AT -logic GmbH. Halbleiter-Produktionsanlagen Service Anlagenplanung Konstruktion Software REATRONIC PROCESS AUTOMATION

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1 AT -logic GmbH Halbleiter-Produktionsanlagen Service Anlagenplanung Konstruktion Software REATRONIC PROCESS AUTOMATION

2 Firmenvorstellung AT-logic GmbH AT-logic GmbH wurde 2008 von Gerhard Fenninger gegründet. Gerhard Fenninger arbeitet seit 1998 im Bereich Halbleiter und Mikroskope. Durch einzigartige Einsatzbereitschaft, Spezialwissen und Lieferung höchst zufriedenstellender Leistung entwickelte sich AT-logic GmbH zu einem gefragten Anbieter für Halbleiter- FABs. Aufgrund des wachsenden Interesses wird ab 2012 die Marke REATRONIC eingeführt und kennzeichnet Produkte und Leistungen für Halbleiter-anlagen. AT-logic GmbH ist auf Wartung und Refurbishment von Anlagen und Ersatzteilen spezialisiert und bietet eine breite Palette kundenspezifischer Lösungen für den Lithographiebereich an, speziell auch für DNS 60/80A und DNS 60/80B Anlagen. AT-logic GmbH beschäftigt derzeit 9 Mitarbeiter, ist zu 100% in privater Hand und liegt im Zentrum Europas in Eugendorf bei Salzburg. 1

3 Management Gerhard Fenninger Geschäftsführer Gerhard Fenninger begann seine Karriere in der Mikro- und Präzisionstechnologie 1998 als Servicetechniker bei der Firma Zeiss GmbH Österreich wechselte er in die Halbleiterindustrie, wo er führend Refurbishment-Projekte abwickelte. Sein einzigartiges Know-How im Bereich der Lithographie-Anlagen ermöglichte 2008 die erfolgreiche Gründung des Unternehmens AT-logic GmbH in Eugendorf bei Salzburg. Arnold Reichel Manager REATRONIC Arnold Reichel studierte Mechatronik an der Johannes-Kepler-Universität in Linz an der Donau bevor er 2004 seine berufliche Laufbahn im Bereich Anlagenbau für die Halbleiterindustrie begann. Ab 2006 leitete er ein Entwicklungsteam für Lithographieanlagen und wurde 2008 Produktmanager. Nach verschiedenen Einsätzen im In- und Ausland wechselte er 2010 zur Firma AT-logic GmbH wo er ab 2012 den Bereich Halbleiteranlagen unter der Marke REATRONIC mitverantwortet. 1

4 Firmendaten Standorte Mitarbeiter Gegründet Firmenbuch UID-Nr. Office und Produktion in A-5301 Eugendorf, Pebering-Straß 21 Warehouse in A-5202 Neumarkt, Pfongau-West 3 AT-logic GmbH beschäftigt 9 Mitarbeiter in den Bereichen: Planung & Konstruktion, Software, Elektrik, Service, Verkauf am in Eugendorf/Österreich Landesgericht Salzburg Firmenbuchnummer k ATU

5 REATRONIC Produkt Übersicht Anlagen Ersatzteile Planung, Konstruktion & SW Service + Spin Coater, Spray & Puddle Developer, Spin Scrubber + Remanufactured DNS SK80B Coater+Developer + Refurbished Convac M2000 Spin Coater + Waferloader für Mikroskope + Spin Motoren + Resist Pumpen und Chemiebehälter+Tanks + Edge Exposure Unit zur Flatfreibelichtung (EEW) + Verschiedene Wafer Arme für DNS 60A und 80B + Elektrische Boards für Motorcontroler, EEW, Slave-Box, + Schleppketten für DNS 60A und 80B + Pneumatik & Elektro Planung + Elektroverteilerbau + Konstruktion von Anlagen und Umbauten + Programmierung von SPS und Windows -Oberflächen + Reparatur von Spin-Motoren + Umrüsten der Anlagen zwischen 4, 5, 6, 8 -Wafer + Installation und Umzug von Anlagen + Wartungsverträge und laufende Wartungen (Jahreswartung) 3

6 REATRONIC Prozesse Spin Coating Spin Developing Randentlackung Reinigung Backen, Kühlen, Bedampfen + Dünnfilm 0,5-2,5µm + Dickfilm und mehrfach Belackung 2,5µm- + Spin on - Haftvermittler + BARC Antireflexionsschicht + TARC Antireflexionsschicht + Puddle + Sprühentwicklung + Flat-Freibelichtung mit EEW + Randentlackung mit Nozzle + Vorder- und Rückseitenreinigung + Lösungsmittel, Bürste, Hochdruck und Megaschall + Hotplate 250 C, high hotplate 350 C + Coolplate + HMDS + Low-Pressure-hotplate 4

7 Warum Sie sich für REATRONIC entscheiden sollen Kosten senken Wir re-konfigurieren und refurbishen DNS- und Convac- Anlagen nach Ihren Anforderungen und helfen Ihnen dadurch, Stellfläche im Reinraum zu minimieren sowie Anschaffungskosten, Betriebskosten und Wartungskosten zu sparen! Rasche Hilfe Wir sind schnell verfügbar, um dringende Reparaturen und Sonderkonstruktionen fachgerecht und rasch zu erledigen! Aufwertung Ihrer Produkte Wir individualisieren Ihre Produktions-Anlagen, damit Sie höherwertige Produkte herstellen können als Ihr Mitbewerb! Verlässlicher Partner Wir haben eine klare Vorstellung unserer Zukunft, um ein verlässlicher und vor allem langfristiger Partner für Ihr Unternehmen zu sein! 5

8 Kontakt Internet Hauptgebäude Eugendorf Warehouse Neumarkt AT-logic GmbH Pebering-Strass 21/ Eugendorf Österreich Tel.: Fax: AT-logic GmbH Pfongau-West Neumarkt Österreich 6

9 Leistungsspektrum REATRONIC Planung Wir zeichnen professionelle Elektro- und Pneumatik-Pläne auf E-Plan 8. Wir planen und fertigen Schaltschränke für Produktionsanlagen. Wir planen und fertigen Pneumatik- und Mediensysteme. Wir planen und fertigen gesamte Anlagen für die Halbleiterindustrie. Konstruktion Wir konstruieren Geräte, Maschinen, Ersatzteile und Sonderlösungen. Wir liefern kundenspezifische Ersatzteile und Komponenten. Wir legen Servo- und Schrittmotor-Antriebe aus. Wir fertigen elektrische und pneumatische Steuerungen für Produktionsanlagen Wir fertigen Anlagen und Maschinen für die Halbleiterproduktion mit kompletter Verkabelung, Verschlauchung und Verrohrung. Software Wir programmieren Steuerungen mit Schaltung von Pneumatikventilen, Medienventilen, Schritt- und Servomotoren. Wir programmieren SPS von Beckhoff und Siemens. Wir programmieren Benutzeroberflächen für Windows. Wir programmieren Benutzeroberflächen für Touch-Monitore und Touch- Panels. REATRONIC ist eine Marke von AT-logic GmbH. AT-logic GmbH Anfragen an: DI Arnold Reichel Pebering-Straß 21 A-5301 Eugendorf / Österreich Tel.: