F-Theta Objektive für die Lasermaterialbearbeitung

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1 F-Theta Objektive für die Lasermaterialbearbeitung Schnelle Verfügbarkeit von Standardobjektiven Ihr Technikvorsprung durch kundenspezifische Entwicklung Service durch individuellen Kundensupport

2 F-Theta Objektive für die Lasermaterialbearbeitung Erst mit der Bereitstellung prozeßgerechter Fokussiersysteme werden die extrem vielfältigen Anwendungsmöglichkeiten des Werkzeugs Laser voll nutzbar. LINOS F-Theta Objektive zur Lasermaterialbearbeitung garantieren beste Bearbeitungsergebnisse über den gesamten Arbeitsbereich. Sie tragen insbesondere bei anspruchsvollen Aufgabenstellungen wesentlich zur Optimierung der Prozeßsicherheit bei. Die Einsatzgebiete sind äußerst vielseitig: Bohren und Feinschneiden von Metallen und Keramiken mittels gepulster Laserstrahlung (z.b. Leiterplatten-Mikrobohrungen) Kunststoffschweißen mittels kontinuierlicher Laseremission zum lokalen Aufschmelzen von Oberflächen ermöglicht Verbindungen von Kunststoffen ohne Zusatzwerkstoffe Strukturieren/Perforieren von metallischen und nichtmetallischen Werkstoffen (z.b. in der Verpackungstechnik: easy opening/easy ventilation) Beschriften (z.b. von Smart Cards, ICs, Druckplatten, Tastaturen, Bedienelementen im Kfz mit Tag- & Nachtdesign) Reinigen durch Laserpulse gewährt eine materialschonende Behandlung von Industrieprodukten (z.b. Wafer) sowie Restaurierungsprojekten (z.b. Denkmäler) Anwendungsgebiete: Bohren und Schneiden im Mikro- und Makrobereich Beschriften Kunststoffschweißen 2

3 Übersicht über LINOS F-Theta Objektive Abb. 1: F-Theta Ronar Objektiv, Quarzvariante für 355 nm, Brennweite 160 mm Wellenlänge [nm] Nominalbrennweite Scanfeld [mm 2 ] x x x x x x x 291 Abb. 2: Beispiele für unterschiedliche Fassungstypen 3

4 SG bedeuted inkl. Schutzglas mit antireflex-schicht für 1064 nm + vis Die Spiegelabstände m1 und m2 sind als Empfehlung zu verstehen Die Angabe des Gesamtscanwinkels Θ max. bezieht sich auf den maximalen diagonalen Scanwinkel Die Scanlänge ist ein Richtwert und errechnet sich mit der Formel: 2y = EFL x 2Θ x /180 2y : Scanlänge bzw. Diagonale EFL: Brennweite 2Θ: Gesamtscanwinkel [ ] /180: Umrechnungsfaktor in Bogenmaß Bei nachfolgenden Tabellen gilt: Der Eintrittsstrahlenbündel-Durchmesser (øbeam) bezieht sich auf die Intensität 1/e 2 bei gaußförmiger Ausleuchtung. Der Bildpunkt-Durchmesser (øspot) bezieht sich auf die die Intensität 1/e 2 bei gaußförmiger Ausleuchtung. Er errechnet sich mit der Formel: øspot = 1,83 x λ x EFL / øbeam øspot: Bildpunkt-Durchmesser [µm] 1,83: Apodisationsfaktor λ: Wellenlänge [µm] EFL: Brennweite øbeam: Eintrittsstrahlenbündel- Durchmesser Die aufgelisteten F-Theta Objektive erfüllen bis auf wenige Ausnahmen die F-Theta-Bedingung genauer als 0,1%! Objektive, deren Scanfelder durch Verzeichnung eine größere Abweichung haben, tragen in der Tabelle einen entspr. Vermerk. Effektive Brennweite (EFL), Auflagemaß (FFL) und Schnittweite (BFL) sind mit Hilfe von paraxialen Beziehungen (für achsennahe Strahlen) errechnet. Diese können durch die in der Praxis verwendeten Strahlenbündel-Durchmesser und Spiegelpositionen geringfügig von den Tabellendaten abweichen Die angegebenen Daten für Strahl- Durchmesser und Spiegelpositionen sind als Empfehlung zu verstehen. Durch deren Änderung werden auch Bildpunkt-Durchmesser und max. mögliche Scanwinkel/-diagonale beeinflusst 4

5 UV F-Theta Objektive für 355 nm Nominalbrennweite EFL BFL FFL 2y ±Θ max. Øbeam Øspot m1/m2 Bestellnummer Effektive Brennweite Schnittweite (ab Scheitel der letzten Linsen- bzw. ab Schutzglasoberfläche) Auflagemaß (Abstand Auflage Mechanik zu Fokusebene) Max. Scanlänge bzw. Diagonale bei flächigem Scannen Max. Scanfeld [mm 2 ] Gesamt-Scanwinkel [ ] Eintrittsstrahlenbündel-Durchmesser øbeam Bildpunkt-Durchmesser (1/e 2 ) bei gaußförmiger Ausleuchtung [μm] Spiegelabstände Anschraubgewinde bzw. -durchmesser SG = mit Schutzglas ,1 183,8 189,2 139,7 98,8 x 98,8 7, / SG 3 SG 4* ,0 202,9 208,3 140,5 99,3 x 99,3 7, / F-Theta Objektive für 532 nm 63 62,3 78,0 87,7 40,3 28,5 x 28,5 ±18,5 4, ,0/15,0 M39x SG ,5 122,2 131,8 61,5 43,5 x 43,5 ±17,7 8, ,0/13,5 M39x SG ,0 94,0 96,1 111,4 98,7 98,2 82,0 82,0 58,0 x 58,0 58,0 x 58,0 6,0 6, SG ,6 159,6 181,6 188,6 184,2 183,7 139,2 139,2 98,4 x 98,4 98,4 x 98,4 10,0 10, SG SG 1** ,5 187,7 195,3 99,2 70,1 x 70,1 ±17,7 7, ,0/13,5 M39x ,2 291,4 337,1 218,4 154,4 x 154,4 20, ,0/24, SG ,9 329,9 386,2 389,5 438,3 437,2 287,9 287,9 203,6 x 203,6 203,6 x 203,6 14,0 14, ,0/24,0 18,0/24, SG ,9 419,9 493,3 497,1 545,0 543,9 410,4 410,4 290,2 x 290,2 290,2 x 290,2 ±28,0 ±28,0 15,0 15, ,0/16,0 30,0/16, SG ,6 772,6 833,8 564,9 399,4 x 399,4 ±25,5 20, ,0/20,0 D * mit Quarzlinsen ** erfüllt die F-Theta-Bedingungen genauer als 1% 5

6 F-Theta Objektive für 830 nm Nominalbrennweite EFL BFL FFL 2y ±Θ max. Øbeam Øspot m1/m2 Bestellnummer Effektive Brennweite Schnittweite (ab Scheitel der letzten Linsen- bzw. ab Schutzglasoberfläche) Auflagemaß (Abstand Auflage Mechanik zu Fokusebene) Max. Scanlänge bzw. Diagonale bei flächigem Scannen Max. Scanfeld [mm 2 ] Gesamt-Scanwinkel [ ] Eintrittsstrahlenbündel-Durchmesser øbeam Bildpunkt-Durchmesser (1/e 2 ) bei gaußförmiger Ausleuchtung [μm] Spiegelabstände Anschraubgewinde bzw. -durchmesser SG = mit Schutzglas 63 63,3 80,6 88,0 40,9 28,9 x 28,9 ±18,5 5, /15 M39x F-Theta Objektive für 830 nm ,8 386,0 434,8 301,4 213,1 x 213,1 ±26,5 16, / ,7 491,2 539,7 404,3 285,9 x 285,9 ±28,0 15, / F-Theta Objektive für 1064 nm 63 63,9 79,4 89,1 41,2 29,1 x 29,1 ±18,5 6, ,0/15,0 M39x SG ,9 120,6 130,3 61,7 43,6 x 43,6 ±17,7 8, ,0/13,5 M39x SG ,7 99,7 103,4 118,4 106,0 105,5 87,0 87,0 61,5 x 61,5 61,5 x 61,5 12,0 12, SG ,3 160,3 181,8 189,1 184,4 183,8 139,9 139,9 98,9 x 98,9 98,9 x 98,9 12,0 12, SG SG 1** ,9 186,5 194,1 98,8 69,9 x 69,9 ±17,7 8, ,0/13,5 M39x ,1 163,1 190,0 192,7 219,1 218,1 162,3 162,3 114,8 x 114,8 114,8 x 114,8 ±28,5 ±28,5 10,0 10, ,0/24,0 13,0/24,0 M76x1 M76x SG ,4 299,1 344,8 222,0 157,0 x 157,0 20, ,0/16, SG ,4 331,4 390,5 392,8 442,6 441,6 306,6 306,6 216,8 x 216,8 216,8 x 216,8 ±26,5 ±26,5 16,0 16, ,0/24,0 18,0/24, SG ,5 420,5 497,1 499,2 548,8 547,7 411,0 411,0 290,6 x 290,6 290,6 x 290,6 ±28,0 ±28,0 15,0 15, ,0/16,0 30,0/16, SG * mit Quarzlinsen ** erfüllt die F-Theta-Bedingungen genauer als 1% 6

7 Ersatzschutzgläser für F-Theta Objektive Schutzglas Schutzglas- Durchmesser Schutzglasdicke AR beschichtet für λ [nm] Bestellnummer SG ,6 532/ SG , VIS SG , SG , Quarz SG , VIS SG , VIS SG , SG ,

8 LINOS Photonics GmbH & Co. KG Business Unit Laser and Imaging Systems Isartalstrasse 43 D Munich, Germany Telefon +49 (0) Telefax +49 (0) Internet LINOS Photonics Inc. 459 Fortune Boulevard Milford, MA USA Phone +1 (508) Fax +1 (508) Internet LINOS Photonics Ltd. 2 Drakes Mews, Crownhill Milton Keynes, Buckinghamshire, MK8 0ER, UK Phone +44 (0) Fax +44 (0) sales@linos-photonics.co.uk Internet LINOS GmbH & Co. KG, Irrtum und technische Änderungen vorbehalten.