OSRAM Opto Semiconductors GmbH. Herausforderung der VCSEL- Serienmesstechnik Kennlinie VCSEL. Christoph Neureuther OS T T

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1 OSRAM Opto Semiconductors GmbH Herausforderung der VCSEL- Serienmesstechnik Kennlinie VCSEL Christoph Neureuther OS T T optische Ausgangsleistung P Single Mode Ith Strom P_spec Seite: 1

2 Corporate Structure Siemens AG Managing Board Operating Groups Shared Services Corporate Departments Information and Communications Automation and Control Power Medical Communications Com Automation and Drives A&D Power Generation PG Medical Solutions Med Siemens Real Estate SRE Corporate Finance CF Siemens BusinessServices GmbH & Co. OHG SBS Industrial Solutions and Services Siemens Building Technologies* I&S SBT Power Transmission and Distribution Transportation Transportation Systems Siemens VDO Automotive AG PTD TS SV Lighting Osram GmbH Siemens Financial Services GmbH Osram SFS Siemens Management Consulting SMC Siemens Leadership Excellence SLE Learning Campus LC Siemens Professional Education SPE Corporate Mobility Services CMS Personnel Services PS International Delegation Center IDC Corporate Personnel CP Corporate Technology CT Corporate Development CD Corporate Centers Corporate Communications CC Regional Units 100% OSRAM Opto Semiconductors GmbH Regional Organisation Germany (RD), Regional Companies, Representative Offices, Agencies Legal Services LS Shared Accounting SASM Services Munich Global Marketing GMS Services Shared Services Latin America SSLA Corporate Information Office Global Procurement and Logisitics CIO GPL Chief Economist / Corporate Relations ECR Management Consulting Personnel MCP * Company Unit in Siemens Schweiz AG Source : Siemens CD S 9 April 20, Seite: 2

3 Our Activities and Locations Northville - Sales & Marketing NA East - Application Center Regensburg W - Headquarter - Sales HQ -BU LED - BU Infrared Regensburg BW - Technology - Front End Production Yokohama - Sales Japan -Marketing - Application Center San Jose - Headquarter NA -BU OLED - Sales & Marketing NA West Shanghai - Sales Asia North -Marketing Penang - Application Center - Backend Plant - OLED R&D & Production - Regional Customer Service - Sales Asia South Seite: 3

4 Products of OSRAM Opto Semiconductors Visible LED Power devices Advanced Power TOPLED Mini packages Golden DRAGON Chipled OSTAR SmartLED Micro SIDELED Infrared Detectors & Emitters SMT detector MIDLED Sensors Ambient light sensor Tilt sensor OLED Glass display PM Display Pictiva module PointLED MULTILED cw-laser Pulsed laser Multi chip packages Power laser Seite: 4

5 VCSEL: Technologie und Anwendung Anwendungen: Lasermaus optische Datenübertragung Seite: 5

6 Herausforderungen bezüglich der Messzeit ca Bauteile auf einem 3 Zoll Wafer 100% - Test wegen Einzeldefekten notwendig Sinnvolle Charakterisierung nur über Kennlinie * Stützpunkte der Kennlinie = Anzahl der Einzel-Messungen pro Wafer Seite: 6

7 Herausforderungen an die Messtechnik Messgenauigkeit Reproduzierbarkeit Stabilität Geschwindigkeit Auswertung der Messwerte zur Laufzeit Sondermessungen (Polarisation, Temperatur) Operatortauglichkeit (Sicherheit, Komplexität) Seite: 7

8 Messaufbau und Equipment Seite: 8

9 Messergebnisse / Kennlinien LI - Kennlinie UI - Kennlinie Seite: 9

10 Probersoftware und Binning Seite: 10

11 Wafermaps und Ausfallparameter U 0 - Wafermapping P Single Mode - Wafermapping Seite: 11

12 VCSEL - Sondermessung: Polarisationsstabilität Seite: 12

13 Kontakt Dr. Werner Marchl Dipl. Phys. Osram Opto Semiconductors GmbH Leibnitzstr. 4 D Regensburg Dept.: OS T T mailto: Phone: Fax: Christoph Neureuther Dipl. Ing. Osram Opto Semiconductors GmbH Leibnitzstr. 4 D Regensburg Dept.: OS T T mailto: Phone: Fax: Seite: 13

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