UNIVEX Probieren und Studieren in Forschung, Entwicklung und Pilot-Produktion Technische Information

Größe: px

Ab Seite anzeigen:

Download "UNIVEX Probieren und Studieren in Forschung, Entwicklung und Pilot-Produktion Technische Information"

Stephan Koenig
vor 6 Jahren
Abrufe

1 UNIVEX Probieren und Studieren in Forschung, Entwicklung und Pilot-Produktion Technische Information

UNIVEX vom Experiment zur Serienproduktion Die Vakuumbeschichtung ist in den modernen Technologien für eine Vielfalt von Anwendungsbereichen unentbehrlich geworden.

Die Laborerprobung dieser Verfahren ist dabei wesentlicher Bestandteil.

Die Anwendung erstreckt sich in erster Linie auf die Vakuum-Beschichtungstechnik sowie Experimente in der Vakuum-Verfahrenstechnik.

Die wesentlichen Eigenschaften dieser modularen Konzeption: Universelle Einsetzbarkeit für beinahe alle Vakuum-Beschichtungsverfahren Unkomplizierte Bedienung Kompaktheit

2 UNIVEX vom Experiment zur Serienproduktion Die Vakuumbeschichtung ist in den modernen Technologien für eine Vielfalt von Anwendungsbereichen unentbehrlich geworden. Bei der Entwicklung neuer Produkte gilt es, geeignete Beschichtungsprozesse und deren Verfahrensparameter experimentell zu entwickeln. Die Laborerprobung dieser Verfahren ist dabei wesentlicher Bestandteil. Für den Einsatz in Forschung und Entwicklung sowie für die Pilot-Produktion hat Oerlikon Leybold Vacuum die Familie universeller Experimentieranlagen UNIVEX entwickelt. Die Anwendung erstreckt sich in erster Linie auf die Vakuum-Beschichtungstechnik sowie Experimente in der Vakuum-Verfahrenstechnik. Die universellen Experimentier-Anlagen sind nach einem modernen Konzept im Baukastenprinzip aufgebaut. Die Auf- oder Umrüstung ist problemlos möglich. Die wesentlichen Eigenschaften dieser modularen Konzeption: Universelle Einsetzbarkeit für beinahe alle Vakuum-Beschichtungsverfahren Unkomplizierte Bedienung Kompaktheit Einfache Umrüstung und Erweiterung Modernste Vakuumtechnik mit Turbo- oder Kryopumpsystem Die universellen Experimentieranlagen von Oerlikon Leybold Vacuum werden unterschieden in Glocken-, Kammerund Clusteranlagen. Welches Experiment Sie auch durchführen wollen, lassen Sie sich aus unserem universellen Konzept Ihre maßgeschneiderte Experimentieranlage zusammenstellen. Unsere Anwendungsberatung steht Ihnen dafür gerne zur Verfügung.

UNIVEX 350 UNIVEX 300 Glockenanlage Die UNIVEX 300 ist eine Glockenanlage, geeignet zur Aufstellung auf dem Labortisch. Der Kammerdurchmesser beträgt 300 mm.

Kammer und Pumpsystem bilden die Basisausstattung, die durch kundenspezifisch wählbare Prozesskomponenten erweitert werden kann.

3 UNIVEX 350 UNIVEX 300 Glockenanlage Die UNIVEX 300 ist eine Glockenanlage, geeignet zur Aufstellung auf dem Labortisch. Der Kammerdurchmesser beträgt 300 mm. Das Hochvakuum-Pumpsystem ist im Schrankteil integriert und besteht standardmäßig aus Turbomolekularpumpe und Vorvakuumpumpe. Es kann bezüglich Pumpentypen und -leistung dem Prozess angepasst werden. Kammer und Pumpsystem bilden die Basisausstattung, die durch kundenspezifisch wählbare Prozesskomponenten erweitert werden kann. Als mögliche Optionen stehen zur Verfügung: Thermische Verdampfer Abglimmeinrichtung Elektronenstrahl-Verdampfer DC-Sputterquellen Zusatz-Equipment wie Substrathalterungen, Heizung, Schichtdickenmessung Hubvorrichtung für Vakuumglocke Spezialeinbauten nach Kundenwunsch Die UNIVEX 300 bildet den preisgünstigen Einstieg in die UNIVEX- Familie und ist speziell für die Herstellung von einfachen Funktionsschichten konzipiert. Sie eignet sich neben dem Einsatz in der Forschung besonders für die studentische Ausbildung. Kammeranlage mit Tür Die UNIVEX 350 ist eine Kammeranlage und besteht aus zwei trennbaren 19"- Schrankteilen. Auf der einen Seite sind die Vakuumkammer (Breite 37mm, Höhe 500mm, Tiefe 370mm) und das Hochvakuum-Pumpsystem untergebracht. Die andere Schrankhälfte enthält die komplette elektrische Versorgung. Diese Anlagenkonzeption erlaubt die Aufstellung der Anlage in einer Reinraumwand. Das Pumpsystem besteht standardmäßig aus Turbomolekularpumpe und Vorvakuumpumpe. Es kann bezüglich Pumpentypen und -leistung dem Prozess angepasst werden. Sowohl das Pumpsystem als auch die Grundfunktionen der UNIVEX 350 werden über eine SPS gesteuert. Optional kann die Steuerung auch den Prozessablauf teilweise oder komplett übernehmen. Der Anbau einer Probenschleuse an einen der seitlichen Kammerflansche ist problemlos möglich.

Die Basiskonfiguration der UNIVEX 300 kann durch kundenspezifisch wählbare Prozesskomponenten erweitert werden. Diese können an allen verfügbaren Kammerwänden montiert werden.

4 Die Basiskonfiguration der UNIVEX 300 kann durch kundenspezifisch wählbare Prozesskomponenten erweitert werden. Diese können an allen verfügbaren Kammerwänden montiert werden. Neben sämtlichen für die UNIVEX 300 aufgezählten Optionen können bei der UNIVEX 350 auch RF-Sputterquellen oder andere RF-gestützte Prozesse (z.b. RF-Bias) zum Einsatz kommen. Die UNIVEX 350 ist speziell für die Herstellung von Funktionsschichten und Schichtsystemen konzipiert. Der Aufbau der Kammer erlaubt höchste Flexibilität für Prozesskomponenten und Substrate. Die UNIVEX 350 eignet sich besonders für den Einsatz in der Forschung, auch unter Reinraumbedingungen. Die optionale Prozesskontrolle ermöglicht besonders gute Reproduzierbarkeit der Ergebnisse. Das Anlagenkonzept ist auch für die studentische Ausbildung geeignet. UNIVEX 450B Kammeranlage mit Tür Die UNIVEX 450B ist eine Kammeranlage und stellt die Weiterentwicklung der UNIVEX 350 dar. Der mechanische Teil der Anlage besteht aus der Vakuumkammer (Breite 490mm, Höhe 680mm, Tiefe 500mm) und dem Hochvakuum-Pumpsystem. Hochvakuumpumpe und Vorvakuumpumpe werden jeweils den Erfordernissen der Prozesse angepasst. In einem separat stehenden 19"- Schrank ist die komplette elektrische Versorgung untergebracht. Diese Konzeption erlaubt die einfache Montage der Kammer in einer Reinraumwand. Auch bei der UNIVEX 450B werden das Pumpsystem und die Grundfunktionen der Anlage über eine SPS gesteuert. Als Option kann diese Steuerung auch den Prozessablauf ganz oder teilweise übernehmen. An einen der seitlichen Kammeranschlüsse kann problemlos eine Probenschleuse angebaut werden. In die Kammer der UNIVEX 450B können sämtliche vorgenannten Prozesskomponenten eingebaut werden. Aufgrund des erweiterten Platzangebots sind die Kombinationsmöglichkeiten beinahe unbeschränkt. Die UNIVEX 450B ist speziell für die Herstellung von Funktionsschichten und Schichtsystemen auf größeren Substraten konzipiert. Der Aufbau der Kammer erlaubt höchste Flexibilität für Prozesskomponenten und Substrate. Die UNIVEX 450B eignet sich besonders für den Einsatz in der Forschung und Pilotproduktion, auch unter Reinraumbedingungen. Die optionale Prozesskontrolle ermöglicht besonders gute Reproduzierbarkeit der Ergebnisse. Das Anlagenkonzept ist auch für die studentische Ausbildung geeignet.

UNIVEX 450C Clusteranlage Die UNIVEX 450C ist eine Clusteranlage mit Kammerabmessungen nach Kundenwunsch.

In einem separat stehenden 19"-Schaltschrank ist die komplette elektrische Versorgung untergebracht. Die Pumpsysteme bestehen üblicherweise aus Turbomolekularpumpe und Vorvakuumpumpe.

Dabei können eine große Anzahl unterschiedlicher Prozesse und Parameter als Rezepturen gespeichert und abgearbeitet werden.

5 UNIVEX 450C Clusteranlage Die UNIVEX 450C ist eine Clusteranlage mit Kammerabmessungen nach Kundenwunsch. Die UNIVEX 450C besteht aus einer oder mehreren Prozesskammern sowie einer Transferkammer und einer Einschleuskammer. Die Kammern besitzen jeweils eigene Hochvakuum- Pumpsysteme. In einem separat stehenden 19"-Schaltschrank ist die komplette elektrische Versorgung untergebracht. Die Pumpsysteme bestehen üblicherweise aus Turbomolekularpumpe und Vorvakuumpumpe. Sie können bezüglich Pumpentypen und -leistung dem Prozess angepasst werden. Die Pumpsysteme und alle Prozessabläufe der UNIVEX 450C werden über eine SPS gesteuert. Dabei können eine große Anzahl unterschiedlicher Prozesse und Parameter als Rezepturen gespeichert und abgearbeitet werden. In die Prozesskammern können eine Vielzahl an Vakuumkomponenten montiert werden: Thermische Verdampfer Abglimmeinrichtung Elektronenstrahl-Verdampfer DC-Sputterquellen RF-Sputterquellen Hilfskomponenten wie Substrathalterungen, Heizung, Schichtdickenmessung Spezialeinbauten nach Kundenwunsch RF-Reinigung Robotergesteuertes Transportsystem Die UNIVEX 450C ist speziell für die Herstellung von Funktionsschichten und Schichtsystemen bei vollautomatischem Prozessablauf konzipiert. Die Prozesskontrolle erlaubt einen beträchtlichen Probendurchsatz und ermöglicht höchste Reproduzierbarkeit der Ergebnisse. Der Aufbau der Kammer orientiert sich streng nach den speziellen Kundenbedürfnissen. Die UNIVEX 450C eignet sich besonders für den Einsatz in der universitären und industriellen Forschung sowie für die Pilotproduktion auch unter Reinraumbedingungen.

UNIVEX Spezialanwendungen und Prüfanlagen Neben dem Standardkonzept der UNIVEX-Anlagen gibt es eine Reihe von Anlagen, die für spezielle Anwendungen konzipiert sind.

Der Spurenträger wird dazu in der speziell ausgebildeten Prozesskammer mit Gold und Zink bedampft.

6 UNIVEX Spezialanwendungen und Prüfanlagen Neben dem Standardkonzept der UNIVEX-Anlagen gibt es eine Reihe von Anlagen, die für spezielle Anwendungen konzipiert sind. UNIVEX 450 Daktyloskopie Mit dieser Anlage lassen sich latente Spuren (z.b. Fingerabdrücke) auf großflächigen Spurenträgern (z.b. Plastiktüten) sichtbar machen. Der Spurenträger wird dazu in der speziell ausgebildeten Prozesskammer mit Gold und Zink bedampft. Um eine einigermaßen gleichmäßige Beschichtung zu ermöglichen, sind in der Kammer mehrere Verdampferstationen angebracht. Im Schrankteil der Anlage sind das Pumpsystem und die elektrischen Versorgungen untergebracht. Die Prozesskammer steht auf einem separaten Gestell neben dem Schrankteil. Als Pumpsystem wird eine Kryopumpe mit entsprechender Vorvakuumpumpe verwendet. Dies führt hier zu den geforderten kurzen Auspumpzeiten. Die UNIVEX 450 Daktyloskopie wurde für den Einsatz im kriminaltechnischen Labor entwickelt. Prüfsysteme Industrielle Prozesse, besonders bei der Herstellung von Röhren, Speziallampen u. ä., erfordern in zunehmendem Maße aufwändige Prüfverfahren, die unter Hochvakuumbedingungen ablaufen. Für derartige Aufgaben erstellen wir Komplettlösungen, die auf die speziellen Kundenanforderungen zugeschnitten sind. Wir liefern eine Turn-key-Lösung von der Vakuumkammer über das Pumpsystem bis zum automatischen Prüfablauf mit Prozessdokumentation. Dabei bearbeiten wir das Gesamtprojekt von der Planung bis zur Inbetriebnahme. Zentrale Deutschland Oerlikon Leybold Vacuum GmbH Bonner Straße 498 D Köln T +49 (0) F +49 (0) info.vacuum@oerlikon.com Wir projektieren und bauen Hochvakuum- Prüfanlagen speziell für Ihr Verfahren und nach Ihren Vorgaben. Wenden Sie sich mit Ihren Wünschen und Vorgaben an unsere Anwendungsberatung! BICOM pe Printed in Germany on chlorine-free bleached paper Technical alterations reserved

Ähnliche Dokumente

UNIVEX Experimentiersysteme für die Herstellung dünner Schichten und zur Weltraumsimulation

UNIVEX Experimentiersysteme für die Herstellung dünner Schichten und zur Weltraumsimulation 184.04.01 Experimentiersysteme Die PVD-Beschichtung (Physical Vapor Deposition) ist als vakuumgestütztes Verfahren