Untersuchung der Genauigkeit bei der Mikrolaserablation

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1 Technik Anonym Untersuchung der Genauigkeit bei der Mikrolaserablation Bachelorarbeit

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4 Anonym Untersuchung der Genauigkeit bei der Mikrolaserablation GRIN Verlag

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6 Bachelorarbeit Untersuchung der Genauigkeit bei der Mikrolaserablation

7 Kurzfassung Die Laserablation ist ein modernes, verschleißfreies Abtragsverfahren, mit dem auch winzige Strukturen präzise bearbeitet werden können. Am Karlsruher Instituts für Technologie wurde eine Versuchsanlage zur Mikrolaserablation entwickelt. In dieser ist ein Pikosekundenlaser für Forschungszwecke integriert. Die Anlage wird in dieser Arbeit experimentell untersucht. Dabei wird ermittelt, welche Einflussgrößen in welcher Art und in welchem Ausmaß das Bearbeitungsergebnis beeinflussen. Hauptaugenmerk ist dabei die Ovalität der Näpfchen, die bei der Bearbeitung entstehen. Es ist zu erwarten, dass ein Näpfchen umso ovaler ist, je flacher der Einstrahlwinkel ist, also je weiter sich die Bearbeitungsstelle von der Mitte weg bewegt.

8 Abstract Laser ablation is a modern, wear-free removal method. Even tiny structures can be precisely machined. At the Karlsruhe Institute of Technology an experimental facility for micro laser ablation was developed. In this one a picosecond laser is integrated for research purposes. The system is investigated experimentally in this work. It is determined, which factors in what way and to which extent affect the machining result. The focus is on the ovality of the cells caused by machining. It is expected that the more shallow the angle of incidence, the more oval are the cells. So further away from the machining center cells are expected more oval.

9 Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Abkürzungen III 1 Einleitung Motivation und Zielsetzung Aufbau der Arbeit 1 2 Grundlagen Ursprung des Lasers Elektromagnetische Wellen Atome und Strahlung Entstehung von Laserstrahlen Fokussierung des Laserstrahls 13 3 Stand der Technik Einordnung der Laser Lasertypen nach Signalform Lasermedien Strahlführung und -formung Strahlführung Strahlformung Anwendungen Laserablation Weitere Anwendungen Ultrakurzpulstechnik 35 4 Eigener Ansatz Untersuchte Einflussgrößen Versuchsplanung Aufbau der Versuchsanlage Laseranlage Mikroskopanlage 47 5 Ergebnisse Temperatureinflüsse Beschleunigung Vorschub Einstrahlwinkel Zufallsschwankungen und Aussetzer 63 Seite I

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