TruPlasma DC Serie 3000 Serie 3000 (G2) Perfektion im Blick.

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1 TruPlasma DC Serie 3000 Serie 3000 (G2) Perfektion im Blick.

2 TRUMPF Hüttinger Innovationen auf einer höheren Ebene. Auf dem neuesten Stand der Technik: Lösungen für DC-Sputterprozesse. TruPlasma DC Serie Die TruPlasma DC Serie 3000 wurde für eine Vielzahl an Sputterprozessen entwickelt. Mit einer neuen Generation wassergekühlter Geräte bietet TRUMPF Hüttinger in dieser DC-Produktfamilie nun eine technologisch marktführende Stromversorgung an, die in vielen Sputterapplikationen gepulste DC-Generatoren ersetzen kann. Die Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 sind mit Ausgangsleistungen von 2 bis 160 Kilowatt (kw) erhältlich. Sie liefern ihre Leistung konstant über einen breiten Lastanpassungsbereich und bewähren sich im rauen, industriellen Betrieb. Daher sind sie ideal für Beschichtungsprozesse geeignet, in denen Zuverlässigkeit und Leistung gefordert werden: die Fertigung von Solarzellen und das Beschichten von Architekturglas. Schlüsselkomponente sind die Generatoren auch bei Hartstoff-, dekorativen und optischen Beschichtungsprozessen. TRUMPF Hüttingers fortschrittliches Arc-Management Compensate- Line ist in allen Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 bereits integriert. Es sorgt für eine besondere Reduzierung der Arc-Restenergie und sichert so optimale Ergebnisse im Hinblick auf Schichtqualität und Abscheideraten. Infolgedessen ermöglicht CompensateLine außergewöhnlich hochqualitative und homogene Schichten auch in arc-reichen Prozessen, wie dem TCO-Sputtern. Die neue, wassergekühlte Generation wurde so entwickelt, dass sie die Arc-Energie zusätzlich deutlich reduziert in dieser Höhe marktführend. Mit dem weiten Netzspannungsbereich sowie der hohen Zündspannung entsprechen die Geräte dem neuesten Stand der Technik. Die kompakte Größe sowie die Vielzahl an Schnittstellen unterstützen die Systemintegration. Eigenschaften Optimale Ergebnisse auch in arc-reichen Prozessen Minimale Arc-Restenergie und schnelle Erholzeiten Technologisch führende Lösung für DC-Sputteranwendungen Hohe Leistungsdichte bei sehr kompakter Bauweise Bewährtes Generatorendesign und vollständige Wasserkühlung Nutzen Kostengünstige Alternative zu teuren, gepulsten DC-Generatoren Deutlich erhöhter Produktionsertrag Außergewöhnlich homogene Schichten in stabilen Prozessen Einfache Systemintegration, auch bei Ausgangsleistungen von mehr als 40 kw Hohe Systemlaufzeit und reduzierter Wartungsaufwand

3 TruPlasma DC Serie 3000 (luftgekühlt) TruPlasma DC Serie 3000 (G2) (wassergekühlt) Ausgangsdaten Ausgangsdaten Ausgangsleistung 2 kw bis 120 kw Ausgangsleistung 10 kw bis 300 kw Ausgangsspannung 800 V Ausgangsspannung V Ausgangsstrom 5 A bis 300 A Ausgangsstrom 25 A bis 750 A Regelarten Leistung, Spannung, Strom, SimReg Regelarten Leistung, Spannung, Strom, SimReg Tastverhältnis 100 % Tastverhältnis 100 % Regelung bei Netzschwankung ± 10 %, bei Last 10 % 90 % Genauigkeit ± 0,5 % ± 0,2 % Regelung bei Netzschwankung ± 10 %, bei Last 10 % 90 % Genauigkeit ± 0,5 % Wiederholgenauigkeit Wiederholgenauigkeit ± 0,2 % Zündspannung V Zündspannung V / Floating Anode 1 Ausgangspolung Negativ, positiv 1, fließend 1 Ausgangspolung Fließend Lastimpedanz 5,3 Ω 21,2 Ω (1:4) volle Leistung Lastimpedanz 5,3 Ω 21,2 Ω (1:4) volle Leistung 1) Auf Anfrage verfügbar. Arc-Parameter Arc-Parameter Arc-Erkennung < 100 ns Arc-Erkennung < 100 ns I max Erkennung Var. l max Schwelle: 10 % 130 % I max Erkennung Var. l max Schwelle: 10 % 130 % Kreuzerkennung (U x I) Var. U x Schwelle: 0 V 600 V Var. l x Schwelle: 10 % 100 % Kreuzerkennung (U x I) Var. U x Schwelle: 0 V 900 V Var. l x Schwelle: 10 % 100 % Dynamische Spannungsveränderung Var. du Schwelle: 0 V 600 V Dynamische Spannungsveränderung Var. du Schwelle: 0 V 900 V CompensateLine Bis zu 8 karc/s 2 2) Auf Anfrage für ausgewählte Modelle verfügbar. Standard: 2 karc/s Eingangsdaten Netzspannung 3 x 400 V ± 10 % Netzfrequenz 50 Hz / 60 Hz ± 5 % Wirkungsgrad 87 % 92 % Leistungsfaktor 0,92 0,94 CompensateLine Bis zu 8 karc/s 3 3) Optional für alle Modelle verfügbar. Standard: 2 karc/s Eingangsdaten Netzspannung 3 x 400 V bis 480 V ± 10 % Netzfrequenz 50 Hz / 60 Hz ± 5 % Wirkungsgrad 92 % Leistungsfaktor > 0,96 V/P Diagramm V/I Diagramm DC-Ausgangsleistung in % I Maximaler DC-Ausgangsstrom II DC-Nennausgangsleistung III Maximale DC-Ausgangsspannung IV IV Zündspannung a Zündspannung a Ausgangsspannung in V Ausgangsspannung in V a) Anpassbare Zündspannung. a) Anpassbare Zündspannung. luftgekühlte Variante wassergekühlte Variante luftgekühlte Variante wassergekühlte Variante DC-Ausgangsleistung in % I Maximaler DC-Ausgangsstrom II DC-Nennausgangsleistung III Maximale DC-Ausgangsspannung

4 TruPlasma DC Serie 3000 Kühldaten Lufgekühlte Variante Kühlsystem Umluftkühlung / Lüftersteuerung Max. Lufteingangstemperatur +35 C Wassergekühlte Variante Max. Eingangsdruck Min. Differenzdruck Durchflussmenge 2 bar bis 7 bar 2 bar 4 l/min bis 12 l/min Max. Kühlwassertemperatur +20 C bis +35 C Temperatur +5 C bis +45 C Betrieb Umgebungsbedingungen Temperatur Rel. Luftfeuchtigkeit Luftdruck 4-25 C bis +55 C Lagerung 5 % 85 % ohne Betauung 800 hpa hpa Betrieb 4) Max m über NN. Geräte für höhere Einsatzhöhen auf Anfrage erhältlich. Schnittstellen Analog / Digital RS 232 / RS 485 Profibus 5 DeviceNet 5 EtherCAT 5 5) Auf Anfrage verfügbar. 25-polig Sub-D (luftgekühlt) 15-polig Sub-D (wassergekühlt) 9-polig Sub-D 9-polig Sub-D 5-polig DeviceNet Anschluss 2 x RJ45 Schutzart Luftgekühlte Variante IP 20 Wassergekühlte Variante IP 40 Kennzeichnung Konformitätserklärung auf Anfrage erhältlich

5 TruPlasma DC Serie 3000 Name Ausgangsleistung (kw) Ausgangsstrom (A) Abmessungen (B x H x T, mm) Gewicht (kg) TruPlasma DC 3002 luftgekühlt (19 ) x 133 (3U) x TruPlasma DC 3005 luftgekühlt 5 12,5 482 (19 ) x 133 (3U) x TruPlasma DC 3010 luftgekühlt (19 ) x 133 (3U) x TruPlasma DC 3020 luftgekühlt (19 ) x 275 (6,2 U) x TruPlasma DC 3025 luftgekühlt 25 62,5 482 (19 ) x 275 (6,2 U) x TruPlasma DC 3030 luftgekühlt (19 ) x 275 (6,2 U) x TruPlasma DC 3040 luftgekühlt (19 ) x 411 (9U) x TruPlasma DC 3050 luftgekühlt (19 ) x 411 (9U) x TruPlasma DC 3060 luftgekühlt (19 ) x 411 (9U) x TruPlasma DC 3080 luftgekühlt 80 (2 x 40) (19 ) x 411 (9U) x x 120 TruPlasma DC 3100 luftgekühlt 100 (2 x 50) (19 ) x 411 (9U) x x 120 TruPlasma DC 3120 luftgekühlt 120 (2 x 60) (19 ) x 411 (9U) x x 120 TruPlasma DC 3020 (G2) wassergekühlt (19 ) x 133 (3U) x TruPlasma DC 3040 (G2) wassergekühlt (19 ) x 178 (4U) x TruPlasma DC 3060 (G2) wassergekühlt (19 ) x 265 (6U) x TruPlasma DC 3080 (G2) wassergekühlt 80 (2 x 40) (19 ) x 178 (4U) x x 85 TruPlasma DC 3120 (G2) wassergekühlt 120 (2 x 60) (19 ) x 265 (6U) x x 135 TruPlasma DC 3180 (G2) wassergekühlt 180 (3 x 60) (19 ) x 265 (6U) x x 135 TruPlasma DC 3240 (G2) wassergekühlt 240 (4 x 60) (19 ) x 265 (6U) x x 135 TruPlasma DC 3300 (G2) wassergekühlt 300 (5 x 60) (19 ) x 265 (6U) x x 135 6) Master / Slave Konfiguration. 7) Abmessungen für einzelne Einheiten angegeben.

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7 Luftgekühlte Variante TruPlasma DC mm 545 mm 505 mm 442 mm 133 mm 465 mm Wassergekühlte Variante TruPlasma DC 3020 (G2) 483 mm 704 mm 610 mm 435 mm 133 mm 681 mm TruPlasma DC 3040 (G2) 482 mm 706 mm 633 mm 435 mm 178 mm 684 mm TruPlasma DC 3060 (G2) 482 mm 672 mm 435 mm 265 mm 611 mm 705 mm 728 mm

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