Nano-Hybrid-Positioniersysteme Nano Hybrid Positioning Systems

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2 Nano-Hybrid-Positioniersysteme Nano Hybrid Positioning Systems Inhalt Nano-Hybrid-Höhenverstelltische...NHH N17 Nano-Hybrid-Kreuztische...NHC 50...N13 Nano-Hybrid-Lineartische...NHL N1 Nano-Hybrid-Lineartische...NHL N5 Nano-Hybrid-Lineartische...NHL N9 Steuerungen, Universal/... Hybrid -Positioniersteuerung...PS N Content Controls, universal/... hybrid position control...ps 90...N21 Nano Hybrid Elevator Stages...NHH N17 Nano Hybrid Linear Stages...NHL N1 Nano Hybrid Linear Stages...NHL N5 Nano Hybrid Linear Stages...NHL N9 Nano Hybrid XY Stages...NHC 50...N13 N Symbolerklärung: Zur Schnellsuche der passenden Produkte wurden einige Symbole in die Produktinformationen eingefügt. Symbol Legend: In order to rapidly find the corresponding products, some symbols have been added to the product information. 25 System SYS 25 kompatibel 40 System SYS 40 kompatibel 65 System SYS 65 kompatibel 90 System SYS 90 kompatibel V -6 vakuumpräparierte Versionen unmagnetische Varianten 25 for use with system SYS for use with system SYS for use with system SYS for use with system SYS 90 V -6 vacuum-prepared versions non-magnetic versions OWIS GmbH Im Gaisgraben Staufen i. Br. (Germany) Tel. +49 (0) / Fax +49 (0) / info@owis.eu mobile.owis.eu NI

3 Nano-Hybrid-Positioniersysteme Nano Hybrid Positioning Systems Typenbezeichnungen NHC 50...Nano-Hybrid-Kreuztische...N13 NHH Nano-Hybrid-Höhenverstelltische...N17 NHL 84...Nano-Hybrid-Lineartische... N1 NHL Nano-Hybrid-Lineartische... N5 NHL Nano-Hybrid-Lineartische... N9 PS 90...Steuerungen, Universal/......Hybrid -Positioniersteuerung... N21 N Type designation NHC 50...Nano Hybrid XY Stages...N13 NHH Nano Hybrid Elevator Stages...N17 NHL 84...Nano Hybrid Linear Stages... N1 NHL Nano Hybrid Linear Stages... N5 NHL Nano Hybrid Linear Stages... N9 PS 90...Controls, universal/......hybrid position control...n21 Symbolerklärung: Zur Schnellsuche der passenden Produkte wurden einige Symbole in die Produktinformationen eingefügt. Symbol Legend: In order to rapidly find the corresponding products, some symbols have been added to the product information. 25 System SYS 25 kompatibel 40 System SYS 40 kompatibel 65 System SYS 65 kompatibel 90 System SYS 90 kompatibel unmagnetische Varianten V -6 vakuumpräparierte Versionen 25 for use with system SYS for use with system SYS for use with system SYS for use with system SYS 90 non-magnetic versions V -6 vacuum-prepared versions NII OWIS GmbH Im Gaisgraben Staufen i. Br. (Germany) Tel. +49 (0) / Fax +49 (0) / info@owis.eu mobile.owis.eu

4 Nano-Hybrid-Positioniersysteme Nano Hybrid Positioning Systems Die Idee der Hybridtischserie ist, Positioniergenauigkeit und kleinste Schrittweiten der klassischen Hochpräzisions-Positioniereinheiten mit Spindelantrieb und Schrittmotor durch den Einsatz eines ausgewählten Piezo-Antriebes zu verfeinern. Der Schrittmotor bringt dafür seine charakteristische Eigenschaft ein, bei Stillstand ein Haltemoment zu entwickeln und somit über die Motorwelle die Schieberposition zu arretieren. Ein Hin- und Her regeln wie bei DC-Servomotoren tritt nicht auf. Von der so erreichten Zielposition kann mit dem Piezoaktor der OWIS Hybrid-Serie unter Ausnutzung des inversen piezoelektrischen Effektes eine geregelte, schrittweise Feinpositionierung durchgeführt werden. Die Antriebscharakteristik der OWIS Hybrid Piezoaktoren lässt sich beschreiben durch kleine Stellwege, große Kraftwirkung und hohe mechanische Belastbarkeit. Weitere Merkmale sind gute Steifigkeit sowie eine hohe Dynamik. Der gewählte Piezoaktor bietet zuverlässigen Betrieb mit maximalen Kräften. Mit den Nano-Hybrid-Einheiten können große Belastungen über weite Stellwege hinweg exakt positioniert werden. Bidirektionale Wiederholbarkeiten unter 200 nm werden so erreicht, die damit, verglichen zu den OWIS Hochpräzisions-Positioniereinheiten der LIMES-Serie, um den Faktor zehn genauer werden. Integrierte, hochauflösende Linearmesssysteme messen die tatsächliche Position des Verschiebelementes, die der Positioniersteuerung PS 90 zurückgemeldet werden. Die Steuerung erkennt automatisch welche der zwei ineinander integrierten Regelschleifen aktiviert sein muss, d. h. welcher Motor wie angesprochen werden muss. Mit dem Schrittmotor wird gefahren bis die Position innerhalb eines vorgegebenen Zielfensters liegt, um unmittelbar im Anschluss daran die Fein-Positionierung über die Regelschleife des Piezoaktors vorzunehmen. Bei aktivierter Regelschleife, erfolgt eine ständige Positionsüberwachung und korrektur. Eventuelle Driftabweichungen werden vom Messsystem erfasst und durch das Steuersystem korrigiert. Für Mehrachsaufbauten ist zu berücksichtigen, dass sich Positionierungenauigkeiten der Achsen zueinander beeinträchtigen. Für einen XY Aufbau, beispielsweise, hängt die Positioniergenauigkeit einer Achse vom Seitenschlag und Winkelfehler der anderen verwendeten Achse ab. Genau gesagt heißt dies, Seitenschlag und Gierwinkelfehler von Position A zu Position B der einen Achse addieren sich zur Genauigkeit der anderen Achse hinzu (Bild 1). Daher empfehlen wir nur eine Achse mit der hohen Genauigkeit der Hybrid-Serie gleichzeitig zu nutzen. Dies ist beim NHC 50 ebenfalls zu berücksichtigen. N The idea of the hybrid series is, to improve the positioning accuracy and resolution of the classical high-precision positioning stages with spindle drive and stepper motor by using an appropriate piezo-actuator. With its characteristic feature to generate a holding torque at standstill, the stepper motor brings the advantage to retain the slider position via the motor shaft with an additional moment. A back and forth as for DC servo motors does not occur. From this position a gradual fine positioning with the piezoelectric actuator can be executed, taking advantage of the inverse piezoelectric effect. The driving characteristics of the OWIS hybrid piezoelectric actuators can be described by small travel ranges, high power efficiency and high mechanical strength. Further features include good stiffness and high dynamic. The chosen piezoelectric actuator provides reliable operation with maximum power. The nano-hybrid stages can take high loads and position those exactly over long travel ranges. Bi-directional repeatability of less than 200 nm are achieved, compared to the high-precision positioning of OWIS LIMES series, it is more accurate by a factor of 10. Integrated, high resolution linear measurement systems detect the actual position of the slide and return the position to Control Unit PS 90. The motion controller automatically activates the appropriate control loop. These two - for step motor and piezo actuator - are integrated into each other. The step motor operates until the slide position has reached a defined target window. Subsequently, the fine-positioning via the piezoelectric actuator control loop is activated. As long as the control loops are activated a permanent position monitoring and -correction is given. Possible effects of drift variations are detected by the measuring system and corrected by the control system. For multi axis combinations should be considered that positioning inaccuracies of the axes influences one another. For an XY setup, for example, the positioning accuracy of an axis is influenced by the lateral deviation of the other axis. Specifically, this means, lateral d yaw angular errors from position A to position B of the one axis have to be added accuracy of the other axis (see fig. 1). Therefore, we recommend using only one axis with the high accuracy of the hybrid-series at the same time. This should be considered at the NHC 50 as well. OWIS GmbH Im Gaisgraben Staufen i. Br. (Germany) Tel. +49 (0) / Fax +49 (0) / info@owis.eu mobile.owis.eu NIII

5 Schlitten 2 carriage 2 Schlitten 1 carriage 1 Bild/fig. 1 Die Hybrid-Positioniereinheiten die Kombination der beiden Antriebsarten ist vor allem vorteilhaft für Positionieraufgaben, bei denen über große Distanzen gefahren, aber auch feine Bewegungen ausgeführt werden sollen, bei denen es auf feine Auflösungen und präzises Anfahren an die Zielposition ankommt. The hybrid positioning - the combination of the two types of drives - is particularly advantageous for positioning task over long travels, but also allowing fine movements, which provide a high resolution and precise positioning to the target position. NIV Änderungen vorbehalten Copyright reserved by OWIS Subject to change without notice

6 PRODUKTINFORMATION PRODUCT INFORMATION Nano-Hybrid-Lineartische Nano-Hybrid Linear Stages Positioniertisch in Hybridtechnik, mit 2-Phasen- Schrittmotor und Piezoaktor hochgenaues Positionieren im Nanometerbereich Stellweg bis 270 mm vorgespannte Kugelumlaufführungen spielfreier Kugelgewindetrieb mit integriertem Linearmesssystem mit Metallabdeckung Hall-Effekt-Endschalter mit OWISid positioning stage in hybrid technology, with 2-phase step motor and piezo actuator high precise positioning in the nanometer range travel up to 270 mm preloaded recircu lating ball bearing guides backlash-free ball screw with integrated linear measuring system with metal covering Hall-effect limit switches with OWISid V -6 X X NHL / Die Nano-Hybrid-Lineartische NHL zeichnen sich durch besonders lange Stellwege bis 270 mm aus, auf denen präzise im Nanometerbereich positioniert werden kann. Die bewährte Mechanik von Spindelantrieb mit Schrittmotor gewährleistet hohe Tragkräfte und hohe Momentaufnahmen. Durch Integration eines Piezoaktors und eines hochauflösenden Messsystems wird zusätzlich die Feinpositionierung für sehr hohe Genauigkeiten und feinste Auflösungen ermöglicht. Dies macht die Lineartische der neuen OWIS Positionierergeneration perfekt für den Einsatz in Anwendungen, die höchste Präzision für sehr hohe Lasten und Stellwege erfordern, als sie ein übliches Nanopositioniersystem bieten kann. Die Nano-Hybrid-Lineartische verfügen sowohl über die Positioniereigenschaften eines Mikropositioniersystems als auch eines Nanopositioniersystems. Mehrachskombinationen können ebenfalls realisiert werden. Die Basisteile sind aus hochfestem Aluminium gefertigt. Die hochwertige, schwarze Eloxalschutzschicht der Aluminiumteile verhindert nahezu vollständig Reflexionen oder Streulicht. The NHL nano-hybrid linear stages are characterized by long travel ranges up to 270 mm with precise positioning in nanometer range. The established mechanism of spindle drive with stepping motor ensures high load capacities and high torque. The integration of a piezoelectric actuator and a high-resolution linear measuring system enables the fine positioning for very high accuracy and fine resolution. This makes the linear stages of the new OWIS positioning generation perfect for use in applications requiring the highest precision for very high loads and long travels, which a common nanopositioning system could not offer. The nano-hybrid linear stages provide both, properties of a micro positioning system as well as of a nanopositioning system. Multi-axes combinations can also be realized. The basic components of the hybrid linear stages are made of high strength aluminium. The top quality black anodized protective coating of the aluminium parts prevents reflections or stray light almost completely. OWIS GmbH Im Gaisgraben Staufen i. Br. (Germany) Tel. +49 (0) / Fax +49 (0) / info@owis.eu mobile.owis.eu N1

7 Tragkraft/load capacity 80 Stellkraft/actuating force NHL 84-XXX-HiSM 50 HYBRID SM 5, , M6 8 Ø 3 6 Snkg. f. M6 cntrb. f. M Ø Snkg. f. M4 cntrb. f. M4 275 Snkg. f. M6 cntrb. f. M6 NHL Snkg. f. M6 cntrb. f. M6 NHL Ø Ø Snkg. f. M6 cntrb. f. M6 NHL ,4 M M , Snkg. f. M6 cntrb. f. M6 NHL M4 8 M4 8 NHL NHL 84-XXX-HiSM N2 Änderungen vorbehalten Subject to change without notice

8 19,5 M ,5 32,5 25 Ø ,5 8 17, M4 4,8 80 inkl./incl. 4 Schrauben/screws ISO 4762 M4 x 10 4 Schrauben/screws ISO 4762 M6 x 16 2 Stifte/pins ISO 8734 ø 3 x 10 2 Muttern/nuts ISO 4032 M4 Z-Montagewinkel/Z assembly bracket MONT-LT(M) 80-Z Technische Daten/Technical Data NHL 84 (bei 20 C/@ 20 C, ohne Last/no load) Schrittmotor step motor Geschwindigkeit über Spindel velocity via spindle max. 8 mm/s Tragkraft load capacity max. 150 N Stellkraft actuating force max. 60 N Kippmoment (Mx, My, Mz) moment of tilt (Mx, My, Mz) max. 15 Nm Spindelsteigung spindle pitch 1 mm Wiederholfehler (bidirektional) repeatability (bidirectional) < 200 nm Positionierfehler positioning error < 10 µm/mm Auflösung des Messsystems resolution of the measuring system 10 nm Gierwinkel yaw angle < µrad Nickwinkel pitch angle < 150 µrad Höhenschlag vertical deviation < 4 µm Seitenschlag lateral deviation < 4 µm Motorspannung motor voltage max. 50 V Motor-Haltespannung holding voltage 0,9 V Motorstrom motor current max. 2,5 1 ) A Schritte pro Motorumdrehung steps per motor revolution ) Betriebstemperatur ³) ambient operating temperatur ³) + 10 bis/up to + 50 C Lagerungstemperatur ³) storage temperature ³) 20 bis/up to + 70 C 1 ) pro Phase/per phase 2 ) im Vollschrittbetrieb/in full-step mode 3 ) ohne Betauung/without condensation Alle technischen Daten sind abhängig von Einbaulage, Anwendung und eingesetzter Steuerung. All technical data depend on orientation, application and used control. N3

9 Bestellangaben/Ordering Information Nano-Hybrid-Lineartische/nano-hybrid linear stages mit Hall-Effekt-Endschaltern with Hall-effect limit switches mit Schrittmotor/with step motor Typ/type Bestell-Nr./part no. 45 mm Stellweg/travel NHL HiSM HP 70 mm Stellweg/travel NHL HiSM HP 120 mm Stellweg/travel NHL HiSM HP 170 mm Stellweg/travel NHL HiSM HP 270 mm Stellweg/travel NHL HiSM HP Zubehör/Accessories Z-Montagewinkel für Lineartische LT 80, LTM 80, Z assembly bracket for series LT 80, LTM 80, MONT-LT(M) 80-Z LTM 80P, F und M, LIMES 80, LIMES 84 und NHL 84 LTM 80P, F and M, LIMES 80, LIMES 84 and NHL 84 XY-Montagesatz für LT, LTM, LIMES und NHL 84 XY assembly kit for LT, LTM, LIMES and NHL 84 MONT-LT(M)-XY ohne Montage, nicht für P-Version without assembly, not for P version XY-Montagesatz für LT, LTM, LIMES und NHL 84 XY assembly kit for LT, LTM, LIMES and NHL 84 MONT-LT(M)-XY-MM mit Montage, nicht für P-Version with assembly, not for P version Fett für Spindeln, 5 ml im Applikator grease for spindles, 5 ml in applicator SST.F Fett für Führungen, 5 ml im Applikator grease for guides, 5 ml in applicator SST.F N4 Änderungen vorbehalten Subject to change without notice

10 PRODUKTINFORMATION PRODUCT INFORMATION Nano-Hybrid-Lineartische Nano-Hybrid Linear Stages Positioniertisch in Hybridtechnik, mit 2-Phasen- Schrittmotor und Piezoaktor hochgenaues Positionieren im Nanometerbereich Stellweg bis zu 290 mm vorgespannte Kugelumlaufführungen spielfreier Kugelgewindetrieb mit integriertem Linearmesssystem mit Metallabdeckung Hall-Effekt-Endschalter mit OWISid positioning stage in hybrid echnology, with 2-phase step motor and piezo actuator high precise positioning in the nanometer range travel up to 290 mm preloaded recircu lating ball bearing guides backlash-free ball screw with integrated linear measuring system with metal covering Hall-effect limit switches with OWISid V -6 X X NHL / Die Nano-Hybrid-Lineartische NHL zeichnen sich durch besonders lange Stellwege bis 290 mm aus, auf denen präzise im Nanometerbereich positioniert werden kann. Die bewährte Mechanik von Spindelantrieb mit Schrittmotor gewährleistet hohe Tragkräfte und hohe Momentaufnahmen. Durch Integration eines Piezoaktors und eines hochauflösenden Messsystems wird zusätzlich die Feinpositionierung für sehr hohe Genauigkeiten und feinste Auflösungen ermöglicht. Dies macht die Lineartische der neuen OWIS Positionierergeneration perfekt für den Einsatz in Anwendungen, die höchste Präzision für sehr hohe Lasten und Stellwege erfordern, als sie ein übliches Nanopositioniersystem bieten kann. Die Nano-Hybrid-Lineartische verfügen sowohl über die Positioniereigenschaften eines Mikropositioniersystems als auch eines Nanopositioniersystems. Mehrachskombinationen können ebenfalls realisiert werden. Die Basisteile sind aus hochfestem Aluminium gefertigt. Die hochwertige, schwarze Eloxalschutzschicht der Aluminiumteile verhindert nahezu vollständig Reflexionen oder Streulicht. The NHL nano-hybrid linear stages are characterized by long travel ranges up to 290 mm with precise positioning in nanometer range. The established mechanism of spindle drive with stepping motor ensures high load capacities and high torque. The integration of a piezoelectric actuator and a high-resolution linear measuring system enables the fine positioning for very high accuracy and fine resolution. This makes the linear stages of the new OWIS positioning generation perfect for use in applications requiring the highest precision for very high loads and long travels, which a common nanopositioning system could not offer. The nano- hybrid linear stages provide both, properties of a micro positioning system as well as of a nanopositioning system. Multi-axes combinations can also be realized. The basic components of the hybrid linear stages are made of high strength aluminium. The top quality black anodized protective coating of the aluminium parts prevents reflections or stray light almost completely. OWIS GmbH Im Gaisgraben Staufen i. Br. (Germany) Tel. +49 (0) / Fax +49 (0) / info@owis.eu mobile.owis.eu N5

11 NHL 124-HiSM Tragkraft/load capacity 120 Stellkraft/actuating force 50 Snkg. f. M6 cntrb. f. M6 3, ,5 SM ,3 50 Ø Ø Ø ,4 M6 8 M4 8 Snkg. f. M6 cntrb. f. M6 NHL NHL NHL M4 8 M4 8 M4 8 NHL NHL 124-XXX-HiSM N6 Änderungen vorbehalten Subject to change without notice

12 ,6 10, ,6 inkl./incl. 4 Schrauben/screws ISO 4762 M4 x 12 6 Schrauben/screws ISO 4762 M6 x 20 2 Stifte/pins ISO 8734 ø 3 x 10 6 Muttern/nuts ISO 4032 M6 Z-Montagewinkel/Z assembly bracket MONT-LT(M) 120-Z Technische Daten/Technical Data NHL 124 (bei 20 C/@ 20 C, ohne Last/no load) Schrittmotor step motor Geschwindigkeit über Spindel velocity via spindle max. 8 mm/s Tragkraft load capacity max. 150 N Stellkraft actuating force max. 60 N Kippmoment (Mx, My, Mz) moment of tilt (Mx, My, Mz) max. 15 Nm Spindelsteigung spindle pitch 1 mm Wiederholfehler (bidirektional) repeatability (bidirectional) < 200 nm Positionierfehler positioning error < 10 µm/mm Auflösung des Messsystems resolution of the measuring system 10 nm Gierwinkel yaw angle < 75 µrad Nickwinkel pitch angle < 75 µrad Höhenschlag vertical deviation < 2 µm Seitenschlag lateral deviation < 2 µm Motorspannung motor voltage max. 50 V Motor-Haltespannung holding voltage 0,9 V Motorstrom motor current max. 2,5 1 ) A Schritte pro Motorumdrehung steps per motor revolution ) Betriebstemperatur ³) ambient operating temperatur ³) + 10 bis/up to + 50 C Lagerungstemperatur ³) storage temperature ³) 20 bis/up to + 70 C 1 ) pro Phase/per phase 2 ) im Vollschrittbetrieb/in full-step mode 3 ) ohne Betauung/without condensation Alle technischen Daten sind abhängig von Einbaulage, Anwendung und eingesetzter Steuerung. All technical data depend on orientation, application and used control. N7

13 Bestellangaben/Ordering Information Nano-Hybrid-Lineartische/nano hybrid-linear stages mit Hall-Effekt-Endschaltern with Hall-effect limit switches mit Schrittmotor/with step motor Typ/type Bestell-Nr./part no. 80 mm Stellweg/travel NHL HiSM HP 1 mm Stellweg/travel NHL HiSM HP 2 mm Stellweg/travel NHL HiSM HP 290 mm Stellweg/travel NHL HiSM HP Zubehör/Accessories Z-Montagewinkel, für LT 120, LTM 120, LTM 120F Z assembly bracket, for LT 120, LTM 120, LTM 120F MONT-LT(M) 120-Z und M, LIMES 122, LIMES 124 und NHL 124 and M, LIMES 122, LIMES 124 and NHL 124 Fett für Spindel, 5 ml im Applikator grease for spindle, 5 ml in applicator SST.F Fett für Führungen, 5 ml im Applikator grease for guides, 5 ml in applicator SST.F N8 Änderungen vorbehalten Subject to change without notice

14 PRODUKTINFORMATION PRODUCT INFORMATION Nano-Hybrid-Lineartische Nano-Hybrid Linear Stages Positioniertisch in Hybridtechnik, mit 2-Phasen- Schrittmotor und Piezoaktor hochgenaues Positionieren im Nanometerbereich Stellweg 400 mm und 600 mm vorgespannte Kugelumlaufführungen spielfreier Kugelgewindetrieb mit integriertem Linearmesssystem mit Metallabdeckung Hall-Effekt- Endschalter mit OWISid positioning stage in hybrid technology, with 2-phase step motor and piezo actuator highly precise positioning in the nanometer range travel of 400 mm and 600 mm preloaded recircu lating ball bearing guides backlash-free ball screw with integrated linear measuring system with metal covering Hall-effect limit switches with OWISid V -6 X X NHL / Die Nano-Hybrid-Lineartische NHL zeichnen sich durch besonders lange Stellwege bis 600 mm aus, auf denen präzise im Nanometerbereich positioniert werden kann. Die bewährte Mechanik von Spindelantrieb mit Schrittmotor gewährleistet hohe Tragkräfte und hohe Momentaufnahmen. Durch Integration eines Piezoaktors und eines hochauflösenden Messsystems wird zusätzlich die Feinpositionierung für sehr hohe Genauigkeiten und feinste Auflösungen ermöglicht. Dies macht die Lineartische der neuen OWIS Positionierergeneration perfekt für den Einsatz in Anwendungen, die höchste Präzision für sehr hohe Lasten und Stellwege erfordern, als sie ein übliches Nanopositioniersystem bieten kann. Die Nano-Hybrid-Lineartische verfügen sowohl über die Positioniereigenschaften eines Mikropositioniersystems als auch eines Nanopositioniersystems. Mehrachskombinationen können ebenfalls realisiert werden. Die Basisteile sind aus hochfestem Aluminium gefertigt. Die hochwertige, schwarze Eloxalschutzschicht der Aluminiumteile verhindert nahezu vollständig Reflexionen oder Streulicht. The NHL nano-hybrid linear stages are characterized by particularly long travel ranges up to 600 mm with precise positioning in nanometer range. The established mechanism of spindle drive with step motor ensures very high load capacities and moments. The integration of a piezoelectric actuator and a high-resolution linear measuring system enables the fine positioning for very high accuracy and fine resolution. This makes the linear stages of the new OWIS positioning generation perfect for use in applications requiring the highest precision for very high loads and long travels, which a common nanopositioning system could not offer. The nano-hybrid linear stages provide both, properties of a micro positioning system as well as of a nanopositioning system. Multi-axes combinations can also be realized. The basic components of the hybrid linear stages are made of high strength aluminium. The top quality black anodized protective coating of the aluminium parts prevents reflections or stray light almost completely. OWIS GmbH Im Gaisgraben Staufen i. Br. (Germany) Tel. +49 (0) / Fax +49 (0) / info@owis.eu mobile.owis.eu N9

15 Tragkraft/load capacity NHL 170-X00-HiSM 170 Stellkraft/actuating force 80 SM 20 32, , M M6 10 M M4 Ø ± 0 NHL ± 200 NHL Ø Snkg. f. M6 cntrb. f. M6 160 Snkg. f. M4 cntrb. f. M Ø 3 5 NHL Snkg. f. M6 cntrb. f. M6 150 Snkg. f. M4 cntrb. f. M4 Snkg. f. M4 cntrb. f. M4 NHL NHL 170-X00-HiSM 50 Ø 3 5 M4 10 M6 10 N10 Änderungen vorbehalten Subject to change without notice

16 , M inkl./incl. 6 Schrauben/screws ISO 4762 M6 x 20 Z-Montagewinkel/Z assembly bracket MONT-LIMES Z Technische Daten/Technical Data NHL 170 (bei 20 C/@ 20 C, ohne Last/no load) Geschwindigkeit über Spindel velocity via spindle max. 10 mm/s Tragkraft load capacity max. 10 N Stellkraft actuating force max. 60 N Kippmoment (Mx, Mz) moment of tilt (Mx, Mz) max. 500 Nm Kippmoment (My) moment of tilt (My) max. 200 Nm Spindelsteigung spindle pitch 2 mm Wiederholfehler (bidirektional) repeatability (bidirectional) < 200 nm Auflösung des Messsystems resolution of the measuring system 10 nm Gierwinkel yaw angle < 75 µrad Nickwinkel pitch angle < 75 µrad Höhenschlag vertical deviation < 2 µm/mm Seitenschlag lateral deviation < 2 µm/mm Motorspannung motor voltage max. 50 V Motor-Haltespannung holding voltage 2,0 V Motorstrom motor current max. 2,5 1 ) A Schritte pro Motorumdrehung steps per motor revolution ) Betriebstemperatur ³) ambient operating temperatur ³) + 10 bis/up to + 50 C Lagerungstemperatur ³) storage temperature ³) 20 bis/up to + 70 C 1 ) pro Phase/per phase 2 ) im Vollschrittbetrieb/in full-step mode 3 ) ohne Betauung/without condensation Alle technischen Daten sind abhängig von Einbaulage, Anwendung und eingesetzter Steuerung. All technical data depend on orientation, application and used control. N11

17 Bestellangaben/Ordering Information Nano-Hybrid-Lineartische/nano-hybrid linear stages mit Hall-Effekt-Endschaltern with Hall-effect limit switches mit Schrittmotor und Piezoaktor/with step motor and piezo actuator Typ/type Bestell-Nr./part no. 400 mm Stellweg/travel NHL HiSM HS 600 mm Stellweg/travel NHL HiSM HS Zubehör/Accessories Z-Montagewinkel für LIMES XXX Z assembly bracket for LIMES XXX MONT-LIMES Z und NHL 170 and NHL 170 Fett für Spindel, 5 ml im Applikator grease for spindle, 5 ml in applicator SST.F Fett für Führungen, 5 ml im Applikator grease for guides, 5 ml in applicator SST.F N12 Änderungen vorbehalten Subject to change without notice

18 PRODUKTINFORMATION PRODUCT INFORMATION Nano-Hybrid-Kreuztische Nano-Hybrid XY Stages Positioniertisch in Hybridtechnik, mit 2-Phasen- Schrittmotor und Piezoaktor hochgenaues Positionieren im Nanometerbereich Stellweg 50 mm je Achse vorgespannte Kugelumlaufführungen spielfreier Kugelgewindetrieb besonders flache und kompakte Bauweise große Apertur für Durchlichtanwendungen mit integriertem Linearmesssystem Hall-Effekt- Endschalter mit OWISid positioning stage in hybrid technology, with 2-phase step motor and piezo actuator highly precise positioning in the nanometer range travel 50 mm for each axis particularly high load capacity due to the preloaded recirculating ball bearing guides backlash-free ball screw particularly flat and compact design large aperture for transmitted light applications with integrated linear measuring system high-precision Hall-effect limit switches with OWISid V -6 X X NHC / Die neuen Nano-Hybrid-Kreuztische NHC wurden für Anwendungsgebiete entwickelt, die hochgenaue Positionierung in XY Richtung bei geringer Bauhöhe und Abmaßen benötigen, wie sie beispielsweise bei mikroskopischen oder laserinterferometrischen Anwendungen gestellt werden. Für Durchlichtanwendungen verfügen die NHC über eine 50 x 50 mm quadratische Apertur, die über den gesamten Stellweg bestehen bleibt. Die bewährte Mechanik von Spindelantrieb mit Schrittmotor gewährleistet dabei hohe Tragkräfte und hohe Momentaufnahmen. Durch Integration eines Piezoaktors und eines hochauflösenden Messsystems wird zusätzlich die Feinpositionierung für sehr hohe Genauigkeiten und feinste Auflösungen ermöglicht. Dies macht die Kreuztische der neuen OWIS Positionierergeneration perfekt für den Einsatz in Anwendungen, die höchste Präzision für sehr hohe Lasten und Stellwege erfordern, als sie ein übliches Nanopositioniersystem bieten kann. Die Nano-Hybrid-Kreuztische verfügen sowohl über die Positioniereigenschaften eines Mikropositioniersystems als auch eines Nanopositioniersystems. Die Basisteile sind aus hochfestem Aluminium gefertigt. Die hochwertige, schwarze Eloxalschutzschicht der Aluminiumteile verhindert nahezu vollständig Reflexionen oder Streulicht. The new NHC nano-hybrid XY stages were developed for applications that require highly accurate positioning in XY direction with low overall height and dimensions, as they are required in microscopic and laser interferometric applications. For transmitting light applications, the NHC provides a 50 x 50 mm squared aperture, which is retained within the entire travel range. The established mechanism of spindle drive with step motor ensures very high load capacities and moments. The integration of a piezoelectric actuator and a high-resolution linear measuring system additionally enables the fine positioning for very high accuracy and fine resolution. This makes the XY stages of the new OWIS positioning generation perfect for use in applications requiring the highest precision for high loads and long travels, which a common nanopositioning system could not offer. The nano-hybrid XY stages provide both, properties of a micro positioning system as well as of a nanopositioning system. The basic components of the hybrid linear stages are made of high strength aluminium. The top quality black anodized protective coating of the aluminium parts prevents reflections or stray light almost completely. OWIS GmbH Im Gaisgraben Staufen i. Br. (Germany) Tel. +49 (0) / Fax +49 (0) / info@owis.eu mobile.owis.eu N13

19 NHC 50-HiSM SM 49, (+26,5 bei X-Achse in MAX-Endlage) (+26.5 when X axis at MAX limit position) Ø NHC 50-HiSM M6 255, M ,2 Ø ,3 Snkg. f. M6 cntrb. f. M6 55 Ø 3 3 Ø 3 4 3,5 7,5 M inkl./incl. 4 Schrauben/screws ISO 7984 M3 x 6 2 Stifte/pins ISO 8734 ø 3 x 6 Einsatzplatte/insert plate ESP-50x50-G Ø 3 4 M4 6 M4 6 Snkg. f. M3 ISO 7984 cntrb. f. M3 ISO 7984 N14 Änderungen vorbehalten Copyright reserved by OWIS (2011) Subject to change without notice

20 Technische Daten/Technical Data NHC 50 (bei 20 C, ohne Last/no load) Stellweg X travel X 50 mm Stellweg Y travel Y 50 mm Einbaulage mounting orientation horizontal Geschwindigkeit velocity max. 8 mm/s Tragkraft load capacity max. N Stellkraft actuating force max. 60 N Kippmoment (Mx, My, Mz) moment of tilt (Mx, My, Mz) max. 10 Nm Spindelsteigung spindle pitch 1 mm Wiederholfehler je Achse repeatability per axis < ) nm Auflösung des Messsystems resolution of the measuring system 10 nm Gierwinkel je Achse yaw angle per axis < µrad Nickwinkel je Achse pitch angle per axis < 150 µrad Höhenschlag je Achse vertical deviation per axis < 4 µm Seitenschlag je Achse lateral deviation per axis < 4 µm Motorspannung motor voltage max. 50 V Motor-Haltespannung holding voltage 0,9 V Motorstrom motor current max. 2,5 2 ) A Schritte/Impulse pro Motorumdrehung steps/pulses per motor revolution ) Betriebsumgebungstemperatur 4 ) ambient operating temperature 4 ) + 10 bis/up to + 50 C Lagerungstemperatur 4 ) storage temperature 4 ) 20 bis/up to + 70 C 1 ) in Abhängigkeit von der Position der jeweils anderen Achse/depending on position of the other axis 2 ) pro Phase/per phase 3 ) im Vollschrittbetrieb/in full-step mode 4 ) ohne Betauung/without condensation Alle technischen Daten sind abhängig von Einbaulage, Anwendung und eingesetzter Steuerung. All technical data depend on orientation, application and used control. Bestellangaben/Ordering Information Nano-Hybrid-Kreuztische/nano-hybrid XY stages mit Hall-Effekt-Endschaltern with Hall-effect limit switches mit Schrittmotor und Piezoaktor/with step motor and piezo actuator Typ/type Bestell-Nr./part no. 50 mm Stellweg/travel NHC 50-HiSM HP Zubehör/Accessories Einsatzplatte, 7,3 mm dick, insert plate, 7.3 mm thick, ESP-50x50-G für PKT 50, PKTM 50, CROSS 50 und NHC 50 for PKT 50, PKTM 50, CROSS 50 and NHC 50 Fett für Spindel, 5 ml im Applikator grease for spindle, 5 ml in applicator SST.F Fett für Führungen, 5 ml im Applikator grease for guides, 5 ml in applicator SST.F N15

21 N16 Änderungen vorbehalten Copyright reserved by OWIS (2011) Subject to change without notice

22 PRODUKTINFORMATION PRODUCT INFORMATION Nano-Hybrid-Höhenverstelltische Nano-Hybrid Elevator Stages Positioniertisch in Hybridtechnik, mit 2-Phasen- Schrittmotor und Piezoaktor hochgenaues Positionieren im Nanometerbereich Stellweg mm vorgespannte Kugelumlaufführungen spielfreier Kugelgewindetrieb mit integriertem Linearmesssystem Hall-Effekt- Endschalter mit OWISid positioning stage in hybrid technology, with 2-phase step motor and piezo actuator highly precise positioning in the nanometer range travel mm preloaded recircu lating ball bearing guides backlash-free ball screw with integrated linear measuring system Hall-effect limit switches with OWISid V -6 X X NHH / Die Nano-Hybrid-Höhenverstelltische NHH wurden für Anwendungen konzipiert, die hochgenaue Positionierung für große Stellwege von bis zu mm benötigen. Das Führungssystem mit Spindelantrieb erlaubt gleichermaßen Einbaulagen in horizontalen und vertikalen Stellrichtungen, als auch Über-Kopf-Anwendungen. Die bewährte Mechanik von Spindelantrieb mit Schrittmotor gewährleistet dabei hohe Tragkräfte und hohe Momentaufnahmen. Durch Integration eines Piezoaktors und eines hochauflösenden Messsystems wird zusätzlich die Feinpositionierung für sehr hohe Genauigkeiten und feinste Auflösungen ermöglicht. Dies macht die Höhenverstelltische der neuen OWIS Positionierergeneration perfekt für den Einsatz in Anwendungen, die höchste Präzision für sehr hohe Lasten und Stellwege erfordern, als sie ein übliches Nano positioniersystem bieten kann. Die Nano-Hybrid-Höhenverstelltische verfügen sowohl über die Positioniereigenschaften eines Mikropositioniersystems als auch eines Nanopositioniersystems. Mehrachskombinationen können ebenfalls realisiert werden. Die Basisteile sind aus hochfestem Aluminium gefertigt. Die hochwertige, schwarze Eloxalschutzschicht der Aluminiumteile verhindert nahezu vollständig Reflexionen oder Streulicht. The NHH nano-hybrid elevator stages are designed for applications that require highly accurate positioning for long travel ranges of up to mm. The spindle driven guiding system allows further mountings in the direction using horizontal travel range as well as upside down applications. The established mechanism of spindle drive with step motor ensures very high load capacities and moments. The integration of a piezoelectric actuator and a high-resolution linear measuring system additionally enables the fine positioning for very high accuracy and fine resolution. This makes the elevator stages of the new OWIS positioning generation perfect for use in applications requiring the highest precision for very high loads and long travels, which a common nanopositioning system could not offer. The nano-hybrid elevator stages provide both, properties of a micro positioning system as well as of a nanopositioning system. Multi-axes combinations can also be realized. The basic components of the hybrid linear stages are made of high strength aluminium. The top quality black anodized protective coating of the aluminium parts prevents reflections or stray light almost completely. OWIS GmbH Im Gaisgraben Staufen i. Br. (Germany) Tel. +49 (0) / Fax +49 (0) / info@owis.eu mobile.owis.eu N17

23 NHH 200--HiSM 150 M M4 8 Ø 3 6 SM Ø ,5 Ø 3 5 M6 8 Ø M M4 8 M4 8 NHH 200--HiSM N18 Änderungen vorbehalten Copyright reserved by OWIS (2011) Subject to change without notice

24 Technische Daten/Technical Data NHH 200 (bei C, ohne Last/no load) Stellweg gesamt total travel mm Geschwindigkeit über Spindel velocity via spindle max. 4 mm/s Tragkraft load capacity max. 180 N Kippmoment (Mx, My) moment of tilt (Mx, My) max. 1,5 Nm Kippmoment (Mz) moment of tilt (Mz) max. 5 Nm Spindelsteigung spindle pitch 1 mm Wiederholfehler (bidirektional) repeatability (bidirectional) < 200 nm Auflösung des Messsystems resolution of the measuring system 10 nm Gierwinkel yaw angle < 170 µrad Nickwinkel pitch angle < 250 µrad Seitenschlag lateral deviation < 7 µm Motorspannung motor voltage max. 50 V Motor-Haltespannung holding voltage 1,5 V Motorstrom motor current max. 2,5 1 ) A Hub pro Motorumdrehung travel per revolution 500 µm Schritte pro Motorumdrehung steps per motor revolution ) Betriebstemperatur ³) ambient operating temperatur ³) + 10 bis/up to + 50 C Lagerungstemperatur ³) storage temperature ³) 20 bis/up to + 70 C 1 ) pro Phase/per phase 2 ) im Vollschrittbetrieb/in full-step mode 3 ) ohne Betauung/without condensation Alle technischen Daten sind abhängig von Einbaulage, Anwendung und eingesetzter Steuerung. All technical data depend on orientation, application and used control. Bestellangaben/Ordering Information Nano-Hybrid-Höhenverstelltische/nano-hybrid elevator stages mit Hall-Effekt-Endschaltern with Hall-effect limit switches mit Schrittmotor und Piezoaktor/with step motor and piezo actuator Typ/type Bestell-Nr./part no. mm Stellweg/travel NHH 200--HiSM HR Zubehör/Accessories Montageplatte 212 x 212 x 10 mm mounting plate 212 x 212 x 10 mm MP-HTM Fett für Spindel, 5 ml im Applikator grease for spindle, 5 ml in applicator SST.F Fett für Führungen, 5 ml im Applikator grease for guides, 5 ml in applicator SST.F N19

25 N20 Änderungen vorbehalten Copyright reserved by OWIS (2011) Subject to change without notice

26 PRODUKTINFORMATION PRODUCT INFORMATION Universal/Hybrid-Positioniersteuerungen Universal/Hybrid Position Control Units bis 6 Achsen steuerbar für Nano-Hybrid-Achsen, 2-Phasen-Schrittmotoren und DC-Servomotoren (bürstenbehaftet und bürstenlos) up to 6 axes controllable for nano-hybrid axes, 2-phase step motors and DC servo motors (brushed and brushless) V -6 X X PS 90-HYB / Mikroschrittbetrieb bis 1 /256 USB- und RS 232-Schnittstelle 8 TTL-, 8 Analog- sowie 8 SPS- Ein- und Ausgänge 4 konfigurierbare End schaltereingänge pro Achse Punkt zu-punkt Betrieb, Kreis- und Linearinterpolation Fahrprofile programmierbar OWISid Optionen Ethernet-Schnittstelle Handterminal Joystick Anschluss für Wegmess systeme Stand-Alone-Compiler micro step mode up to 1 /256 USB and RS 232 interface 8 TTL-, 8 Analog- and 8 SPS- inputs and outputs 4 configurable limit switch inputs per axis point-to-point operation, circular and linear interpolation programmable velocity profiles OWISid Options ethernet interface handheld terminal joystick connection for measuring systems stand-alone compiler Die PS 90-HYB ist eine universelle Positioniersteuerung mit modularem Aufbau, die flexibel für den jeweiligen Anwendungsbereich konfiguriert wird. Sie ist sehr leistungsstark und kann maximal bis zu sechs Achsen betreiben. Die PS 90-HYB wird durch Auswahl des Grundgeräts, sowie der erforderlichen Achsmodule konfiguriert. Das Grundgerät PS 90-HYB ist für drei Hybrid-Achsen vorkonfiguriert. Das Grundgerät PS 90-HYB für drei Hybrid-Achsen und drei weitere konventionelle Achsen SM-OL, DC oder BLDC. Hierbei sind die Achsen eins, vier und sieben mit einer Motor-Haltebremse ausgestattet. Für hochgenaue Positionieraufgaben ist für jede Achse ein weiterer Eingang für Inkrementalgeber oder Wegmesssystem verfügbar. Schrittmotoren mit einem zusätzlichen Encoder können auch im Closed-Loop-Modus betrieben werden (SM-CL). Bei Schrittmotoren sind im Mikroschrittmodus ruhiger Laufbetrieb und hohe Auflösung garantiert. Per Software ist eine Einstellung von bis zu maximal 256 Mikroschritten pro Vollschritt möglich. Die PS 90 wird über einen PC bedient und programmiert. Alternativ kann sie auch eigenständig (Stand-Alone) mit einem Handterminal mit LC-Display und Folientastatur oder einem Joystick betrieben werden. Zur Kommunikation mit einem PC sind USB- und RS232- Schnittstellen eingebaut. Die optionale Anybus-Schnittstelle (Anybus- Modul Modbus/TCP ) erlaubt die Kommunikation über Ethernet. Jeweils acht Ein- und acht Ausgänge bieten die Möglichkeit, flexibel The PS 90-HYB is a universal modular designed position control unit, flexibly configurable according to the application field. It is a powerful device which can control maximum six axes. The PS 90 is configured through the choice of the base unit and of the necessary drive modules. The base unit PS 90-HYB is preconfigured for three hybrid axis. The base unit PS 90-HYB is preconfigured for three hybrid axis and further 3 conventionel axis SM-OL, DC, BLDC. Here, the axes one, four and seven are equipped with a motor-holding brake. For highly precise positioning tasks, there is a further input for incremental encoder or a position measuring system available for each axis. Step motors having an additional encoder can be operated in closed loop mode, too (SM-CL). Micro-step mode with step motors guarantees smooth running and high resolution. These motors can be operated from full step up to 256 micro steps per full step, using the software. The PS 90 is operated and programmed by a PC. Alternative it can also be used stand-alone with a handheld terminal with LC-display and keypad or an joystick. For the communication with a PC, USB and RS232 interfaces are integrated. The optional Anybus interface (Anybus module Modbus/TCP ) enables the communication via Ethernet. Eight inputs and eight outputs allow flexible to communicate with different peripherals, for example: TTL, analog and SPS level. Because of safety requirements, an external emergency-stop button is pluggable. The PS 90-HYB provides point-to-point positioning in trapeze or S-curve velocity-time-profiles. OWIS GmbH Im Gaisgraben 7 Tel. +49 (0) / info@owis.eu Staufen i. Br. (Germany) Fax +49 (0) / mobile.owis.eu N21

27 mit unterschiedlichen Peripherien zu kommunizieren. Zum Beispiel: TTL-, Analog- und SPS-Pegel. Optional ist zur Erhöhung der Sicherheit, ein externer Not-Aus- Taster anschließbar. Die PS 90-HYB bietet einfache Punkt-zu-Punkt Positionierungen mit trapez- oder auch S-förmigem Geschwindigkeits-Zeit-Profil. Zum Lieferumfang der Steuerung gehören neben dem Netzkabel (2,5 m) und USB-Kabel (3 m) eine CD mit dem bewährten Softwaretool OWISoft, Treiber und SDK für C, C++, C#, LabView (ab V 8.2) und zusätzliche Programmiersprachen (32/64-Bit). Damit kann die PS 90 komfortabel konfiguriert und betrieben werden. Unterstützte Betriebssysteme: Windows XP, Windows Vista (32/64-Bit), Windows 7 (32/64-Bit), Windows 8 (32/64-Bit) und Windows 8.1 (32/64-Bit). Der Antrieb von Fremdmotoren ist ebenfalls möglich. A power cable (2.5 m) and a USB cable (3 m) are part of the delivery as well as a CD with the proven software tool OWISoft, the driver and SDK for C, C++, C#, LabView (V 8.2 and higher) and additional programming languages (32/64 bit). Thus, the PS 90 can be configured and operated comfortably. Supported operating systems: Windows XP, Windows Vista (32/64 bit), Windows 7 (32/64 bit), Windows 8 (32/64 bit) and Windows 8.1 (32/64 bit). Foreign motors can also be operated PS 90-XX-XXX Ser.-Nr. E1 M1 F1 E2 M2 F2 E3 E4 M3 F3 M4 F4 410 E5 F5 M5 E6 F6 M6 PS 90-XX-XXX Anzahl der genutzten Steckplätze ist konfigurationsanhängig number of used pcb slots depends on configuration PS 90-19R 5 2, , ,2 465,1 482,6 37,7 PS 90-19R inkl./incl. 3 Schrauben/screws ISO 7984 M3 x 12 4 Unterlegscheiben/washer ISO 7089 ø 3,2 N22 Änderungen vorbehalten Copyright reserved by OWIS (2006) Subject to change without notice

28 Technische Daten/Technical Data PS 90-HYB Gewicht weight ~15 kg Versorgungsspannung supply voltage bis/up to 240 VAC Stromaufnahme current consumption max. 10 A Ausgangsleistung output power 480 W Anzahl der Achsen number of axes max. 6 TTL-Eingänge TTL inputs 0-5 V Analogeingänge, Auflösung 10 Bit analog inputs, resolution 10 bit 0-4,096 VDC SPS-Eingänge SPS inputs 0-24 VDC TTL-Ausgänge TTL outputs 0-5/10 V/mA Analogausgänge, Auflösung 10 Bit analog outputs, resolution 10 bit 0-4,096/10 VDC/mA SPS-Ausgänge SPS outputs 0-24/0 VDC/mA Motor-Haltebremsen-Ausgänge motor brake outputs 0-24/1 VDC/A Betriebsumgebungstemperatur ¹) ambient operating temperature ¹) +10 bis/to +40 C Lagerungstemperatur ¹) storage temperature ¹) 10 bis/to +50 C Hybridmodul module for hybrid Ausgangsspannung output voltage max. ± 71 V Ausgangsstrom (Dauerbetrieb) output current (continuous operation) max. 10 ma Schrittmotormodul module for step motor Anzahl der Phasen number of phases 2 Ausgangsspannung output voltage 24/48 V Ausgangsstrom je Phase (Dauerbetrieb) output current per phase (continuous operation) max. 3,6 A Mikroschrittmodus micro step mode bis/up to 1/256 DC-Servomotormodul module for DC servo motor Ausgangsspannung output voltage 24/48 V Ausgangsstrom (Dauerbetrieb) output current (continuous operation) max. 7,2 A ¹) ohne Betauung/without condensation N23

29 Bestellangaben/Order information Universal-Positioniersteuerungen/universal position controls Typ/Type Bestell-Nr./Part no. PS 90-HYB PS 90 Hybrid-Grundgerät 24V/480W, 1-3 Achsen, ohne Achsmodul PS 90 base unit hybrid 24V/480W, 1-3 Axis, without drive modul PS 90 Hybrid-Grundgerät 24V/480W, bis zu PS 90 base unit hybrid 24V/480W, up to 6 axis PS 90-HYB Achsen davon 3 Hybrid-Achsen, with 3 hybrid-axis, without drive modul ohne Achsmodul PS 90 Hybrid-Grundgerät 48V/480W, PS 90 base unit hybrid 48V/480W, PS 90-HYB Achsen, ohne Achsmodul 1-3 Axis, without drive module PS 90 Hybrid-Grundgerät 48V/480W, bis zu PS 90 base unit hybrid 48V/480W, up to 6 axis PS 90-HYB Achsen davon 3 Hybrid-Achsen, with 3 hybrid-axis, without drive modul ohne Achsmodul Achsmodul für Nano-Hybrid Antrieb drive module for Nano-Hybrid drive AM-HYB Achsmodul für 2-Phasen-Schrittmotor drive module for 2-phase step motor AM-2SM Achsmodul für DC-Servomotor (bürstenlos) drive module for DC servo motor (brush) AM-DC Achsmodul für 2-Phasen-Schrittmotor drive module for 2-phase step motor AM-2SM-EC mit Encoder with encoder Achsmodul für bürstenlosen DC-Servomotor drive module for brushless DC servo motor AM-BLDC Zubehör/Accessories Anschlusskabel 3 m, geschirmt, connecting cable 3 m, shielded, KAB-09-L H4 für Schrittmotorzweig der Hybrid-Serie for step motor branch of the hybrid series Anschlusskabel 3 m, geschirmt, connecting cable 3 m, shielded, KAB-09-L4+L H4 für Piezozweig der Hybrid-Serie for piezo actuator branch of the hybrid series Anschlusskabel 3 m, für Encoderanschluss connecting cable 3 m, for encoder connection KAB-12-C Auswertung Wegmesssystem für 3 Achsen evaluation measuring system for 3 axes PS 90-3LMS Anschluss Wegmesssystem/Encoder für 1 Achse connection measuring system/encoder for 1 axis PS 90-LMS-A Aufpreis für zusätzliche Motor-Haltebremse extra charge for additional motor brake PS 90-BR Handterminal mit Anschlusskabel, handheld terminal with connecting cable, PS 90-HDT m, geschirmt 2 m, shielded Joystick für 3 Achsen, analog, mit 3 m Anschlusskabel, für PS /35/90 joystick, for 3 axes, analog, with 3 m connecting cable for PS /35/90 PS -90-JOY NOT-AUS-Taster mit Anschlusskabel, 3 m emergency stop button with connecting cable, 3 m PS 90-NOT RS 232-Interfacekabel, 3 m RS 232-interface cable, 3 m PS 90-RS " Einbaurahmen 19" rack PS 90-19R Stand-Alone-Compiler mit USB-Dongle stand-alone-compiler with USB-dongle PS 90-SA-USB Für weiteres Zubehör zur Steuerung von 2-Phasen-Schrittmotoren und DC Servomotoren siehe Katalogseite M245. For more accessories for the control of 2-phase stepper motors and DC servo motors, see page Catalog M245. N24 Änderungen vorbehalten Copyright reserved by OWIS (2006) Subject to change without notice