Praktikum Mikro- und Nanosysteme (Mikrosystemtechnik) Versuch MST7 Dämpfung

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1 Praktikum Mikro- und Nanosysteme (Mikrosystemtechnik) I. Versuchsvorbereitung Aufgabe 1 Geg.: 2,5, sinusförmige Anregung Versuch MST7 Dämpfung a) Amplituden- und Phasenkennlinien - Schwingfall ( ): Der Schwinger führt nachdem Loslassen eine sinusförmige Schwingung mit zeitlich abnehmender Amplitude aus, abhängig von der Dämpfung bzw. der Abklingkonstante. - gegeben ist ein Rotationsschwinger mit einer Güte von 10: Es gilt für die Amplitude: (1) mit: ,96 normierte Auslenkung: 785,4 Es gilt für die Phase: arctan (2) - Aperiodischer Grenzfall( ): Der Schwinger kehrt nach einmaligem leichten Überschwingen in die Nulllage zurück. Es gilt: ,96, Kriechfall( ): Der Schwinger kehrt nach dem Loslassen aus der Auslenkung langsam wieder in die Nulllage zurück, ohne überzuschwingen. - gegeben: -45 Frequenz ,96 Formel (2) nach umstellen: Für 45 folgt: 2 (3) Für 135 folgt: 2 (4) Hinweis zum Bode-Diagramm auf der nächsten Seite: Da der Arkustangens nur in einem Wertebereich von, also von definiert ist, wurde die Phasenkennlinie ab 90 um -180 entlang der y-achse nach unten verschoben. Mikro- und Nanosysteme, Versuch MST7 Dämpfung, Seite 1

2 Bode-Diagramm Amplitudengang 100 normierte Auslenkung 10 1 Schwingfall Aperiodischer Grenzfall Kriechfall 0, Phasengang 0 Phasenwinkel [ ] Schwingfall Aperiodischer Grenzfall Kriechfall b) -45 -Frequenzen: aus Formel (3) folgt: Schwingfall: Aperiodischer Grenzfall: Kriechfall: 750 Mikro- und Nanosysteme, Versuch MST7 Dämpfung, Seite 2

3 2. Berechnung der rotatorischen Eigenfrequenz aus den lateralen Abmessungen des Schwingers und der Gesamtsteifigkeit der beiden Rotationsfedern geg.: Schwingerlänge: 3500 Schwingerbreite: 3600 Schwingerdicke: 25 Lösung: Gesamtsteifigkeit: 95, Herstellungsbedingte Ätzschräge: 54,7 Ätzböschung: mittlerer Strukturabmessungen: - mittlere Schwingerlänge: ,7 - mittlere Schwingerbreite: ,7 Massenträgheitsmoment: (5) mit: (6) 3517,7 3617,7 25 2, , , Eigenkreisfrequenz: Eigenfrequenz: 1731,89 Mikro- und Nanosysteme, Versuch MST7 Dämpfung, Seite 3

4 3. Bestimmung der dynamischen Kenngrößen aus der Amplituden- und Phasenkennlinie bei unbekannter statischer Auslenkung - Eigenfrequenz : bei Maximalwert der Amplitudenkennlinie ablesen Wendepunkt (bzw. bei -90 Phase) im Phasengang-Diagramm weiterhin gilt: - Resonanzkreisfrequenz : für sehr geringe Dämpfung gilt: bzw. 2 - Grenzfrequenz : aus Phasenkennlinie bei -45 und -135 Phase - Bandbreite: Bereich zwischen den Grenzfrequenzen - für die quasi-statische Auslenkung gilt: - Güte (Resonanzüberhöhung): es gilt: - Dämpfungsmaß: Krafterregung: - Dämpfung: 2 - Abklingkonstante: Näherungsformel: Mikro- und Nanosysteme, Versuch MST7 Dämpfung, Seite 4

5 4. Berechnung des Phasenwinkels aus der gemessenen Zeitdifferenz: messtechnische Erfassung von Eigenfrequenz und Abklingkonstante aus der freien, gedämpften Schwingung - Eigenfrequenz : Ermittlung durch Einwirken einer einmaligen Impulserhöhung (z.b. Impulshammer) Ermittlung der Übertragungsfunktionen mit anschließender Modell-Analyse - Abklingkonstante : Ermittlung über die einhüllende e-funktion: Mikro- und Nanosysteme, Versuch MST7 Dämpfung, Seite 5

6 II. Versuchsdurchführung und auswertung Gemessene und berechnete Werte siehe Anhang A Aufgabe 1 Amplituden- und Phasenkennlinie bei einem Druck von 1 mbar und einer Anregespannung von 3,67. 0 Phasengang Phasenwinkel [ ] Werte A Amplitudengang normierte Auslenkung 10 Werte A aus Phasen-Diagramm: Grenzfrequenzen: , aus Formel (3) folgt: 448, aus Formel (4) folgt: 401,3 gemittelte Abklingkonstante: 425 Mikro- und Nanosysteme, Versuch MST7 Dämpfung, Seite 6

7 100 Amplitudengang (vergrößert) normierte Auslenkung 10 Werte A aus Amplituden-Diagramm: ,8 1787,4 Der berechnete Wert stimmt sehr gut mit dem abgelesenen Wert überein. Mikro- und Nanosysteme, Versuch MST7 Dämpfung, Seite 7

8 Aufgabe 2 Amplituden- und Phasenkennlinie bei einem Druck von 10-1 mbar und einer Anregespannung von 0, Amplitudengang normierte Auslenkung Werte A2 Phasengang Phasenwinkel [ ] Werte A2-180 aus Phasen-Diagramm: Grenzfrequenzen: , aus Formel (3) folgt: 37, aus Formel (4) folgt: 31,37 gemittelte Abklingkonstante: 34,6 aus Amplituden-Diagramm: ,6 1806,98 Der berechnete Wert stimmt sehr gut mit dem abgelesenen Wert aus dem Diagramm überein. Mikro- und Nanosysteme, Versuch MST7 Dämpfung, Seite 8

9 Aufgabe 3 Amplituden- und Phasenkennlinie bei einem Druck von 10-3 mbar und einer Anregespannung von Amplitudengang normierte Auslenkung ,6 1807,7 1807,8 1807, ,1 Werte A3 Phasengang ,6 1807,7 1807,8 1807, ,1 Phasenwinkel [ ] Werte A3-180 aus Phasen-Diagramm: Grenzfrequenzen: , , ,76 aus Formel (3) folgt: 0, ,92 aus Formel (4) folgt: 0,57 gemittelte Abklingkonstante: 0,5 aus Amplituden-Diagramm: ,6 1807,83 Die Eigenfrequenz ist genau so groß wie die Resonanzfrequenz. Mikro- und Nanosysteme, Versuch MST7 Dämpfung, Seite 9

10 Aufgabe 4 Zusammenführung der Amplituden-Kennlinien Amplitudengang normierte Auslenkung Werte A1 Werte A2 Werte A Phasengang Phasenwinkel [ ] Werte A1 Werte A2 Werte A3-180 Warum liegen die 90 -Frequenzen nicht in einem Punkt? Der Druck beeinflusst nicht nur die Dämpfung (Abklingkosntante), sondern auch die Eigenfrequenz. Dadurch kommt es zur Verschiebung der -90 Frequenz, und wie aus dem Diagramm zu erkennen ist, nimmt bei Abnahme des Drucks die Eigenfreuquenz zu. In welchem Verhältnis stehen die Resonanzamplituden? A1 : A2 : A3 13 : 164 : Entspricht dem Verhältnis der Güten Q des Schwingers Mikro- und Nanosysteme, Versuch MST7 Dämpfung, Seite 10

11 Aufgabe 5 Sprungantwort des Oszillators auf einen Sprung von 504 mv auf Null: a) bei einem Druck von 1 mbar und einer Frequenz von 10 Hz (Rechtecksignal) aus den Messwerten ermittelte Punkte: Maxima Minima Nr. x ( t in s) y x ( t in s) y 1. 0, , , , , , , Annahme: : ,44 Mikro- und Nanosysteme, Versuch MST7 Dämpfung, Seite 11

12 b) bei einem Druck von 10-1 mbar und einer Frequenz von 5 Hz (Rechtecksignal) aus den Messwerten ermittelte Punkte: Maxima Minima Nr. x ( t in s) y x ( t in s) Y 1 0, , , , , , , Annahme: : , ,3 Mikro- und Nanosysteme, Versuch MST7 Dämpfung, Seite 12

13 Anhang A Messwerte A1 [Hz] [Hz] [mv] [mv] t [µs] Phasenverschiebung [ ] normierte Amplitude , ,4-11, , , ,5 28,5-15,2874 3, , ,4-16, , , ,5 31,4-17, , , ,8-17,7444 3, , ,5 32,4-18, , , ,4-19, , , ,5 36,4-21, , , ,8-22, , , ,6-25,8984 6, , ,8-29, , , ,4-30, , , ,2-33, , , ,72 8, , ,2-40, , , ,8-45, , , , , , , , , ,6-58,968 11, , , , , , , , ,848 13, , , , , , , , ,2768 8, , ,2496 7, , , ,952 6, , ,3584 5, , ,4256 5, , ,816 4, Mikro- und Nanosysteme, Versuch MST7 Dämpfung, Seite 13

14 Messwerte A2 [Hz] [Hz] [mv] [mv] t [µs] Phasenverschiebung [ ] normierte Amplitude , ,5 23,2-14, , , ,2-17, , , , , , , , , , ,2-22, , , ,8-23, , , ,4-23, , , , , , ,5 48,4-31, , , ,2-35, , , ,2-40, , , ,6-45, , , ,2-48, , , ,8-55, , , , , , , , , , ,27 161, , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , ,98 56, , , , , , , , , , , ,288 37, Mikro- und Nanosysteme, Versuch MST7 Dämpfung, Seite 14

15 Messwerte A3 [Hz] [Hz] [mv] [mv] t [µs] Phasenverschiebung [ ] normierte Amplitude 1807, , ,6-24, , , , ,5 43,6-28, , , , ,2-30, , , , ,8-35, , , , , , , , , , , , ,8-52, , , , ,4-58, , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , Mikro- und Nanosysteme, Versuch MST7 Dämpfung, Seite 15

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