3D Strukturierung für die Nano Welt

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2 Mission 3D Strukturierung für die Nano Welt NaWoTec entwickelt und baut Geräte für die 3-dimensionale Nanostrukturierung. Unsere Kernkompetenz ist die strukturierte Modifikation von Oberflächen. Unsere Produkte adressieren kritische Anforderungen in der Halbleiterindustrie, Biotechnologie, sowie in medizinischen und industriellen Anwendungen. Unsere Vision ist es, ein führendes Unternehmen der Nanotechnologie zu werden

3 Einleitung Firmenprofil Technologie Photomasken-Reparatur mit dem Elektronenstrahl Schaltkreismodifizierung mit dem Elektronenstrahl Strategie für zukünftige Produkte

4 Firmenprofil Firmenprofil

5 Firmenprofil Firmeninfrastruktur ist die Voraussetzung für erfolgreiche Geräteentwicklung Drei Drei Entwicklungsguppen Entwicklungsguppen Technologie Technologie Prozesse Prozesse Software Software Automatisierung Automatisierung Hardware Hardware Produkt Produkt Gebäude Gebäude mit mit 1660m² 1660m² für für Büros, Büros, Reinräume Reinräume und und Werkstätten Werkstätten Zwei Zwei Reinräume: Reinräume: Labor Labor 180m² 180m² class class Anwendungen Anwendungen und und Produktion Produktion 120m² 120m² class class Über Über Mitarbeiter Mitarbeiter (Physiker, (Physiker, Chemiker, Chemiker, Elektroingenieure, Elektroingenieure, Biologen Biologen ) ) Rasterelektronenmikroskope, Rasterelektronenmikroskope, Atomkraftmikroskop Atomkraftmikroskop (AFM), (AFM), Tunnelelektronenmikroskop Tunnelelektronenmikroskop Mechanische Mechanische und und elektronische elektronische Werkstatt Werkstatt Lithographie Lithographie Prozesslinie Prozesslinie Optiklabor Optiklabor

6 Firmenprofil Namhafte Investoren unterstützen NaWoTec NaWoTec ist ein eigenständiges Unternehmen und wurde 1999 gegründet Die Basistechnologie wurde in der Deutsche Telekom entwickelt und später in die NaWoTec überführt Das Unternehmen ist komplett mit Venture Kapital finanziert: Hauptinvestoren sind Wellington Partners, Target Partners und ein führender Halbleiterhersteller als strategischer Investor Das Unternehmen plant im Jahr 2005 profitabel zu werden Ziel ist es ein führendes Nanotechnologie Unternehmen zu werden. Mittelfristig strebt das Unternehmen die Zuführung von Wachstumskapital durch einen Börsengang an

7 Ein umfangreiches Netzwerk unterstützt NaWoTec s Wachstum Kundenpotential Europa, Japan, China, Taiwan, Korea und die USA Firmenprofil Geschäfts partner Carl Zeiss NTS/SMS Raith Evotec Moxtek AMTC FhG IBMT Technologie partner Intel USA Uni. Frankfurt Uni. Kassel D Uni. Maryland USA Leepl Consortium J Lieferanten Carl Zeiss (UV-Mikroskopie) SMS (AIMS Technologie) Raith (E-Strahl Lithographie) IDE (Roboter und Vibr.Tec )

8 Technologie Technologie

9 Technologie NaWoTec strukturiert Oberflächen NaWoTec s Fähigkeit ist die gezielte, hoch präzise 3D Strukturierung von Oberflächen im Nanometerbereich Source: NaWoTec and FHG IBMT

10 Technologie NaWoTec s 3D Strukturierung mit Elektronenstrahl induzierten chemischen Reaktionen Einzigartige durch Patente abgesicherte Prozeßtechnik für das Ätzen und Deponieren von Materialien Organometallic precursor Nozzle Electron beam or etch gas Residual gas Evaporating radicals Deposit Adsorbed molecules Sample or etch dip

11 Technologie Vom Potential zur Wirklichkeit Geräteentwicklung

12 Technologie NaWoTec s strategische Partnerschaft mit Zeiss Zeiss Basisgerät hochauflösendes Zeiss Rasterelektronenmikroskop mit GEMINI Säule und hoch präzisem Laser Interferometer Tisch Verkauf und Service Die ersten Geräte gemeinsam mit Zeiss, danach durch die globale Zeiss Infrastruktur NaWoTec Soft- und Hardware NaWoTec Gasversorgung (MultiJet) und Strahlkontrollsoftware Graphische Benutzeroberfläche(GUI) und Automatisierungsprozesse wie Driftkompensation und Patern Copy Prozeß Entwicklung NaWoTecs Applikationsmodule für zugeschnittene Lösungen für das Ätzen und Deponieren

13 E-Strahl Maskenreparatur Photomasken Reparatur mit Elektronenstrahl

14 E-Strahl Maskenreparatur Moore s Law treibt die Halbleiterindustrie Source: Intel Der entscheidende Faktor für das Wachstum in der Halbleiterindustrie ist die Implementierung von immer kleineren Strukturgrößen kleinere Chips höhere Leistung niedrigere Kosten

15 E-Strahl Maskenreparatur Die Elektronenstrahl basierte Photomasken Reparatur löst kritische Ertragsprobleme Die Photomaskenreparatur ist ein integrierter und ertragskritischer Schritt während des Herstellungsprozesses Maskensets(15-20) kosten bis zu 2,5 Mio. $ Source: AMTC Killerdefekte verringern den Ausbeute und treiben die Maskenkosten nach oben

16 Produktstrategie NaWoTec s Wachstumsstrategie Zusätzliche Märkte sollen durch Nutzung einer ähnlichen Geräteplattform erreicht werden Anwendungserweiterungen Neue Materialien Wafer heute mittelfristig langfristig Chip Modifikation Masken Reparatur Potentielle zukünftige Produkte in der Evaluierung Schlüsselindikatoren sind: Präzision Durchsatz Substratgröße Maske Plattform Erweiterungen

17 E-Strahl Schaltkreismodifikation Schaltkreismodifikation durch den Elektronenstrahl

18 E-Strahl Schaltkreismodifikation Chip Designzyklen werden zum Flaschenhals Source: Intel Moore's Law: Die Transistorenanzahl verdoppelt sich alle 2 Jahre Im Jahr 2005 bis zu 1 Milliarde Transistoren auf einem Chip Die zunehmende Komplexität erhöht die Designzyklen

19 E-Strahl Schaltkreismodifikation E-Strahl Schaltkreismodifikation verkürzt den Herstellungsprozeß Isolator Deposition Trennung der Chip Kupferbahnen Metalldeposition von Material mit hoher Leitfähigkeit Die Schaltkreismodifikation erlaubt Veränderungen der Mikrochip Funktionalität durch Neuverdrahtung Die Schaltkreismodifikation ist ein integraler und zeitkritischer Vorgang im Designprozeß

20 Zukünftige Produkte

21 Zukunftsprodukte NaWoTec erweitert seine Anwendungen Die Modifikation von Schaltkreisen beendet die Entwicklungsarbeit für alle Halbleitermaterialien Die dann verfügbaren Prozessrezepturen ermöglichen NaWoTec den Weg in die Analyse rund um den Wafer

22 Zukunftsprodukte NaWoTec erweitert das Produktportfolio jenseits von Halbleitern Basierend auf den gemachten Erfahrungen auf dem Weg zum Produktionsgerät für die Maskenreparatur sieht NaWoTec Synergien für weitere Anwendungen im Bereich Halbleiter Biotechnologie und Medizintechnik Forschung Industrielle Anwendungen Source: FHG IBMT

23 Ziele NaWoTec s Ausblick Die NaWoTec hat eine klar definierte Roadmap um weitere Marktsegmente zu adressieren Hochspezialisierte Mitarbeiter sorgen für eine ständige Weiterentwicklung der bestehenden und zukünftigen Produkte Industrie Partnerschaften sind für das schnelle Wachstum unerläßlich und werden gezielt gepflegt NaWoTec hat sich zum Ziel gesetzt, ein weltweit erfolgreiches Nanotechnologie Unternehmen zu werden Mittelfristig ist die Zuführung von Wachstumskapital durch einen IPO geplant

24 Vielen Dank! NaWoTec GmbH Industriestrasse 1 D Roßdorf Tel: Fax: info@nawotec.de