Multi-Sensor Oberflächenmesstechnik für Forschung, Entwicklung und Produktion testxpo

Transkript

1 Multi-Sensor Oberflächenmesstechnik für Forschung, Entwicklung und Produktion testxpo Uwe Schosser FRT, Fries Research & Technology GmbH

2 FRT GmbH 20 Jahre Kompetenz in Oberflächenmesstechnik GF

3 FRT GmbH Weltweites Netzwerk Entwicklung optischer 3D Oberflächenmesstechnik: Messung von Topographie, Schichtdicken, Rauheit etc. Multi-Sensor Systeme Sensorentwicklung im Hause Steuer- und Analysesoftware Integration und Automation Distributoren & Service weltweit Dienstleistungen Mitglied in vielen Fachverbänden Distributoren: Über 20 in 18 Ländern

4 Das Unternehmen FRT GmbH Relevante Industriezweige Medical Rauheit Stufenhöhe Verschleiß Defektinspektion Ebenheit Topographie Profile Membrane Bow Schichtdicke etc. LED / Semicon / Micro Electronics Automotive MEMS / Nano Optics Solar

5 FRT Kurzübersicht - Oberflächenmesstechnik Messaufgaben Modularer Aufbau Multi- Sensor Messtechnik Modulare Software

6 Das Unternehmen FRT GmbH Produktpalette Tischgeräte Vollautomatisierte Lösungen

7 MicroSpy Serie Kompakte Einsteigermodelle MicroSpy Profile MicroSpy Mobile MicroSpy Topo DT

8 MicroProf 100 Bewährtes Messsystem im neuen Design! heute auf der 24. testxpo schnell und berührungslos Multi-Sensor Konfiguration Auflösung im unteren nm-bereich bis zu 14 khz Messrate 100 mm x 150 mm Verfahrweg TTV- Option reduzierter Platzbedarf MicroProf 100 (TTV)

9 MicroProf Serie Kompakte Multi-Sensor Systeme für Produktion und Qualitätssicherung MicroProf mm x 415 mm MicroProf mm x 250 mm MicroProf mm x 150 mm

10 High-End Systeme Vollautomatisierte Systeme z.b. für die Halbleiter- Industrie SEMI Compliant TTV Measurement MicroProf 200 MHU Multi-Sensor System mit Handling FRT MFE - Metrology for Frontend Vollautomatisiertes System mit Reinraumklasse 1, SECS/GEM (Schnittstelle nach SEMI), optional auch für sehr dünne Wafer) MicroProf 300 TTV MHU Multi-Sensor System mit beidseitiger Messmöglichkeit (Dickenvariation) sowie Handling für 300 mm Wafer

11 FRT Multi-Sensor Technologie Multi-Sensor Systeme für universelle Messlösungen FRT bietet eine 4-fache Kombinationsmöglichkeit der Sensortypen:

12 FRT CWL Chromatischer Weißlicht Sensor (CWL) Rauheiten, Welligkeiten Stufenhöhen optisches Verfahren schnell und berührungslos Auflösung im unteren nm-bereich bis zu 14 khz Messrate z.b. LED Lichtquelle Inline- Anwendungen lösbar *Chromatic White Light Intensität über Wellenlängen 400nm 540nm 680 nm blue green red λ I 400nm 540nm 680 nm blue green red λ

13 FRT FTR Interferometrischer Punktsensor/ Dünnschichtsensor in R&D Multilayer Schichtsysteme sind messbar eigene Entwicklung der FRT GmbH Datenbank mit vielen, hinterlegten Materialkennwerten weitere Schichtmodelle können hinzugefügt werden

14 FRT Multi-Sensor Technologie Multi-Sensor Systeme für universelle Messlösungen Multi-Sensor Konfigurationsbeispiele

15 Anwendungen und Automatisierung Rauheit, Topografie und Darstellung

16 Anwendungen und Automatisierung Messungen oben und unten am Wafer (TTV) polierte Seite raue Seite TTV- Prinzip

17 Anwendungen und Automatisierung Acquire Automation XT Software Layout Wizard Definieren von Strukturen im Messrezept Definieren der Sensoreinstellungen Import und Export von Daten

18 FRT Metrology Applikationsbeispiel: Messungen an technischen Dichtungen Das Thema Dichtungen wird in der Industrie immer komplexer und wichtiger. In der Dichtungstechnik werden dabei die Entwicklungszeiten immer kürzer. Das erfordert wiederum eine optimierte und lückenlose Überwachung der Qualität.

19 FRT Metrology Messungen in 3 D und 2 D aus dem Automotive- Bereich Innenraum & Motortechnik

20 FRT Metrology Messungen in 3 D und 2 D Samples: Danfoss Silicon Power GmbH

21 FRT Metrology 3D Strukturen

22 FRT Metrology Schichtdickenmessungen SiO 2 auf Si Fotolack

23 Referenzen der FRT GmbH (Auszug) Mehr als 500 Systeme im Markt

24 Danke für Ihre Aufmerksamkeit! Headquarters FRT, Fries Research & Technology GmbH Friedrich-Ebert-Strasse Bergisch Gladbach Deutschland Tel.: Fax: Internet FRT of America, LLC 1101 South Winchester Blvd., Suite L-240 San Jose, CA 95128, USA Tel Fax Internet FRT Shanghai Co., Ltd. Room A18, 3rd Floor, No.475 Fute No. 1 Rd. (W.) Waigaoqiao Free Trade Zone, Shanghai, China Tel Fax Internet info@frt-china.cn FRT Taiwan 2F.-1, No.47, Ln. 223, Sec. 4, Zhongxiao E. Rd., Da-an Dist., Taipei City 106, Taiwan, Republic Of China Tel (0) Fax +886 (0) Internet info@frt-china.cn