TruPlasma Highpulse Serie Hochdichtes Plasma für überlegene Beschichtungsresultate

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1 TruPlasma Highpulse Serie 4000 Hochdichtes Plasma für überlegene Beschichtungsresultate

2 In Mikrosekunden erzeugt, jahrelang verschleißfest. Makellose Hartstoffbeschichtung durch TRUMPF Hüttinger Technik. Einwandfreie Schichten und Haftung. TruPlasma Highpulse Serie TDie Generatoren der TruPlasma Highpulse Serie 4000 wurden speziell für das Hochleistungs-Impuls-Magnetron-Sputtern konstruiert. Impulse von bis zu 8 Megawatt erzeugen ein extrem dichtes metallisches Plasma. Hohe Ionenflüsse und ein hohes Ionen-Atom-Verhältnis bringen Materialschichten mit ausgezeichneten mechanischen Eigenschaften hervor. Hart, homogen und dicht. Ideal für funktionale und dekorative Anwendungen. Die einzigartigen Eigenschaften der Ionen gestatten auch den Einsatz beim Metall-Ionen-Ätzen zur Vorbereitung auf Sputterprozesse und in der Herstellung von Halbleitern. TruPlasma Highpulse Serie 4000 Generatoren erzeugen wiederholte, kurze Megawattpulse bei einer Stromstärke von bis zu vier Kiloampère und bis zu zwei Kilovolt Spitzenspannung. Dank kurzer Impulsdauer und eines niedrigen Auslastungsgrads bleibt die Durchschnittsleistung im Kilowattbereich. Damit können existierende Magnetrons in Laboren und Produktionssystemen ohne Modifikation genutzt werden. TruPlasma Highpulse Serie 4000 besteht aus zwei Einheiten: der DC- Stromversorgung und einer Pulseinheit. Standardmodelle sind mit einer durchschnittlichen Ausgangsleistung von 10 Kilowatt (kw) und 20 kw verfügbar; höhere und niedrigere Leistungen auf Anfrage. Eigenschaften Die weltweit größte Leistungs-Bandweite für HIPIMS-Prozesse Aktive Arc-Unterdrückung Einstellbare Pulsdauer und -frequenz Pulsregelung und -überwachung in Echtzeit Arc-Management CompensateLine optional erhältlich Nutzen Unübertroffene Flexibilität für Industrie und Forschung Tropfenfreies Sputtern und minimale Oberflächendefekte Leicht anpassbar an bestehende Kathodensysteme und Prozessbedingungen Effektive Nutzung der Kathodenleistungskapazitäten Verhindert Arc-Schäden an Kathode und Beschichtung

3 TruPlasma Highpulse Serie 4000 DC-Einheit Pulseinheit Ausgangsdaten Max. Ausgangsleistung 1 MW 8 MW Durchschnittliche Ausgangsleistung Bis zu 20 kw 1 Max. Ausgangsspannung 1 kv bis 2 kv Arc Parameter I max Erkennung Arc Erkennung Var. l max Schwelle: 5 % 105 % < 500 ns Max. Ausgangsstrom 1 ka, 3 ka, 4 ka Regelarten Spannung Wirkungsgrad 90 % 92 % 2 Tastverhältnis 100 % Eingangsdaten Netzspannung 3 x 400 V ± 10 % Netzfrequenz 50 Hz / 60 Hz ± 5 % Regulierung bei Netzschwankungen ± 10 % Last 10 % 90 % Genauigkeit ± 1,0 % Wiederholgenauigkeit ± 0,5 % Ausgangspolung 1) Abhängig von der max. Kathodenleistung. 2) Abhängig von Ausführung. Negativ Pulsparameter Pulsfrequenz Pulsdauer Bis zu 500 Hz < 200 μs Durchschnittsleistung U n Ausgangsspannung 0 I Durchschnitt Leistungsspitze I Leistung I Ausgangsstrom Periode 1/Freq. Ausgangsspannung U set 0 Pulslänge Zeit

4 TruPlasma Highpulse Serie 4000

5 TruPlasma Highpulse Serie 4000 Kühldaten Kühlsystem Umluftkühlung / Lüftersteuerung Max. Lufteingangstemperatur +35 C Umgebungsbedingungen Temperatur Max. Luftfeuchtigkeit +5 C bis +35 C Betrieb -25 C bis +55 C Lagerung 80 % ohne Betauung Max. Einsatzhöhe Max m über NN 3 3) Geräte für höhere Einsatzhöhen auf Anfrage erhältlich. Schnittstellen Analog / Digital RS 232 / RS 485 PROFIBUS 4 Anschlussart 4) Optional verfügbar. 25-polig Sub-D 9-polig Sub-D 9-polig Sub-D Front Abmessungen (B x H x T) DC Einheit Pulseinheit 483 mm x 632 mm x 675 mm 483 mm x 635 mm x 676 mm Gewicht DC Einheit 5 75 kg Pulseinheit 5 50 kg 5) Die Werte geben das Minimalgewicht an. Abhängig von Ausführung.

6

7 DC-Einheit 482 mm 675 mm 635 mm 275 mm 137 mm 442 mm HMP 8/20 HMP DC 8/20 DC 558 mm Pulseinheit 675 mm 482 mm 635 mm 137 mm mm 442 mm 558 mm HMP HMP 8/20 PULSE 8/20 PULSE

8 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Bötzinger Straße Freiburg Telefon Fax Homepage TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG, Alle Rechte vorbehalten. Fehler und technische Änderungen vorbehalten V08

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