Aktive Schwingungsisolation (Halcyonics)

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Tomas Glöckner
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1 Oberflächenanalytik Aktive Schwingungsisolation

2 Aktive Schwingungsisolation (Halcyonics) Wir bieten Lösungen für schwingungsempfindliche Messgeräte Wir können nicht Ihre Messgeräte verbessern, aber wir bringen sie an Ihre Grenzen.

Aktive Schwingungsisolation: Die Technologie Die Technologie Die Last wird von Federn getragen, damit die Aktoren das Gewicht des ganzen Aufbaus nicht bewegen müssen.

3 Aktive Schwingungsisolation: Die Technologie Die Technologie Die Last wird von Federn getragen, damit die Aktoren das Gewicht des ganzen Aufbaus nicht bewegen müssen. Piezo-elektrische Sensoren messen die auftretenden Schwingungen, die das Messgerät erreichen. Das Sensorsignal wird in der Elektronik in ein Gegensignal umgewandelt Electromagnetische Aktoren übertragen das Gegensignal und wirken so weitgehend gegen die eingehende Schwingung 6 jeweils zueinander um 90 Grad verkippte Sensor/Aktor Paare erlauben eine Schwingungsisolation in allen 6 Freiheitsgraden.

4 Anwendungen aktive Schwingungsisolation Schwingungsisolation für schwingungsempfindliche Messgeräte Beispiele: Atomic force microscopy Scanning Electron Microscopy (SEM) Ellpisometry Imaging Confocal microscopy Inverse Microscopy Patch clamping Nanoindenter and many more

5 Oberflächenanalytik (Nanofilm) Abbildende Ellipsometrie : Wir bieten Lösungen zur Untersuchung von ultradünnen Schichten. Unser Spezialgebiet: Schichtendicken im Nanometerbereich bei einer Ortsauflösung von bis zu 1 Mikrometer.

6 Abbildende Ellipsometrie: Die Technologie Abbildende Ellipsometrie ist eine Kombination aus Nullellipsometrie und Mikroskopie. Ellipsometrie misst üblicherweise Schichtdicken und Brechungsidizes. Ellipsometrie misst die Veränderung des Polarisationszustandes durch die Reflektion des Lichtes an dem zu messenden (beschichteten) Substrat. p E p s E s ( Paul Drude, Lehrbuch der Optik, Leipzig, 1906 )

7 ( Paul Drude, Lehrbuch der Optik, Leipzig, 1906 )

8 Abbildende Ellipsometrie: Anwendungen strukturierte dünne Schichten transparente Substrate Kleine Proben Microarrays Y Y Y

9 Anwendungen Oberflächenanalytik Oberflächenanalytik für ultradünne Schichten Beispiele: Organic sensors ( storage Functional surfaces (Optics, Data Surface chemistry ( OLED Display technology (LCD, Microcontact printing Corrosion Polymer interfaces Biochips Protein interactions

10 Unternehmenshistorie 1991: - Gründung von Nanofilm als spin-off des Max-Planck-Institutes (MPI) für biophysikalische Chemie in Göttingen - ErstesProdukt: BrewsterAngleMicroscopeBAM1 1997: - Markteinführung des weltweit ersten abbildenden Ellipsometer: I-Elli : - Gründung von Halcyonics als Spezialist für Aktive Schwingungsisolation als spin-off von Nanofilm - MitinitiatorundGründungsmitgliedvon MeasurementValleye.V. 2000: - Gründung von Accurion USA als Vertriebsbüro für Nordamerika im Silicon Valley. 2002: - MarkteinführungdernächstenGerätegeneration abbildendesellipsometerep3 2004: - Markteinführung des weltweit ersten abbildenden spektroskopischen Ellipsometers ep3se 2008: - Insolvenz von Nanofilm und Übernahme des Geschäftsbetriebes durch Halcyonics 2009: - Halcyonics und Nanofilm werden Accurion 2010: - Gründung von Accurion India in Bangalore - Markteinführung einer neuen Gerätegeneration des Brewsterwinkel Mikroskopes: nanofilm_ultrabam 2012: - Gründung von Accurion China in Shanghai 2013: - Markteinführung der neuesten Gerätegeneration abbildendes Ellipsometer nanofilm_ep4

11 Allgemeines Stammsitz: Göttingen, Germany Zweigstellen: Accurion USA (Linthicum Heights, Maryland), 100 % Tochter der Accurion GmbH Accurion India (Bangalore), 99 % Tochter der Accurion GmbH Accurion China (Shanghai), 100 % Tochter der Accurion GmbH Zwei Produkt Linien, ein Team: Beide Produktbereiche teilen sich Kapazitäten in den Bereichen, Entwicklung, Produktion und Vertrieb. Die Zielmärkte der Produktbereiche haben eine interessante Überschneidung, obwohl der Markt für den Bereich der Oberflächenanalytik eher eine Nische ist. Entwicklung, Produktion und Infrastruktur: Die Entwicklung und Produktion aller Accurion Produkte erfolgt am Stammsitz in Göttingen. Accurion s Infrastruktur bietet eine gute und breite Entwicklungs- und Produktionstiefe. Soweit wie möglich werden regionale Zulieferer genutzt. Accurion stärkt sich durch regionale Kooperationen mit der Universität Göttingen, der HAWK und regionalen Unternehmen (wie z.b. Dikon).

12 Kontakt Accurion GmbH Stresemannstraße Göttingen Germany Phone: Fax: Web: Stephan Ferneding Chief Executive Officer (CEO) Phone: Marcus Liemen Chief Operating Officer Phone: Dr. Dirk Hoenig Chief Technology Officer Phone: sf@accurion.com ml@accurion.com dh@accurion.com

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