KURZPULSLASER. PowerLine Pico und PowerLine SL THE MARK OF EXCELLENCE PRÄZISE UND MATERIALSCHONENDE LASERBEARBEITUNG

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1 KURZPULSLASER PRÄZISE UND MATERIALSCHONENDE LASERBEARBEITUNG PowerLine Pico und PowerLine SL THE MARK OF EXCELLENCE

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3 Kurzpulslaser im oberen Pikosekunden- und unteren Nanosekundenbereich Warum ROFIN? Um kundenspezifische Anwendungsfelder optimal abzudecken, bietet ROFIN Laser im Femto-, Piko- und Nanosekundenbereich an. Die luftgekühlten Kurzpulslaser PowerLine Pico (800 ps) und PowerLine SL (> 5 ns) eignen sich durch hervorragende Puls-zu-Puls- Stabilität selbst bei hohen Frequenzen für anspruchsvolle Markieranwendungen z.b. im Halbleiter- und Medizinbereich sowie für die Mikromaterialbearbeitung wie das Dünnschichtabtragen und -strukturieren. Sowohl der PowerLine Pico als auch der PowerLine SL sind als Strahlquelle sowie in erweiterter Ausbaustufe als Markierlaser erhältlich. Durch äußerst kompakte Abmessungen und All-in-One- Design lassen sie sich einfach integrieren.

4 Was ist Kurzpulslaser- Technologie?

5 Kurzpulslaser von ROFIN im oberen Pikosekunden- und unteren Nanosekundenbereich bieten hohe Pulsspitzenleistung bei geringer Durchschnittsleistung. Dies steigert die Abtragsqualität, reduziert die Oberflächenrauheiten und verbessert die Präzision des selektiven Schichtabtrags. Auch die thermische Eindringtiefe bei abtragssensiblen Prozessen, wie dem Markieren bestimmter Metalle und Halbleitermaterialien, lässt sich mit kürzeren Pulsen deutlich verringern. Die außerordentlich hohe, variable Pulsfrequenz sorgt für schnelle Bearbeitungsverfahren und erlaubt maximalen Puls-zu-Puls-Überlapp, etwa beim Dünnfilmstrukturieren von Solarzellen. Ihre Vorteile Laser der Reihe PowerLine Pico und PowerLine SL garantieren präzise, schonende und hocheffiziente Bearbeitung Wellenlängen von 6 nm, 532 nm und 355 nm hervorragende Bearbeitungsqualität bei hoher Geschwindigkeit vielversprechende Lösung bei Applikationen an empfindlichen Materialien und miniaturisierten Bauteilen beste Integrationsfähigkeit durch kompakte Abmessungen einfache Bedienung durch TCP/IP, USB sowie RS 22 Schnittstellen geringe Betriebskosten

6 Präzise MATERIALSCHONENDE BEARBEITUNG geringe Materialeindringtiefe geringe Wärmeeinflusszone im Material (HAZ) Verringerung struktureller Veränderungen Eignung für verschiedene Applikationsfelder MAXIMALER ÜBERLAPP außerordentlich hohe, variable Pulsfrequenz sorgt für hohen Puls-zu-Puls- Überlapp zeiteffiziente Materialbearbeitung hohe Präzision beim selektiven Schichtabtrag Ergebnis der Materialbearbeitung auf verschiedenen Materialien

7 Bearbeitung DÜNNSCHICHTSTRUKTURIEREN schneller Abtrag einzelner Schichten hohe z-präzision geringe thermische Belastung an Heteroübergängen Photovoltaik STRUKTURIEREN VON SILIZIUM hohe Puls-zu-Puls-Stabilität hohe Strahlqualität ermöglicht hochsymmetrischen Einzelpulsabtrag rissfreies Strukturieren Hoher Puls-zu-Puls-Überlapp beim Strukturieren von Silizium

8 LASERSTRAHLQUELLEN PowerLine Pico Pulslänge 800 ps Pulsenergie 0 µj Wellenlängen 6 nm, 532 nm, 355 nm flexible Vorkonfiguration des Lasers für individuelle Bearbeitungszwecke Software zur Parametereinstellung im Lieferumfang enthalten kompaktes All-in-one-Design ohne Einschub Von der Laserstrahlquelle LASERMARKIERER PowerLine Pico Pulslänge 800 ps Pulsenergie 0 µj Wellenlängen 6 nm, 532 nm, 355 nm leicht integrierbarer, kompakter Einschub für die Laseransteuerung komplexe Beschriftungssoftware im Lieferumfang enthalten inklusive Strahlaufweitung

9 PowerLine SL Strahlqualität TEM 00 Strahlrundheit 95% Wellenlängen 6 nm, 532 nm spezielle Konfiguration für Photovoltaikapplikationen erhältlich Strahlaufweitung im Laserkopf (optional) hervorragende Langzeitstabilität mit Temperaturmanagementsystem zum Laserbeschrifter Hohe Integrationsfähigkeit, einfache Bedienbarkeit und ein Minimum an Wartung zeichnen sowohl Strahlquellen als auch Laserbeschrifter aus.

10 Ansicht von unten Ansicht von unten TECHNISCHE DATEN POWERLINE PICO Ansicht von hinten 15 Ansicht von hinten 5, 5, Ansicht von vorne Ansicht von vorne 76 ø 119,8 160,5 160, Ansicht von unten , PowerLine Pico Strahlquelle IR SHG Ansicht von hinten Ansicht von vorne Wellenlänge [nm] , Durchschnittsleistung [W] 00 khz 00 khz Pulsfrequenz [khz] Pulslänge [ns] 200 khz 200 khz Strahlqualität TEM 00 TEM 00 M 2 < 1.5 < Energie pro Puls [µj] 00 khz khz 800 khz Spitzenleistung [kw] 00 khz 00 khz 20 Strahldurchmesser ca. [mm] ,5 Divergenz voller Radius ca. [mrad] kollimiert kollimiert Polarisation linear; > 0:1 linear; > 0:1 Spannung [V DC] 2 2 Umgebungstemperatur [ C] , PowerLine Pico Laserbeschrifter IR SHG Wellenlänge [nm] Pulsfrequenz [khz] Abmessungen Laserkopf B x L x H [mm] 168 x 65 x x 65 x 230 Luftdurchsatz ca. [m 3 /h] Beschriftungsfeldgröße [mm] x oder 20 x 20 x oder 20 x 20 Fokusabstand [mm] 193 (+/- 7) oder 32 (+/- 25) 193 (+/- 7) oder 32 (+/- 25) Abmessungen Versorgungseinheit B x L x H approx. [mm] 00 x 300 x 85 oder 19, 2HE 00 x 300 x 85 oder 19, 2HE Software VLM VLM Luftdurchsatz 19" Einschub ca. [m 3 /h] Spannung [V] , +/- %; 1 P/N/PE , +/- %; 1 P/N/PE Umgebungstemperatur [ C]

11 16, ca. 280 ± ± 0.02 ca. TECHNISCHE DATEN POWERLINE SL 280 ± 0.02 ca. PowerLine SL 3 PV / 3 SHG PV Ansicht von oben ohne Kühlplatte PowerLine SL 3 PV / SHG PV Ansicht von oben ohne Kühlplatte 77.5 ca. PowerLine SL 20 PV Ansicht von oben ohne Kühlplatte PowerLine SL 3 PV / 3 SHG PV Ansicht von oben ohne Kühlplatte 77.5 ø 6 F8 ø 6 F8 Platz für Kabel PowerLine O6F8 SL 3 PV/SL 20 PV 3 SHG PV ,5 ø.3 (x) ø 6 F8 Platz für Kabel Wellenlänge [nm] Durchschnittliche Leistung [W] 50 khz / 0 khz 50 khz Pulsfrequenz [khz] Pulslänge [ns] 50 khz / 0 khz 50 khz Strahlqualität PowerLine SL 3 PV / 3 SHG PV TEM 00 TEM 00 M 2 Ansicht von vorne ohne Kühlplatte < 1.3 / < 1.2 < 1.2 Energie pro Puls [µj] 50 khz / 50 khz 50 khz Spitzenleistung [kw] 50 khz / 0 khz 50 khz Strahldurchmesser ca. [mm] 6 /1 ohne Strahlaufweitung 1 ohne Strahlaufweitung M (x) 292 O6F8 Divergenz voller Radius, ca. [mrad] 92 PowerLine SL 3 PV / 3 SHG PV Ansicht von vorne ohne Kühlplatte M (x) PowerLine SL 20 PV Ansicht von oben ohne Kühlplatte PowerLine SL 3 PV / 3 SHG PV Ansicht von oben ohne Kühlplatte 77.5 Strahlaufweitung auf Anfrage < 1, kollimiert mit Strahlaufweitung 2 ohne Strahlaufweitung, Platz für Kabel ohne Strahlaufweitung Strahlaufweitung auf Anfrage Polarisation linear; > 0:1 linear; > 0:1 Spannung [V AC] /- % /- % 1 P/N/PE 50/60 Hz 1 P/N/PE 50/60 Hz Umgebungstemperatur [ C] Temperatur Montageplatte [ C] / PowerLine SL 20 PV Ansicht von vorne ohne Kühlplatte ,6 280 ± 0.02 ca. ca. 280 ± 0.02 ø 6 F ,5 ø.3 (x) O6F8 292 PowerLine SL 3 PV / 3 SHG PV Ansicht von vorne ohne Kühlplatte M (x) PowerLine SL 20 PV Ansicht von vorne ohne Kühlpla Platz für Kabel

12 Optionen und ausführliche technische Daten auf Anfrage. Änderungen vorbehalten. ROFIN-SINAR Laser GmbH/KPL/0.13./D/V1.0/gehrke.hildmann LASER MARKING ROFIN-SINAR Laser GmbH Dieselstraße Bergkirchen/Günding Tel.:+9 (0) Fax:+9 (0) LASER MICRO ROFIN-BAASEL Lasertech GmbH & Co.KG Petersbrunner Str. 1b Starnberg Tel.:+9 (0) Fax:+9 (0) LASER MACRO ROFIN-SINAR Laser GmbH Berzeliusstraße Hamburg Tel.:+9 (0) Fax:+9 (0) AT: Tel.:+9-(0) Benelux: Tel.:+31-(0) CA: Tel.: CH: Tel.: +1-(0) CN: Tel.: DK: Tel.: ES/PT: Tel.: F: Tel.:+33-(0) FI: Tel.:+358-(0) IN: Tel.:+91-(22) IT: Tel.: JP: Tel.:+81-(0) KR: Tel.:+82-(0) SG: Tel.: TW: Tel.: UK: Tel.:+-(0) US: Tel.: UNSICHTBARE LASERSTRAHLUNG BESTRAHLUNG VON AUGE ODER HAUT DURCH DIREKTE ODER STREUSTRAHLUNG VERMEIDEN LASER KLASSE 1 UND / ODER WE THINK LASER

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