Wellenlänge [nm] Rückreflexion bei einer beschichteten/unbeschichteten Oberfläche auf einem BK7 Substrat

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Adolf Dresdner
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, auch AR (Anti-Reflex) Beschichtungen genannt, werden zum Beispiel auf Fenstern und Linsen oder auf Rückseiten von dichroitischen Spiegeln bzw. Strahlteilern eingesetzt.

Durch verschiedene Designs und unterschiedliche Beschichtungsmaterialien werden die Bandbreite in Abhängigkeit von der Wellenlänge und die Wirkung der Entspiegelung beeinflusst.

1 , auch AR (Anti-Reflex) Beschichtungen genannt, werden zum Beispiel auf Fenstern und Linsen oder auf Rückseiten von dichroitischen Spiegeln bzw. Strahlteilern eingesetzt. Alle AR-Coatings von LASER COMPONENTS sind für leistungsstarke Laser optimiert und können für den Wellenlängenbereich von 193 nm bis 5000 nm angeboten werden. Durch verschiedene Designs und unterschiedliche Beschichtungsmaterialien werden die Bandbreite in Abhängigkeit von der Wellenlänge und die Wirkung der Entspiegelung beeinflusst. Im Allgemeinen werden für Einfallswinkel von 0 auf Linsen oder für 45 auf der Rückseite von Strahlteilern verwendet. Dabei ist zu beachten, dass eine für 45 Einfallswinkel optimierte Beschichtung unter 0 für einen anderen Wellenlängenbereich optimal ist und umgekehrt. Andere Einfallswinkel und Winkelbereiche können auf Anfrage gefertigt werden. Allgemeine Spezifikationen für AR-Beschichtungen Die typische Oberflächenfehler bei 1.0 en nach der Beschichtung ist wie folgt: 5/4x0.025, C2x0.10 nach ISO nach MIL-O-1380A (bei einem 10-5 ) Rückreflexion bei einer beschichteten/unbeschichteten Oberfläche auf einem BK7 1

2 MgF 2 Einzelschicht AR1 Diese Entspiegelung ist die einfachste Art. Sie besteht aus einer einzelnen MgF 2 - Schicht mit der Dicke l/4. Optimal geeignet ist das Coating vor allem für Materialien mit einer hohen Brechzahl, wie zum Beispiel für Saphir oder SF6 Glas. AR1-Coating; Einfallswinkel 0 AR/AR1 Antireflektive Beschichtung auf Vorder- und Rückseite Wellenlänge in nm PW1011SA Spezifikationen AR1-Coating Reflexionsgrad (auf Saphir): Einfallswinkel nm R < 0.2 % Einfallswinkel nm R < 0.2 % p-pol R < 1.0 % s-pol R < 0.6 % u-pol 2940 nm LDT 5 J/cm 2 (10 ns)! Höhere Spezifikationen Bei einem AOI von 45 und s-pol Optimierung, können noch bessere Spezifikationen als angegeben erzielt werden. Spezifikationen für andere Wellenlängen oder Materialien sind auf Anfrage erhältlich. AR nm / 0 2

Schwerpunkt- V-AR und U-AR Coatings Bei den meisten AR-Beschichtungen handelt es sich um Schwerpunkt-, die für eine Wellenlänge eine optimale Entspiegelung bieten.

3 Schwerpunkt- V-AR und U-AR Coatings Bei den meisten AR-Beschichtungen handelt es sich um Schwerpunkt-, die für eine Wellenlänge eine optimale Entspiegelung bieten. Sie werden häufig auf Materialien wie BK7 oder Quarz eingesetzt. Es wird zwischen U-AR Coatings, die eine spektral breitere Wirkung aufweisen, und V-AR Coatings, die schmalbandiger sind, unterschieden. Die U-AR-Beschichtungen weisen zudem eine geringere Restreflexion auf, doch sind die Beschichtungskosten etwas höher. Beide Versionen bestehen aus mehrschichtigen, dielektrischen Coatings, die für alle zentralen Wellenlängen von 193 nm bis 5000 nm verfügbar sind. V-AR-Coating; Einfallswinkel 0 AR/AR Antireflektive Beschichtung auf Vorder- und Rückseite Wellenlänge in nm PLCX-25.4/51.5C Spezifikationen V-AR Coating Reflexionsgrad: Einfallswinkel nm bis 1064 nm R < 0.2 % 248 nm bis 355 nm R < 0.3 % 193 nm R < 0.5 % 1064 nm LDT 20 J/cm 2 (10 ns) 532 nm LDT 10 J/cm 2 (10 ns) 193 nm LDT 2 J/cm 2 (10 ns) V-AR 1064 nm / 0 V-AR 1064 nm / 45 u-pol 3

4 U-AR-Coating; Einfallswinkel 0 UAR/UAR Antireflektive Beschichtung auf Vorder- und Rückseite Wellenlänge in nm PLCX-25.4/51.5C Spezifikationen U-AR Coating Für BK7 und Quarzglas e Reflexionsgrad: Einfalllswinkel nm bis 1064 nm R < 0.1 % 1064 nm LDT 10 J/cm 2 (10 ns) 532 nm LDT 5 J/cm 2 (10 ns)! Hinweis Die V-AR und U-AR Beschichtungen können jeweils für p-pol, s-pol oder u-pol optimiert werden. U-AR 1064 nm / 0 U-AR 1064 nm / 45 u-pol 4

5 Vielfach- Für frequenzvervielfachte Lasersysteme sind spezielle AR-Coatings notwendig. Diese Beschichtungen sind nicht nur für die Fundamentalwellenlänge, sondern gleichzeitig für weitere harmonische Wellenlängen optimal entspiegelt. Gängig sind Doppel-AR-Coatings wie nm oder nm. Als weiteres Standardprodukt hat sich ein Coating mit speziellem Design für die gängigen Linien von Nd:YAG Lasern etabliert. Dies ist optimiert für die Wellenlängen nm. Bei allen Versionen handelt es sich um mehrschichtige, dielektrische Schichtsysteme, die High-Power tauglich sind. Spezielle Designs werden auf Anfrage auf dem gewünschten gefertigt. Spezifikationen für 45 oder andere Wellenlängenkombinationen können wir Ihnen ebenfalls anbieten. Doppel-/Vielfach-AR-Coating DAR Doppel Antireflektive Beschichtung Wellenlänge in nm /45 Einfallswinkel (AOI) in Grad. Falls AOI nicht angegeben ist, ist er automatisch 0. PP0525UV Spezifikationen DAR oder DAR Für BK7 und Quarzglas e Reflexionsgrad: Einfallswinkel nm oder 800 nm R < 0.3 % 532 nm oder 400 nm R < 0.4 % 1064 nm oder 800 nm LDT 10 J/cm 2 (10 ns) 532 nm oder 400 nm LDT 5 J/cm 2 (10 ns) DAR nm / 0 5

Spezifikationen AR1064+532+355+266 Für Quarzglas e Reflexionsgrad: Einfallswinkel 0 1064 nm R < 0.3 % 532 nm R < 1.

6 Spezifikationen AR Für Quarzglas e Reflexionsgrad: Einfallswinkel nm R < 0.3 % 532 nm R < 1.0 % 355 nm R < 1.0 % 266 nm R < 2.0 % 1064 nm LDT 10 J/cm2 (10 ns) 532 nm LDT 5 J/cm2 (10 ns) AR nm / 0 6

Breitband- (BBAR-Coatings) Werden optimale für einen weiten Wellenlängenbereich benötigt, so sind spezielle mehrschichtige, dielektrische Coatings sehr gebräuchlich.

7 Breitband- (BBAR-Coatings) Werden optimale für einen weiten Wellenlängenbereich benötigt, so sind spezielle mehrschichtige, dielektrische Coatings sehr gebräuchlich. Mittels einer einzigen Beschichtung kann eine Entspiegelung für ein breites Wellenlängenspektrum vorgenommen werden. Durch den Einsatz verschiedener Coatings ist es möglich, den gesamten Wellenlängenbereich von 193 nm bis 2100 nm abzudecken. Die untenstehende Tabelle zeigt die Bereiche, die LASER COMPONENTS standardmäßig anbietet. Ferner können kundenspezifische Zwischenbereiche gefertigt oder auch Sonderversionen angeboten werden. Alle BBAR-Coatings werden sowohl für Einfallswinkel von 0 als auch für 45 als Standard angeboten. Andere Einfallswinkel sind auf Kundenwunsch realisierbar. Bei einem Einfallswinkel von 45 ist eine Optimierung auf die verschiedenen Polarisationen (u-pol, s-pol oder p-pol) möglich. Spezifikationen für 45 oder andere Wellenlängenkombinationen erhalten Sie gern auf Nachfrage. Breitband AR-Coating (BBAR Coating) BBAR /45 PW2037UV Breitband Antireflekive Beschichtung Wellenlänge in nm Einfallswinkel (AOI) in Grad. Falls AOI nicht angegeben ist, ist er automatisch 0. Standard Breitband ARs BBAR-Typ BBAR-U BBAR-A BBAR-B BBAR-C BBAR-D BBAR-E BBAR-F Wellenlängenbereich [nm] Mittlere Reflexion bei AOI < 1.0 % < 0.5 % < 0.4 % < 0.4 % < 0.4 % < 0.4 % < 0.4 % Spezifikationen Für BK7 und Quarzglas e Reflexionsgrad: Einfallswinkel 0 Siehe Tabelle Einfallswinkel 45 Daten auf Anfrage (optimiert für u-pol, s-pol or p-pol) 1064 nm LDT 10 J/cm 2 (10 ns) 532 nm LDT 5 J/cm 2 (10 ns) 7

BBAR 248-355 nm / 0 BBAR 248-355 nm / 45 u-pol BBAR 355-532 nm / 0 BBAR

8 BBAR nm / 0 BBAR nm / 45 u-pol BBAR nm / 0 BBAR nm / 45 u-pol Optics BBAR nm / 45 u-pol BBAR nm / 0 8

9 BBAR nm / 0 BBAR nm / 45 u-pol BBAR nm / 0 BBAR nm / 45 u-pol Optics BBAR nm / 45 u-pol BBAR nm / 0 9

10 auf temperaturempfindlichen Optiken Um empfindliche Optiken wie bspw. GRIN-Linsen mit zu versehen, ist ein besonderes Beschichtungsverfahren notwendig, dessen Prozesstemperaturen so niedrig wie möglich sind. Neue Möglichkeiten bietet das Ion Beam Sputtering Verfahren, auch unter dem Kürzel IBS bekannt. Bei Beschichtungstemperaturen unter 100 C bleiben die Materialeigenschaften des Layers erhalten sind möglich! Diese AR (Anti-Reflex) Beschichtungen werden für einen Wellenlängenbereich von 400 nm bis über 1100 nm angeboten. Der Standard Einfallswinkel liegt bei 0. Breitbandige sowie abweichende Einfallswinkel sind auf Kundenwunsch möglich. Nennen Sie uns Ihre Wünsche bei der Anfrage! Die Reflexionswerte pro beschichteter Seite sind abhängig von dem Brechungsindex des zu beschichteten Materials. Die Restreflexion ist höher als dies bei üblich ist, die bei hohen Temperaturen aufgebracht werden. Der Vorteil zu unbeschichteten Optiken ist nach wie vor immens. Spezifikationen Reflexionsgrad (auf Grinlinse): Einfallswinkel nm: R < 1.5 % durchschnittlich Reflexion mit Beschichtung auf Oberfläche 05/12/V1/IF/lco/katalog/beschichtungen/ar_beschichtung.indd 10

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