Die LINOS Zoom- und. Mikroskopoptik Zoom- und

Transkript

1 Die LINOS

2 Linsen, Mikrolinsen Arrays, Flüssiglinsen Achromate Laseroptik Die LINOS Qioptiq bietet Ihnen eine große Auswahl an Zoomsystemen, Mikroskop-Objektiven und -Okularen. Machine Vision Objektive Die Optem Zoomobjektive wurden ursprünglich entwickelt, um als Probing Mikroskope in der Halbleiterindustrie eingesetzt zu werden. In den letzten Jahren haben sich neue Einsatzgebiete wie Solarindustrie oder Biotechnologie ergeben, in denen die A-Zoom Reihe erfolgreich eingesetzt wird. Die beispiellose Leistung und Geschwindigkeit unseres Fetura Advanced Zoom Objektivs steigert die Produktivität und Wirtschaftlichkeit von automatisierten Bildanalyseverfahren erheblich. Das Spiegelobjektiv mag.x ist für einen Wellenlängenbereich von 190 bis 900 nm einsetzbar und bietet eine hervorragende Abbildungsleistung. Unsere breitbandentspiegelten orthoskopischen Okulare sind extrem verzeichnungsarm. Qualität, die sich sehen lässt!! Extra: Unsere Mikroskopobjektive sind kompatibel zu den gängigen Anschlussformaten. Die Okulare sind kompatibel zur Mikrobank. Ideale Einsatzgebiete: Halbleiterindustrie, Solarindustrie, biologische Forschung, Materialprüfung, Forensik etc. Unsere Qualitätskriterien: Langjährige Erfahrung in Optikdesign Ausgereifte Beschichtungstechnologie Höchste Abbildungsleistung Extrem geringe Verzeichnung Modernste hochpräzise Fassungstechnologie 472 Free Call Fax +49(0)

3 Zoom Optik Zoom Systeme OPTEM Zoom Kits, Einführung 474 Optem Zoom 125C Kit 474 Optem Zoom 70XL Kit 475 Optem Zoom 160 Kit 476 FETURA Advanced Zoom 477 A-Zoom Mikroskope, Einführung 478 A-Zoom2 10x Mikroskopzoom 478 A-Zoom2 40x Mikroskopzoom 479 A-Zoom Mikro 480 Mikroskop Objektive Mikroskopobjektive für unendliche Bildweite 484 Auflichtmikroskopobjektive 486 Spiegelobjektiv mag.x RO 20x / Okulare Orthoskopische Okulare 488 Kellner-Okular 489 Stative für Zoom Kits Stative für Optem Zoom Systeme 481 Montagewinkel Optem 482 Beleuchtungskits Beleuchtungskits 482 Glasfaser-Lichtleiter 483 Ringlicht Adapter 483 sales@qioptiq.de 473

4 Linsen, Mikrolinsen Arrays, Flüssiglinsen Achromate Laseroptik OPTEM Zoom Kits, Einführung Ursprünglich wurde das Optem Zoom- 70XL-Objektiv, das einen Zoomfaktor von 7:1 bietet, für Anwendungen in der Mikroelektronik, der maschinellen Bildanalyse und der vollautomatischen Überprüfung konstruiert. Durch seine Präzision und Vielseitigkeit hat es sich zu einem CCD-Objektiv für den Einsatz in Forschungsanwendungen und kompakten Inspektionssystemen entwickelt. Weiterentwicklungen führten zum Zoom 125c mit einem Zoomfaktor von 12,5 sowie 160 mit einem Zoomfaktor von 16. Wir haben für jedes dieser Objektive fünf standardisierte Kits konfiguriert, die es möglich machen, diese Objektive an nahezu jede Anwendung der mikroskopischen Bildgebung bei Sichtprüfungen, bei maschinellem Bildverstehen oder bei Forschungsanwendungen anzupassen. Diese Kits stellen Konfigurationsbeispiele dar. Die einzelnen Komponenten sind in zahlreichen Kombinationen erhältlich. Schreiben Sie uns Ihre Anforderungen: oder kontaktieren Sie unseren Produktexperten, den Sie unter im Kapitel finden. Machine Vision Objektive Selection guide Optem Zoom 125C Kit Komplexe Mikroinspektionsaufgaben und bildgebende Anwendungen erfordern ein hohes Maß an hochgenauer Zoom (Vergrößerungs)- Flexibilität. Das Optem Zoom System 125c bietet hier die ideale Lösung. Der Zoom 125c ermöglicht den manuellen optischen Zoom bis 12.5:1. Dabei wird in der Basiskonfiguration ein Vergröße rungsbereich von 0.52x (geringe Vergrößerung) bis zu 6.5x (hohe Vergrößerung) abgedeckt. Der typische Arbeitsabstand liegt dabei bei 89 mm. In zweckmäßigen Vergrößerungspaketen erhältlich, kann der Zoom 125c durch sein dreiteiliges modulares Design für Arbeitsabstände zwischen mm ausgelegt werden. Wünschen Sie höhere Vergröße rungen, bessere Auflösungen oder größere Arbeitsabstände? Dann bieten die für unendlich korrigierten Optem Objektive für große Arbeitsab stände eine integrierbare Lösung! Hoch präzise 12.5:1 Zoom Optome chanik Herausragende Bildqualität Modulare Flexibilität und damit anpassbar an ihre optischen Anforde rungen Standard Vergrößerungsbereich: 0.52x - 6.5x Auflösungsvermögen: lp/mm Erhältlich für Arbeitsabstände von mm Einfache Montagemöglichkeit an Stativen Ausgelegt für 1/3" und bis zu 1" C- Mount Kameras Kompatibel mit Optem Objektiven für große Arbeitsabstände und Vergröße rungen von 10x - 125x. Das Zoom 125c ist für die Anwendung von 1/3" bis hin zu 1" C-Mount Kameras optimiert und lässt sich einfach an die LINOS Schienensysteme montieren. An alle Optem Zoom Pakete kann eine koaxiale (vertikale) faseroptische Beleuchtung angeschlossen werden. Optem Zoom 125C Kit Produktbezeichnung Vergrößerungslinse Arbeitsabstand NA Niedrig/ Hoch Auflösung (LP/mm) Vergrößerung Schärfentiefenbereich Objektfeld [niedrige Vergrößerung] Objektfeld [hohe Vergrößerung] Artikel-Nr. Preis in Euro Zoom Kit 125c x / x x 2.71 R ,00 Zoom Kit 125c x / x x 1.81 R ,00 Zoom Kit 125c-89 1x / x x 1.35 R ,00 Zoom Kit 125c x / x x 0.9 R ,00 Zoom Kit 125c-32 2x / x x 0.68 R , Free Call Fax +49(0)

5 Optem Zoom 70XL Kit Optimiert für Mikroinspektions- und Abbildungsaufgaben, welche die flexible Präzision eines Zooms benö tigen, bietet ihnen das Zoom 70XL System eine ökonomische und verlässliche Lösung. In der Standardkonfiguration beinhaltet der Zoom 70XL einen manuellen 7:1 optischen Zoom der einen Vergrößerungsbereich von 0.75x (niedrige Vergrößerung) bis 5.25x (hohe Vergrößerung) bei einem Arbeitsabstand von 89 mm bietet. Zur Anpassung an die speziellen Anfor derungen ihrer Messaufgabe lässt sich der Zoom durch sein dreiteiliges modulares Design konfigurieren. Hierbei kann der Arbeits abstand in einem Bereich von mm gewählt werden. Präzise 7:1 Zoom Optomechanik Extreme Haltbarkeit mit garantierten Zyklen Kompaktes Design - Modulare Flexibilität um einen großen Bereich von optischen Spezifikationen zu erfüllen Basis Vergrößerungsbereich: 0.75x- 5.25x Basis Auflösungsbereich: lp/mm Verfügbar für Arbeitsabstände von mm Einfache Montagemöglichkeit an Stativen Ausgelegt für C-Mount Kameras mit Sensoren von 1/3" bis zu 1" Kompatibel mit Optem "Long Working Distance" Objektiven für Vergrößerungen bis zu 14x - 100x Q-enabled Die hier beschriebenen Kits stellen lediglich einige Varianten dar. Wir bieten Ihnen gerne ein speziell auf Ihre Anforderungen abgestimmtes Zoom System an: Schreiben Sie uns Ihre Anforderungen: sales@qioptiq.de oder sprechen Sie mit unserem Produktexperten; Kontaktdaten unter (Kapitel ). Das Zoom 70XL ist optimiert für die Verwendung von C-Mount Kameras von 1/3" bis 1". Er kann leicht an die LINOS Schienensysteme adaptiert werden. An alle Optem Zoom Pakete kann eine koaxiale (vertikale) faseroptische Beleuchtung angeschlossen werden. Wünschen Sie höhere Vergrößerungen, bessere Auflösungen oder größere Arbeitsabstände? Dann bieten die für unendlich korrigierten Optem Objektive für große Arbeitsabstände eine integrierbare Lösung! Optem Zoom 70 XL Kit Produ ktbeze ichnun g Vergröß erungslinse Arbeit sabsta nd NA Niedrig / Hoch Auflösu ng (LP/ mm) Vergr ößeru ng Schär fentie fenber eich Objek tfeld [niedr ige Vergr ößeru ng] Objekt feld [hohe Vergrö ßerung ] Artikel-Nr. Preis in Euro Zoom 70XL Kit X / X x x 3.31 R ,00 Zoom 70XL Kit X / X x x 2.24 R ,00 Zoom 70XL Kit -89 1X / X x x 1.68 R ,00 Zoom 70XL Kit X / X x x 1.14 R ,00 Zoom 70XL Kit -32 2X / X x x 0.84 R ,00 sales@qioptiq.de 475

6 Linsen, Mikrolinsen Arrays, Flüssiglinsen Achromate Laseroptik Machine Vision Objektive Selection guide Optem Zoom 160 Kit Komplexe Mikroinspektionsaufgaben und bildgebende Anwendungen erfordern teilweise überragende optische Zoom-Flexibilität und hochauflösende Leistung. Das Optem Zoom System 160 bietet hier die ideale Lösung. Das Zoom 160 unterstützt den manuellen optischen Zoom bis 16:1. Dabei wird in der Basisko nfiguration ein Vergrößerungsbereich von 0.5x (geringe Vergrößerung) bis zu 8.0x (hohe Vergrößerung) abgedeckt. Die Auflösung erstreckt sich dabei von lp/mm bei einem Arbeitsabstand von 89 mm. In zweckmäßigen Vergrößerungspaketen erhältlich, kann der Zoom 160 durch sein vierteiliges modulares Design für Arbeitsabstände zwischen mm ausgelegt werden. Kombinieren Sie die Zoom Kits mit unseren auf Seite 481 beschriebenen Stativen. Zusätzlich bieten wir verschiedene Beleuchtungs-Kits an. Wählen Sie die passende Beleuchtungsart für Ihre Anforderungen (Seite 482). Hochpräzise 16:1 Zoom Optomechanik Kompaktes Linsendesign Modulare Flexibilität und damit anpassbar auf ihre optischen Anforderungen Standard Vergrößerungsbereich: 0.5x - 8x Standard Auflösungsvermögen: lp/mm Maximaler Vergrößerungsbereich: 2.0x x Maximales Auflösungsvermögen: lp/mm Erhältlich für Arbeitsabstände von mm Einfache Montagemöglichkeit an Stativen Ausgelegt für 1/3" und bis zu 1" C- Mount Kameras Das Zoom 160 ist für die Anwendung von 1/3" bis hin zu 1" C-Mount Kameras optimiert und lässt sich einfach an die LINOS Schienensys teme montieren. An alle Optem Zoom Pakete kann eine koaxiale (vertikale) faseroptische Beleuchtung angeschlossen werden. Das Zoom 160 kann nicht in Verbin dung mit Optem Objektiven für große Arbeitsabstände empfohlen werden! OPTEM Zoom Kit Z160 Bezeichnung Vergrößerungslinse Arbeitsabstand NA Niedrig/ Hoch Auflösung (LP/mm) Vergrößerung Schärfentiefenbereich Objektfeld [niedrige Vergrößerung] Objektfeld [hohe Vergrößerung] Artikel-Nr. Preis in Euro Zoom Kit Z x / x x 2.20 R ,00 Zoom Kit Z x / x x 1.43 R ,00 Zoom Kit Z x / x x 1.10 R ,00 Zoom Kit Z x / x x 0.73 R ,00 Zoom Kit Z x / x x 0.55 R , Free Call Fax +49(0)

7 FETURA Advanced Zoom Automatisierte, komplexe Mikroinspektionsaufgaben und bildgebende Anwendungen erfordern ein hohes Maß an hochgenauer Zoom (Vergrößerungs)- Flexibilität. Das Optem Advanced Zoom FETURA bietet hier die ideale Komplettlösung. Durch die integrierte Steuerung und der dazugehörigen Software PULSE ist es sofort einsatzbereit. Der Anschluss erfolgt via USB oder RS232. Jede beliebige Vergrößerung kann innerhalb einer Sekunde angefahren werden. Das FETURA ermöglicht den motorisierten optischen Zoom bis 12.5:1. Dabei wird in der Basiskonfiguration ein Vergrößerungsbereich von 0.52x (geringe Vergrößerung) bis zu 6.5x (hohe Vergrößerung) abgedeckt. Der typische Arbeitsabstand liegt dabei bei 89 mm. Extrem präzise 12.5:1 Zoom Optome chanik Herausragende Bildqualität Modulare Flexibilität und damit anpassbar auf unterschiedliche opti sche Anforderungen Standard Vergrößerungsbereich: 0.52 x-6.5 x Auflösungsvermögen: lp/mm Erhältlich für Arbeitsabstände von mm Einfache Montagemöglichkeit an Stativen Ausgelegt für 1/3" und bis zu 1" C- Mount Kameras Kompatibel mit Optem LWD Objektiven für große Arbeitsabstände und Vergrößerungen von 10x-125x ±0.2 back focus Ø Das FETURA Advanced Zoom kann durch sein dreiteiliges modulares Design für Arbeitsabstände zwischen mm ausgelegt werden. Das FETURA Advanced Zoom ist für die Anwendung von 1/3" bis hin zu 1" C- Mount Kameras optimiert und lässt sich einfach an Schienensysteme montieren A closer look Ø 25 Sie finden auf im Abschnitt Zoomsysteme zu allen Optem Zoom Kits detailierte Datenblätter. 71 An alle Optem Zoom Pakete kann eine koaxiale (vertikale) faseroptische Beleuchtung angeschlossen werden. Für weitere Informationen kontaktieren Sie uns bitte, wir beraten Sie gerne. to optical center FETURA Advanced Zoom Produktbezeich nung Arbeitsabstand NA Niedrig / Hoch Auflösung (LP/mm) Schärfentiefenber eich Objekt feld [niedrige Vergröß erung] Objekt feld [hohe Vergröße rung] Artikel-Nr. Preis in Euro FETURA USB Kit / x x 1.35 R auf Anfrage FETURA RS232 Kit / x x 1.35 R auf Anfrage sales@qioptiq.de 477

8 Linsen, Mikrolinsen Arrays, Flüssiglinsen Achromate Laseroptik A-Zoom Mikroskope, Einführung Zunächst wurden sie als Probing Mikroskope für die Halbleiterindustrie entwickelt. In den letzten Jahren haben sich jedoch viele weitere Einsatzgebiete ergeben: Mittlerweile werden die Mikroskope der A-Zoom Reihe genauso erfolgreich in der Solarindustrie oder Biotechnologie verwendet. Sie werden dort als kostengünstige, flexible und verlässliche Lösung geschätzt, in denen Standardmikroskope nur bedingt geeignet sind. Die Qioptiq Mikroskope der A-Zoom Reihe unterscheiden sich in ihrem Aufbau erheblich von klassischen Mikroskopen. Sie basieren auf unserer langjährigen Erfahrung mit Zoom Objektiven und nicht auf dem Standardaufbau aus Objektiv, Tubuslinse und Okular. Die gewünschte Vergrößerung wird bei den Mikroskopen der A-Zoom Reihe nicht durch den umständlichen Wechsel des Objektivs über eine Revolvervorrichtung erzielt, sondern durch eine integrierte hochwertige Zoom Optik. Im Zusammenspiel mit nur einem Mikroskopobjektiv kann so die gewünschte Vergrößerung erreicht werden. Wir bietet die von uns entwickelten und produzierten Probing-Mikroskope der A-Zoom Serie in drei Ausführungen an: Eine Basisvariante A-Zoom Micro, darauf aufbauend A-Zoom 2 10x und die Premiumvariante A-Zoom 4 10x. Alle Versionen sind in je fünf verschiedenen Konfigurationen erhältlich, die eine optimale Anpassung an die jeweilige Aufgabe erlauben. Die Mikroskope sind einfach zu bedienen und bestechen durch ein sehr gutes Preis-Leistungsverhältnis. Machine Vision Objektive A-Zoom2 10x Mikroskopzoom A-ZOOM 2-10x, Stativ nicht im Lieferumfang enthalten Das A-Zoom2 mit 10x Einzeloptik für optische Hellfeld-Mikroskopie bietet die ideale Lösung für Inspektionsaufgaben im Bereich der Mikroelektronik. Auch Anwendungen in der Entwicklungsum gebung und Qualitätskontrolle sind problemlos mit dem Zoom durchzuführen. Seine Herkunft hat das A-Zoom2 in der Untersuchung elektronischer Bauteile. Es überzeugt durch herausragende optische Eigenschaften und kann somit feinste elektronische Bauteile im Sub- Mikrometer Bereich auflösen. Manueller 10:1 Zoom Ergonomisches Einzelobjektiv-Design Große Auswahl an Optem Objektiven mit großem Arbeitsabstand Großer Arbeitsabstand und damit direktes Arbeiten am untersuchten Objekt möglich Integrierte CCD Kamera für Videoauf nahmen 23 mm Okular mit Anpassungsmög lichkeit des Augenabstandes Koaxiale Halogen Beleuchtung mit Steuergerät Robuster 50 mm Fokusblock für hohe Belastbarkeit Einfache Integration in die meisten Kontrollstationen Kompatibel mit dem LINOS X95 Schienensys tem und Stativen für die Befesti gung an Arbeitsplatten Automatisierte Version erhältlich Auch mit integriertem Laser lieferbar A-Zoom2 10x Mikroskopzoom - 10x Produktbezeich nung Arbeitsabstand Vergrößerung Visuelles Objektfeld Video Objektfeld Artikel-Nr. Preis in Euro A-Zoom 10x / Mplan 2x x x7-0.5x0.7 R ,00 A-Zoom 10x / Mplan 5x x x x0.28 R ,00 A-Zoom 10x / Mplan 10x x x x0.013 R ,00 A-Zoom 10x / Mplan 20x x x x0.07 R ,00 A-Zoom 10x / Mplan 50x x x x0.028 R , Free Call Fax +49(0)

9 A-Zoom2 40x Mikroskopzoom A-ZOOM 2-40x, Stativ nicht im Lieferumfang enthalten Das A-Zoom2 mit 40x Einzeloptik für optische Hellfeld-Mikroskopie bietet die ideale Lösung für Inspektionsaufgaben im Bereich der Mikroelektronik. Auch Anwendungen in der Entwicklungsum gebung und Qualitätskontrolle sind problemlos mit dem Zoom durchzuführen. Seine Herkunft hat das A-Zoom2 in der Untersuchung elektronischer Bauteile. Es überzeugt durch herausragende optische Eigenschaften und kann somit feinste elektronische Bauteile im Sub- Mikrometer Bereich auflösen. Manueller 40:1 Zoom Ergonomisches Einzelobjektiv-Design Große Auswahl an Optem Objektiven mit großem Arbeitsabstand Großer Arbeitsabstand und damit direktes Arbeiten am untersuchten Objekt möglich Integrierte CCD Kamera für Videoaufnahmen 23 mm Okular mit Anpassungsmöglichkeit des Augenabstandes Koaxiale Halogen Beleuchtung mit Steuergerät Robuster 50 mm Fokusblock für hohe Belastbarkeit Einfache Integration in die meisten Kontrollstationen Kompatibel mit dem Linos X95 Schienensys tem und Stativen für die Befesti gung an Arbeitsplatten Automatisierte Version erhältlich Mit integriertem Laser erhältlich Selection guide Auf Anfrage für alle A-Zoom Systeme erhältlich: Robustes und kostengünstiges Stativ, siehe Abbildung oben Motorisierte Variante Polarizer/Analyser Kombination Weitere Zubehörkomponenten Sprechen Sie uns an! Unser Sales Team berät Sie gern. A-Zoom 2-40x Mikroskopzoom Produktbezeich nung Arbeitsabstand Vergrößerung Visuelles Objektfeld Video Objektfeld Artikel-Nr. Preis in Euro A-Zoo m 40x / Mplan 2x x x R ,00 A-Zoo m 40x / Mplan 5x x R ,00 A-Zoo m 40x / Mplan 10x x x x0.060 R ,00 A-Zoo m 40x / Mplan 20x x x x0.030 R ,00 A-Zoo m 40x / Mplan 50x x x x0.012 R ,00 sales@qioptiq.de 479

10 Linsen, Mikrolinsen Arrays, Flüssiglinsen Achromate Laseroptik Machine Vision Objektive A-ZOOM Micro, Kamera nicht im Lieferumfang enthalten A-Zoom Mikro Das A-Zoom mit 7x Zoom mit Einzeloptik für optische Hellfeld-Mikroskopie bietet die ideale Lösung für Inspektionsaufgaben im Bereich der Mikroelektronik. Auch Anwendungen in der Entwicklungsumgebung und Qualitätskontrolle sind problemlos mit dem Zoom durchzuführen. Seine Herkunft hat das A-Zoom in der Untersuchung elektronischer Bauteile in der Halbleiterindustrie und der Flat- Panel Inspektion. Es überzeugt durch herausragende optische Eigenschaften und kann somit feinste elektronische Bauteile im Sub-Mikrometer Bereich auflösen. Kompaktes Design Manueller 7:1 Zoom 10x Okular 2x Schnellwechselsystem zur Erhöhung der Vergrößerung Großer Arbeitsabstand und damit direktes Arbeiten am untersuchten Objekt möglich Robuster 50 mm Fokusblock für hohe Belastbarkeit Optimiert für den Einsatz von 1/2" C- Mount Kameras 23 mm Okular mit Anpassungsmög lichkeit des Augenabstandes Integrierte 10 W LED Koaxialbeleuchtung mit Steuergerät Kompatibel mit dem Linos X95 Schienensys tem und Stativen für die Befesti gung an Arbeitsplatten Große Auswahl an Optem Objektiven mit großem Arbeitsabstand verfügbar A-Zoom Micro Produktbezeich nung Arbeitsabstand Vergrößerung Visuelles Objektfeld Video Objektfeld Artikel-Nr. Preis in Euro A-Zoom µ / Mplan 2x x x1.15 R ,00 A-Zoom µ / Mplan 5x x x0.46 R ,00 A-Zoom µ / Mplan 10x x x0.23 R ,00 A-Zoom µ / Mplan 20x x x0.12 R ,00 A-Zoom µ / Mplan 50x x x0.05 R , Free Call Fax +49(0)

11 Stative für Optem Zoom Systeme Die Basis des äußerst stabilen und flexiblen Stativsystems bildet der Stativfuß G Mit Hilfe der integrierten Nivellierfüße können Unebenheiten der Standfläche ausgeglichen und eine Höheneinstellung bis 20 mm vorgenommen werden. Standardmäßig ist auf der plangefrästen Fläche des Stativfußes eine Flachschiene FLS 95 mit einer Länge von 200 mm montiert. Auf dieser ist ein verschiebbarer Reiter 50 X aufgesetzt, der zur Auflage des Messobjektes oder zur Montage bzw. Befestigung einer individuellen Objekthalterung dient. Für die vertikale Anordnung des Optem Zoom Kits zur Messebene dient ein 500 mm langes X-95 Profil. Montiert wird das Zoom Kit über den Montagewinkel Optem an einen Reiter 50 X95-80, über den eine Höhenverstellung des Systems vorgenommen werden kann. Um ein unbeabsichtigtes Herunterrutschen und eine Beschädigung des optischen Systems zu verhindern, kann das System durch einen im Lieferumfang enthaltenen Reiter 50 X95-30 gesichert werden. Da es sich bei den verwendeten Einzelkomponenten ausschließlich um Standard Produkte handelt, ist eine Modifizierung an nahezu jede Messaufgabe unproblematisch möglich. Die Stativsysteme sind komplett montiert und besteht aus folgenden Einzelteilen: Stativ OPTEM ZOOM System G x G Stativfuss 1x G Flachschiene FLS x G Profil X x G Abdeckkappe X95 1x G Reiter 50 X schwarz ohne Bohrbild 1x G Reiter 50 X x G Reiter 50 X x G Montagewinkel OPTEM 6x G Inzylinderschraube M6x12 Stative für OPTEM ZOOM Systeme mit XY-Positionierer G Stativ OPTEM ZOOM System 1x G Stativfuss 1x G Flachschiene FLS x G Profil X x G Abdeckkappe X95 1x G Reiter 50 X schwarz mit Bohrbild 1x G Reiter 50 X x G Reiter 50 X x G Montagewinkel OPTEM 6x G Inzylinderschraube M6x12 1x G Kreuztisch XY S Stative für Optem Zoom Systeme Produktbezeichnung Artikel-Nr. Preis in Euro Stativ Optem Zoom Systeme G ,00 Stative für Optem Zoom Systeme mit XY-Positionierer G ,00 Stative für OPTEM ZOOM Systeme mit XY-Positionierer 481

12 Linsen, Mikrolinsen Arrays, Flüssiglinsen Achromate Laseroptik Montagewinkel OPTEM Montagewinkel Optem Mit Hilfe des Montagewinkels können die Optem Zoom Kits 70XL, 125c und Z160 über einen Klemmmechanismus aufgenommen und an eine beliebige Fläche montiert werden. Zur Befestigung ist der Winkel mit 2 Gewinden M4 im Raster 25 mm und einem zentralen M6 Gewinde ausgestattet. Montagewinkel Optem Produktbezeichnung Artikel-Nr. Preis in Euro Montagewinkel OPTEM G ,00 Machine Vision Objektive Beleuchtungskits Beleuchtungskit 70XL / 125c Die Beleuchtungskits dienen zum Anschluss des Lichtleiters G (siehe nächste Seite) an die koaxiale Beleuchtungseinheit der Optem Zoom Systeme. Diese Beleuchtungsmethode eignet sich besonders für Objekte mit spiegelnden oder stark reflektierenden Oberflächen. Das Licht wird mit einem diffusen Leuchtfeld erzeugt und mit einem teildurchlässigen Spiegel auf das Objekt umgelenkt, so dass die Beleuchtungsachse genau auf der optischen Achse der Kamera liegt. Beleuchtungskit 70XL/125c Beleuchtungskit 160 Der Lichtleiter mit seinem Standardanschluss ist die Schnittstelle zu allen Kaltlichtquellen (LED, Halogen, Xenon und HBO) aus dem LINOS Katalog. Damit ist ein breites Beleuchtungsspektrum vom UV- bis zum nahen Infrarotbereich, bzw. ein Farbtemperaturbereich von 3000 K bis 6500 K, abgedeckt. Beleuchtungskit 160 Beleuchtungskit Produktbezeichnung Artikel-Nr. Preis in Euro Beleuchtungskit 70XL/125c R ,00 Beleuchtungskit 160 R ,00 Selection guide Passende Lichtquellen sind im Kapitel "Lichtquellen und Laser" beschrieben: Halogen-Kaltlichtquellen CLS-H auf Seite 709 und LED-Kaltlichtquellen CLS-LED auf Seite Free Call Fax +49(0)

13 Glasfaser-Lichtleiter Flexibler Glasfaser-Lichtleiter im Metalls chlauch mit PVC-Überzug. Ausgestattet mit eloxiertem Standard-Lichtleiteran schluss (15 mm) und einer Endhülse aus Aluminium. Der Lichtleiter ist, zusammen mit den Beleuchtungskits, die Schnittstelle zwischen den Optem Zoom Systemen und allen Kaltlichtquellen (LED, Halogen, Xenon und HBO) aus dem LINOS Katalog. Damit ist ein breites Beleuchtungsspek trum vom UV- bis zum nahen Infrarotbereich, bzw. ein Farbtemperaturbereich von 3000 K bis 6500 K, abgedeckt. Glasfaser-Lichtleiter Optem 1/7 Länge: 1500 mm Faserbündeldurchmesser d 0 : 7.0 mm d 1 : 10 mm d 2 : 14 mm d 3 : 12 mm l 1 : 31.7 mm l 2 : 19.1 mm Glasfaser-Lichtleiter Produktbezeichnung Artikel-Nr. Preis in Euro Glasfaser-Lichtleiter Optem 1/7 G ,00 Ringlicht Adapter Ringlicht-Adapter 70XL / 125C Neben der koaxialen Beleuchtungsmethode, die sich besonders für Objekte mit spiegelnden oder stark reflektierenden Oberflächen eignet, besteht die Möglichkeit, die Optem Zoom Systeme mit einer Ringlichtbeleuchtung auszustatten. Diese Beleuchtungsmethode eignet sich hervorragend für die schattenfreie und homogene Beleuchtung von Objekten mit matten beziehungsweise nicht stark reflektierenden Oberflächen. Über einen Ringlichtadapter lassen sich sowohl die im LINOS Katalog angeb o- tenen Glasfaserringlichter als auch die LED-Ringlichter mit dem Innendurchmesser von 66 mm an das Zoom System montieren. Somit ist ein breites Beleuchtungsspektrum vom UV- bis zum nahen Infrarotbereich, bzw. ein Farbtemperaturbereich von 3000 K bis 6500 K, abgedeckt. Ringlicht Adapter Produktbezeichnung Artikel-Nr. Preis in Euro Ringlicht Adapter 70XL/125 R ,00 Ringlicht Adapter Z160 R auf Anfrage Ringlicht-Adapter Z 160 Selection guide Unsere Ringlichter RL4/RL8 sind im Kapitel Lichtquellen und Laser ab Seite 723 beschriebenen oder bestellen Sie gleich online: sales@qioptiq.de 483

14 Linsen, Mikrolinsen Arrays, Flüssiglinsen Achromate Laseroptik Mikroskopobjektive für unendliche Bildweite Optem Long Working Distance Objektive von Qioptiq bieten hohe Vergrößerungen bei großen Arbeitsabständen. Die Objektive sind sowohl als MPlan APO als auch als High-Resolution Modelle in einer großen Auswahl an Vergrößerungen erhältlich. MPlan APO Objektive bieten eine außergewöhnlich geringe Bildfeldwölbung, minimale Verzeichnung und exakte Farbkorrektur über das gesamte Bildfeld. Machine Vision Objektive High-Resolution Objektive bieten durch eine erhöhte NA ein Maximum an Auflösung um auch die feinsten Details darstellen zu können. Diese Objektive sind optimiert, um mit den Optem Mikro-Inspektionssystemen und A-Zoom Probing Mikroskopen zusammenzuarbeiten. Transmissionskurven Hohe Auflösung Große Arbeitsabstände Hohe Performance Außerdem bieten sie durch ihr M26 x 36T Gewinde die Möglichkeit, in verschiede n- sten Messgeräten und Mikroskopen eingesetzt zu werden. Gewinde M26x0.706 mm (kompatibel zu Mitutoyo) Parfokaler Abstand (Abgleichlänge) 95 mm (Abstand von Objektebene zur Anschraubfläche des Objektives) Mikroskopobjektive für unendliche Bildweite Produktbezeichnung Vergrößerung Numerische Apertur Arbeitsabstand, WD Brennweite Auflösung (μm) Schärfentiefe (μm) Objektiv High-Res. 5x *) 5x Objektiv High-Res. 10x *) 10x Objektiv High-Res. 20x *) 20x Objektiv LWD 2x *) 2x Objektiv LWD 5x *) 5x Objektiv LWD 10x *) 10x Objektiv LWD 20x *) 20x Objektiv LWD 50x *) 50x *) High-Res = Hohe Auflösung, LWD = Großer Arbeitsabstand 484 Free Call Fax +49(0)

15 High Res. 5x High Res. 10x High Res. 20x LWD 2x LWD 5x LWD 10x LWD 20x LWD 50x Max. Felddurchmesser Sehfeld 2/3 Sehfeld 1/2 Abmessungen, Max. Ø x L Gewicht (g) Artikel-Nr. Preis in Euro x x x R , x x x R , x x x R , x x x R , x x x R , x x x R , x x x R , x x x R ,00 sales@qioptiq.de 485

16 Linsen, Mikrolinsen Arrays, Flüssiglinsen Achromate Laseroptik Auflichtmikroskopobjektive Produktbezeich nung Arbeitsabstand Auflichtmikroskopobjektive Auflichtobjektiv ohne Deckglaskor rektur Auch für Laseraufweitungen geeignet Achromatisch korrigiert Abgleichlänge 45 mm Mit RMS Gewinde (W 0,8" 1/36") Gewindelänge 4.5 mm Vergrößerung NA Brennweite Artikel-Nr. Preis in Euro Machine Vision Objektive Mikroskopobjektiv 5x / x G ,00 Mikroskopobjektiv 10x / x G ,00 Mikroskopobjektiv 20x / x G ,00 Mikroskopobjektiv 50x / x G ,00 A closer look Bei der Beobachtung kleinster Objekte oder der Fokussierung von Licht zu kleinsten Foki kommen Mikroskopobjektive zum Einsatz. Diese zeichnen sich in der Regel durch hohe Öffnungen (numerische Aperturen NA) aus, da die hohe Auflösung bzw. das Fokussiervermögen direkt mit der Öffnung des optischen Systems über das Beugungsgesetz verknüpft ist. Technische Hintergrundinformationen zu UV-Optiken in Optolines Nr. 19 (als Download unter com/optolines.html). NA Spherical abberation f Konturplot der sphärischen Aberration in λ bei 266 nm für ein Spiegelobjektiv in Abhängigkeit von der numerischen Apertur (NA) und Brennweite (f). Oben links: drei Stege in 120 Anordnung, Oben rechts: vier Stege in 90 Anordnung. Unten: Bildliche Beugungsfigur, zugehörend zu den oben gezeigten Steganordnungen. 486 Free Call Fax +49(0)

17 Spiegelobjektiv mag.x RO 20x / 0.35 Das Spiegelobjektiv mag.x RO 20x/0.35 von Qioptiq bietet eine hervorragende Abbildungsleistung. Durch die Verwendung von Spiegeln ist das Objektiv frei von chromatischen Aberrationen und kann über einen breiten Wellenlängenbereich für Anwendungen im UV und VIS verwendet werden. Das optimierte Schwarzschild Design, bestehend aus einem großen Konkav-Primärspiegel und einem kleinen Konvex-Sekundärspiegel, bietet ein optisches System, welches für primäre sphärische Aberration, primäre Koma und primären Astigmatismus korrigiert ist. Das Design bietet eine Abbildungsleistung nahe der Beugungsgrenze über den gesamten Wellenlängenbereich der Spiegelschicht. Aus diesem Grund ist das Spiegelobjektiv ideal geeignet für Anwendungen, die eine hohe Transmission und exzellente Auflösung über einen breiten Wellenlängenbereich bei großem Arbeitsabstand benötigen. Die Hauptanwendungsgebiete dieser Objektive sind die FTIR Spektroskopie, Photolithographie, Ellipsometrie und Halbleiter Inspektion. Großer Arbeitsabstand Große NA Breiter Spektralbereich ohne chroma tische Aberrationen Ideal für Laser beam delivery Vergrößerung: 20x mit Tubuslinse f'=200 mm Brennweite: nominal f'=10 mm Numerische Apertur: nominal 0.35 Wellenfrontdeformation: λ/10 RMS Arbeitsabstand: 18.6 mm Bildfeld: 0,9 mm Für bildseitig unendliche Schnittweite Abschattung: < 18 % Wellenlängenbereich: nm Zerstörschwelle: > 200 mj/cm 2, 30 ns, 193 nm mag.x ist eine eingetragende Marke von Qioptiq Das mag.x Spiegelobjektiv ist in einer stabilen Mechanik mit universellem RMS-Gewinde montiert. Spektrale Reflektivität der Schicht RAL-E UV (mag.x) Spiegelobjektiv mag.x RO 20x / 0.35 Produktbezeichnung Artikel-Nr. Preis in Euro mag.x RO 20x / 0.35 G ,00 sales@qioptiq.de 487

18 Linsen, Mikrolinsen Arrays, Flüssiglinsen Achromate Laseroptik Orthoskopische Okulare Zur Betrachtung von Zwischenbildern Extrem verzeichnungsarm Mit Strichplatte lieferbar Okular-Brennweite f Okular = 250 mm/ Vergrößerung Breitbandentspiegelt für λ= nm In Normfassung Ø 23.2 mm Orthoskopische Okulare, ohne Strichplatte Vergr. ± 5% L Sehfeldzahl Augenseitige Schnittweite s Artikel-Nr. Preis in Euro Machine Vision Objektive 10x G , x G ,00 16x G ,00 25x G ,00 Orthoskopische Okulare, Strichplatte mit Strichkreuz und Einfangdoppelstrich Vergr. ± 5% L Sehfeldzahl Augenseitige Schnittweite s Artikel-Nr. Preis in Euro 10x G , x G ,00 16x G ,00 25x G ,00 Orthoskopische Okulare, Strichplatte mit Strichteilung 10 mm in 200 Teile Vergr. ± 5% L Sehfeldzahl Augenseitige Schnittweite s Artikel-Nr. Preis in Euro 10x G , x G ,00 16x G ,00 Orthoskopisches Okular, Strichplatte mit Strichteilung 5 mm in 200 Teile Vergr. ± 5% L Sehfeldzahl Augenseitige Schnittweite s Artikel-Nr. Preis in Euro 25x G , Free Call Fax +49(0)

19 Kellner-Okular Zur Betrachtung von Zwischenbildern Strichplatte kann vor dem Okular angeordnet werden Über Adapter kompatibel zur LINOS Mikro bank Okular-Brennweite f Okular = 250 mm/ Vergrößerung Breitbandentspiegelt für λ = nm In Normfassung Ø 23.2 mm Kellner-Okular Prod uktb ezei chn ung Vergr. ±5% L Sehfeldzahl Augenseitige Schnittweite s' Artikel-Nr. Preis in Euro Kellne r- Okula r 12.5x 12.5x G ,00 Selection guide Passende Adapter und Halter zum Einbau unserer Okulare in die LINOS Banksysteme finden Sie im Kapitel Mikrobank. Aufnahmeplatte 25 (G ) Aufnahmeplatte 30 (G ) Reduzierring 23.2 auf ø 25 (G ) Okularadapter 23.2/30 (G ) sales@qioptiq.de 489

20 Linsen, Mikrolinsen Arrays, Flüssiglinsen Achromate Laseroptik Machine Vision Objektive 490 Free Call Fax +49(0)