Recycling strategischer Metalle Forschungsstrategie und -ergebnisse eines sächsischen KMU 1 2 3 Firmensteckbrief unser Weg zur Sekundärrohstoffchemie aktuelle Ergebnisse Dr. Wolfram Palitzsch, Loser

Mehr

Micro Laser Source for sensing applications

Micro Laser Source for sensing applications Micro Laser Source for sensing applications A. T. Winzer a, J. Freitag a, P. Dannberg b, M. Hintz a, M. Schädel a, H.-J. Freitag a a - CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Erfurt b - Fraunhofer

Mehr

Seltene Metalle in der Photovoltaik

Seltene Metalle in der Photovoltaik Willkommen Welcome Bienvenue Seltene Metalle in der Photovoltaik Dr. Stephan Buecheler Abteilung für Dünnfilme und Photovoltaik, Empa PV-Technologien Überblick 1. Generation: Wafer basiert 2. Generation:

Mehr

UV-MASTER. Härtung von Foliendekoroberflächen mit UV-Strahlung UV-Curing of film decorated mold parts (IMD/IML)

UV-MASTER. Härtung von Foliendekoroberflächen mit UV-Strahlung UV-Curing of film decorated mold parts (IMD/IML) UV-MASTER Härtung von Foliendekoroberflächen mit UV-Strahlung UV-Curing of film decorated mold parts (IMD/IML) OBERFLÄCHEN-REINIGUNGS-SYSTEME SURFACE-CLEANING-SYSTEMS UV-MASTER UV-HÄRTUNG von Design-Folien

Mehr

ERHARD is a company of. Datasheet ERHARD ECR check valve

ERHARD is a company of. Datasheet ERHARD ECR check valve ERHARD is a company of Datasheet The compact check valve for clamping The is clamped between two flanges as a reflux preventer. It has two vanes which, for example, open on starting a pump and will iediately

Mehr

series COF combiflex Serie COF combiflex COF Combiflex Die Combiflex-Gehäuse bestehen aus 2 U-Profil-Strangpressprofilen,

series COF combiflex Serie COF combiflex COF Combiflex Die Combiflex-Gehäuse bestehen aus 2 U-Profil-Strangpressprofilen, COF Serie COF combiflex series COF combiflex COF Combiflex Die Combiflex-Gehäuse bestehen aus 2 U-Profil-Strangpressprofilen, die sich beliebig miteinander kombinieren lassen, und zwei Abschlussdeckeln,

Mehr

SCHOTT CONTURAX Pro. Precision Drawn Profile Tubing Glasrohre mit Profil

SCHOTT CONTURAX Pro. Precision Drawn Profile Tubing Glasrohre mit Profil SCHOTT CONTURAX Pro Precision Drawn Profile Tubing Glasrohre mit Profil SCHOTT CONTURAX Pro Product Benefits Produktvorteile n High planarity and surface quality n Hohe Planarität und Oberflächengüte n

Mehr

TIMARIS / ROTARIS Ein starkes Tool für Nano Beschichtungen im Halbleiter-Sektor SINGULUS TECHNOLOGIES

TIMARIS / ROTARIS Ein starkes Tool für Nano Beschichtungen im Halbleiter-Sektor SINGULUS TECHNOLOGIES TIMARIS / ROTARIS Ein starkes Tool für Nano Beschichtungen im Halbleiter-Sektor SINGULUS TECHNOLOGIES Oktober 2013 Smart Solutions - 2 - Optical Disc Mastering Molding Replication Solar Coating Wet Processing

Mehr

Applications. General technical specifications according to ISO Parallelism mm: 5/1x0,10 L3x0,008

Applications. General technical specifications according to ISO Parallelism mm: 5/1x0,10 L3x0,008 UV IR Cut Filter Schneider-Kreuznach UV IR Cut filter transmit VIS light and block troublesome UV and IR light. Those popular filters are ideal as sensor cover glasses. The choice of wavelength ranges

Mehr

Halbleitertechnologie - Überblick der Halbleitertechnologie Dr. Th. Schreiber; Dr. L. Reindl, 13.04.2009, Nr.

Halbleitertechnologie - Überblick der Halbleitertechnologie Dr. Th. Schreiber; Dr. L. Reindl, 13.04.2009, Nr. Technology The complete wafer bumping production solution. Field proven components as evaporation sources, especially for UBM (low spitting, etc.) and bump metallization (large material quantities, extremely

Mehr

Product name Order number Short description Seite. PDS0001 Show figure PDS_S_2A Aluminium skeleton with support and 2 arms and 2 legs 1

Product name Order number Short description Seite. PDS0001 Show figure PDS_S_2A Aluminium skeleton with support and 2 arms and 2 legs 1 General Catalog Overview Show Figures: Standard PDS0001 Show figure PDS_S_2A Aluminium skeleton with support and 2 arms and 2 legs 1 PDS0002 Show Figure PDS_N_2A2L Aluminium skeleton with 2 arms and 2

Mehr

I-Energieversorgung I-Power Supply

I-Energieversorgung I-Power Supply F Seite 1 page 1 1) Pneumatisch a. Stellantriebe mit Membrane finden ihren Einsatz da, wo kleine Stellkräfte ausreichen. Der pneumatische Stellantrieb ist direkt in Kompaktbauweise mit dem Stellventil

Mehr

Atzverfahren für die Mikrotechnik

Atzverfahren für die Mikrotechnik Michael Köhler Atzverfahren für die Mikrotechnik WILEY-VCH Weinheim New York Chichester Brisbane Singapore Toronto Inhalt Vorwort Inhaltsverzeichnis Symbole und Formelzeichen Abkürzungen V VII XI XV 1

Mehr

MEMS: Mikro Elektro Mechanische Systeme. http://www.mems-exchange.org/mems/what-is.html

MEMS: Mikro Elektro Mechanische Systeme. http://www.mems-exchange.org/mems/what-is.html MEMS: Mikro Elektro Mechanische Systeme http://www.mems-exchange.org/mems/what-is.html P. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 1 Was sind MEMS? Die Integration von - mechanischen Elementen - Sensoren - Aktuatoren

Mehr

Quadt Kunststoffapparatebau GmbH

Quadt Kunststoffapparatebau GmbH Quadt Kunststoffapparatebau GmbH Industriestraße 4-6 D-53842 Troisdorf/Germany Tel.: +49(0)2241-95125-0 Fax.: +49(0)2241-95125-17 email: info@quadt-kunststoff.de Web: www.quadt-kunststoff.de Page 1 1.

Mehr

Neuartige Aspekte der Oberflächenbearbeitung und deren industrielle. Anwendungen in verschiedenen Branchen

Neuartige Aspekte der Oberflächenbearbeitung und deren industrielle. Anwendungen in verschiedenen Branchen Neuartige Aspekte der Oberflächenbearbeitung und deren industrielle Anwendungen in verschiedenen Branchen PE-CVD-Abscheidung Modifizierter Kohlenstoffschichten Dr. Torsten Barfels Institut für Oberflächen-

Mehr

Deceleration Technology. Rotary Dampers with high-torque range WRD-H 7550 WRD-H 9565 WRD-H

Deceleration Technology. Rotary Dampers with high-torque range WRD-H 7550 WRD-H 9565 WRD-H Rotary Dampers with high-torque range WRD-H 7550 WRD-H 9565 WRD-H 12070 Deceleration Technology ONLINE CALCULATION AND 2D / 3D CAD DOWNLOAD M m L F Benefits Material: - Aluminium and steel Applications:

Mehr

Querschnittstechnologien inkl. Geothermie F&E Schwerpunkte und deren Implementierungsstrategie

Querschnittstechnologien inkl. Geothermie F&E Schwerpunkte und deren Implementierungsstrategie Querschnittstechnologien inkl. Geothermie F&E Schwerpunkte und deren Implementierungsstrategie Michael Monsberger AIT Austrian Institute of Technology Themenüberblick (2 Panels) Geothermie Oberflächennahe

Mehr

Rohrschieber mit Schließfeder Slide Valve spring loaded

Rohrschieber mit Schließfeder Slide Valve spring loaded Rohrschieber mit Schließfeder Slide Valve spring loaded Rohrschieber als automatisches Entlüftungsventil Slide Valve as automatic air relief valve Type: RSF DN: 50 300 (2 12 ) PN: 16 160 (Class 150 900)

Mehr

Fließbett Fluidizing bed

Fließbett Fluidizing bed » Engineering your success «Zeppelin Systems GmbH Einsatzgebiete Pneumatisches Auflockerungssystem zur Austragung schwer fließfähiger aber gut fluidisierbarer Schüttgüter (mehlartig und pulverförmig),

Mehr

Solarzellen aus Si-Drähten

Solarzellen aus Si-Drähten Solarzellen aus Si-Drähten Fabian Schmid-Michels fschmid-michels@uni-bielefeld.de Universität Bielefeld Vortrag im Nanostrukturphysik 2 Seminar 31. Mai 2010 1 / 27 Überblick 1 Einführung Motivation 2 Herkömmliche

Mehr

Abscheidung von TCO-Schichten mittels DC-Pulssputtern mit HF-Überlagerung

Abscheidung von TCO-Schichten mittels DC-Pulssputtern mit HF-Überlagerung FVS Workshop 2005 M. Ruske Session VI Abscheidung von TCO-Schichten mittels DC-Pulssputtern mit HF-Überlagerung M. Ruske mruske@ eu.appliedfilms.com M. Bender A. Klöppel M. Stowell Applied Films Bei der

Mehr

IDEAL Fencing Line GAO 530

IDEAL Fencing Line GAO 530 Stand 01/2016 IDEAL Fencing Line GAO 530 The IDEAL GAO 530 is a wire mesh welding line which is used for resistance welding of industrial mesh, wire shelves, reinforcing mesh and fencing mesh. Mesh width:

Mehr

a new line of steam sterilizers

a new line of steam sterilizers a new line of steam sterilizers ticheeasy to use and high consumption savings multifunction display controlled by micro-processor double and patented motor-operated closure stainless steel chamber without

Mehr

Messer und Lochscheiben Knives and Plates

Messer und Lochscheiben Knives and Plates Messer und Lochscheiben Knives and Plates Quality is the difference Seit 1920 Since 1920 Quality is the difference Lumbeck & Wolter Qualität, kontinuierlicher Service und stetige Weiterentwicklung zeichnen

Mehr

Flexible Solarmodule zur direkten Verklebung mit dem Dachmaterial

Flexible Solarmodule zur direkten Verklebung mit dem Dachmaterial Flexible Solarmodule zur direkten Verklebung mit dem Dachmaterial Erik Theilig PVflex Solar GmbH Synergien mit Stahl, 14. November 2007 Agenda (1) Unternehmensprofil PVflex Solar GmbH (2) Der Weltstrombedarf

Mehr

Shock pulse measurement principle

Shock pulse measurement principle Shock pulse measurement principle a [m/s²] 4.0 3.5 3.0 Roller bearing signals in 36 khz range Natural sensor frequency = 36 khz 2.5 2.0 1.5 1.0 0.5 0.0-0.5-1.0-1.5-2.0-2.5-3.0-3.5-4.0 350 360 370 380 390

Mehr

Aspekte der Energieeffizienz beim Einsatz von Nanotechnologien

Aspekte der Energieeffizienz beim Einsatz von Nanotechnologien BmU Treffen Nanokommission 20. 2. 2008, Berlin Aspekte der Energieeffizienz beim Einsatz von Nanotechnologien Dr. Karl-Heinz Haas Sprecher des Fraunhofer- Verbundes Nanotechnologie 97082 Würzburg haas@isc.fhg.de

Mehr

Entwicklung von CIS Dünnschichtsolarzellen Anknüpfungspunkte zur Nanotechnologie

Entwicklung von CIS Dünnschichtsolarzellen Anknüpfungspunkte zur Nanotechnologie Entwicklung von CIS Dünnschichtsolarzellen Anknüpfungspunkte zur Nanotechnologie Dr. Adalbert Lossin Nanotechnologie Workshop, 16. November 2006-1 - Agenda 1. Einleitung 2. Entwicklung flexibler CIS Solarzellen

Mehr

Mitteldruck-Zellenradschleuse Typ CFM Medium pressure rotary feeder type CFM

Mitteldruck-Zellenradschleuse Typ CFM Medium pressure rotary feeder type CFM » Engineering your success «Zeppelin Systems GmbH 8845 Friedrichshafen Tel.: +49 7541 22-2 Fax: +49 7541 22-491 Einsatzgebiete CFM-Zellenradschleusen werden vorwiegend für den dosierten Austrag von Granulaten

Mehr

Möglichkeiten im Siebdruck bezogen auf die Solarzellentechnologie

Möglichkeiten im Siebdruck bezogen auf die Solarzellentechnologie Zukunft braucht Erfahrung Möglichkeiten im Siebdruck bezogen auf die Solarzellentechnologie THIEME GmbH & Co. KG Robert-Bosch-Straße 1 79331 Teningen info@thieme.eu Agenda + Vorstellung der Firma + Siebdruck

Mehr

drawbar eye series 2010

drawbar eye series 2010 drawbar eye series 2010 directive 94/20/EG / class S DIN 74054-40A / material St52-3 (no. 1.0570) / with bush 40 mm parameters for centre-axle trailer s ṣhaft cross section order no H x B mm length A mm

Mehr

TexSiSolar - Silizium-Dünnschicht- Solarzellen auf Glasfasergewebe

TexSiSolar - Silizium-Dünnschicht- Solarzellen auf Glasfasergewebe TexSiSolar - Silizium-Dünnschicht- Solarzellen auf Glasfasergewebe Jonathan Plentz Institut für Photonische Technologien (IPHT) Abteilung: Photovoltaische Systeme Adresse: Albert-Einstein-Str. 9, 07745

Mehr

Textil-Kunststoffverbunde für optische Verkleidungsteile

Textil-Kunststoffverbunde für optische Verkleidungsteile Textil-Kunststoffverbunde für optische Verkleidungsteile Agenda Metall-Textil Kombinationen Quellflussprägen und Hinterspritzen als Substitut zum Kaschieren Entwicklungsprojekte Varysoft Beheizbare Dekore

Mehr

In situ SEM as a tool for investigating micro and nanoscale processes in materials research

In situ SEM as a tool for investigating micro and nanoscale processes in materials research In situ SEM as a tool for investigating micro and nanoscale processes in materials research Reiner Mönig Institut for Materials Research II Electrical Mechanical Heating Electrochemical Experiments Projektbüro

Mehr

Konfektionsständer Sales Racks

Konfektionsständer Sales Racks Konfektionsständer Sales Racks ELEGANCE LINE BLACK EDITION Die Produkte unserer Elegance Line perfektionieren den Gesamtauftritt Ihrer Kollektion. Hochwertige Metalloberflächen setzen Ihre Mode gezielt

Mehr

Unravelling the systematics in ion beam sputter deposition of SiO 2. M. Mateev, T. Lautenschläger, D. Spemann, C. Bundesmann

Unravelling the systematics in ion beam sputter deposition of SiO 2. M. Mateev, T. Lautenschläger, D. Spemann, C. Bundesmann Unravelling the systematics in ion beam sputter deposition of SiO 2 M. Mateev, T. Lautenschläger, D. Spemann, C. Bundesmann Introduction 2 Outline Introduction Motivation Setup and growth parameters Characterization

Mehr

Professur Leistungselektronik und elektromagnetische Verträglichkeit Lehre und Forschung

Professur Leistungselektronik und elektromagnetische Verträglichkeit Lehre und Forschung IEEE German Chapter Meeting 11. / 12. 05. 06 Professur Leistungselektronik und elektromagnetische Verträglichkeit Lehre und Forschung Prof. Dr. Josef Lutz, TU Chemnitz Leistungselektronik und elektromagnetische

Mehr

Vorstellung Solarion AG

Vorstellung Solarion AG Vorstellung Solarion AG Leipzig, Deutschland www.solarion.de 1 Rolle-zu-Rolle-Fertigung flexibler Dünnschichtsolarzellen auf der Basis von Kupferindium(gallium)diselenid (CIGS) 1. Unternehmen Solarion

Mehr

Photovoltaik - Neuentwicklungen der letzten Jahre

Photovoltaik - Neuentwicklungen der letzten Jahre Photovoltaik - Neuentwicklungen der letzten Jahre Rolf Brendel Bayerisches Zentrum für Angewandte Energieforschung www.zae-bayern.de Abteilung Thermosensorik und Photovoltaik, Erlangen Übersicht Neue Sichtweise

Mehr

Laserablation und ihre Anwendung in der Mikrotechnik

Laserablation und ihre Anwendung in der Mikrotechnik Laserablation und ihre Anwendung in der Mikrotechnik S. Zoppel 1, S. Partel 1, J. Nicolics 2, G.A. Reider 3, J. Zehetner 1 1 FH Vorarlberg, Forschungszentrum Mikrotechnik, Hochschulstraße 1, 6850 Dornbirn

Mehr

Transparente ZnO:Al 2 O 3 - Kontaktschichten für Cu(In,Ga)Se 2 - Dünnschichtsolarzellen

Transparente ZnO:Al 2 O 3 - Kontaktschichten für Cu(In,Ga)Se 2 - Dünnschichtsolarzellen R. Menner Session III FVS Workshop 25 Transparente ZnO:Al 2 O 3 - Kontaktschichten für Cu(In,Ga)Se 2 - Dünnschichtsolarzellen Einleitung Großflächige Cu(In,Ga)Se 2 -Dünnschichtsolarzellen (CIS) haben über

Mehr

Wie entsteht ein Fotovoltaikmodul von REC?

Wie entsteht ein Fotovoltaikmodul von REC? Wie entsteht ein Fotovoltaikmodul von REC? 1 Copyright 2008 Renewable Energy Corporation ASA. All Rights Reserved April 2009 Herstellung von polykristallinem Silizium 1: Rohmaterial ist Metallurgisches

Mehr

Qualitäts-Schneidsysteme für höchste Anforderungen

Qualitäts-Schneidsysteme für höchste Anforderungen Qualitäts-Schneidsysteme für höchste Anforderungen Made in Germany Tomphecke 51 41169 Moenchengladbach Germany Phone 0049 (0) 21 61-99 42-0 Fax 0049 (0) 21 61-99 42 14 info@sato.de www.sato.de 09/2012

Mehr

Komponenten-Systeme Components systems Kombirollen Combined Bearings. Anschraubplatten rechteckig für Kombirollen und Radiallager

Komponenten-Systeme Components systems Kombirollen Combined Bearings. Anschraubplatten rechteckig für Kombirollen und Radiallager Kombirollen Combined s Anscraubplatten recteckig für Kombirollen und Radiallager Flange plates rectangular for Combined s and Radial s WINKEL Kombirollen mit Anscraubplatten sind fertige Systemelemente

Mehr

Analysatoren, Restgasresidual gas analysers (RGA) MKS Instruments Deutschland GmbH Schatzbogen 43 D-81829 München Tel. 089/420008-0, Fax -424106

Analysatoren, Restgasresidual gas analysers (RGA) MKS Instruments Deutschland GmbH Schatzbogen 43 D-81829 München Tel. 089/420008-0, Fax -424106 DER GESAMTE VAKUUMBEREICH Im Produkt- und Lieferantenverzeichnis finden Sie Produkte, Verfahren und Dienstleistungen. Die Rubriken/Stichworte sind in Deutsch und Englisch und können jederzeit nach Ihren

Mehr

Pilot Project Biogas-powered Micro-gas-turbine

Pilot Project Biogas-powered Micro-gas-turbine 1/18 Pilot Project Biogas-powered Micro-gas-turbine Supported by the Hessischen Ministerium für Wirtschaft, Verkehr und Landesentwicklung Speaker Details 2/18 Jan Müller Works at Institute of Solar Energy

Mehr

Maskenfertigung für die EUV-Lithographie Aufbau und Charakterisierung

Maskenfertigung für die EUV-Lithographie Aufbau und Charakterisierung Maskenfertigung für die EUV-Lithographie Aufbau und Charakterisierung Michaela Wullinger Christian Holfeld Advanced Mask Technology Center GmbH & Co KG Dresden, Germany Gliederung Mooresches Gesetz: Immer

Mehr

Investigation and Development of CIGS Solar Cells on Flexible Substrates and with Alternative Electrical Back Contacts

Investigation and Development of CIGS Solar Cells on Flexible Substrates and with Alternative Electrical Back Contacts DISS. ETH No. 18194 Investigation and Development of CIGS Solar Cells on Flexible Substrates and with Alternative Electrical Back Contacts A dissertation submitted to ETH ZURICH for the degree of DOCTOR

Mehr

Zerstäubungsabscheidung von Mg-Legierungen

Zerstäubungsabscheidung von Mg-Legierungen Zerstäubungsabscheidung von Mg-Legierungen S. Mändl 1 Acknowledgments SPP 1168 (InnoMagTec) C. Blawert, M. Störmer, W. Dietzel MS, Elektrochemie IOM Y. Bohne IBS D. Manova IBS, VAD J.W. Gerlach XRD S.

Mehr

FLOXCOM - WP 7 Modelling and Optimisation of Wall Cooling - Wall Temperature and Stress Analysis

FLOXCOM - WP 7 Modelling and Optimisation of Wall Cooling - Wall Temperature and Stress Analysis FLOXCOM - WP 7 Modelling and Optimisation of Wall Cooling - Wall Temperature and Stress Analysis B&B-AGEMA Dr.-Ing. K. Kusterer 1. Status report 2. 3-D simulation of final combustor geometry 3. Publications

Mehr

SB-Displays für den Fachhandel

SB-Displays für den Fachhandel SB-Displays für den Fachhandel präsentiert... presentation... SCHNEIDER SCHNEIDER Gut Great sortiert... assortment... SB-Displays Great presentation, Great assortment - Great Sales! This is the reason

Mehr

s b astec edelstahl design beschlaege

s b astec edelstahl design beschlaege s b c h l a g 5 0 0 R astec e edelstahl design beschlaege flexibler drehtuerbeschlag flexible pivoting door fitting im design zum typ 600 passend wurde der drehtuerbeschlag 500 entwickelt. die optik besticht

Mehr

s b astec edelstahl design beschlaege

s b astec edelstahl design beschlaege s b c h l a g 5 0 0 R astec e edelstahl design beschlaege flexibler drehtuerbeschlag flexible pivoting door fitting beschlag 500 im design zum typ 600 passend wurde der drehtuerbeschlag 500 entwickelt.

Mehr

NTG Neue Technologien GmbH. NTG-Product overview. Dr. Johannes Maus

NTG Neue Technologien GmbH. NTG-Product overview. Dr. Johannes Maus NTG-Product overview Dr. Johannes Maus Übersicht Projekte und Produkte Overview Projects and Products Betriebsangehörige 84 Company members davon in Produktion 64 Members in machine shop Produktbereiche

Mehr

S- SAITPOL STRIPS / BÖGEN R-SAITPOL ROLLS / ROLLEN

S- SAITPOL STRIPS / BÖGEN R-SAITPOL ROLLS / ROLLEN NON-WOVEN VLIES S- SAITPOL STRIPS / BÖGEN R-SAITPOL ROLLS / ROLLEN S-SP R-SP CA CC GP MA VF UF UFS SA S-SP R-SP 120 x 280 mm 152 x 229 mm 115 x 10 m glazing operations and metals flatting accurate finish

Mehr

Sondermotoren Special motors

Sondermotoren Special motors Starke Antriebstechnik powerful drive technology Sondermotoren Special motors Sondermotoren Special motors Überblick Overview Wir entwickeln und fertigen Ihren Sondermotor! Geben Sie Ihrem Motor ein individuelles

Mehr

Photovoltaik. Herstellung und innovative Konzepte. Von Sebastian Illing und Nora Igel

Photovoltaik. Herstellung und innovative Konzepte. Von Sebastian Illing und Nora Igel Photovoltaik Herstellung und innovative Konzepte Von Sebastian Illing und Nora Igel Photovoltaik - Herstellung und innovative Konzepte Inhaltsübersicht 1. Herstellung 1.1 Siliziumproduktion 1.2 Zellenproduktion

Mehr

Zubehör Accessories Accessoires

Zubehör Accessories Accessoires Seite Page Page 14/2 DA 14/4 Allgemeine Merkmale Drehantrieb General parameters Rotary drive unit Caractéristiques générales Servomoteur rotatif + 16 Zubehör Accessories Accessoires 14/0 Drehantrieb Rotary

Mehr

Customer-specific software for autonomous driving and driver assistance (ADAS)

Customer-specific software for autonomous driving and driver assistance (ADAS) This press release is approved for publication. Press Release Chemnitz, February 6 th, 2014 Customer-specific software for autonomous driving and driver assistance (ADAS) With the new product line Baselabs

Mehr

HOCHLEISTUNGSQUETSCHVENTILE TYP RV HIGH PERFORMANCE PINCH VALVES TYPE RV

HOCHLEISTUNGSQUETSCHVENTILE TYP RV HIGH PERFORMANCE PINCH VALVES TYPE RV HOCHLEISTUNGSQUETSCHVENTILE TYP RV HIGH PERFORMANCE PINCH VALVES TYPE RV EIGENSCHAFTEN Nennweite: DN - 1 mm Baulänge: DIN, ASME, ISO Betriebsdrücke: 1 - bar Auf/Zu-Ventile Regelventile (elektrisch/ elektro-pneumatisch)

Mehr

Türgriffe Pull Handles OGRO TG

Türgriffe Pull Handles OGRO TG Türgriffe Pull andles OGO TG OGO TG-Türgriffe OGO TG Pull andles Merkmale Features Zahlreiche Standardformen und -größen, Sonderanfertigung nach individuellen Vorgaben Numerous standard designs and sizes,

Mehr

D. Mergel Session II. FVS Workshop 2005

D. Mergel Session II. FVS Workshop 2005 Sauerstoff im Zwischengitter: Der Schlüssel zum Verständnis des Wachstums, der Mikrostruktur und der optischen und elektrischen Eigenschaften von In 2 O 3 :Sn-Schichten Wir haben ITO-Schichten mit verschiedenen

Mehr

HYDRAULIK UND PNEUMATIK ROTORDICHTUNG HYDRAULIC AND PNEUMATIC GLIDE SEAL C1R

HYDRAULIK UND PNEUMATIK ROTORDICHTUNG HYDRAULIC AND PNEUMATIC GLIDE SEAL C1R Die Rotordichtung C1R wurde aufgrund der Forderung aus der Industrie, nach einer kompakten Dichtung mit möglichst kleinen Einbaumaßen entwickelt. Ziel war es, eine leichtgängige Niederdruckdichtung zu

Mehr