Heißprägen von Mikrostrukturen

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1 Titelthema Aufsatz Mikrosystemtechnik, Kunststoffe Heißprägen von Mikrostrukturen Fertigung mikrostrukturierter Kunststoffformteile für fluidische Anwendungen T. Wagenknecht, K. Rattba, S. Wagner Mikrostrukturierte Kunststoffteile finden zunehmend Anwendung in vielen Bereichen der Mikrosystemtechnik. Dazu zählen mikrooptische, mikrofluidische und mikromechanische Komponenten. Die Mikrostrukturierung kann durch Heißprägen realisiert werden, wodurch flächige, dünnwandige und qualitativ hochwertige Formteile entstehen. Der Einsatz des Heißprägens wird am Beispiel eines Verbundprojekts zur Strukturierung von fluidischen Komponenten für Mikrobrennstoff - zellen beschrieben. Hot embossing of microstructures Manufacture of microstructured polymer parts for fluidic applications Microstructured polymer parts have a wide variety of applications in the microsystem technology, e. g. as microoptical, microfluidic or micro mechanical components. Microstructuring can be performed by hot embossing in order to get samples with large areas, small thick - nesses and high qualities. The application of the hot embossing proces s will be demonstrated on the activities for a group project involvin g the development of fluidic components for micro fuel cells. Dr.-Ing. Thomas Wagenknecht Kunststoff-Zentrum in Leipzig ggmbh Erich-Zeigner-Allee 44, D Leipzig Tel. +49 (0)341 / , Fax +49 (0)341 / wagenknecht@kuz-leipzig.de Internet: Dipl.-Ing. Knut Rattba µ-gal Rattba Industrieweg 12, D Mittweida Tel. +49 (0)3727 / , Fax +49 (0)3727 / muigalrattba@aol.com Dipl.-Ing. Stefan Wagner Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) Gustav-Meyer-Allee 25, Gebäude 17 a, D Berlin Tel. +49 (0)30 / , Fax +49 (0)30 / stefan.wagner@izm.fraunhofer.de Internet: Info Das Forschungsprojekt Produktionstechnologie für Mikro - energiesysteme ProZell wird mit Mitteln des Bundes - ministeriums für Bildung und Forschung (BMBF) innerhalb des Rahmenkonzepts Forschung für die Produktion von morgen gefördert und vom Projektträger Forschungszentrum Karlsruhe, Bereich Produktion und Fertigungstechnologien (PTKA-PFT), betreut (Laufzeit ). Weitere Informationen zum Forschungsprojekt: 1 Einleitung Die Mikrosystemtechnik hat sich zu einer Schlüsseltechnologie des 21. Jahrhunderts entwickelt und weist jährliche Steigerungsraten von bis zu 20 % auf [1]. Die in der Mikrosystemtechnik eingesetzten Bauteile und Systeme verfügen über viele Vorteile, zu denen der niedrige Platz- und Energiebedarf sowie die Multifunktionalität durch Integration verschiedener Funktionen auf kleinstem Raum gehören. Mit der Einführung mikrotechnischer Produkte entstehen nicht nur neue Technologien, sondern diese werden zunehmend auch zur Leistungssteigerung vorhandener Verfahren eingesetzt. In der Mikrosystemtechnik finden vielfach mikrostrukturierte Bauteile Anwendung, die Größen von wenigen Millimetern bis Zentimetern und Oberflächenkonturen mit Abmaßen bis zu wenigen Mikrometern aufweisen. Aufgrund der fortschreitenden Miniaturisierung ergibt sich ein großes Anwendungspotential in nahezu allen Branchen. Zukünftige Anwendungen orientieren bereits auf den Einsatz von nanostrukturierten Bauteilen. In den folgenden Bereichen werden besonders hohe Zuwachsraten erzielt: Medizintechnik; Life Sciences (beispielsweise Biologie, Biochemie, Gen - technik); Informations- und Kommunikationstechnik; Automobiltechnik; Automatisierungstechnik; Umwelt- und Sicherheitstechnik sowie Sensor-, Mess- und Regeltechnik. Mikrosysteme werden üblicherweise nach ihren Funktionen eingeteilt. So wird beispielsweise nach Mikrotechniken wie Mikromechanik und -aktorik, Mikrooptik, Mikroreaktionstechnik oder Mikrosensorik unterschieden. In den vergangenen Jahren hat besonders die Mikrofluidik in allen Bereichen der Forschung weltweit ein deutlich wachsendes Interesse erfahren. Mikrofluidische Systeme finden vor allem in der Medizintechnik und in den Life Sciences ein sich rasant entwickelndes Anwendungsfeld [2]. Kunststoffe, die über eine Vielzahl von vorteilhaften Eigenschaften verfügen, dringen weiter auf den Markt der Mikrotechnik vor und erschließen neue Bereiche, in denen Werkstoffe auf Siliziumbasis bisher eine führende Rolle gespielt haben. Um eine hohe Abformgenauigkeit und Reproduzierbarkeit mikrostrukturierter Kunststoff-Formteile zu gewährleisten, werden replikative Verarbeitungsverfahren eingesetzt, bei denen die Abformung in einer Negativform erfolgt. Aufgrund der Umformbarkeit thermoplastischer Kunststoffe bei erhöhten Temperaturen ist die Möglichkeit zur Abformung gegeben. Nahezu jedes Polymer, das bei Temperaturen oberhalb des Glasübergangs- beziehungsweise des Kristallitschmelzpunktes verformt werden kann oder auf dessen Oberfläche sich Strukturen abbilden lassen, kann zur Abformung verwendet werden [3]. In der Mikrofluidik werden Standardkunststoffe (beispielsweise Polyolefine), technische Kunststoffe Alle Rechte vorbehalten. Copyright Springer-VDI-Verlag GmbH & Co. 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2 (wie PC, PMMA, PA, COC) und auch Hochleistungsmaterialien (zum Beispiel PEEK, PSU) eingesetzt. 2 Verfahren zur Mikrostrukturierung von Kunststoffoberflächen Um mikrostrukturierte Bauteile aus Kunststoffen herzustellen, existieren direkte und indirekte Verfahren, wobei sich eine große Anzahl dieser Verfahren erst in den letzten Jahren etabliert hat. Bei den direkten Verfahren wird jedes einzelne Bauteil separat aus vorgefertigten Halbzeugen hergestellt. Es kommen Technologien wie mikromechanische Bearbeitung, laser- oder elektronenstrahl-unterstütztes Ätzen, Laserschneiden, Stereo- und Photolithografie zum Einsatz [4]. Diese Methoden werden hauptsächlich für die Einzelfertigung und den Prototypenbau genutzt. Es entstehen hohe Stückkosten, die aus den geringen Stückzahlen und den aufwendigen Verfahren resultieren. Zur Fertigung von Massenprodukten kommen indirekte Verfahren zum Einsatz, bei denen eine Abformung eines Kunststoffbauteils in einer Negativform erfolgt. Zur Teileherstellung ist nur einmal ein aufwendiger Prozess zur Fertigung des Werkzeugs notwendig. Diese als Replikation bezeichnete Technologie wird für Mikroteile und mikrostrukturierte Teile hauptsächlich im Spritzgieß- und Spritzprägeverfahren durchgeführt, mit denen hochwertige Strukturen in thermoplastischen Kunststoffen abgeformt werden können. Zunehmend wird das Heißprägeverfahren eingesetzt, womit sich die momentan höchste geometrische Maßhaltigkeit erreichen lässt. Der Ablauf sowie die Parameter des Heißprägens sind Schwerpunkt der weiteren Ausführungen. 2.1 Heißprägeverfahren Das Heißprägen stellt eine Alternative zu bestehenden Replikationsverfahren dar und wird für die Herstellung von Kunststoffbauteilen mit fein- und mikrostrukturierten Oberflächen eingesetzt. Es ist im Vergleich zu bestehenden Technologien ein einfaches Verfahren mit wenigen Verarbeitungsparametern und Prozessschritten. Zu den Vorteilen des Heißprägens gehören die gute Formfüllung, die Verarbeitbarkeit dünner Substrate sowie sehr kurze Fließwege und geringe Formgebungsgeschwindigkeiten, die aus der variothermen Prozessführung resultieren. Es lassen sich Fein- und Mikrostrukturen mit hohen Aspektverhältnissen und homogener Füllung mit geringen inneren Spannungen und strukturellen Deformationen erstellen. Das Heißprägen ist aufgrund der vergleichsweise geringeren Werkzeugkosten besonders für die Fertigung von Prototypen und Kleinserien geeignet. Die Abformung von Strukturen auf der Oberfläche von Kunststoffhalbzeugen im Heißprägeverfahren erfolgt, indem die Oberflächenkontur eines Werkzeugs (Formeinsatz) mittels eines definierten Kraft- und Temperaturzyklus in das Halbzeug geprägt wird. Es können 2,5-dimensionale, flache und zum Teil großflächige Teile strukturiert werden, auf denen die Oberflächenkonturen entstehen. Einflussfaktoren für die Fertigung ergeben sich aus der Gesamtfläche der Komponente, den geometrischen Anforderungen (Aspektverhältnis, minimale Strukturgröße, maximale Strukturhöhe, Strukturquerschnitt, Anteil strukturierter zu unstrukturierter Oberfläche) sowie aus der geforderten Oberflächengüte und Ebenheit. Den prinzipiellen Vorgang eines Heißprägeprozesses zeigt Bild 1. Bild 1. Schematische Darstellung des Heißprägeprozesses Ein Polymersubstrat (Platte oder Folie) wird in eine Heiß - prägeanlage eingespannt und zusammen mit einem mikrostrukturierten Werkzeug (Prägestempel) über die Glasübergangs- beziehungsweise Erweichungstemperatur des Polymerwerkstoffs erhitzt. Unter Vakuum wird das Werkzeug mit kontrollierter Kraft in das Kunststoffhalbzeug gepresst. Der Kunststoff füllt die Strukturen der Werkzeugoberfläche aus und bildet diese detailgetreu ab. Nach dem Prägen kühlt das Werkzeug-Substrat-Sandwich ab. Beim Herunterkühlen der Prägevorrichtung wird der Präge druck aufrecht erhalten. Das Polymer erstarrt wieder, und nach Erreichen der Entformungstemperatur werden Prägewerkzeug und Substrat voneinander getrennt. Das Substrat kann im Anschluss weiterbearbeitet werden. 2.2 Werkzeuge für das Heißprägen Beim Heißprägen hängt die zu fertigende Mikrostruktur von dem verwendeten Formwerkzeug ab. Hierbei handelt es sich um einen metallischen Einsatz, auf dessen Oberfläche die Negativkonturen der zu prägenden Struktur vorhanden sind. Prinzipiell lassen sich anstelle von Metallen auch andere Materia lien für die Werkzeuge verwenden. Die hohe Wärme - leitfähigkeit metallischer Werkstoffe gewährleistet jedoch eine zuverlässige Werkzeugtemperierung während des variothermen Heißprägeprozesses. Die Herstellung eines Prägewerkzeugs kann durch verschiedene Verfahren erfolgen, wobei Kriterien wie minimale laterale Dimension, Höhe, Aspektverhältnis, Toleranzen, Oberflächengüte sowie der Fertigungsaufwand zur Auswahl herangezogen werden Fertigung von Heißprägewerkzeugen Das zur Abformung benötigte Prägewerkzeug kann im Vergleich zu anderen Herstellungsverfahren preiswert durch CNC- Fräsen von Metallplatten gefertigt werden. Mit Hilfe kleinster Werkzeuge aus Diamant oder Hartmetall werden Oberflächen mit Genauigkeiten bis 1 µm strukturiert. Neben Edelstahl kommen auch Nichteisenmetalle wie Messing, Kupfer, Nickel, Aluminium und Silber zum Einsatz. Die große Flexibilität und der vergleichsweise geringe Aufwand der mechanischen Bearbeitung ermöglicht großflächige und vielfach gestufte Strukturen, geneigte Strukturwände und große Strukturhöhen. Die erzielbaren Strukturgrößen sind in der Tabelle aufgelistet. Mikrostrukturierte Werkzeuge für die Kunststoffabformung sind auch mit Hilfe des Lasers herstellbar. Die Bearbeitung er- Alle Rechte vorbehalten. Copyright Springer-VDI-Verlag GmbH & Co. KG, Düsseldorf wt Werkstattstechnik online Jahrgang 96 (2006) H. 11/12 850

3 folgt durch direkten Materialabtrag oder durch laser-unterstütztes Ätzen. Geeignet sind vor allem Werkzeugstähle und Hartmetalle, aber auch Nickel und Nickellegierungen [5]. Neben den aufgeführten Herstellungs- und Bearbeitungsverfahren werden auch Fertigungstechniken wie Funkenerosion bei metallischen Werkstoffen und das Ätzen von Silizium eingesetzt. Durch Funkenerosion sind vor allem Werkzeugstähle bearbeitbar, welche zur Abformung von glasfaser-gefüllten Kunststoffen verwendet werden können. Formeinsätze aus Silizium erfordern jedoch Prozessparameter auf niedrigem Niveau (Druck, Temperatur), die sich aus dem Sprödbruchverhalten des Siliziums sowie aus den großen Unterschieden der thermischen Ausdehnungskoeffizienten zwischen der Prägeform, der Formhalterung und Heizplatte aus Metall sowie dem Kunststoffbauteil ergeben. Die Standzeiten der Siliziumformen sind sehr gering, weshalb nur eine Eignung zur Herstellung von Erstmustern in Frage kommt Fertigung von Heißprägewerkzeugen durch galvanische Abformung Eine weitere Möglichkeit der Werkzeugfertigung besteht in der galvanischen Abformung von einem strukturierten Master. Dieser Master wird in lithografischen Ätzprozessen mit der Positivstruktur versehen. Durch galvanische Abscheidung eines metallischen Werkstoffs auf der Masteroberfläche erfolgt der Aufbau des Prägewerkzeugs. Nach dem Bearbeiten des Werkzeugs kann es zum Prägen eingesetzt werden. Das LIGA-Verfahren (Röntgentiefenlithografie, Galvanoformung und Abformung) stellt eine Sonderform der galvanischen Werkzeugfertigung dar und ist besonders für sehr kleine Strukturen mit geringen Toleranzen und scharfen Kanten geeignet [6]. Es bietet den Vorteil, Prägewerkzeuge mit nahezu beliebigen Geometrien und hohen Aspektverhältnissen aus Kunststoff, Metall und Keramik herzustellen. In einem lithografischen Prozess wird ein röntgenempfindlicher PMMA-Resist belichtet; anschließend werden die belichteten Bereiche nass-chemisch herausgeätzt. Die freigelegten Strukturbereiche werden galvanisch mit Metallen (beispielsweise Nickel) aufgefüllt. Nach Entfernen des Resists verbleiben die metallischen Mikrostrukturen des entstandenen Werkzeugs, mit denen eine Abformung von thermoplastischen Materialien erfolgen kann. Es sind allerdings keine geneigten Strukturwände herstellbar, wodurch mit zunehmendem Aspektverhältnis eine Entformung von Kunststoffen nach dem Heißprägen erschwert wird. Eine Modifikation des LIGA-Prozesses stellt das DEEMO (Dry Etching, Electroplating, Moulding)-Verfahren dar [7]. Hierbei ersetzt ein trocken-chemischer Vorgang den nasschemischen Ätzprozess. Damit lässt sich die Herstellung von Werkzeugen mit deutlich geringeren Kosten durchführen. Tabelle. Vergleich der Verfahren zur Herstellung von Werkzeugen für die Kunststoffabformung [5] 3 Einsatz des Heißprägens im Verbundprojekt ProZell Das Heißprägeverfahren wird im Rahmen des vom Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) geförderten Verbundprojekts Produktionstechnologie für Mikroenergiesysteme ProZell eingesetzt, um mikrostrukturierte Komponenten mit fluidischen Funktionen zu fertigen. Ziel des Gesamtvorhabens ist es, eine geschlossene und durchgängige Fertigungs- und Produktionskette für mikrostrukturierte funktionale Teile am Beispiel von Mikrobrennstoffzellen prototypisch zu entwickeln und zu realisieren. Dabei erfolgt ein planarer Aufbau der Komponenten. 3.1 Strukturierung des Siliziumwafers Fluidische Strukturen, wie sie für Mikrobrennstoffzellen notwendig sind, zeichnen sich durch eine hohe Komplexität aus. Es sollen hier möglichst feine Strukturen im µm-bereich mit einem hohen Aspektverhältnis realisiert werden. Um für solche Anwendungen Prägewerkzeuge mit Hilfe von mechanischen Verarbeitungsverfahren zu erzeugen, sind hohe Ansprüche an die Fertigung sowie ein hoher Zeitaufwand erforderlich. Dieses führt zu hohen Kosten, die in Hinsicht einer kostengünstigen Fertigungs- und Produktionskette von Mikrobrennstoffzellen zu vermeiden beziehungsweise zu minimieren sind. Bild 2. Geätzte Strukturen in Silizium Fraunhofer IZM Alle Rechte vorbehalten. Copyright Springer-VDI-Verlag GmbH & Co. KG, Düsseldorf wt Werkstattstechnik online Jahrgang 96 (2006) H. 11/12 851

4 PFT Produktionsforschung Eine vielversprechende Möglichkeit zur Herstellung von metallischen Prägewerkzeugen mit komplexen Strukturen bietet eine weitere Modifikation der galvanischen Abformung von einem Master. Dazu wird Silizium durch Plasma-Ätzen strukturiert. Der Hauptgrund für die Bedeutung des PlasmaÄtzprozesses liegt in der Fähigkeit, sehr kleine Strukturen mit Abmessungen bis unter 1 µm mit einer sehr hohen Flankensteilheit herstellen zu können. Bei Plasma-Ätzprozessen werden Strukturen selektiv gegen eine fotolithografisch erzeugte Lackmaske in das zu ätzende Material gebracht. In den häufigsten Fällen ist dies Silizium. Bild 2 zeigt Strukturen im Silizium mit steilen Flanken und hohem Aspektverhältnis. Beim Plasma-Ätzen kommen reaktive Gase zum Einsatz, die in einem Plasma angeregt beziehungsweise ionisiert werden. Im Plasma sind Ionen, Elektronen sowie angeregte Atome oder Moleküle (Radikale) enthalten, die mit dem zu ätzenden Material eine chemische Ätzreaktion ausführen. Als Ätzgase werden hier meist chlor- oder fluorhaltige Verbindungen verwendet, um einkristallines oder polykristallines Silizium, Siliziumoxid oder Siliziumnitrit zu ätzen. Zusätze von Sauerstoff erhöhen bei Silizium die Ätzrate. Der gegenwärtig meist verbreitete Ätzprozess ist der Bosch-Prozess (Anisotropic Si-Etch), der in Bild 3 schematisch für einen mehrfachen Ätzvorgang dargestellt ist. Dieser Prozess zeichnet sich durch folgende Eigenschaften aus: Durchführung bei Raumtemperatur, hohe Selektivität gegen foto-lack und SiO2, Realisierung hoher Aspektverhältnisse. Der Plasma-Ätzprozess wurde im Projektvorhaben durchgeführt, um die Oberfläche eines 4 -Silizium-Wafers mit mikrofluidischen Strukturen zu versehen. 3.2 Galvanische Abformung Zur Fertigung eines Prägewerkzeugs wird der strukturierte Siliziumwafer (Master), der mit einer elektrisch leitfähigen Startschicht (meist Gold) versehen wird, galvanisch mit Ni- Bild 3. Schematische Darstellung des anisotropen ckel und einer Schichtdicke von minimal 1 mm beschichtet Bosch-Prozesses zum Ätzen von Silizium (Bild 4). Anschließend wird die Nickelschicht vom Wafer getrennt und man erhält ein freitragendes Nickelteil, das als Negativ die Oberflächenstrukturen des Wafers trägt. Um ein verbessertes Handling der galvanisierten Strukturen zu gewährleisten, werden die Nickelschichten vorrangig direkt in die Werkzeugeinsätze hineingalvanisiert. Außer einer mechanischen Bearbeitung der Metallplattenrückseite mit dem darin enthaltenen Galvano müssen keinerlei Einpassarbeiten oder sonstige mechanischen Bearbeitungsschritte mehr erfolgen. Um die exakte Übereinstimmung und Lage des Masters zum fertigen Werkzeugeinsatz zu gewährleisten, wird der Master in eine speziell gefertigte Platte eingebaut, die mit der zu galvanisierenden Werkzeugplatte lagefixiert wird. An- Bild 4. Schematischer Ablauf eines galvanischen Abformprozesses schließend erfolgt die Galvanisie- Alle Rechte vorbehalten. Copyright Springer-VDI-Verlag GmbH & Co. KG, Düsseldorf Fraunhofer IZM wt Werkstattstechnik online Jahrgang 96 (2006) H. 11/12 µ-gal Rattba 852

5 Bild 5. Galvanisch hergestellter Formeinsatz zum Heißprägen Bild 6. Geprägtes Kunststoffsubstrat mit mikrofluidischen Konturen rung des Plattenverbundes. Das heißt, der Master wird galvanisch abgeformt. Im vorliegenden Fall erfolgte die Abformung der Oberflächenstrukturen auf dem 4 -Silizium-Wafer mit einem Nickelsulfamat-Elektrolyten, der Nickel mit einer Härte von etwa 200 HV ergibt. Zur Beschichtung wurde nach dem Anfahrprozess eine Stromdichte von 4 A/dm² bei einem ph- Wert von 3,2 angewandt. Nach der anschließenden Rück - seitenbearbeitung wird die Abformung vom Modell getrennt und anschließend gereinigt. Der erzeugte Nickelformeinsatz ist danach zur weiteren Verwendung einsetzbar. Der für das Projektvorhaben gefertigte mikrostrukturierte Prägeform - einsatz ist in Bild 5 dargestellt. 3.3 Abformung im Heißprägeverfahren Mit dem gefertigten Prägewerkzeug wurden bisher Abformungen auf Polycarbonat (PC)-Folien und -Platten durchgeführt. Die Dicke der Kunststoffsubstrate betrug 250 µm beziehungsweise 1 mm. Nach Einstellung der optimalen Prägeparameter erfolgte die Durchführung mehrerer Prägeversuche. Die geprägten stegartigen mikrofluidischen Konturen wiesen dabei Höhen von 80 µm bei einer Breite von 50 µm auf. Bild 6 zeigt eine geprägte Kunststoffplatte mit verschiedenen mikrofluidischen Layouts, die auf ihren Einsatz in Brennstoffzellen weiter untersucht werden. Ansprechpartner für weitere Informationen Dr.-Ing. Thomas Wagenknecht, Dipl.-Ing. Knut Rattba, Dipl.-Ing. Stefan Wagner Kontaktdaten siehe vorne Dr.-Ing. Günther Lübbe Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Projektträger Forschungszentrum Karlsruhe Bereich Produktion und Fertigungstechnologien (PTKA-PFT) Hermann-von-Helmholtz-Platz 1 D Eggenstein-Leopoldshafen Tel. +49 (0)7247 / , Fax +49 (0)7247 / guenther.luebbe@ptka.fzk.de Internet: 4 Ausblick Im weiteren Verlauf des Projektvorhabens werden Optimierungen der Mikrostrukturen hinsichtlich ihrer fluidischen Eigenschaften vorgenommen. Im Rahmen der Teilprojekte werden weitere Prägewerkzeuge gefertigt und entsprechende Heißprägeversuche durchgeführt. Dazu erfolgt der Einsatz verschiedener polymerer Werkstoffe in unterschiedlichen Substratdicken. Weiterhin wird die Möglichkeit zur Modifizierung des Präge verfahrens untersucht, um eine Erhöhung der Wirtschaftlichkeit sowie die Integration des Prägeprozesses in die aufzubauende Produktionskette zur Fertigung von Komponenten für Mikrobrennstoffzellen zu erzielen. Literatur [1] N. N.: Market analysis for microsystems II , NEXUS! Task Force Report (2002) February [2] Heckele, M.; Bacher, W.: Herstellung von Kunststoffmikrostrukturen für die Mikrooptik und Mikrosensorik durch Heißprägen. Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6080, 3. Statuskolloquium des Projekts Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, , S [3] Baraldi, G. L.: Heißprägen in Polymeren für die Herstellung integriert-optischer Systemkomponenten. Dissertation, ETH Zürich, Nr , 1994 [4] Ehrfeld, W. (Hrsg.): Handbuch Mikrotechnik. München: Carl Hanser Verlag 2002 [5] N. N.: Herstellung von Mikrobauteilen mit Methoden der Mechanischen Mikrotechnik. Forschungszentrum Karlsruhe Arbeitsthemen im Programm Mikrosystemtechnik (MIKRO), Internet: Abgerufen am [6] Becker, E. W.; Ehrfeld, W.; Hagmann, P.; Maner, A.; Münchmeyer, D.: Fabrication of microstructures with high aspect ratios and great structural heights by synchrotron radiation lithography, galvano - forming, and plastic moulding (LIGA process). Microelectronics Engineering 4 (1986), pp [7] Elders, J.; Jansen, H. V.: DEEMO - A new technology for the fabrication of microstructures. In: Proc. IEEE Workshop Micro Electro Mech. Syst., Amsterdam, The Netherlands, 1995, pp Alle Rechte vorbehalten. Copyright Springer-VDI-Verlag GmbH & Co. KG, Düsseldorf wt Werkstattstechnik online Jahrgang 96 (2006) H. 11/12 853