Tiederle. Einsatz der statistischen Versuchsplanung zur Optimierung des Drahtbond Prozesses in der Produktion

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1 Tiederle Einsatz der statistischen Versuchsplanung zur Optimierung des Drahtbond Prozesses in der Produktion

2 Inhaltsanaabe ZUSAMMENFASSUNG 1 1 EI NFÜ H RU NG 3 2 DRAHTBONDPROZEß PHYSIKALISCH-METALLURGISCHE ZUSAMMENHÄNGE FESTKÖRPERVERBINDUNGEN VERBINDUNGSBILDUNG DURCH ULTRASCHALL VERBINDUNGSBILDUNG BEIM DRAHTBONDEN GRUNDLAGEN MODELL DER VERBINDUNGSBILDUNG GEMEINSAMKEITEN DER BONDTECHNOLOGIEN SySTEMATIK BALL -BON DEN WEDGE-BoNDEN VERGLEICH DER VERFAHREN AUSWAHL VON MATERIALIEN UND PROZESSEN BONDBARKElT HERSTELLUNG DER VERBINDUNG EINFLUßFAKTOREN BEIM DRAHTBONDEN BEWERTUNGS-KRITERIEN NACH DER PRODUKTION OPTISCHE BEWERTUNG DEFORMATION ABREIßTEST (BONDPULLTEST) SCHERTEST WERKSTOFF ANALYTISCHE BEURTEILUNG BEWERTUNG DES LANGZEITVERHALTENS M ETHODISCHER ANSATZ OPTIMIERUNG BEIM DRAHTBONDEN PRINZIPIELLES BONDVERHALTEN SPEZIFISCHE BONDEIGENSCHAFTEN FÄHIGKEITSNACHWEIS ÜBERPRÜFUNG DES LAUFENDEN PROZESSES 53 3 OPTIM I ER UNGSSTRA TEGI EN ALLGEMEINE METHODIK ZUR OPTIMIERUNG AUFGABENSTELLUNG BEI DER PARAMETEROPTIMIERUNG METHODEN ZUR OPTIMIERUNG STOCHASTISCH - EMPIRISCHE METHODE EIN-FAKTOR METHODE STATISTISCHE VERFAHREN ERWEITERTE STATISTISCHE VERFAHREN PRAGMATISCHER ANSATZ VERGLEICH DER STRATEGIEN

3 4 STATISTISCH E VERSUCHSPLAN U NG GANZHEITLICHE BETRACHTUNG STRATEGIE ABBILDUNG EINES REALEN BONDPROZESSES AUF EINE MATHEMATISCHE GLEiCHUNG PLANUNG DER VERSUCHE ANALySE ZiELSETZUNG Screening Wirkungsflächen METHODEN DER STATISTISCHEN VERSUCHSPLANUNG Klassische Versuchspläne Verfahren nach Taguchi Verfahren nach Shainin Allgemeingültiger Ansatz VERSUCHSPLAN (DESIGN) Klassische Designs D-optimale Designs BEHANDLUNG QUALITATIVER FAKTOREN BEWERTUNG EINES VERSUCHSPLANES ABARBEITUNG DES VERSUCHSPLANS AUSWERTUNG RELEVANZ DER EINFLUßGRÖßEN QUALITÄT DES MODELLS GENAUIGKEIT DES MODELLS AUSWERTUNG DER RESIDUEN ANPASSUNG OPTIMIERUNG INTERPRETATION UND PROGNOSE ÜBERTRAGUNG AUF DEN DRAHTBONDPROZEß VERGLEICH DoE MIT TRADITIONELLEN VERSUCHEN METHODE ZUR ANALYSE DER VERBINDUNGSBILDUNG BEIM DRAHTBONDEN KONZEPT VERBINDUNGSTYPEN BEIM DRAHTBONDEN BILDUNG VON MIKROSCHMELZEN MECHANISCHES VERHAKEN ATOMARE BINDUNGSKRÄFTE OSERFLÄCHENKONTAMINATION EINSATZ DER STATISTISCHEN VERSUCHSPLANUNG UND INTERPRETATION BEIM DRAHTBON DEN VERBESSERTE CHARAKTERISIERUNG DER EINFLUßGRÖßEN BEWERTUNG MIT STATISTISCHEN KENNGRÖßEN 102 IV Erhöhung der Anforderungen Fähigkeits-Index Statistische Prozeßkontrolle (SPC) Zusammenfassung BEWERTUNG EINES "EIN-FAKTOR-VERSUCHS" MIT DEM FÄHIGKEITS-INDEX Untersuchungs-Bedingungen bei der Untersuchung "A" Ein-Faktor-Methode 109

4 Zusammenfassung OPTIMIERUNG AUßERHALB DES ERFAHRUNGSBEREICHES; EMPIRISCH- STOCHASTISCHER ANSATZ Randbedingungen bei der Untersuchung "B" Stochastisch-Empirischer Ansatz ERKENNTNISSE AUS DER EINFÜHRUNG DES FÄHIGKEITS-INDEX OPTIMIERUNG DER AUSWERTUNG DURCH STATISTISCHE BETRACHTUNG VERBESSERUNG DER AUSSAGE - UNTERSUCHUNG "A" Vorbemerkungen Auswertung unter statistischem Blickwinkel Zusammenfassung ALTERNATIVE AUSWERTUNG - UNTERSUCHUNG "B" Einsatz der multiplen Regression Verifikation Überprüfung des Serieneinsatzes Zusammenfassung BEWERTUNG VON MASCHINEN- UND MATERIAL-EINFLÜSSEN Gold-Schichtdicke bei einer Leiterplatte zum Golddraht-Bonden Einfluß von Material und Maschine beim Aluminium-Draht-Bonden Zusammenfassung NEUE ERKENNTNISSE ZUR VERBINDUNGSBILDUNG BEWERTUNG DER VERBINDUNGSBILDUNG BEIM GOLDDRAHT-BONDEN VERGLEICHENDE BETRACHTUNG FÜR DAS ALUMINIUM-DRAHT-BoNDEN Untersuchung "A" - Mikroschmelze Untersuchung "C" - Atomare Bindungskräfte Untersuchung,,0" - Oberflächenkontamination Untersuchung "E" - Mechanisches Mitschwingen des Bondsubstrates FOLGERUNGEN AUS DEN VORGESTELLTEN ERGEBNiSSEN AUSBLICK ANMERKUNGEN ABKÜRZUNGEN GLOSSAR LITE RA TU R ANHANG AUSWAHL VON VERFÜGBAREN PROGRAMMEN RS 1IDISCOVER DESIGN-EXPERT ST ATISTICA SVSTAT MODDE DARSTELLUNG KLASSISCHER VERSUCHSPLÄNE (DESIGN) BEWERTUNG EINES VERSUCHSPLANS GENAUIGKEIT DER BERECHNUNG INFORMA TIONS-I NDEX EIGENWERTE UND KONDITIONS-ZAHL KORRELATIONSMATRIX QUALITÄT DES MODELLS 171

5 10.4 DARSTELLUNGEN DER ABHÄNGIGKEITEN UNTERSUCHUNG "A" - MIKROSCHMELZE UNTERSUCHUNG "C" - ATOMARE BINDUNGSKRÄFTE UNTERSUCHUNG,,0" - OBERFLÄCHENKONTAMINATION UNTERSUCHUNG "E" - MECHANISCHES MITSCHWINGEN DES BONDSUBSTRATES 174

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