TURBOPUMPEN. Für höchste Anforderungen an perfekte Vakuumlösungen

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1 TURBOPUMPEN Für höchste Anforderungen an perfekte Vakuumlösungen

2 TURBOPUMPEN Das komplette Angebot 2

3 Inhalt. Turbopumpen... 4 Für höchste Anforderungen an perfekte Vakuumlösungen... 4 Lagertechnologien... 6 HiPace Kompakte, kugel- bzw. hybridgelagerte Turbopumpen in der Saugvermögensklasse von 1 bis 8 l/s... 8 Baureihen und Anwendungen im Überblick Saugvermögen und Maßbilder Technische Daten und Bestellnummern HiPace Kompakte, hybridgelagerte Turbopumpen in der Saugvermögensklasse von 1. bis 2. l/s Baureihen und Anwendungen im Überblick Saugvermögen und Maßbilder Technische Daten und Bestellnummern HiPace 3 8 M, ATH 5 M Kompakte, magnetgelagerte Turbopumpen in der Saugvermögensklasse von 3 bis 8 l/s Baureihen und Anwendungen im Überblick Saugvermögen und Maßbilder Technische Daten und Bestellnummern ATH M, ATP 23 M Kompakte, magnetgelagerte Turbopumpen in der Saugvermögensklasse von 1.4 bis 2.8 l/s Baureihen und Anwendungen im Überblick Saugvermögen und Maßbilder Technische Daten und Bestellnummern

4 TURBOPUMPEN Für höchste Anforderungen an perfekte Vakuumlösungen 4 Mit freundlicher Genehmigung von CERN

5 Der Ursprung Warum heißen heute eigentlich alle Turbopumpen Turbopumpen? Weil die vielseitigen Tempomacher vor über 5 Jahren unter genau diesem Namen bei Pfeiffer Vacuum erfunden wurden: Definitiv ein Meilenstein in der Vakuumtechnik! Wir bieten Ihnen mit unseren Turbopumpen die neueste Generation zukunftsweisender Vakuumlösungen für ein breites Anwendungsspektrum. Dieses Spektrum umfasst nicht nur Analytik, Vakuumprozess- und Halbleitertechnik, sondern auch Beschichtung, Forschung & Entwicklung sowie industrielle Anwendungen. Die Familie der Turbopumpen umfasst ein breites Produktspektrum im Saugvermögensbereich von 1 bis 2.8 l/s. Die Pumpen überzeugen durch hohe Wirtschaftlichkeit und Flexibilität. Bewährte Lagersysteme bieten optimale Zuverlässigkeit. Dank des ausgereiften Rotor designs werden sowohl in puncto Saugvermögen, Vorvakuumverträglichkeit und Gasdurchsatz als auch bei der Kompression für leichte Gase sehr hohe Werte erreicht. Baureihen HiPace 1 8: Kompakte, kugel- bzw. hybridgelagerte Turbopumpen in der Saugver mögensklasse von 1 bis 8 l/s. Robustes Design. Minimaler Platzbedarf. Hohe Zuverlässigkeit. HiPace 12 23: Kompakte, hybridgelagerte Turbopumpen in der Saugvermögensklasse von 1. bis 2. l/s. Hohes Saugvermögen. Hoher Gasdurchsatz. Kurze Hochlaufzeit. HiPace 3 8 M, ATH 5 M: Kompakte, magnetgelagerte Turbopumpen in der Saugvermögensklasse von 3 bis 8 l/s. Hoher Gasdurchsatz. Vibrations armer Betrieb. Niedriger Energieverbrauch. ATH M: Kompakte, magnetgelagerte Turbopumpen in der Saugvermögensklasse von 1.4 bis 2.8 l/s. Hohe Vorvakuumverträglichkeit. Sehr hoher Gasdurchsatz. Hervorragende Langzeitstabilität. 5

6 TURBOPUMPEN Lagertechnologien Hybridlagerung Die Kombination aus einem Keramik-Kugellager auf der Vorvakuumseite mit einem permanentmagnetischen Radiallager auf der Hochvakuumseite bezeichnet man als Hybridlagerung. Diese Lagertechnologie kommt ohne Elektromagnete aus und verfügt mit einem Wartungsintervall von ca. 4 Jahren über eine lange Standzeit. Das Kugellager und der Betriebsmittelspeicher können vor Ort in weniger als 3 Minuten ausgewechselt werden. Permanentmagnetlager Fanglager Rotorwelle Keramik-Kugellager 6

7 Magnetlagerung Elektromagnetische Lager werden auch aktive Magnetlager genannt, weil die Rotorposition kontrolliert und permanent nachgeregelt wird. Sie ermöglichen einen verschleißfreien, vibrationsarmen Lauf durch eine automatische Unwuchtkompensation. Dies gewährleistet eine kontinuierliche Stabilität des Rotors. Sie sind wartungsfrei und kommen ohne Schmiermittel aus. Oberes Fanglager Oberes Radiallager Rotorwelle Unteres Radiallager Oberes Axiallager Unteres Fanglager Unteres Axiallager Lagerung eines Turbopumpenrotors Für die Lagerung eines Turbopumpenrotors sind insgesamt fünf Freiheitsgrade der Bewegung zu fixieren: je zwei Freiheitsgrade in der unteren und oberen radialen Ebene und einer in axialer Richtung. Y1 Z X1 Y2 X2 7

8 HIPACE 1 8 Kompakte, kugel- bzw. hybridgelagerte Turbopumpen in der Saugvermögensklasse von 1 bis 8 l/s Was ist HiPace? Integrierte Antriebselektronik HiPace steht für eine komplette Baureihe kompakter und leistungsstarker Turbopumpen im Saugvermögensbereich von 1 bis 2. l/s. Sie überzeugt durch hohe Wirtschaftlichkeit und Flexibilität, die bei nahezu allen Pumpen dieser Reihe den Einbau in allen Lagen ermöglicht. Das bewährte Lagersystem bietet Ihnen konkurrenzlose Zuverlässigkeit. Hohes Saugvermögen, hohe Vorvakuumverträglichkeit und hoher Gasdurchsatz sowie eine sehr gute Kompression für leichte Gase werden durch das innovative Rotordesign ermöglicht. Die integrierten Antriebselektroniken vermeiden aufwendige Verkabelungen. Zudem sind verschiedene Schnittstellenvarianten Profibus, DeviceNet oder E74 erhältlich. Durch innovative Elektronikbauteile haben wir die Lebensdauer dieser leistungsfähigen Antriebsgeräte verdoppelt. HiPace 1 HiPace 8 HiPace 3 HiPace 8 Kundennutzen Komplette Baureihe mit Saugvermögen von 1 bis 8 l/s Robustes Design und bewährtes Lagersystem bieten höchste Zuverlässigkeit Minimaler Platzbedarf durch kompakte Bauweise Hoher Gasdurchsatz und hohes Saugvermögen Beliebige Einbaulage 1) Industrietauglich durch Schutzart IP 54 Korrosivgasversion erhältlich SEMI S2- und UL-Zertifizierung Komplettes Zubehör erweitert die Einsatzmöglichkeiten Verlängerte Wartungsintervalle Lagerwechsel vor Ort 1) HiPace C: bis 9 / HiPace Plus: 8

9 Schnelle Hochlaufzeit Leistungsstarke Technik Universell einsetzbar Auch die Hochlaufzeit der HiPace wurde erheblich reduziert, was die Pumpe noch schneller einsatzbereit macht: Ein unschätzbarer Vorteil für Ihre Produktion! Darüber hinaus geben wir Ihnen erweiterte Remote- und Sensorikfunktionalitäten an die Hand. Sie erlauben Ihnen beispielsweise, Pumpendaten wie Temperaturen auszuwerten. Die verbesserte Diagnostik ermöglicht Ihnen eine maximale Pumpenverfügbarkeit und unterstützt den Service. Mit dem konsequent durchdachten Design der HiPace geben wir neue Trends vor. Dafür steht nicht nur das funktionelle Gehäuse, das die Pumpen extrem leicht macht und das Anwendungsspektrum erweitert. Auch die innovative Rotorgeometrie für einen ruhigeren Betrieb und deutlich verbesserte Gaslasten setzt Maßstäbe. Die Pumpen HiPace Plus sind speziell geeignet für die Elektronenmikroskopie und High-End Massenspektrometrie. Mit den HiPace C stellen wir Ihnen Turbopumpen speziell für korrosive Anwendungen zur Verfügung. Zusätzlich bieten wir Ihnen mit unseren HiPace P-Pumpen industrietaugliche Varianten an, die unempfindlich gegen Prozessstäube und Partikeleintrag sind. Baureihen und Anwendungen im Überblick Analytik Halbleiter Beschichtung Industrie F&E n empfohlen Elektronenmikroskopie Lecksuche Massenspektrometrie Oberflächenanalyse Plasmamonitoring Restgasanalyse Lithographie PVD (Physical Vapor Deposition) CVD (Chemical Vapor Deposition) Plasmaätzen Implantation Quelle Implantation Beamline Inspektion Bonding MBE (Molecular Beam Epitaxy) Schleusen, Transferkammern, Handlingsysteme Flat Panel Display (FPD) LED / OLED Festplattenbeschichtung Photovoltaik Glasbeschichtung (PVD) CD / DVD / Blu-Ray Fertigung (PVD) Optische Beschichtungen (PVD) Verschleißschutz (PVD, CVD) Hartstoffbeschichtung Medizintechnik Industrielle Lecksuche Elektronenstrahlschweißen Isolationsvakua Lampen- und Röhrenherstellung Wärmebehandlung Vakuumtrocknung Vakuumöfen Kernforschung Fusionstechnik Plasmaforschung Teilchenbeschleuniger Weltraumsimulation Tieftemperaturforschung Elementarteilchenphysik Nanotechnologie Biotechnologie HiPace 1 n n n n n n n n n n n HiPace 6 P n n n n n n HiPace 8 n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 3 n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 3 C n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 3 P n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 3 Plus n n n n n n HiPace 4 n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 4 P n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 7 n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 7 P n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 7 Plus n n n n n n HiPace 8 n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 8 P n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n P = Prozessgeeignet, staubunempfindlich C = Korrosivgasversion 9

10 HIPACE 1 8 Saugvermögen und Maßbilder Saugvermögen HiPace 1, DN 25 HiPace 4, DN 1 N 2 He H 2 Ar HiPace 8, DN 63 HiPace 7, DN HiPace 3, DN 1 HiPace 8, DN

11 Maßbilder HiPace 1, DN 25 mit TC 11 19,8 168,4 97,3 Ø55 1 M6 47 DN 25 4 M DN 16 ISO-KF 67, ,3 DN 63 ISO-K HiPace 8, DN 63 ISO-K mit TC , Ø97 1 Ø86 M5 (6x) ,5 DN 16 ISO-KF HiPace 3, DN 1 ISO-K mit TC 11 DN 16 ISO-KF ,3 2,6 DN 1 ISO-K Ø144 Ø11 M8 (5x) HiPace 4, DN 1 ISO-K mit TC 4 DN 25 ISO-KF ,7 3 DN 25 ISO-KF ø ,7 3 ø 8 DN 1 ISO-K DN 1 ISO-K DN 25 ISO-KF ,7 3 DN 25 ISO-KF Ø ,7 3 Ø8 DN 16 ISO-K DN 16 ISO-K Ø Ø ,5 23, ,5 23,5 Ø Ø M8 (6x) M8 (6x) 145,5 145,5 DN 25 ISO-KF 59 16,7 3 Ø8 DN 2 ISO-K Ø15 Ø ,5 23, ø ø ,5 23, ,5 23,5 ø ø 15 M8 (6x) M8 (6x) 145,5 145,5 HiPace 7, DN 16 ISO-K mit TC 4 HiPace 8, DN 2 ISO-K mit TC 4 M8 (6x) 145,5 11

12 HIPACE 1 8 Technische Daten und Bestellnummern Technische Daten Pumpentyp Einheit HiPace 1 HiPace 8 HiPace 3 1) HiPace 3 2) Anschlussnennweite Eingang DN 25 DN 63 DN 1 DN 1 Ausgang ISO-KF DN 16 DN 16 DN 16 DN 16 Flutanschluss G 1/8 G 1/8 G 1/8 Saugvermögen für: Stickstoff (N 2) l/s Helium (He) l/s Wasserstoff (H 2) l/s 3, Argon (Ar) l/s 11, Kompressionsverhältnis für: Stickstoff (N 2) > > > Helium (He) ,3 1 7 > > Wasserstoff (H 2) , Argon (Ar) 2,5 1 7 > > > Max. Vorvakuumdruck für Stickstoff (N 2) hpa Max. Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für Stickstoff (N 2) hpa l/s,37 1, Enddruck hpa < < < < Drehzahl 1/min Hochlaufzeit min,9 1,75 3,5 1,8 Kühlart, Standard Konvektion Konvektion Luft Wasser Kühlwasserverbrauch l/min,83 Kühlwassertemperatur C Betriebsspannung 3) V DC 24 ± 5% 24 ± 5% 24 ± 5% 24 ± 5% Leistungsaufnahme max. W 28, Gewicht kg 1,8 2,4 5,8 8,2 6,7 8,7 1) mit Antriebselektronik TC 11 2) mit Antriebselektronik TC 4 3) mit Antriebselektronik Weitere technische Daten und Zubehör finden Sie im Internet: Bestellnummern Pumpentyp HiPace 1 HiPace 8 HiPace 3 Antrieb \ Flansch DN 25 DN 4 ISO-KF DN 63 ISO-K DN 63 CF-F DN 1 ISO-K DN 1 ISO-F DN 1 CF-F TC 11 PM P3 96 PM P3 942 PM P3 94 PM P3 941 PM P3 99 PM P3 992 PM P3 991 TC 4 PM P3 9 PM P3 92 PM P3 91 TCP 35 PM P3 945 PM P3 943 PM P3 944 PM P3 993 PM P3 995 PM P

13 Technische Daten Pumpentyp Einheit HiPace 4 HiPace 7 HiPace 8 Anschlussnennweite Eingang DN 1 DN 16 DN 2 Ausgang ISO-KF DN 25 DN 25 DN 25 Flutanschluss G 1/8 G 1/8 G 1/8 Saugvermögen für: Stickstoff (N 2) l/s Helium (He) l/s Wasserstoff (H 2) l/s Argon (Ar) l/s Kompressionsverhältnis für: Stickstoff (N 2) > > > Helium (He) Wasserstoff (H 2) Argon (Ar) > > > Max. Vorvakuumdruck für Stickstoff (N 2) hpa Max. Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für Stickstoff (N 2) hpa l/s 6,5 6,5 6,5 Enddruck hpa < < < Drehzahl 1/min Hochlaufzeit min Kühlart, Standard Wasser Wasser Wasser Kühlwasserverbrauch l/min 1,6 1,6 1,6 Kühlwassertemperatur C Betriebsspannung 1) V DC 48 ± 5% 48 ± 5% 48 ± 5% Leistungsaufnahme max. W Gewicht kg 11,6 17,5 11,5 17,4 12,8 19,1 1) mit Antriebselektronik Weitere technische Daten und Zubehör finden Sie im Internet: Bestellnummern Pumpentyp HiPace 4 HiPace 7 Antrieb \ Flansch DN 1 ISO-K DN 1 ISO-F DN 1 CF-F DN 16 ISO-K DN 16 ISO-F DN 16 CF-F TC 11 TC 4 PM P4 23 PM P4 25 PM P4 24 PM P3 933 PM P3 935 PM P3 934 TCP 35 PM P4 26 PM P4 28 PM P4 27 PM P4 8 PM P4 82 PM P4 81 Pumpentyp HiPace 8 Antrieb \ Flansch DN 2 ISO-K DN 2 ISO-F DN 2 CF-F TC 11 TC 4 PM P4 3 PM P4 32 PM P4 31 TCP 35 13

14 HIPACE Kompakte, hybridgelagerte Turbopumpen in der Saugvermögensklasse von 1. bis 2. l/s Intelligente Sensorik Effiziente Technik Bei den Turbopumpen HiPace 12 bis 23 ist ein Einbau auch in Überkopflage möglich. Das bewährte Lagersystem bietet Ihnen konkurrenzlose Zuverlässigkeit. Dank des ausgereiften Rotordesigns werden sowohl in puncto Saugvermögen, Vorvakuumverträglichkeit und Gasdurchsatz als auch bei der Kompression für leichte Gase sehr hohe Werte erreicht. Kombiniert mit einer zuverlässigen Sensorik erreicht die HiPace Serie das höchste Sicherheitsniveau im Markt. Mit dem erprobten und optimierten Lagersystem bieten wir Ihnen gegenüber vergleichbaren Wettbewerbsprodukten nicht nur eine höhere Produktleistung, sondern vor allem eine längere Lebensdauer. Bei dieser Baureihe schützt ein Sperrgasventil die Lager vor Partikeln oder reaktiven Gasen. Die HiPace ist deshalb nicht nur kompakt, sondern auch extrem robust und industrietauglich, was zu einer optimalen Integrationsfähigkeit führt. Zeit ist Geld verlängerte Service-Intervalle und ein problemloser Lagerwechsel bei Ihnen vor Ort sprechen für sich. HiPace 12 HiPace 15 HiPace 18 HiPace 23 Kundennutzen Vier Baugrößen mit Saugvermögen von 1. bis 2. l/s Hohes Saugvermögen für leichte Gase (H 2, He) und schwere Gase (Ar, CF 4) Hohe Gasdurchsätze auch für schwere Gase (Ar, CF 4) Einbaulage bis 9 und 9 bis 18 verfügbar Korrosivgasausführung (C-Typen) verfügbar Integriertes Sperrgassystem mit Drossel und Ventil Weitspannungsbereich: 9 bis 265 V Schnittstellen: RS-485, Remote; Profibus oder DeviceNet optional SEMI S2-kompatibel, UL-, CSA- und TÜV-Zertifizierung Industrietauglich durch Schutzart IP 54 Höchste Prozesstauglichkeit, robust gegen Partikelanfall 14

15 Integrierte Elektronik Durchdachtes Design Die integrierten Antriebselektroniken vermeiden aufwendige Verkabelungen. Zudem sind bei gleichem Bauvolumen verschiedene Schnittstellenvarianten erhältlich. Durch innovative Elektronikbauteile haben wir die Lebensdauer dieser leistungsfähigen Antriebsgeräte verdoppelt. Auch die Hochlaufzeit der HiPace wurde erheblich reduziert, was die Pumpe noch schneller einsatzbereit macht. Darüber hinaus geben wir Ihnen erweiterte Remote und Sensorikfunktionalitäten an die Hand. Sie erlauben Ihnen Pumpendaten, wie beispielsweise Temperaturen, auszuwerten. Die verbesserte Diagnostik ermöglicht Ihnen eine maximale Pumpenverfügbarkeit durch zustandsbasierte Wartung und unterstützt den Service auf intelligente Weise. Mit dem konsequent durchdachten Design der HiPace geben wir effiziente Trends vor. Dafür steht nicht nur das funktionelle Gehäuse, das die Pumpen extrem leicht macht und das Anwendungsspektrum erweitert. Auch die innovative Rotorgeometrie für einen vibrationsarmen Betrieb setzt Maßstäbe. Und die integrierte Kühlung sorgt dafür, dass man Turbopumpen noch leistungsfähiger machen kann, ohne sie zu überpacen. Baureihen und Anwendungen im Überblick Analytik Halbleiter Beschichtung Industrie F&E n empfohlen Elektronenmikroskopie Lecksuche Massenspektrometrie Oberflächenanalyse Plasmamonitoring Restgasanalyse Lithographie PVD (Physical Vapor Deposition) CVD (Chemical Vapor Deposition) Plasmaätzen Implantation Quelle Implantation Beamline Inspektion Bonding MBE (Molecular Beam Epitaxy) Schleusen, Transferkammern, Handlingsysteme Flat Panel Display (FPD) LED / OLED Festplattenbeschichtung Photovoltaik Glasbeschichtung (PVD) CD / DVD / Blu-Ray Fertigung (PVD) Optische Beschichtungen (PVD) Verschleißschutz (PVD, CVD) Hartstoffbeschichtung Medizintechnik Industrielle Lecksuche Elektronenstrahlschweißen Isolationsvakua Lampen- und Röhrenherstellung Wärmebehandlung Vakuumtrocknung Vakuumöfen Kernforschung Fusionstechnik Plasmaforschung Teilchenbeschleuniger Weltraumsimulation Tieftemperaturforschung Elementarteilchenphysik Nanotechnologie Biotechnologie HiPace 12 n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 12 C n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 12 T n n n n HiPace 15 n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 15 C n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 15 T n n n n HiPace 18 n n n n n n n n n n n n n HiPace 18 C n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 18 T n n n HiPace 23 n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 23 C n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 23 T n n n n C = Korrosivgasversion T = mit Temperaturmanagement 15

16 HIPACE Saugvermögen und Maßbilder Saugvermögen HiPace 12, DN 2 HiPace 18, DN HiPace 15, DN 25 HiPace 23, DN N 2 He H 2 Ar CF 4 16

17 7 Maßbilder HiPace 12, DN 2 ISO-K 12 Ø9 161,5 Ø264 Ø24 DN 2 ISO-K 213,8 189,5 123 G1/8" 23,1 237,8 358, ,9 HiPace 15, DN 25 ISO-K 12 Ø9 161,5 DN 4 ISO-KF Ø23 Ø29 Ø264 DN 25 ISO-K 111, ,3 178 G1/8" 7 191, ,3 347,3 141,9 HiPace 18, DN 2 ISO-K 12 Ø9 161,5 DN 4 ISO-KF Ø23 Ø311 Ø24 DN 2 ISO-K ,4 G1/8" 248, ,1 HiPace 23, DN 25 ISO-K 12 Ø9 161,5 12 Ø9 161,5 DN 4 ISO-KF Ø311 Ø29 Ø23 Ø311 Ø29 DN 25 ISO-K DN 25 ISO-K , ,4 G1/8" G1/8" ,1 151,1 Ø23 DN 4 ISO-KF DN 4 ISO-KF Ø23 17

18 HIPACE Technische Daten und Bestellnummern Technische Daten Pumpentyp Einheit HiPace 12 HiPace 15 HiPace 18 HiPace 23 Anschlussnennweite Eingang DN 2 DN 25 DN 2 DN 25 Ausgang ISO-KF DN 4 DN 4 DN 4 DN 4 Flutanschluss G 1/8" G 1/8" G 1/8" G 1/8" Saugvermögen für Stickstoff (N 2) l/s Helium (He) l/s Wasserstoff (H 2) l/s Argon (Ar) l/s Tetrafluormethan (CF 4) l/s Kompressionsverhältnis für Stickstoff (N 2) > > > > Helium (He) Wasserstoff (H 2) Argon (Ar) > > > > Tetrafluormethan (CF 4) > > > > Max. Vorvakuumdruck für Stickstoff (N 2) hpa 2 2 1,8 1,8 Max. Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für Stickstoff (N 2) hpa l/s Helium (He) hpa l/s > 3 > Wasserstoff (H 2) hpa l/s > 3 > 3 > 3 > 3 Argon (Ar) hpa l/s Tetrafluormethan (CF 4) hpa l/s Enddruck 1) hpa < < < < Drehzahl 1/min Hochlaufzeit min 2,5 2,5 4 4 Kühlart, Standard Wasser Wasser Wasser Wasser Kühlwasserverbrauch 2) l/h Kühlwassertemperatur C Netzanschluss: Spannung V AC 1 12/ / / / 2 24 Leistungsaufnahme max. W Gewicht kg ) Gemessen mit ölfreier Vorpumpe mit Inertgasspülung, nicht temperiert, elastomergedichtet 2) Bei maximalem Gasdurchsatz und Kühlwassertemperatur von 25 C Weitere technische Daten und Zubehör finden Sie im Internet: 18

19 Bestellnummern Flansch ISO-K ISO-F CF-F ISO-K ISO-F CF-F Orientierung des -Flansches nach oben ( 9 ) unten (9 18 ) Pumpentyp HiPace 12, DN 2, TC 12 Standardversion PM P3 91 PM P3 911 PM P3 912 PM P3 913 PM P3 914 PM P3 915 Korrosivgasversion PM P3 916 PM P3 917 PM P4 19 PM P3 918 PM P3 919 PM P4 191 Pumpentyp HiPace 15, DN 25, TC 12 Standardversion PM P4 6 PM P4 61 PM P4 62 PM P4 63 PM P4 64 PM P4 65 Korrosivgasversion PM P4 66 PM P4 67 PM P4 192 PM P4 68 PM P4 69 PM P4 193 Pumpentyp HiPace 18, DN 2, TC 12 Standardversion PM P6 2 PM P6 21 PM P6 21 PM P6 211 Korrosivgasversion PM P4 76 PM P4 77 PM P4 78 PM P4 79 Pumpentyp HiPace 23, DN 25, TC 12 Standardversion PM P6 3 PM P6 31 PM P6 32 PM P6 31 PM P6 311 PM P6 312 Korrosivgasversion PM P3 926 PM P3 927 PM P4 194 PM P3 928 PM P3 929 PM P

20 HIPACE 3 8 M, ATH 5 M Kompakte, magnetgelagerte Turbopumpen in der Saugvermögensklasse von 3 bis 8 l/s Technisch perfekt Kompatibel Die HiPace M und ATH 5 M verfügen über eine aktive 5-Achsen-Magnetlagerung. Nur mit dieser Lagertechnologie wird die Rotorposition in Echtzeit geregelt. Während des Betriebs erfolgt so eine automatische Unwuchtkompensation, die minimale Vibrationen oder bestmögliche Prozesstoleranz erlaubt. Der niedrige Energieverbrauch und niedrigste Servicekosten garantieren einen wirtschaftlichen Betrieb. Unterschiedliche Schnittstellen-Standards erschweren Ihre Arbeit? Wir bieten für alle magnetgelagerten Turbopumpen eine integrierte Antriebselektronik mit standardisierten Anschlüssen und Schnittstellen. Sie haben die Wahl. HiPace 3 M ATH 5 M HiPace 7 M HiPace 8 M Kundennutzen Einfachste Installation Beliebige Einbaulage Integrierte Antriebselektronik Sauberes Vakuum durch schmiermittelfreies Magnetlager Hoher Gasdurchsatz für alle Prozessgase Niedrige Vibrationen und geringes magnetisches Streufeld Automatische Unwuchtkompensation Weiter Drehzahlbereich Hervorragende Langzeitstabilität und Zuverlässigkeit 2

21 Führend Sicher Höchstes Saugvermögen, Kompression und Gasdurchsatz oder minimale Vibrationen sind klassische Vakuumparameter, die von unseren Kunden gefordert werden. Alle 5-Achsenmagnetgelagerten Pumpen der Baureihe liefern hervorragende Leistungsdaten auf ihren Spezialgebieten. Das macht sie zur perfekten Lösung sowohl für nichtkorrosive Anwendungen in Analytik, Forschung & Entwicklung als auch für reaktive Prozesse in den Bereichen Beschichtung und Halbleiter. In unseren wartungsfreien, magnetgelagerten Turbopumpen sind nur hochwertige Fanglager verbaut, die für einen sicheren Betrieb sorgen. Selbst der Einsatz unter härtesten Umgebungsbedingungen ist für unsere HiPace dank Schutzart IP 54 kein Problem. Produkttests gemäß ISO belegen zusätzlich, dass alle Pumpen höchsten Sicherheitsanforderungen gerecht werden. Baureihen und Anwendungen im Überblick Analytik Halbleiter Beschichtung Industrie F&E n empfohlen Elektronenmikroskopie Lecksuche Massenspektrometrie Oberflächenanalyse Plasmamonitoring Restgasanalyse Lithographie PVD (Physical Vapor Deposition) CVD (Chemical Vapor Deposition) Plasmaätzen Implantation Quelle Implantation Beamline Inspektion Bonding MBE (Molecular Beam Epitaxy) Schleusen, Transferkammern, Handlingsysteme Flat Panel Display (FPD) LED / OLED Festplattenbeschichtung Photovoltaik Glasbeschichtung (PVD) CD / DVD / Blu-Ray Fertigung (PVD) Optische Beschichtungen (PVD) Verschleißschutz (PVD, CVD) Hartstoffbeschichtung Medizintechnik Industrielle Lecksuche Elektronenstrahlschweißen Isolationsvakua Lampen- und Röhrenherstellung Wärmebehandlung Vakuumtrocknung Vakuumöfen Kernforschung Fusionstechnik Plasmaforschung Teilchenbeschleuniger Weltraumsimulation Tieftemperaturforschung Elementarteilchenphysik Nanotechnologie Biotechnologie HiPace 3 M n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n ATH 5 M n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n ATH 5 MT n n n n HiPace 7 M n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 8 M n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n ATH 5 MT = mit Temperaturmanagement 21

22 HIPACE 3 8 M, ATH 5 M Saugvermögen und Maßbilder Saugvermögen HiPace 3 M, DN 1 HiPace 7 M, DN ATH 5 M, DN 16 HiPace 8 M, DN N 2 He H 2 Ar 22

23 Maßbilder HiPace 3 M, DN 1 ISO-F Ø15 DN 16 ISO-KF / G1/4" Ø162 DN 1 ISO-F G1/8" DN25 ISO-KF 95, ,5 4x(=18 ) Ø8 / G1/4" (2x) M8 (6x) 131 ATH 5 M, DN 16 ISO-F Ø 18 HiPace 7 M, DN 16 ISO-F Ø15 36 DN 25 ISO-KF / G1/4" G1/8" Ø28 DN 16 ISO-F ,5 4x(=18 ) Ø8 / G1/4" (2x) M8 (6x) HiPace 8 M, DN 2 ISO-F DN 25 ISO-KF / G1/4" Ø15 36 G1/8" Ø28 DN 2 ISO-K Ø8 / G1/4" (2x) M8 (6x) ,5 4x(=18 )

24 HIPACE 3 8 M, ATH 5 M Technische Daten und Bestellnummern Technische Daten Pumpentyp Einheit HiPace 3 M ATH 5 M HiPace 7 M HiPace 8 M Anschlussnennweite Eingang DN 1 DN 16 DN 16 DN 2 Ausgang ISO-KF DN 16 DN 25 DN 25 DN 25 Flutanschluss G 1/8 G 1/8 G 1/8 G 1/8 Saugvermögen für Stickstoff (N 2) l/s Helium (He) l/s Wasserstoff (H 2) l/s Argon (Ar) l/s Kompressionsverhältnis für Stickstoff (N 2) > > > > Helium (He) > > > > Wasserstoff (H 2) > Argon (Ar) > > > > Max. Vorvakuumdruck für Stickstoff (N 2) hpa 2 2,6 8 8 Max. Gasdurchsatz bei Enddrehzahl für Stickstoff (N 2) hpa l/s Argon (Ar) hpa l/s Enddruck hpa < < < < Drehzahl 1/min Hochlaufzeit min < 2 < Kühlart, Standard Wasser Wasser Wasser Wasser Kühlwasserverbauch l/min 1,3 1, 1,3 1,3 Kühlwassertemperatur C Betriebsspannung 1) V DC 48 ± 5% 48 ± 5% 48 ± 5% 48 ± 5% Leistungsaufnahme max. W Gewicht kg 13,1 17, ,7 2,8 17,1 21,5 1) mit Antriebselektronik Weitere technische Daten und Zubehör finden Sie im Internet: 24

25 Bestellnummern Pumpentyp HiPace 3 M Schnittstelle \ Flansch DN 1 ISO-K DN 1 ISO-F DN 1 CF-F RS-485 PM P3 95 PM P3 951 PM P3 952 Profibus PM P3 953 PM P3 954 PM P3 955 DeviceNet PM P3 956 PM P3 957 PM P3 958 Pumpentyp ATH 5 M ATH 5 M Schnittstelle, Kühlung \ Flansch DN 1 ISO-F DN 1 ISO-K DN 1 CF-F DN 16 ISO-F DN 16 ISO-K DN 16 CF-F Profibus, Wasserkühlung VY3621 VY3121 VY3221 VY4621 VY4121 VY4221 Remote, Wasserkühlung V23621 V23121 V23221 V24621 V24121 V24221 Profibus, Luftkühlung VY3611 VY3111 VY3211 VY4611 VY4111 VY4211 Remote, Luftkühlung V23611 V23111 V23211 V24611 V24111 V24211 Pumpentyp ATH 5 MT ATH 5 MT Schnittstelle, Kühlung \ Flansch DN 1 ISO-F DN 1 ISO-K DN 1 CF-F DN 16 ISO-F DN 16 ISO-K DN 16 CF-F Remote, Wasserkühlung VR36213 VR31213 VR32213 VR46213 VR41213 VR42213 Pumpentyp HiPace 7 M Schnittstelle \ Flansch DN 1 ISO-K DN 16 ISO-F DN 16 CF-F RS-485 PM P4 45 PM P4 451 PM P4 452 Profibus PM P4 453 PM P4 454 PM P4 455 DeviceNet PM P4 456 PM P4 457 PM P4 458 Pumpentyp HiPace 8 M Schnittstelle \ Flansch DN 2 ISO-K DN 2 ISO-F DN 2 CF-F RS-485 PM P4 46 PM P4 461 PM P4 462 Profibus PM P4 463 PM P4 464 PM P4 465 DeviceNet PM P4 466 PM P4 467 PM P4 468 ATH 5 MT = mit Temperaturmanagement 25

26 ATH M, ATP 23 M Kompakte, magnetgelagerte Turbopumpen in der Saugvermögensklasse von 1.4 bis 2.8 l/s Zuverlässig Unsere Turbopumpen der ATH M und ATP 1) M-Serie sind nicht einfach nur magnetgelagert ein aktives 5-Achsen-Magnetlager überwacht die Position des Rotors und regelt eventuelle Abweichungen von der Soll-Position in Echtzeit aus. Durch diese hochwertige Lagertechnologie erzielen wir bestmögliche Langzeitstabilität und Zuverlässigkeit gepaart mit hoher Laufruhe. Die Lagertechnologie und Prozessausrüstung der Hochvakuumpumpen machen unsere ATH M und ATP M-Serie zur Referenz von Hochleistungs-Turbopumpen in Halbleiterproduktion, beschichtenden und trockenätzenden Plasmaverfahren sowie in vielen industriellen und F&E-Anwendungen. 1) ATP = ohne Holweck-Stufe ATH 163 M, mit Antriebselektronik OBC V4 ATH 233 M, mit Antriebselektronik OBC V4 ATH 28 M ATH 32 M Kundennutzen Sauberes Vakuum durch schmiermittelfreies Magnetlager Sehr hoher Gasdurchsatz für alle Prozessgase Hervorragende Langzeitstabilität und Zuverlässigkeit Hohe Vorvakuumverträglichkeit Hohe Lufteinbruchstabilität Geringe Lebensdauerkosten durch wartungsfreie Technologie Frei wählbare Drehzahl in breitem Drehzahlbereich für optimierte Prozessanpassung Geringste Geräuschentwicklung und Vibrationen In jeder Lage montierbar Permanente Kontrolle der Rotorposition dank aktiver Magnetlagertechnologie 26

27 Hohe Leistung Sicher Unsere magnetgelagerten Turbopumpen sind optimiert für Vakuum-Produktionsverfahren mit hohem Gasdurchsatz bei hohem Betriebsdruck. In F&E-Anwendungen zeichnen sich die Pumpen durch minimale Vibrationen auch bei niedrigem Enddruck aus. Eine frei wählbare Drehzahl erlaubt die optimale Prozessanpassung oder auch den direkten Ersatz älterer Hochvakuumpumpen durch Anpassung auf deren Saugvermögen. Bei Stromausfall wirkt der Rotor als Generator und speist den batteriefreien Controller. Der Rotor wird langsam abgebremst und geht sanft in die mechanischen Notlauflager. Auch im Falle extremer Lufteinbrüche oder unterbrochener Verbindung zwischen Pumpe und Controller greifen die Notlauflager. Der Zustand der Lager wird vom Controller überwacht. Ein vom Controller gesteuertes Belüftungsventil kann den Rotor im Falle eines massiven Lufteinbruchs oder mechanischen Schocks schnell und effektiv abbremsen und so Beschädigungen an der Pumpe vermeiden. MT-Modelle der ATH M-Serie verfügen über ein Temperaturmanagement durch eine integrierte Heizung. Die prozessoptimierte Regelung von Heizband und Kühlwasser hält die Pumpe auf einer konstanten Temperatur (bis zu 75 C), um die Kondensation von Prozesschemikalien oder Nebenprodukten in der Pumpe zu minimieren. Baureihen und Anwendungen im Überblick Analytik Halbleiter Beschichtung Industrie F&E n empfohlen Elektronenmikroskopie Lecksuche Massenspektrometrie Oberflächenanalyse Plasmamonitoring Restgasanalyse Lithographie PVD (Physical Vapor Deposition) CVD (Chemical Vapor Deposition) Plasmaätzen Implantation Quelle Implantation Beamline Inspektion Bonding MBE (Molecular Beam Epitaxy) Schleusen, Transferkammern, Handlingsysteme Flat Panel Display (FPD) LED / OLED Festplattenbeschichtung Photovoltaik Glasbeschichtung (PVD) CD / DVD / Blu-Ray Fertigung (PVD) Optische Beschichtungen (PVD) Verschleißschutz (PVD, CVD) Hartstoffbeschichtung Medizintechnik Industrielle Lecksuche Elektronenstrahlschweißen Isolationsvakua Lampen- und Röhrenherstellung Wärmebehandlung Vakuumtrocknung Vakuumöfen Kernforschung Fusionstechnik Plasmaforschung Teilchenbeschleuniger Weltraumsimulation Tieftemperaturforschung Elementarteilchenphysik Nanotechnologie Biotechnologie ATH 163 M n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n ATH 16 MT n n n ATH 233 M n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n ATH 23 MT n n n ATH 28 M n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n ATH 28 MT n n n ATH 32 M n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n ATH 32 MT n n n ATP 23 M n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n 27

28 ATH M, ATP 23 M Saugvermögen und Maßbilder Saugvermögen ATH 163 M, DN 25 ATH 32 M, DN ATH 233 M, DN 25 ATP 23 M, DN ATH 28 M, DN N 2 He H 2 Ar 28

29 Maßbilder ATH 163 M, DN 25 ISO-F, mit integrierter Antriebselektronik OBC V4 23,2 Ø 35 Ø DN 4 ISO KF 77,9 32,15 ATH 233 M, DN 25 ISO-F 35 Ø ,75 24,75 DN 4 ISO KF 358,1 85,5 Ø 312 ATH 28 M, DN 25 ISO-F 35 48,2 DN 4 ISO KF 49, 115,7 Ø 367 ATH 32 M, DN 32 ISO-F 35 48,2 351,4 DN 4 ISO KF 115,7 Ø 367 ATP 23 M, DN 25 ISO-F 289,2 7 23,14 DN 4 ISO KF Ø

30 ATH M, ATP 23 M Technische Daten und Bestellnummern Technische Daten Pumpentyp Einheit ATH 163 M ATH 233 M ATH 28 M ATH 32 M ATP 23 M Anschlussnennweite Eingang DN 25 DN 25 DN 25 DN 32 DN 25 Ausgang ISO-KF DN 4 DN 4 DN 4 DN 4 DN 4 Saugvermögen für Stickstoff (N 2) l/s Helium (He) l/s Wasserstoff (H 2) l/s Argon (Ar) l/s Kompressionsverhältnis für Stickstoff (N 2) > > > > > Helium (He) > > > > > Wasserstoff (H 2) > > > > > Argon (Ar) > > > > > Max. Vorvakuumdruck für Stickstoff (N 2) hpa 1,7 2,9 2,1 2,1 2,1 Gasdurchsatz für Stickstoff (N 2) hpa l/s Helium (He) hpa l/s > 67 > 67 > 84 > 84 > 5 Wasserstoff (H 2) hpa l/s > 67 > 67 > 84 > 84 > 5 Argon (Ar) hpa l/s 2 25 > 37 > Enddruck hpa < < < < < Drehzahl 1/min Hochlaufzeit min < 6 < 8 < 1 < 1 < 8 Kühlart, Standard Wasser Wasser Wasser Wasser Wasser Kühlwasserverbrauch l/min 1, 1, 1, 1, 1, Kühlwassertemperatur C Netzanschluss: Spannung V AC Leistungsaufnahme max. W Gewicht 1) kg Bestellnummern Pumpentyp ATH 163 M ATH 233 M Schnittstelle \ Flansch DN 2 ISO-F DN 2 CF-F DN 25 ISO-F DN 25 CF-F DN 25 ISO-F DN 25 CF-F Externe Antriebselektronik Y25621 Y25221 Y26621 Y26221 X26621 X26221 OBC V4 Profibus YN56215A YN52215A YN66215A YN62215A XN66215A XN62215A OBC V4 DeviceNet YL56215A YL52215A YL66215A YL62215A XL66215A XL62215A OBC V4 Remote YJ56215A YJ52215A YJ66215A YJ62215A XJ66215A XJ62215A Pumpentyp ATH 28 M ATH 32 M ATP 23 M Schnittstelle \ Flansch DN 25 ISO-F VG 25 DN 32 VG 35 DN 25 ISO-F DN 25 CF-F Externe Antriebselektronik U26621 U26A21 U2C621 U2DA21 T26621 T26221 OBC V4 Profibus TN66215A TN62215A OBC V4 DeviceNet TL66215A TL62215A OBC V4 Remote TJ66215A TJ62215A 3

31 Technische Daten Pumpentyp Einheit ATH 16 MT ATH 23 MT ATH 28 MT ATH 32 MT Anschlussnennweite Eingang DN 25 DN 25 DN 25 DN 32 Ausgang ISO-KF DN 4 DN 4 DN 4 DN 4 Saugvermögen für Stickstoff (N 2) l/s Helium (He) l/s Wasserstoff (H 2) l/s Argon (Ar) l/s Kompressionsverhältnis für Stickstoff (N 2) > > > > Helium (He) > > > > Wasserstoff (H 2) > > > > Argon (Ar) > > > > Max. Vorvakuumdruck für Stickstoff (N 2) hpa 2,2 2,8 2,1 2,1 Gasdurchsatz für Stickstoff (N 2) hpa l/s Helium (He) hpa l/s > 67 > 67 > 84 > 84 Wasserstoff (H 2) hpa l/s > 67 > 67 > 84 > 84 Argon (Ar) hpa l/s 2 25 > 37 > 37 Enddruck hpa < < < < Drehzahl 1/min Hochlaufzeit min < 6 < 8 < 1 < 1 Kühlart, Standard Wasser Wasser Wasser Wasser Kühlwasserverbrauch l/min 1, 1, 1, 1, Kühlwassertemperatur C Netzanschluss: Spannung V AC Leistungsaufnahme max. W Gewicht 1) kg ) Gewicht der Antriebselektronik 8 kg inklusive Weitere technische Daten und Zubehör finden Sie im Internet: Bestellnummern Pumpentyp ATH 16 MT ATH 23 MT Schnittstelle \ Flansch DN 2 ISO-F DN 2 CF-F DN 25 ISO-F DN 25 CF-F DN 2 ISO-F DN 25 ISO-F DN 25 CF-F Externe Antriebselektronik P65621 P65221 P66621 P66221 Q65621 Q66621 Q66221 OBC V4 Profibus PM56215A PM52215A PM66215A PM62215A QM56215A QM66215A QM62215A OBC V4 Remote PI56215A PI52215A PI66215A PI62215A QI56215A QI66215A QI62215A Pumpentyp ATH 28 MT ATH 32 MT Schnittstelle \ Flansch DN 25 ISO-F VG 25 DN 32 ISO-F VG 35 Externe Antriebselektronik U66621 U66A21 U6C621 U6DA21 Weitere Konfigurationen auf Anfrage. 31

32 VAKUUMLÖSUNGEN AUS EINER HAND Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. KOMPLETTES PRODUKTSORTIMENT Vom einzelnen Bauteil bis hin zum komplexen System: Wir verfügen als einziger Anbieter von Vakuumtechnik über ein komplettes Produktsortiment. KOMPETENZ IN THEORIE UND PRAXIS Nutzen Sie unser Know-how und unsere Schulungsangebote! Wir unterstützen Sie bei der Anlagenplanung und bieten erstklassigen Vor-Ort-Service weltweit. Sie suchen eine perfekte Vakuumlösung? Sprechen Sie uns an: Pfeiffer Vacuum GmbH Headquarters Germany T Irrtümer und/oder Änderungen vorbehalten. PT 191PDE (April 217/)