ADH SERIE. Die neuen ölfreien Hochleistungspumpen für aktuelle Prozessanwendungen

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1 ADH SERIE Die neuen ölfreien Hochleistungspumpen für aktuelle Prozessanwendungen

2 ADH SERIE Die neuen ölfreien Hochleistungspumpen für aktuelle Prozessanwendungen Neue ölfreie Hochleistungspumpen Halbleiter: Hohes H 2-Saugvermögen Solar & LED: Wasserstofftauglich Keine Zwischenwartung Die ADH-Serie wurde speziell für Anwendungen in anspruchsvollen Prozessen der Solar-, Halbleiter- und LED-Industrie entwickelt, da sie ein Saugvermögen von 600 bis m³/h bietet. Durch ihre Betriebseigenschaften bietet die ADH-Serie folgende Vorteile für Ihre Prozesse: ALD Prozessdurchsatz: hohe Pumpeffizienz für leichte Gase ermöglicht eine schnellere Evakuierung der Kammer zwischen den Prozessschritten. Epitaxie und EUV: hohes Saugvermögen und große Durchflusstoleranz erfüllen die anspruchsvollsten Prozessspezifikationen. Die ADH-Serie bietet die beste Wasserstoff-Pumpeffizienz für Solar- (a-si und µ-si PECVD) und LED-Anwendungen (MOCVD GaN, AlGaAs, AlGaInP ). Alle Lager sind ölgeschmiert und erfordern keine Wartung vor Ort. Verbesserte Partikeltoleranz und ein besseres Kondensationsmanagement führen zu längeren Wartungsintervallen und längerer Pumpenlebensdauer und letztlich zu einer Reduzierung der Betriebskosten. Halbleiter Flachbildschirme (FDP) Solarzellen LED 2

3 Hohe Widerstandsfähigkeit gegen Prozessnebenprodukte Hohe Effizienz bei niedrigen Betriebskosten Robust und sicher Die Pumpen sind mit einem doppelten temperaturgesteuerten Kühlwasserkreislauf und einer integrierten heißen Stickstoffspülung ausgestattet, um Staubablagerungen oder Kondensation zu vermeiden. Der leistungsstarke Motor bewältigt auch erhöhte Belastung durch Stäube und garantiert gute Wiederanlauffähigkeiten. Die sorgfältig ausgewählten Materialien halten außerdem korrosiven Reinigungschemikalien stand. Die ADH-Serie wurde mit einem komplett neuen Überwachungssystem aufgerüstet. Ihre Kenndaten tragen zu einer erhöhten Prozesszuverlässigkeit bei. Um die Betriebskosten durch die Senkung des Energie- und Stickstoffverbrauchs zu reduzieren, ist ein Leerlaufmodus verfügbar, wenn die Pumpe für den Prozess nicht benötigt wird. Dank ihrer optimierten Bauart bieten die Pumpen den effizientesten Energieverbrauch, der auf dem Markt in diesem Bereich der Pumpleistung erhältlich ist. Diese optimierte Konstruktion führt auch zu geringerer Wärmeerzeugung und so zu einer Senkung der Kühlwasserdurchflussmenge. Bauart und Materialien der ADH-Serie ermöglichen die Bewältigung von großen statischen und dynamischen Innendruckbelastungen. Dies gewährleistet das höchste Sicherheitsniveau für Anwendungen, die mit explosiven Gasen wie Wasserstoff oder Silan betrieben werden. Kundennutzen Bis zu m³/h Saugvermögen mit vergleichbarer Leistung für N 2 und H 2. Gleiche Leistung bei 50 und 60 Hz Stromzufuhr Lange Wartungsintervalle aufgrund geschmierter Lager und hoher Widerstandsfähigkeit gegen Prozessnebenprodukte Geringe Betriebskosten durch niedrigen Energie- und Wasserverbrauch Verbesserte Sicherheit durch eine herausragende Beständigkeit gegen statische und dynamische Innenbelastungen 3

4 ADH SERIE Die neuen ölfreien Hochleistungspumpen für aktuelle Prozessanwendungen 1315 Abmessungen AD 600 H Einlass Auslass (Abdeckung) 806 (Einlass) N2 Wasser Einlass/Auslass AD 3060 H (Einlass) N2 Auslass Wasser Einlass/ Auslass (Abdeckung) Einlass AD 4560 H Auslass (Einlass) N2 Wasser Einlass/Auslass (Abdeckung) Einlass Abmessungen in mm

5 Saugvermögen AD 4560 H AD 3060 H AD 600 H mit N 2 Saugvermögen [m m 3 /h] AD 4560 H AD 3060 H AD 600 H Druck [hpa] AD 4560 H mit unterschiedlicher Wälzkolbenpumpendrehzahl bei N 2 Saugvermögen [m 3 /h] AD 4560 H pumping speed vs Roots frequency Roots Wälzkolbenpumpe at full bei speed voller Drehzahl Roots Wälzkolbenpumpe at intermediate bei mittlerer Drehzahl speed 2 Roots Wälzkolbenpumpe at intermediate bei mittlerer Drehzahl speed 1 Roots Wälzkolbenpumpe at minimum bei niedrigster speed Drehzahl Druck [hpa] 5

6 ADH SERIE Die neuen ölfreien Hochleistungspumpen für aktuelle Prozessanwendungen Technische Daten Pumpentyp AD 600 H AD 3060 H AD 4560 H Spitzensaugvermögen N m 3 /h m 3 /h m 3 /h Spitzensaugvermögen H m 3 /h m 3 /h m 3 /h Maximaler ständiger Ansaugstrom N slm 160 slm 110 slm Maximaler ständiger Ansaugstrom H slm 200 slm 120 slm Maximales Auspumpvolumen 50 m 3 45 m 3 40 m 3 Maximaler Enddruck (50 slm N 2 Sperrgas) hpa hpa hpa Leistungsaufnahme bei Enddruck 5,5 kw 6,4 kw 6,5 kw Maximaler Geräuschpegel bei Enddruck und bei maximaler Durchflussmenge 65 dba 67 dba 67 dba Stromversorgung, 3 Phasen, 50/60 Hz 1) V V V V V V Maximaler Auspuffüberdruck hpa hpa hpa Mindest-Kühlwasserdurchflussmenge für maximalen ständigen Ansaugstrom 8 l/min 9 l/min 9 l/min lt. Pumpenspezifikation Kühlwassertemperatur C 2) C 2) C 2) N 2 Spülgasdurchfluss slm slm slm Ölaufnahmevermögen 2,3 l 3,25 l 3,7 l Abmessungen (L x B x H) x 604 x 806 mm x 604 x mm x 604 x mm Gewicht 830 kg kg kg Anschlussflansch (Eingang) DN 100 ISO-K DN 160 ISO-K DN 200 ISO-K Anschlussflansch (Ausgang) DN 50 ISO-KF DN 50 ISO-KF DN 50 ISO-KF 1) Gemäß CE-Zertifizierung können die Pumpen Schwankungen von 10 % bewältigen 2) Prüfung durchgeführt bis 35 C: Regelungstemperatur bei Hochdruck beträgt mindestens 70 C bei einer Durchflussmenge von bis zu 100 slm Alle Werte gelten für eine Stromzufuhr von 50 und 60 Hz. 6

7 Bestellnummernmatrix ADH Serie Bestellnummer AD a b 60H c d e 6 f g h C0 Version ab AD 600 H 00 AD 3060 H 30 AD 4560 H 45 Spannung c Niederspannung ( V, 3 Phasen, 50/60 Hz) 1 Hochspannung ( V, 3 Phasen, 50/60 Hz) 6 Temperaturmanagement ölfreie Pumpe Standard Fein Heiß d S M H Temperaturmanagement Wälzkolbenpumpe e Standard S Heiß H Keine 0 Auspuff f Ohne Rückschlagventil 0 Mit Rückschlagventil 1 Sperrgas g Standardleitung 1 H 2-Leitung 2 Pulverleitung 3 Semi-S2-Zertifizierung h Ohne 0 Semi S2 1 SEPM 2 7

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