TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) Generating waveforms.

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1 TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) Generaing waveforms.

2 Makellose Bilder, besechende Eindrücke: Hervorragende Qualiä und Leisung dank TRUMPF Hüinger. Flexible Lösungen. Äußerse Genauigkei. Höchsleisung für reakives Spuern, Spuern von anspruchsvollen Maerialien und PECVD-Prozesse. Die Prozesssromversorgungen der TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) eignen sich hervorragend für die plasmagesüze Beschichung miels PECVD- und Dual-Kahoden-Spuerprozessen. Zuverlässigkei und Leisung spielen hierbei eine enscheidende Rolle. Typische Einsazgebiee sind die Halbleierechnologie, die Archiekurglasbeschichung, die Phoovolaik-Produkion sowie die Aufbringung dekoraiver und verschleißfeser Schichen als auch die Hersellung opischer Schichen. Die zweie Generaion des ausgefeilen volldigialen Arc-Managemens gewährleise opimale Ergebnisse bezüglich Schichqualiä und Abscheiderae. Die kompake Größe und umfangreiche Kommunikaionsschnisellen machen die TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) zur idealen Wahl für die einfache negraion bei limiieren Plazverhälnissen. Die TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) is erhällich mi Ausgangsleisungen von 10 Kilowa bis 60 Kilowa. Die primäre DC-Leisungseinhei ergänz die Schalung, welche die Ausgangsleisung puls. Unerschiedlichse Pulsvariaionen sind dami am Ausgang möglich. Die Einschalzei jeder Halbwelle is frei einsellbar. Dadurch verbessern sich die Prozessergebnisse und die Ausbeue des Beschichungsmaerials (Targe) seig. TRUMPF Hüingers einzigariges und reakionsschnelles Arc-Managemen verminder die Arc-Energie und senk Prozessunerbrechungen. Erhöher Errag und Produkiviä sind die Folge. Eigenschafen Äußers geringe Arc-Energie Ulraschneller digialer Bediensand Über Sofware einsellbare Wellenformen nnovaives Design der Leisungselekronik DC-, gepulses DC und Bipolar in einem Gerä Vollsändige Wasserkühlung Nuzen Hohe Schichqualiä und Produkiviä Sabiles Plasma, selbs bei reakiven Prozessen Einfache Anpassung an unerschiedliche Prozessanforderungen Hohe milere Beriebsdauer zwischen Ausfällen (MTBF) Flexibiliä und niedrige Gesamberiebskosen (TCO) Kompakes, vor Umweleinflüssen geschüzes Maschinengehäuse

3 TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) Ausgangsdaen Ausgangsleisung Ausgangsspannung Ausgangssrom (rms) Regelaren Regulierung bei Nezschwankungen Ausgangspolung 10 kw, 20 kw, 30 kw, 40 kw, 60 kw 1000 V (rms) Genauigkei ± 0,5 % Wiederholgenauigkei Sapeln von Geräen für größere Leisung 1) Auf Anfrage erhällich. Pulsparameer 25 A, 50 A, 75 A, 100 A, 150 A Leisung, Spannung, Srom ± 0,2 % Fließend Ja, bis zu 180 kw 1 Arc-Erkennung Krierien Arc-Erkennungszei l max Erkennung Dynamische Spannungsveränderung U sag Erkennung Dynamische Kreuzerkennung: Auomaisch < 100 ns Anpassbare Sromschwelle [in %] Auomaikmodus oder [A] Manueller Modus Anpassbare Spannungsschwelle [in %] Für Spannungsabfälle > 100 V Anpassbare Spannungsschwelle [in %] Für Spannungsabfälle < 100 V Anpassbare Spannungsschwelle [V] und Sromschwelle [A] überwach Ausgangsspannung und Srom Pulsfrequenz in 20 khz Schrien Beriebsmodi (Duy cycle regulierbar % ) khz khz 2 Bipolares Pulsen Bipolares recheckiges Pulsen mi Pausenzei Bipolares rapez Pulsen mi Pausenzei Unipolares Pulsen DC Eingangsdaen Nezspannung 3 x 380 V 480 V ± 10 % Nezfrequenz 50 Hz / 60 Hz ± 5 % Wirkungsgrad > 90 % 2) Opional für TruPlasma Bipolar 4010 (G2) erhällich.

4 TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) MonoPulse Modus negaiv oder posiiv Bipolar Modus mi symmerischen Ausgängen DC Modus negaiv oder posiiv Bipolar Ausgang mi asymmerischen Ausgängen und Ausfallzei Bipolar Ausgang mi asymmerischen Ausgängen [A] Bipolar Trapez Modus

5 TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) Kühldaen Max. Wasserdruck Min. Differenzdruck Wasserfluss Bis 7 bar 3 bar 4 l/min 12 l/min Max. Kühlwasseremperaur Bis +35 C Umgebungsbedingungen Raumemperaur Relaive Luffeuchigkei Lufdruck 3 +5 C bis +45 C Berieb -25 C bis +55 C Lagerung 5 % 85 % keine Beauung 860 hpa hpa 3) Max m über dem Meeresspiegel. Schnisellen Analog / Digial RS 232 / RS 485 PROFBUS EherCAT 4 DeviceNe 5 25-polig Sub-D 9-polig Sub-D 9-polig Sub-D RJ45 5-pin DeviceNe Connecor 4) Auf Anfrage anselle von analoger Schniselle erhällich. 5) Auf Anfrage erhällich. Abmessungen (H x B x T) TruPlasma Bipolar 4010 (G2) 482 (19 ) x 178 (6HU) x 683 TruPlasma Bipolar 4020 (G2) 482 (19 ) x 266 (6HU) x 683 TruPlasma Bipolar 4030 (G2) 482 (19 ) x 355 (8HU) x 683 TruPlasma Bipolar 4040 (G2) 482 (19 ) x 355 (8HU) x 683 TruPlasma Bipolar 4060 (G2) 482 (19 ) x 622 (14 HU) x 683 Gewich TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) 50 kg 160 kg

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7 TruPlasma Bipolar 4010 (G2) TruPlasma Bipolar 4020 (G2) TruPlasma Bipolar 4040 (G2) TruPlasma Bipolar 4060 (G2) ,

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