Automationslösungen für die Halbleiter- und Flachdisplay Produktion

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1 AEROTECH Automationslösungen für die Halbleiter- und Flachdisplay Produktion Dedicated to the Science of Motion

2 INHALT Copyright 2004 Aerotech, Inc. Alle Rechte vorbehalten. Jegliche Informationen können ohne vorherige Bekanntmachung jederzeit geändert werden. Hierin erwähnte Produktnamen dienen nur der Identifizierung und können eingetragene Warenzeichen der jeweiligen Firmen sein. 1 Aerotech s erweiterte Reinraumkapazitäten 2 Aerotech auf einem Blick 4 Anwendungen im Halbleiter- und Flachdisplay-Bereich 5 Lösungen im Bereich Reticle Inspektion 6 Lösungen im Bereich Lithographie 7 Lösungen im Bereich Störstellensuche (optisch) 8 Lösungen im Bereich der elektrischen Charakterisierung 9 Lösungen im Bereich Makro- Störstellensuche 10 Lösungen im Bereich Dünnschichtvermessung 11 Lösungen für Anwendungen im Vakuum 12 Lösungen im Bereich Flachdisplayfertigung 13 Lineartische für den Halbleiterbereich 17 Z- Hubtische für den Halbleiterbereich 18 Rotationstische für den Halbleiterbereich 20 Speziallösungen 21 Komponentenlösungen 22 Automation 3200 Digitale Automationsplattform 24 Intelligente Netzwerkantriebe 25 Vereinfachte Integration, reduzierte Kosten 26 Retrofit von Maschinen 27 Voll integrierte Automationslösungen 28 Spezifisch designte Systeme 29 Aerotech Online 30 Aerotech: Ein ISO 9001 zertifiziertes Unternehmen 30 Aerotech: Mit Preisen ausgezeichnet 31 Weltweiter Support durch Service und Schulungen 32 Aerotech: Der Wissenschaft der Bewegung verschrieben

3 AEROTECH S ERWEITERTE REINRAUMKAPAZITÄTEN ERMÖGLICHEN EINE AUSDEHNUNG IHRES HALBLEITER-PRODUKTSPEKTRUMS Um den erhöhten Anforderungen an super reine Bewegungssysteme gerecht zu werden, hat Aerotech seine Reinraumkapazitäten erhöht. Die Erweiterungen beinhalten unter anderem Flächen für große Systeme der ISO Klasse (Federal Standard 209E Klasse 1000) und kleine zellenspezifische Bereiche der ISO Klasse 5 (Klasse 100). Zu dem großen aktiven Bereich gehören Räumlichkeiten zum Umziehen, speziell zugewiesene Schleusen für den Produkttransfer und große Flächen hauptsächlich zur Montage der Produkte. Die Schleusen für den Produkt-Transfer verhindern eine Kontamination des Haupt-Reinraumbereiches. Hier werden Präzisionsteile bzw -Aufbauten und sogar komplette Werkzeuge & Systeme verpackt und entpackt. Ein Schwerlastkran bewerkstelligt den Transport der Teile von außen in den Transferbereich. Die Teile berühren also den Boden nicht und darüber hinaus wird die Kontamination der Teile über externes Materialhandling minimiert. Die Transferschleusen sind hermetisch abgeschlossen sodass während des Absaugungsprozesses sämtliche Verunreinigungen entfernt werden und nicht in den Hauptreinraumbereich gelangen. Systeme können in diesem Bereich vorab geprüft oder langzeitgetestet werden ohne die Präzision der Endmontage oder der Messvorgänge im Hauptbereich negativ zu beeinflussen. Der Haupt-Reinraumbereich ist mit einem weiteren Schwerlastkran ausgestattet der jeden Bereich der großen Fläche erreichen kann und den Materialfluss im Reinraum optimiert und dabei weiteres Handlingsmaterial im Reinraum überflüssig macht. Granitbänke mit 3m Größe, die auf aktiven Luftdämpfern stehen, ermöglichen das Tasten von Systemen mit 3g Beschleunigung und gleichzeitig einer Positionsstabilität im Nanometerbereich. Während der Messungen wird der Luftfluss für die verschiedenen Bereiche individuell gesteuert, um unerwünschte Luftturbulenzen zu minimieren. Die Reinraumerweiterung ist ein Beispiel für das Bemühen von Aerotech auf die Bedürfnisse der Kunden einzugehen. Wir werden unsere Möglichkeiten weiter verbessern und ausbauen um auch zukünftig die Erwartungen unserer Kunde nicht nur zu erfüllen sondern auch zu übertreffen. 1

4 Aerotech auf einem Blick Unternehmenszentrale Pittsburgh, PA, USA Technisch hochwertige Komponenten ergeben Baugruppen mit hoh Bürstenlose Linear- und Rotationsmotoren Mit höchster Leistung Rotationstisch- Serie ADRT FiberMax 6-Achsen-Nanopositioniergerät - mit Preisen ausgezeichnet Linearmotortisch der Baureihe ALS1000 Automation 3200 Bahnsteuerung bis 32 Achsen, Bildverarbeitung und SPS mit Preisen ausgezeichnet Ndrive A3200 Npaq Umfassende technische Support Dienste Karthesische Portalsysteme mit Linearmotoren für höchsten Durchsatz Massenfertigung Kundenspezifischer Software- Anwendungssupport 3D-Modelle zur schnelleren und genaueren Generierung von Systemauslegungen Anspruchsvolle analytische Werkzeuge zur Optimierung von Systemkonstruktionen 2

5 r Leistung Neu erweiterte Anlage Pittsburgh, PA, USA Aerotech Deutschland und die besten Subsysteme ihrer Klasse. Aerotech Großbritannien Hoch integrierte Zubehörbaugruppen wie Maschinenunterbau, Display und dazugehörige Elektronik In der Produktion bewährte grossformatige Luftlagersysteme für Flachdisplay- und Halbleiteranwendungen Hochdynamische Laserschneidsysteme für rotationssymmetrische Teile Kundenspezifische Vakuum- und Reinraumkompatible Systeme Weltweiter Service und Support Weltweit mehr als Achsen installiert Weltweite Inbetriebnahme- Unterstützung und Schulung beim Kunden Voll ausgestattete hauseigene Schulungseinrichtungen 3

6 ANWENDUNGEN IM BEREICH HALBLEITER- UND FLACHDISPLAY Die Herstellung von Wafern und Flachdisplays erfordert Einrichtungen für Fertigung und Prozesskontrolle mit allerhöchsten Ansprüchen an Automationstechnologie. Sowohl Hersteller von Werkzeugen im Prozessbereich als auch im Prüfbereich vertrauen seit über 30 Jahren auf Aerotech bei der Lösung der Herausforderungen sowohl in Produktion als auch im F&E Bereich. Unser Einsatz, die Aufgabe in der zugesagten Zeit und korrekt zu erfüllen, ist unübertroffen. AEROTECH S VORTEILE IN DER HALBLEITERINDUSTRIE Führende Einebenen- Luftlagertechnologie für höchsten Gleichlauf in der Geschwindigkeitsregelung und überlegene dynamische geometrische Eigenschaften Die vollständige Serie von Bewegungsachsen beinhaltet Linear-, Dreh-, Hub- und Goniometertische Es stehen verschiedene Ausbaustufen von Subsystemen zur Verfügung wie aktive Dämpfungssysteme, Maschinengestelle, Elektrointegration und speziell angepasste Granitaufbauten. Für die folgenden Umgebungsbedingungen bietet Aerotech Mechanik an: Reinraum, Vakuum und bei Anforderungen mit geringem magnetischen Feld Die Möglichkeit der Synchronisation von bis zu 32 Achsen in Echtzeit innerhalb eines einzigen PC s macht die Integration mehrerer Steuerungen überflüssig und verringert die Störanfälligkeit. Umfangreiche Diagnostik vereinfacht die Inbetriebnahme Die in der Automation 3200 integrierte SPS und Robotersteuerung sorgen für kürzere Umrüstzeiten oder vereinfachen die Integration in bestehende Systeme um diese aufzuwerten. Ein leistungsstarkes deterministisches Netzwerk (FireWire ) ermöglicht die Bahngenerierung und Synchronisation während die voll-digitalen Antriebe lokal die Regelung der jeweiligen Achse mit hoher Bandbreite übernehmen. 4

7 LÖSUNGEN IM BEREICH RETICLE INSPEKTION Die Reticle (Photomaske) ist die Quelle eines Wafer- Musters und muss somit vor dem Einsatz detailliert geprüft werden um die Qualität zu garantieren. Mit den stets kleiner werdenden Strukturen nehmen die Auswirkungen von Defekten wie Verunreinigungen, Risse und Musterverzerrungen zu und führen zu Störungen in den Stromkreisen. Aerotech bietet leistungsstarke Luftlagertische in Offener Rahmenbauweise speziell optimiert für die Bedürfnisse der Hersteller von Inspektionswerkzeugen. Die luftgelagerte offene Rahmenkonstruktion bietet sowohl eine große Öffnung als auch ultra ruhige Bewegungen was eine hochpräzise Inspektion der Masken von beiden Seiten gleichzeitig ermöglicht. Optional verfügbare Piezo-angetriebene Verkippeinheiten ermöglichen die Justage der Parallelität für den Maskenhalter. Jede der beiden luftgelagerten Achsen beinhalten je zwei Linearmotoren und je zwei Glasmaßstäbe um exzellente Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Giereigenschaften zu bieten. In dem flexiblen Kabelmanagementsystem kann eine Vielzahl verschiedener kundenspezifischer Anforderungen berücksichtigt werden. Eine typische Bedieneroberfläche für eine Photomaskenanalyse. ABL3600XY Die Einebenenkonstruktion minimiert die Gesamthöhe. Optionale Verkipp- und Verdrehbewegungen können in das Design aufgenommen werden. Komplett vorgespannte Luftlager bieten eine exzellente Steifigkeit. 5

8 LÖSUNGEN FÜR DEN BEREICH LITHOGRAPHIE Lithographie, ob optisch, direktes Schreiben oder Drucken definiert die Dimensionen der Schaltkreise und wird ständig neu an die Grenzen des Machbaren getrieben. Immer kleiner werdende Strukturen kombiniert mit steigenden Ansprüchen an Durchsatz resultieren in die höchsten Anforderungen an das Bewegungssystem. Aerotech baut spezielle Systeme mit ultra hoher Positionsstabilität bei Stepping und extrem guter Geschwindigkeitskonstanz bei der Scanbewegung. Die Einebenen- Bauweise des Luftlagertisches reduziert die Gesamtsystemhöhe und minimiert den Effekt der Abbe Fehler. Die A3200 Steuerung bietet eine hohe Bandbreite und Auflösung und gewährt somit das Arbeiten mit hoher Präzision bei hoher Geschwindigkeit. Aerotech kann zudem ein optionales Maschinengestell mit aktiver Luftdämpfung bieten (Active vibration isolation AVI) um eine optimale Step/Scan Leistung zu garantieren. Kundenspezifische Granitaufbauten stehen zur Verfügung um nahezu alle Strahlengänge und Optiken mit einzubeziehen. Ultra hohe Steifigkeit der Luftlager bietet eine überlegene Step/Scan Leistung. Die ABL9000 Serie verwendet die Aerotech eigene Linearmotortechnologie. Ein optionales Laserinterferometer als Feedbacksystem bietet ein hochgenaues Messen sowohl der linearen Werte als auch der Winkel. 6

9 LÖSUNGEN IM BEREICH STÖRSTELLENSUCHE (OPTISCH) Zu jeder Wafer-Fertigungsanlage gehört auch ein optisches (Licht- und Dunkelfeld) Inspektionssystem. Diese Werkzeuge zur Oberflächenanalyse erkennen eine große Vielfalt an Defekten wie Unebenheiten, Löcher und Kratzer in der Waferoberfläche. Um den heutigen Ansprüchen der Waferfertigung gerecht zu werden, ist eine Rasterbewegung mit hoher Geschwindigkeit und sehr guten Gleichlauf gefordert. Aerotech s ABL9000 ist seit langem der Standard für diese Art der Inspektion durch seine überragenden dynamischen Leistungsmerkmale. Die direktantriebs-linearmotoren von Aerotech ermöglichen ein Scanning mit hohen Geschwindigkeiten und das schnelle Umkehren was den Durchsatz des Inspektionswerkzeuges maximiert. Aerotech bietet eine große Vielfalt von Achsen die zu XY- Tischen mit zusätzliche Rotationsachsen zum Ausrichten der Muster und Z- Achsen zur Fokusjustage kombiniert werden. Die erfahrenen Ingenieure von Aerotech können Sie bei der Entwicklung Ihres spezifischen Systems unterstützen. Das von Aerotech gestellte Maschinengestell mit Dämpfungssystem minimiert die Integrationszeit. Integrierte Elektronik Das Plot Utility Programm zeigt die Raster Scan Struktur. Offener Rahmentisch für Mikroskopanwendungen. 7

10 LÖSUNGEN IM BEREICH DER ELEKTRISCHEN CHARAKTERISIERUNG Die Charakterisierung der Schaltkreisparameter ist essentiell für die Prozesskontrolle und Stabilität. Versteht man die physikalischen und elektrischen Eigenschaften des Transistors im frühen Stadium des Herstellungsprozesses, kann man auch das Endprodukt verstehen und steuern. Aerotech bietet ein breites Spektrum an Bewegungslösungen für Anwendungen im Bereich elektrische Überwachung und Charakterisierung. Die Standard-Verfahrwegoptionen adressieren 300mm Wafer plus Lade- und Entladeposition sowie multiple Sensorlagen. Eine Achse in extra breiter Ausführung unterstützt die Querachse optimal und verbessert somit die Systemebenheit dramatisch, da die obere Achse nicht so weit überhängt. Berührungslose Linearencoder und Linearmotoren garantieren ein hochpräzises Platzieren des Wafers. Berührungslose Glasmasstäbe und Linearmotoren garantieren hohe Präzision. Es gibt viele Verfahrwegoptionen für 300mm Wafer Be- und Entladeposition und multiple Sensoren in jeweils verschiedener Lage. Die Fokusierungsfehler werden gering gehalten, da ein Durchbiegen der oberen Achse durch den guten Support der extrabreiten unteren Achse minimiert wird. 8

11 LÖSUNGEN IM BEREICH DER MAKRO STÖRSTELLENSUCHE Partikel und Fremdmaterialien sowie grobe Waferfehler werden mit Makro Defekt Erkennungswerkzeugen ermittelt. Höchste Anforderungen an geometrische Eigenschaften zusammen mit höchsten Geschwindigkeiten erfordern ein elektromechanisches System der Spitzenklasse. Exakt diese Anforderungen erfüllt der ABL2000 von Aerotech zusammen mit der zugehörigen Steuerung von Aerotech. Aerotechs Direktantriebs-Linearmotoren ermöglichen einerseits das Scanning mit hohen Geschwindigkeiten als auch das schnelle Umkehren und somit maximalen Durchsatz des Inspektionswerkzeuges. Aerotech bietet eine große Vielfalt von Achsen die zu XY Systemen inklusive Drehachse zur Justage der Muster und Hubachse zur Fokusjustage kombiniert werden können. Die erfahrenen Ingenieure von Aerotech können Sie bei der Entwicklung Ihres spezifischen Systems unterstützen. Hochpräziser linearer Luftlagertisch dargestellt mit einem Waferchuck. Hochpräziser linearer Luftlagertisch dargestellt mit optionalem Laserinterferometer. 9

12 LÖSUNGEN FÜR DÜNNSCHICHTVERMESSUNG Von Ellipsometrie und Reflektometrie bis hin zu Tastschnittmessungen bietet die moderne Fertigung eine Vielzahl an Optionen zur Dünnschicht-Charakterisierung. Aerotech hat für diesen Aufgabenbereich eine breite Palette an Systemen entwickelt. Der extrem große Tischquerschnitt bietet die bei Dünnschicht-Messanwendungen erforderliche extrem hohe Steifigkeit. Die reinraumkompatiblen Tischsysteme zeichnen sich auch durch ein spezifisch entwickeltes Kabelmanagementsystem, eine vakuumtaugliche Schmierung und die Art der Abdeckung aus. Zwei optional verwendbare Encoder führen zu zwei verfügbaren Klassen an Genauigkeit. Der ALS20000 X-Y- Tisch ist mit einem reinraumkompatiblen Kabelmanagementsystem ausgestattet. Die digitale Automatisierungsplatform Automation 3200 mit digitalem Ndrive Antrieb und Npaq Antriebsrack. Aerotech bietet Turnkey Lösungen mit Mechanik und Elektronik für höchste Leistungsfähigkeit. 10

13 LÖSUNGEN FÜR ANWENDUNGEN IM VAKUUM Für extrem anspruchsvolle Anwendungen wie Extreme Ultraviolet Lithography (EUV), Scanning Electron Microscopy (SEM), Ionenstrahl Ätzen und E-Beam Inspection stellt Aerotech vakuumtaugliche Bewegungssysteme her. Für die teilweisen komplexen Bahnbewegungen steht eine grosse Vielfalt an verschiedensten Mehrachskombinationen zur Verfügung. Diese Systeme sind ultragenau und bieten Positionsstabilitäten im Nanometerbereich. Die Vakuumtauglichkeit bis 10 Exp-6Torr (1,3 Exp 10-6mbar) beinhaltet das Entlüften von Flächen, vakuumtaugliche Schmiermittel und spezielle Kabel. Kundenspezifische Systeme sind bis bis zu Drücken von 10 Exp-9 Torr erhältlich. Aerotech kann Systeme mit Partialdrücken (Ausgasung) bei spezifischen Atom-Masseneinheiten herstellen. Die Systeme sind getestet nach RGA Verifikation. Aerotech bietet zudem auch bürstenlose Linear- und Rotationsmotoren mit eng geführtem magnetischen Fluss und Möglichkeiten zur Flüssigkeitsoder Gaskühlung um den thermischen Fluss zu steuern. Schliesslich sind zudem spezielle Handhabungsmethoden und Reinigungsprozeduren erforderlich sowie häufig auch eine vorsichtige Auswahl der Materialien um eine minimale TML (Total Mass Loss) und CVCM (Collected Volatile Condensable Materials) zu erreichen. Aerotech bietet Systeme für die folgenden Anwendungen im Vakuum: EUV Lithographie SEM Elektronenmikroskop Ionenstrahl Ätzen E-Beam Inspektion Aerotech bietet dabei die folgenden Eigenschaften: Hohe Taktraten Management des thermischen Flusses Geringe magnetische Streufelder Optimiert für minimales Ausgasen und Kontamination Vakuumpreparierung von 10Exp-8 bis Exp-9 Torr wird erreicht durch das Entlüften der Kontaktflächen, vakuumtaugliche Schmiermittel und die Verwendung spezieller Kabel. Aerotech bietet eine breite Palette an Vakuum Achssystemkonfigurationen um den häufig komplexen Bewegungsabläufen gerecht werden zu können. Die Erweiterung der Reinraumkapazitäten spiegelt unsere Ausrichtung an unseren Kunden mit Reinraumsystem- und Vakuumanforderung jetzt und in der Zukunft wieder. 11

14 LÖSUNGEN IM BEREICH FLACHDISPLAYFERTIGUNG Anwendungen in den Berichen Flachdisplay Herstellung und -Prüfung beinhalten viele Herausforderungen für Hersteller von Bewegungstechnik wie die Optimierung der dynamischen Eigenschaften des Systems bei gleichzeitig immer größer werdenden Verfahrwegen. Um diesen Herausforderungen gerecht zu werden verwenden wir unsere patentierte Technologien zusammen mit unserer weitreichenden Erfahrung in der Entwicklung von führenden Bewegungsystemlösungen um die ideale Lösung zu schaffen. Das ABL9000 XYZθ System optimiert die dynamischen Eigenschaften einschließlich der Ebenheit und dem Gieren um die Parallelität der Scanlinien über den gesamten Verfahrbereich zu garantieren. Skalierbare Mechanik ermöglicht die Anwendung der gleichen Tischserie bei unterschiedlichen Displaygrößen. Eine Granit-Referenzfläche garantiert optimale Ebenheitseigenschaften. Alle Systeme können kundenspezifisch modifiziert und mit allen möglichen Brückenstrukturen versehen werden. AVL1000 Die optionale extrem steife Hubachse ermöglicht die Justierung des Fokus um Variationen in der Plattendicke auszugleichen und gleichzeitig Winkelfehler in der XY Ebene zu minimieren. ARA1000 Der optionale direkt angetriebene Rotationstisch bietet hoch genaue rotative Bewegungen zum Auffinden von Erkennungsmarken. Diese Portalbauweise für eine FPD Inspektionstation bietet einen Arbeitsraum von 1800mm * 800mm *200mm. 12

15 LINEARTISCHE FÜR DEN HALBLEITERBEREICH Einebenen Luftlagertisch ABL9000 Der ABL9000 wurde für die hohen Anforderungen der Wafer- und Flachdisplayherstellung und optischen Inspektion entwickelt. Dabei sind sowohl die horizontalen als auch die vertikalen Oberflächen der Lager aktiv vorgespannt und der Druck innerhalb des dünnen Luftfilms ist der Art, dass die Toleranzen des Luftspaltes dennoch eingehalten werden. Dieses Design verwendet große Lagerflächen sodass sich die Last auf einen großen Bereich verteilt und bietet somit eine herausragende Steifigkeit und ist ideal für hohe und außermittige Belastung. ABL3600 Luftlagertisch in Offener Rahmenbauweise Der ABL3600 Luftlagertisch in Offener Rahmenbauweise ist mit je einem Glasmaßstab pro Rahmenseite je Achse ausgestattet für höchste Präzision. Er ist für High-End-Anwendungen im Bereich optische Produktion und Inspektion entwickelt worden und weist eine herausragende dynamische Leistungsfähigkeit auf. Das Ebenendesign minimiert die Systemhöhe und die komplett vorgespannten Luftlager bieten zudem hohe Steifigkeit. Zusätzlich können bei Bedarf auch Verkippbzw. Verdrehbewegungen in das Design integriert werden. ABG10000 Luftlager Portalsystem Das ABG10000 Portalsystem mit Luftlagern verwendet unsere eigenen Hochleistungs-Linearmotoren um mit Beschleunigungen bis zu 0,5g auf Geschwindigkeitswerte bis zu 1m/s zu kommen. Als Feedbacksystem wird ein gekapselter berührungsloser optischer Glasmaßstab verwendet. Sowohl die horizontalen als auch die vertikalen Lageroberflächen sind aktiv vorgespannt. Dieses Design verwendet große Lagerflächen sodass sich die Last auf einen großen Bereich verteilt und bietet somit eine herausragende Steifigkeit und ist ideal für hohe und außermittige Belastung. 13

16 LINEARTISCHE FÜR DEN HALBLEITERBEREICH ABL1000 Luftlagertisch Die ABL1000 Tische sind die leistungsfähigsten Miniatur-Luftlagertische auf dem Markt. Der lineare Positioniertisch ist mit komplett vorgespannten Lagern und komplett berührungslos aufgebaut. Ob die Anwendung kleine präzise Schritte oder äußerst ruhigen Lauf erfordert, der ABL1000 ist mit seinen berührungslosen bürstenlosen Linearmotoren die ultimative Lösung. Das herausragende Design der Motorwicklung und Auslegung des magnetischen Feldes stellt die höchste Kraft bei Miniatur-Luftlagertischen zur Verfügung. ABL2000 Luftlagertisch Der ABL2000 Luftlagertisch kombiniert zum Beispiel für das Waferimaging, Störstellenprüfung und Beschichtungsanwendungen exzellente Nick- und Giereigenschaften mit unübertroffenem Gleichlauf. Die Verwendung einer magnetischen Vorspannung ermöglicht einen kleineren Querschnitt als bei typischen Luftlagertischen ohne dabei die Lastkapazität einzuschränken. Bei höchster Leistungsfähigkeit wird über Jahre hinaus ein wartungsfreier Betrieb durch den Einsatz von berührungslosen Luftlagern, berührungslosen Linearmotoren und berührungslosen Feedbacksystemen garantiert. ABL8000 Luftlagertisch Der ABL8000 besitzt ein spezielles Design des Lagerquerschnittes, das die Steifigkeit und die Stabilität dramatisch verbessert und ist somit für nicht zentrische Belastungen ideal. Die unüberteffbaren geometrischen Eigenschaften sind auf Aerotech-eigene Herstellungsverfahren zurückzuführen. Der Mittelungseffekt der großflächigen Lager optimiert die Leistungsfähigkeit und die Eigenschaften bezüglich Nicken, Gieren und Rollen sowie Geradheit und Ebenheit. 14

17 LINEARTISCHE FÜR DEN HALBLEITERBEREICH ALS130 Lineartisch Bei Anforderungen an hohe Genauigkeit für Justageaufgaben ist der ALS130 mit seiner flachen Bauweise und seinen herausragenden Leistungseigenschaften die ultimative Lösung. Zum Beispiel kann bei vertikalen Anwendungen wie Kamerafokus ein pneumatischer Gewichtsausgleich integriert werden. ALS20000 Lineartisch Der ALS20000 wurde entwickelt für Anwendungen aus dem Bereich Wafer Inspektion, wo hervorragender Gleichlauf, geringe Vibrationen, hohe Genauigkeit und exzellenter Durchsatz gefordert werden. Eine Vielzahl an Optionen für das Kabelmanagement ermöglicht eine hohe Flexibilität im Systemdesign. ALS3600 Offener Rahmentisch Die Forderung nach einem robusten Offenen Rahmentisch mit hoher Präzision ist mit dem ALS3600 erfüllt. Der Zweiachsen-Offene Rahmentisch mit seinem großen Ausbruch adressiert die Anforderungen aus den Bereichen Mikroskopie und Wafer- bzw. Maskeninspektion. 15

18 LINEARTISCHE FÜR DEN HALBLEITERBEREICH AGS1000 Portalsystem AGS1000 Systeme wurden für Anwendungen in den Bereichen Hochgeschwindigkeitshandhabung, automatisierte Montage, Inspektion über Bildverarbeitungssysteme, Klebeautomaten hochpräzises Prüfen entwickelt. Das AGS1000 basiert auf dem in der Industrie bewährten und führenden Portalsystem AGS10000 und hat viele der herausragenden Elemente beibehalten. AGS10000 Portalsystem Die AGS10000 Serie karthesischer Portalsysteme vereint die Kerntechnologien von Aerotech mit den ausgereiften Fertigungsverfahren und bietet somit für Sie eine Bewegungsplattform mit herausragenden Eigenschaften für eine Vielzahl von Automationsanwendungen. Mit Hilfe des Hochleistungs-Linearmotors BLM von Aerotech erreicht das System mit Beschleunigungen bis zu 3g Maximalgeschwindigkeiten von bis zu 3m/s. Es sind Konfigurationen mit einem oder zwei Linearmotoren verfügbar. Das Feedback wird von einem gekapselten Glasmaßstab in Auflösungen zwischen 20nm und 1µm angeboten. AGS20000 Portalsystem Das AGS20000 Portalsystem wurde mit dem Ziel entwickelt, das leistungsstärkste und präziseste Portalsystem der Welt zu sein. Je zwei Hochleistungs Linearmotoren pro Achse wurden kombiniert mit je zwei optischen Glasmasstäben pro Achse. Dies resultiert nicht nur in einem Portalsystem mit herausragender Beschleunigung und Geschwindigkeit, sondern auch extrem hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Die Hochleistungs-Linearmotoren der BLMH Serie von Aerotech lassen das Portalsystem bei Geschwindigkeiten von 3m/s mit Beschleunigungen von 5g fliegen! 16

19 Z-HUBTISCHE FÜR DEN HALBLEITERBEREICH WaferMax Z Hubtisch Der WaferMax Z repräsentiert einen bedeutenden Durchbruch in der vertikalen Justage von hochpräzisen Komponeten in einem kompakten Paket. Das überragende Design integriert einen berührungslosen Linearmotor und einen hochgenauen Glasmaßstab für direkten Antrieb und direkte Positionsrückkopplung. Der WaferMax Z ist auf einfache Weise kombinierbar mit dem WaferMax T Rotationstisch und stellt eine kompakte Zwei-Achsenlösung für Justage und Fokus zur Verfügung. AVL1000 Hubtisch Der AVL1000 steht für einen bedeutenden Durchbruch für Anwendungen, die eine Z-Verstellung für hohe Lasten fordern wie z. B. die Flachdisplay-Prozesse. Mehrachsysteme mit hohen Last-Trägheitsmomenten leiden häufig unter mechanischen Stabilitätsproblemen, die zur Begrenzung des kompletten Maschinendurchsatzes führen. Der AVL1000 eliminiert dieses Problem durch ein Aerotech eigenes Design, das die Steifigkeit des Tisches signifikant erhöht. Der AVL1000 ist großflächig ausgelegt und erzielt unter anderem über die vergrößerte Lagerseparation die erhöhte Steifigkeit. Bei diesem Design sind mechanische Elemente integriert, welche unerwünschte Bewegungen der Plattform verhindern. AVS100 Hubtisch Der AVL100 ist ideal für Anwendungen die sehr kleine inkrementale vertikale Bewegungen fordern. Die kleine Bauweise zusammen mit der hohen Präzision der Bewegungen machen der Hubtisch ideal zur Wafer- Inspektion und Test sowie zur automatischen Werkzeugjustage. 17

20 ROTATIONSTISCHE FÜR DEN HALBLEITERBEREICH ABR1000 Rotations- Luftlagertisch Der ABR1000 wurde entwickelt um die Anforderungen aus der Wafer-, Flachdisplay- und Optikherstellung und Inspektion zu erfüllen. Der ABR1000 verwendet die S- Serie Torquemotoren von Aerotech, die durch ein verbessertes Design des magnetischen Kreises hohe Momente abgeben können bei gleichzeitig geringer Erzeugung von Wärmeenergie. Die nutfreie Wicklungstechnik befreit den Tisch von Oberwellen im Drehmoment und schafft Bewegungen frei von Cogging. Damit ist dieser Tisch ideal für Anforderungen mit extrem ruhigem Lauf bei hohen oder bei niedrigen Scangeschwindigkeiten. ASR2000 Die ASR Serie direkt angetriebener Spindeln bieten eine überragende Drehzahlregelung und Winkelpositionierung. Die Spindel ist ideal für Anwendungen aus den Bereichen Disc Drive Test, Imaging und präzise Waferinspektion. Überragendes mechanisches Design Abgestimmete Schräglagersysteme werden verwendet für ein Maximum an Präzision im Bewegungsablauf. Dieses außergewöhliche Spindeldesign beinhaltet von außen zugängliche Justierschrauben um eine endgültige Justage mit Last durchführen zu können und Genauigkeiten von G0.4 bis G1.0 zu erzielen. Das Design beinhaltet ebenfalls eine Labyrinthabdichtung um das Austreten von Partikeln zu minimieren. Diese Spindeln sind zertifiziert für den Einsatz in Reinraumklasse 1. Eine integrierte pneumatische Drehkupplung stellt Vakuum oder Luftdruck zur Verfügung. Luftlagerversionen unserer Spindeln sind ebenfalls verfügbar. 18

21 ROTATIONSTISCHE FÜR DEN HALBLEITERBEREICH WaferMax T Rotationstisch Der WaferMax T Rotationstisch ist eine exzellente Wahl bei Anwendungen in denen hohe Leistung in einem flachen Paket gefordert werden. Ursprünglich entwickelt für die Anforderungen der präzisen Wafer Inspektion hat sich dieser Tisch mittlerweile in einer Vielzahl von verschiedenen Anwendungen bewährt. Eine Standard-Durchführung mit 25mm Durchmesser erlaubt das einfache Durchführen von Schläuchen für Vakuum wenn ein limitierter Drehbereich gegeben ist. Für einen kontinuierlichen Drehbereich kann eine pneumatische Drehkupplung integriert werden. Der Drehteller ist mit einem Gewindebohrlochmuster ausgestattet und erlaubt ein einfaches Montieren von Waferchucks. ADRS Rotationstisch Die ADRS Serie Rotationstische bieten eine hohe Drehmomentabgabe unter Verwendung eines Direkantrieb-Torquemotors. Die ultraflache Ausführung des Tisches reduziert die effektive Arbeitshöhe und somit die damit verbundenen Fehler. Die ADRS Serie bietet eine Apertur, die zum Durchführen von Produkten oder eines Laserstrahls verwendet werden kann. ADRT Rotationstisch ADRT direkt angetriebene Rotationstische bieten überragende Winkelpositionierung und hervorragenden Gleichlauf. Die Einsatzgebiete dieses Tisches reichen von Punkt-zu-Punkt Bewegungen über Hochgeschwindigkeits- Lasermaterialbearbeitung bis zur präzisen Waferinspektion. Zwei Ringlager mit großem Durchmesser um ein Maximum an Leistungsfähigkeit in Bezug auf Taumel, Lastmomentsteifigkeit und Wiederholbarkeit zu bieten. Durch den großen Durchmesser der Ringlager kann der Tisch relativ hoch belastet werden, ohne Kompromisse in der Leistungsfähigkeit einzugehen. ARA1000 Rotativer Aktuator Der ARA1000 rotativer Aktuator ist eine ausgezeichnete Wahl bei Anforderungen an hohe Leistungsfähigkeit in einem flachen Paket. Ursprünglich entwickelt für die Anforderungen der präzisen Flachdisplay Fertigung hat sich dieser Tisch inzwischen in einer Vielzahl von Anwendungen bewährt. Eine standardmäßig vorhandene Apertur mit 57,2mm Durchmesser ermöglicht das einfache Durchführen von Vakuumschläuchen bei limitierten Drehbereich. Ist der Drehbereich nicht begrenzt, lässt sich eine pneumatische Drehkupplung integrieren. 19

22 SPEZIALLÖSUNGEN FÜR DEN HALBLEITERBEREICH MaskAlign 100 und 150 Der MaskAlign 100/150 ist eine XYθ Bewegungsplattform und besitzt ein integriertes Justage- System, das eine korrekte Justage der Maske mit minimalem Aufwand garantiert. Fest integrierte Stifte werden genutzt um die Maskenlage zu definieren während zwei bewegte Mechanismen die Maske in ihre entgültige Lage positionieren. Wenn sich die Maske in der korrekten Position befindet, hält ein integrierter Vakuumkanal diese fest. All diese Ausrichtungs und Fixierfunktionen tragen zu einem fehlerfreien Schreibprozess bei. WaferMax ZT Der WaferMax Zθ ist die perfekte Lösung für Anwendungen die sowohl eine Z- als auch eine T- Ausrichtung in einem flachen Paket benötigen. Dieses System bietet 360 Drehbereich und 5mm Hub. Wafer Chucks Aerotech produziert eine große Vielfalt verschiedener Chucks für Wafer und Flachdisplay Objektaufnahme. 20

23 KOMPONENTENLÖSUNGEN FÜR DEN HALBLEITERBEREICH Torque-Motoren Fünf Baugrößen Gehäuselose Ausführung für einfache Integration in OEM-Maschinen Nutenloser Stator und Läufer mit hoher Polzahl zur Vermeidung von Cogging für eine besonders gute Geschwindigkeits- und Positionsregelung. Bis zu 146 Nm Spitzendrehmoment und 36,5 Nm Dauerdrehmoment Linearmotoren Fortschrittliches Design bietet 49% höhere kontinuierliche Kraftabgabe als vergleichbare Konkurrenzmodelle Coggingfreie Ausführung ermöglicht äußerst sanfte Geschwindigkeits- und Positionssteuerung Für höhere Kraftabgabe stehen Modelle mit Spezialmagneten zur Verfügung Die modularen Schienen sind symmetrisch aufgebaut und ermöglichen unbegrenzte Verfahrwege Optimale Motorkühlung für höhere Effektivkräfte Spitzenkraft bis zu 4740 N, kontinuierliche Kraft bis zu 1200 N Bürstenlose Motoren ohne Nuten Standardgrößen (NEMA) für einfache Integration und Nachrüstung Fortschrittliches Design ohne Nuten ermöglicht hohe Beschleunigung und ausgezeichnete Positionssteuerung Bürstenlose Technologie bietet wartungsfreien Einsatz und höhere Beschleunigung als entsprechende Modelle mit Bürsten Bürstenlose Motoren Standardgrößen (NEMA) für einfache Integration und problemlosen Umbau Breiter Drehmomentbereich (0,5-75 Nm) wird praktisch allen Anwendungen gerecht Anspruchsvolle 8-polige Ausführung mit entsprechendem Schrägstator minimiert Drehmomentwelligkeit und Cogging für sanfte Geschwindigkeitssteuerung Robuste Konstruktion - ideal geeignet für den Einsatz in der Produktion rund um die Uhr Wahlweise IP65- bis IP67-Ausführung für den Einsatz unter harten Betriebsbedingungen 21

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