cemecon Die Beschichtungstechnologie cc800 /9

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1 cemecon Die Beschichtungstechnologie cc800 /9

2 Beschichtungsanlagen Von CemeCon Bewährte Qualität aus ÜBER 25 Jahren Erfahrung Diamantbeschichtungsanlagen im Zentrum Würselen 2

3 Die Beschichtungsanlage für Premiumbeschichtungen Superglatte, 100% dropletfreie PVD-Beschichtungen Bis zu 20 µm Multilayer-Diamantbeschichtungen Haftfeste Beschichtungen dank CemeCon Booster-Technologie Wirtschaftlich, schnell und zuverlässig Höchste Füllgrade für Zerspanwerkzeuge Für Hochpräzisionswerkzeuge in kleinen und großen Mengen Vollautomatischer Betrieb rund um die Uhr Bis zu 15 μm dicke PVD-Schichten abscheidbar Schneller und unkomplizierter Wechsel von einem Schichtsystem auf ein anderes in weniger als 30 Minuten Flexibel, alle PVD-Beschichtungen auf einer Maschine herstellbar Die Palette der Schichten umfasst Metalle, Übergangsmetalle, Oxide, keramische Materialien wie TiB 2 und B 4 C und DLC-Schichten Flexibel einsetzbar in Forschung und Entwicklung Sehr kompakte Bauweise Einfache Bedienung Zukunftssicher und upgradefähig 3

4 PArTnEr in DEr PrEMiUMBESCHiCHTUnG Mehr als 25 Jahre Pionier der Beschichtungstechnik Glatte, dropletfreie Beschichtungen für Werkzeuge und Bauteile in einzigartiger Materialvielfalt Multilayer-Diamantschichten mit höchster Härte Erfahrung aus 300 Beschichtungsanlagen weltweit Technologie- und Weltmarktführer für Zerspanwerkzeuge im Bereich der Diamantbeschichtung, Sputter- und HiPiMS-Technologie Größtes Beschichtungszentrum für Zerspanwerkzeuge weltweit mit über 40 Beschichtungsanlagen (in Würselen bei Aachen) Komplettes Lieferprogramm, vom Beschichtungsservice über Anlagen, Peripherie, Messtechnik bis hin zu schlüsselfertigen Beschichtungszentren innovative Turn-Key-Anlagenlösungen für die kundeneigene inhouse-fertigung DER EINFACHE WEG ZUR PREMIUMBESCHICHTUNG KUNDE Werkzeughersteller, Schleifbetriebe, Werkzeugbeschichter, Komponentenhersteller, Forschung und Entwicklung Servicepräsenzen in Europa, Amerika und Asien Kooperation mit über 30 Hochschulen und Forschungs partnern weltweit 4

5 INHouSe-lÖSuNG WERKZEUGE / BAUTEILE CemeCon PVD-Sputterbeschichtung glatteste Oberflächen ohne Droplets haftfest, reibungsarm, geringe Eigenspannung bis zu 15 µm dicke PVD-Schichten innovative Schichtwerkstoffe: * CemeCon Supernitride * CemeCon Powernitride Beschichtung von Mikrowerkzeugen BESCHICHTUNGEN CemeCon PVD-Sputteranlagen cc800 /9 ml 6(10) cc800 /9 Xl cc800 /9 HiPiMS cc800 /9 mlt 6(10) Support Turn-Key-Lösungen Workflow-Support Serviceprogramme Schulungen Technische Hotline 24h-Lieferung CemeCon CVD-Diamantbeschichtung BESCHICHTUNGS- ANLAGEN INHouSe-lÖSuNG patentierte Multilayer mit glatter Oberfläche haftfest und hochpräzise bis 20 µm hohe Härte nah am naturdiamanten innovative Schichtwerkstoffe: * CCDia -Serie CemeCon CVD-Diamantanlage cc800 /9 DIA Support Turn-Key-Lösungen Workflow-Support Serviceprogramme Schulungen Technische Hotline 24h-Lieferung 5

6 PVD-Sputterschichten von CemeCon Glatte, dropletfreie Beschichtungen für Zerspanwerkzeuge und Bauteile CemeCon ist seit 1986 Pionier und Weg bereiter bei der Entwicklung von Hartstoffbeschichtungen mit Hilfe der PVD-Sputtertechnologie. Beim Sputtern wird der zu verdampfende Werkstoff zur Schichtherstellung direkt vom festen in den gasförmigen Zustand überführt. Bei traditionellen Verfahren muss das Schichtmaterial aufgeschmolzen werden. Dabei bilden sich zwangsläufig Droplets, die als Fehlstellen den Schichtaufbau stören und zu einer sehr rauen Oberfläche führen. Beim Sputtern treten eben diese Droplets nicht auf. Alleinstellungsmerkmal der Sputtertechnologie ist die extrem glatte Oberfläche ohne Fehlstellen. Eine weitere Eigenschaft der Sputtertechnologie ist die deutlich reduzierte Eigenspannung in der Beschichtung. Dies ermöglicht die Abscheidung von AlTiN-Schichten bis zu einer Schichtdicke von 15 µm. Ein unschlagbarer Vorteil in allen Anwendungen, bei denen es auf großes Verschleißvolumen ankommt. Die in allen PVD-Anlagen integrierten Plasmabooster und die gepulste Substrat- BIAS-Technologie sorgen für eine sehr hohe Plasmaionisation. Eine gründliche und gleichzeitig schonende Reinigung sowie Aktivierung der Oberflächen und eine hervorragende Haftung der Beschichtung sind das Ergebnis. Während bei CemeCon DC-Sputteran - lagen im Scratchtest Haftungswerte um 100 Newton bereits Standard sind, erreicht die CemeCon HiPIMS-Technologie Scratchlasten von mehr als 130 Newton. Diese Werte sind bislang im Markt unerreicht. Extrem glatt: Im Gegensatz zu Droplets auf der Oberfläche bei anderen Verfahren (links) sind beim Sputter-PVD-Verfahren (rechts) die Oberflächen extrem glatt. i Sputtern ist enorm flexibel. Alle bekannten Beschichtungen lassen sich hiermit herstellen. Ob Metalle, Oxide, Nitride, Boride oder Carbide mit Sputtern ist nahezu jeder Schichtwerkstoff abscheidbar. Bei der Beschichtung gibt es vom kleinsten Mikrowerkzeug mit weniger als 0,1 Millimetern Durchmesser bis zum Wälzfräser oder zentnerschweren Bauteil kaum Grenzen. Dabei lassen sich sowohl elektrisch leitfähige als auch isolierende Schichten herstellen und das auf elektrisch leitfähigen wie auf isolierenden Substraten. Die meisten Beschichtungen werden bei Temperaturen von 250 bis 500 C hergestellt. Das gepulste Sputterverfahren ermöglicht zusätzlich Temperaturen unterhalb von 150 C. 6 PVD-Sputterschichten

7 CVD-Diamantschichten von CemeCon Patentierte Multilayer zur Zerspanung von Graphit, GFK/CFK/Composites Das härteste Material der Welt als Schichtwerkstoff für maximalen Verschleiß schutz beim Zerspanen von Graphiten, faserverstärkten Kunststoffen (Composites) und abrasiven NE-Metallen. Diamantbeschichtungen für Zerspanwerkzeuge und Bauteile werden seit vielen Jahren bei CemeCon mittels der CVD- Technologie hergestellt echte kristalline sp 3 -Diamanten mit einer Härte von nahezu Vickers. CemeCon hat hierfür bereits vor mehr als 20 Jahren das Hot-Filament-Verfahren zur Markt - reife entwickelt und liefert heute als Weltmarkt führer Diamantbeschichtungen und -technologien in die gesamte Welt. Beim Hot-Filament-Verfahren wird aus Gas Diamant erzeugt. In einer H 2 -C x H y - Gasatmosphäre wird im Vakuum der Kohlenstoff zu reinem, kristallinem Diamant umgewandelt. Dabei werden bis zu vier Karat Diamant pro Stunde erzeugt. Dieser kann je nach Anwendung als mikrokristalline, nanokristalline oder Multilayer-Schicht abgeschieden werden. Die vollautomatische Beschichtungstechnologie, gepaart mit einer optimal auf das Substrat angepassten Vorbehandlung, ermöglicht die Herstellung von Beschichtungen mit Schichtstärken von mehr als 20 µm und eine hervorragende Haftung. Die patentierte CemeCon Multilayer- Technik sorgt für eine maximale Stabilität mittels Verzahnen der einzelnen Lagen innerhalb der Beschichtungen. Mögliche Risse können sich nicht über die Layergrenzen hinaus ausbreiten. Durch ihre extrem hohe Härte mit bis zu HV 0,05 nah am Naturdiamanten sind alle Beschichtungen der Produktgruppe CCDia äußerst verschleißfest. Die Leistung von Schaftwerkzeugen und Wendeplatten aus Vollhartmetall wird durch eine CCDia -Beschichtung entscheidend erhöht. Die hohe Wärmeleitfähigkeit der Diamantbeschichtung sorgt dabei für eine rasche Wärmeabfuhr. Dies ist bei der Bearbeitung von temperaturempfindlichen Materialien wie CFK und GFK enorm wichtig und ermöglicht eine höhere Bearbeitungsgeschwindigkeit beim Zerspanen. Alle diese Eigenschaften machen die Schichtwerkstoffe der CCDia -Reihe zur ersten Wahl bei der Zerspanung von Graphiten, Composites, NE-Metallen, Grünlingen und Keramiken gemäß der VDI-Norm Es werden mehr und mehr Bauteile mittels einer Diamantbeschichtung veredelt. Diamant ist extrem hart und dabei kaum verformbar. Er ist chemisch inert gegen nahezu alle Medien, besitzt eine sehr niedrige Reibung und hohe Wärmeleitfähigkeit. Diese einzigartigen Eigenschaften eröffnen Diamantbeschichtungen stetig neue Anwendungsgebiete in unterschiedlichen Industriebereichen. Substrat Kristalline Diamantschicht Substrat Nanokristalline Diamantschicht Substrat Multilayer-Diamantschicht Quelle: Airbus CVD-Diamantschichten 7

8 Die hipims-sputter- Beschichtungsanlage Die CC800 /9 HiPIMS beschichtet Werkzeuge mit extrem harten, besonders zähen und oxidationsbeständigen Werkstoffen für das Bearbeiten z. B. von Edelstahl, Titan oder nickel-basis-legierungen. Für diese schwerzerspanbaren Materialien ist sie mit der aktuellsten, von CemeCon patentierten, HiPiMS-Technologie ausgestattet. Dabei sorgt die hohe Metallionisation nahe 100 Prozent für beste Haftung der Beschichtung. Schichthaftungsprüfungen wie der Scratchtest belegen Lasten von über 130 newton. Zusätzlich ermöglicht sie eine geschlos sene, homogenere Schichtverteilung auf komplexen 3D-Geometrien sowie dank hoher Abscheideraten bis zu 2,5 µm in der Stunde sehr kurze Prozesszeiten. Sechs einzeln steuerbare Sputterkathoden sorgen für höchste Flexibilität. Die CC800 /9 HiPiMS ist bestens geeignet für die Beschichtung von Werkzeugen im industriellen Maßstab. Alle vorhandenen Sputterbeschichtungen können abgeschieden werden. natürlich sind alle Schichten der CC800 /9 HiPiMS absolut glatt und dropletfrei. 8 HiPiMS-Sputter-Beschichtungsanlage

9 CC800 /9 HiPIMS Beschichtungsraum, Ø x h [mm] Ø400 x 400 Substrattisch, Ø x Ø Satelliten x Anzahl Satelliten [mm], Stück Ø400 x Ø130 x 6 Schnellwechseltisch optional Sputterkathoden Stück, [mm] 6 x 500 HiPIMS High Power Impulse Magnetron Sputtering Kathoden Maximale Substratabmessungen, Ø x h [mm] Ø400 x 800 Kapazität Bohrer, Ø6 mm x 60 mm Stück Kapazität WSP, 12,7 mm x 3,5 mm Stück Beladung [kg] 250 Zykluszeit für 3 µm HPN1* [h] 4,5 HiPIMS BIAS DC Prozessverfahren Substratvorbehandlung (Plasmaätzen) HiPIMS und Sputtern mit Booster-Technologie. Alle etablierten CemeCon Schichten sind möglich. Booster-, MF- und HiPIMS-Ätzen HiPIMS DC Puls elektrisch leitende Schichten ja elektrisch nicht leitende Schichten ja elektrisch nicht leitende Substrate ja Anschlussleistung [kw] 80 Stromverbrauch pro Charge für 3 µm HPN1* [kwh] 120 Aussenabmessungen (b x l x h) [mm 3 ] x x Gewicht leer [kg] ~ * Auf einem 10 mm Fräser Homogene Schichtdickenverteilung an der Schneidkante BESCHICHTUNGSVOLUMEN 400 mm 400 mm 130 mm 700 mm 130 mm 130 mm 400 mm 650 mm 650 mm ML 6 ML 10 XL HiPIMS-Sputter-Beschichtungsanlage 9

10 DiE DC-SPUTTEr- Beschichtungsanlage CemeCon Beschichtungsanlagen mit DC-Sputter-Technologie sind besonders flexibel und universell einsetzbar. Seit vielen Jahren bilden sie das rückgrat vieler Werkzeugbeschichtungen weltweit. Je nach den geforderten Stückzahlen stehen die Varianten ML und XL zur Verfügung. Beide beschichten einfach und schnell mit allen nitridischen, boridischen und kohlenstoffbasierten Werkstoffen. Zusatzmodule ermöglichen weitere individuelle Anpassungen. Die CC800 /9 Ml ist die wirtschaftliche Anlage für mittlere Stückzahlen und häufige Chargen- und Schichtwerkstoffwechsel. Mit dem optionalen Flex-Modul kann ihre Kapazität zudem einfach erweitert und schnell an aktuelle Auftragslagen angepasst werden. Aufgrund ihrer hohen Flexibilität hat sich die CC800 /9 ML-Baureihe sehr in der Forschung und Entwicklung bewährt. Die modulare, offene Bauweise ermöglicht es, die Anlage mit vielen Erweiterungen und Optionen wie Messgeräten auszustatten. Unter anderem kann sie bei Bedarf mit HiPiMS- oder Puls-Modulen ausgerüstet werden. Für hohe Stückzahlen oder große Bauteile hat CemeCon die CC800 /9 Xl entwickelt. Bei gleichen Außenabmessungen wie das ML-Modell verfügt sie über ein wesentlich größeres Beschichtungsvolumen. So beschichtet sie Bohrer oder Wendeplatten sowie Werkzeuge bis 800 Millimeter Länge und 650 Millimeter Durchmesser in einem Arbeitsgang. Der elektrohydraulisch betriebene Schnellwechseltisch erlaubt das schnelle Be- und Entladen ganzer Werkzeugchargen. 10 DC-Sputter-Beschichtungsanlage

11 beschichtungsraum, Ø x h Substrattisch, Ø x Ø Satelliten x anzahl Satelliten Schnellwechseltisch [mm] [mm], Stück CC800 /9 Ml 6 (10) CC800 /9 Xl Ø650 x 700 Ø650x Ø130 x 10 Ø400 x 400 (Ø650 x 400) Ø400 x Ø130 x 6 (Ø650 x Ø130x10) mechanisch oder elektrohydraulisch elektrohydraulisch Sputterkathoden Stück, [mm] 4 x x 800 DC-MaGNetroN-SPutterN Kathoden Maximale Substratabmessungen, Ø x h [mm] Ø400 x 800 (Ø650 x 800) Ø650 x 800 Dc Kapazität bohrer, Ø6 mm x 60 mm Stück (3.000) Kapazität WSP, 12,7 mm x 3,5 mm Stück (8.200) bias beladung [kg] 250 (500) 500 Zykluszeit für 3 µm Hyperlox * [h] 5 6 Prozessverfahren Sputtern mit Boostertechnologie Sputtern mit Boostertechnologie Dc Puls Substratvorbehandlung (Plasmaätzen) Booster- und MF-Ätzen Booster- und MF-Ätzen elektrisch leitende Schichten ja ja elektrisch nicht leitende Schichten nein nein elektrisch nicht leitende Substrate nein nein anschlussleistung [kw] Stromverbrauch pro Charge für 3 µm Hyperlox * [kwh] aussenabmessungen (b x l x h) [mm 3 ] x x x x Gewicht leer [kg] ~ * Auf einem 10 mm Fräser ALOX SN 2 -Beschichtung mit 12,5 µm Schichtdicke beschichtungsvolumen 700 mm 400 mm 130 mm 400 mm 130 mm 130 mm 400 mm 650 mm 650 mm Ml 6 Ml 10 ccc800 /9 Ml Xl CC800 /9 Xl DC-Sputter-Beschichtungsanlage 11

12 DiE PULS-SPUTTEr- Beschichtungsanlage Die CC800 /9 Mlt ist die Empfehlung für die Beschichtung von Bauteilen, Formen, Stempeln und Werkzeugen mit tribologischen Beschichtungen wie DLC bei niedrigen Temperaturen bis 150 C. Sie ist hervorragend geeignet für die Beschichtung von elektrisch nichtleitenden Substraten. Zusätzlich können viele konventionelle Hartstoffbeschichtungen wie TiAln, AlTin etc. abgeschieden werden. Mit Hilfe des gepulsten Plasmas ist es möglich, bereits bei niedrigen Temperaturen hohe Abscheidegeschwindigkeiten zu erzielen. Hierdurch ist die CC800 /9 MLT hervorragend geeignet für die wirtschaftliche Beschichtung von mittleren und großen Serien. Die eingebauten Plasmabooster sowie der gepulste BiAS führen zu einer hohen Plasmaionisation und damit einer sehr guten Haftung bereits bei niedrigen Substrattemperaturen. Diese lassen sich im Bereich von 150 c bis 450 C einstellen. Wie alle CemeCon-Sputteranlagen liefert die CC800 /9 MLT glatte, dropletfreie Beschichtungen für makellose Oberflächen. 12 Puls-Sputter-Beschichtungsanlage

13 CC800 /9 Mlt 6 (10) beschichtungsraum, Ø x h [mm] Ø400 x 400 (Ø650 x 400) Substrattisch, Ø x Ø Satelliten x anzahl Satelliten [mm], Stück Ø400 x Ø130 x 6, (Ø650 x Ø130 x 10) PulS MaGNetroN SPutterN Schnellwechseltisch mechanisch oder elektrohydraulisch Kathoden Sputterkathoden Stück, [mm] 4 x 500 Maximale Substratabmessungen, Ø x h [mm] Ø400 x 800 (Ø650 x 800) Kapazität bohrer, Ø6 mm x 60 mm Stück (3.000) Kapazität WSP, 12,7 mm x 3,5 mm Stück (8.200) beladung [kg] 250 (500) Zykluszeit [h] prozessabhängig bias Puls Prozessverfahren Sputtern mit bipolarem Pulsen Substratvorbehandlung (Plasmaätzen) Booster- und MF-Ätzen Dc Puls elektrisch leitende Schichten ja elektrisch nicht leitende Schichten ja elektrisch nicht leitende Substrate ja anschlussleistung [kw] 60 Stromverbrauch pro Charge [kwh] prozessabhängig aussenabmessungen (b x l x h) [mm 3 ] x x Gewicht leer [kg] ~ PKW-Bauteil mit DLC-Beschichtung beschichtungsvolumen 700 mm 400 mm 130 mm 400 mm 130 mm 130 mm 400 mm 650 mm 650 mm Ml 6 Ml 10 Xl Puls-Sputter-Beschichtungsanlage 13

14 DiE DiAMAnT- Beschichtungsanlage Glatt, haftfest und widerstandsfähig dank Multilayer-Diamantbeschichtung Werkzeuge für die Bearbeitung von faserverstärkten Kunststoffen, Graphiten oder abrasiven nichteisenmetallen beschichtet die CC800 /9 DIa mit dem härtesten Schichtwerkstoff der Welt echte Diamantkristalle. Mit der CC800 /9 DiA lassen sich extrem glatte und besonders haftfeste nanokristalline, kristalline oder Multilayer- Diamantschichten vollautomatisch auf über 80 verschiedenen Hartmetallsorten abscheiden. Dank des verwendeten Hot-Filament-Verfahrens erhalten auch komplexe dreidimensionale Werkzeuge und Bauteile eine besonders homogene Schichtdickenverteilung mit engen Toleranzen. Trotz ihrer kompakten Außenabmessungen verfügt die CC800 /9 DIa über das größte Fassungsvermögen vollautomatischer Anlagen für Diamantbeschichtungen am Markt. Drei unabhängig arbeitende Beschichtungskammern machen sie dabei besonders flexibel und wirtschaftlich. 14 Diamant-Beschichtungsanlage

15 Beschichtungsraum, Anzahl x (b x t x h) [mm 3 ] CC800 /9 DIA 1 x (740 x 360 x 30) oder 3 x (50 x 560 x 70) Hot-Filament-Diamantbeschichtungsanlage Maximale Substratabmessungen, Ø x h [mm] Werkzeuge 30 x 500 Beladung [kg] 250 Filamente Prozessverfahren Hot-Filament elektrisch leitende Schichten ja elektrisch nicht leitende Schichten elektrisch nicht leitende Substrate ja ja Horizontal Vertikal Anschlussleistung [kw] 90 Aussenabmessungen (b x l x h) [mm 3 ] x x Gewicht leer [kg] Diamantbeschichtete Dichtung ø330mm Flugzeugflügel aus Composites, Bohren und Reiben der Nietlöcher mit diamantbeschichteten Werkzeugen Diamantbeschichtete Elektroden, bis 550mm x 250mm Diamant-Beschichtungsanlage 15

16 Schlüsselfertige Inhouse-Beschichtungsanlagen Beschichtungskompetenz im eigenen Haus als Wettbewerbsvorteil CemeCon beschichtet selbst. Jeden Tag. Und das im weltweit größten Beschichtungszentren für Zerspanwerkzeuge. Diesen Erfahrungsschatz und die bewährten CemeCon Schichten integriert eine Turn- Key-Lösung in Ihre Fertigung. Bei Zerspanwerkzeugen ist es heute oft die Beschichtung, die den entscheidenden Wettbewerbsvorteil ausmacht. Der Zugewinn an Kompetenz durch Integration einer eigenen Beschichtungsanlage gewährleistet Ihnen volle Kontrolle über Ihr Produkt und bietet Flexibilität und Reaktionsschnelligkeit. Das Komplettpaket aus Beschichtungsanlage, Substratvorbehandlung und Peripherie deckt den gesamten Workflow ab. Diese Einheit aus Anlagentechnik und erprobtem Prozess macht Ihnen den Einstieg in die eigene Beschichtungstechnik leicht. Mit der Erfahrung aus 300 gebauten Anlagen übernimmt CemeCon als Projektpartner die Verantwortung für die Erstellung Ihrer individuellen Turn-Key-Lösung. Das Serviceteam führt die Zeit-, Raum- und Anschlussplanung aus, klärt länderspezifische Details, unterstützt bei der Zusammenarbeit mit öffentlichen Behörden und liefert eine produktionsbereite Beschichtungsfabrik. Sie profitieren von der kontinuierlichen Schichtentwicklung durch CemeCon das Entwicklungsteam unterstützt Sie jederzeit bei zukünftigen Anwendungen. Der durchgehende Betrieb der Anlagen wird durch umfassende Support- und Servicedienstleistungen gewährleistet. 16 Inhouse-Beschichtungsanlagen

17 Beschichtungszentrum für Bauteile und Werkzeuge bei der Fa. Wolf, Bruchmühlbach Drei Gründe für eine schlüsselfertige beschichtungslinie von CemeCon Bekannte und bewährte Schichtrezepte aus der CemeCon Lohn beschichtung auf erprobten Beschichtungsanlagen. Ein individuell abgestimmter Fertigungsprozess, der effiziente und schnelle Produktionsdurchläufe garantiert. Service von Anfang an: CemeCon übernimmt Planung und Aufstellung aller Maschinen und Komponenten. Beschichtung, Substrat und Geometrie aufeinander abgestimmt aus einer Hand machen das perfekte Werkzeug aus. nutzen Sie die eigene Beschichtungstechnologie zu ihrem Vorteil! CC800 /9: hochwertig beschichten, einfach und effizient Die Anlagenserie CC800 /9 von CemeCon umfasst modular aufgebaute Modelle für die glatten und dropletfreien PVD-Sputterund HiPiMS-Beschichtungen als auch für die superharten CVD-Diamantschichten. Alle verbinden Premiumqualität bei maximaler Leistung im kompakten Design. vollautomatische Prozesssteuerung grafische Benutzeroberfläche volle internetanbindung flexible Auslegung für alle verfügbaren Schichten offen für zukünftige Werkstoffe CemeCon berät kundenindividuell und bietet angepasste Lösungen für nahezu jede Bauteilgröße sowie alle Stückzahlen. Ob bei Werkzeugherstellern, Lohnbeschichtern oder in Forschung und Entwicklung, jeder Kunde erhält eine auf seine Bedürfnisse ausgelegte Turn-Key- Komplettlösung inklusive der vollständigen Peripherie: Vor- und nachbehandlungstechnik, reinigungs-, Kälte- und Druckluftanlagen sowie Prüfgeräte. Alle Komponenten werden in ihre Fertigungsprozesse und infrastruktur integriert und vorhandene Maschinen sinnvoll genutzt. Die CemeCon Lohnbeschichtung ist der ideale Ort, um ihre Mitarbeiter intensiv am gewählten Anlagenmodell und an den auf die Anwendungen angepassten und qualifizierten Beschichtungsprozessen zu schulen. Vor Ort weisen Techniker in die einfache Bedienung der neuen Beschichtungsanlage ein. So haben Sie die Gewissheit, die ersten beschichteten Werkzeuge sofort nach der Aufstellung aus ihrer inhouseanlage liefern zu können. Weltweit verfügbarer 24/7 Support für Maschinenkunden i inhouse-beschichtungsanlagen 17

18 PEriPHEriE UnD ZUBEHÖr OPTiMAL AUFEinAnDEr ABGESTiMMT Die Qualität von Beschichtungen hängt vom optimalen ineinandergreifen aller erforderlichen Prozessschritte ab. Darum bietet CemeCon alle Komponenten für ein vollständiges inhouse-beschichtungszentrum aus einer Hand perfekt aufeinander abgestimmt. Der CemeCon-Vorteil: Zubehör und alle Komponenten, Maschinen und Prozesse zur Vor- und nachbehandlung sowie zur Qualitätskontrolle werden immer individuell auf die Kundenanforderungen und die bereits vorhandene infrastruktur angepasst. Strahl- und reinigungsanlagen Eine bestmögliche Substratvorbereitung gewährleisten CemeCon Strahlund reinigungsanlagen. Strahlanlagen befreien Werkzeuge von Kobaltaufschmierungen, losen WC-Körnern, Graten und Schleifbrand. Bei Bedarf lässt sich die Schneidkantenpräparation optimieren. reinigungsanlagen entfernen Verunreinigungen schonend und restlos. Das Portfolio reicht jeweils von manuellen Anlagen für kleinere oder mittlere Fertigungszahlen bis zu vollautomatischen Anlagen für große Beschichtungszentren. Über die rückgewinnung der Strahl- und reinigungsmittel arbeiten alle Lösungen besonders umweltfreundlich und wirtschaftlich. Kühlanlagen Kühlanlagen führen die beim Beschichten entstehende Wärme ab und sorgen so für die nötige Prozesssicherheit. CemeCon bietet zuverlässige, kompakte und energiesparende Kühlanlagen für jede Anlagengröße und Beschichtungstechnologie. targets Strahlanlage Qualitätskontrolle CemeCon Targets garantieren dank eines Spezialbondingverfahrens höchste Qualität und Prozesssicherheit. Sie sind optimal auf die Beschichtungsprozesse abgestimmt und sind aufgrund der Stopfentechnologie in einer großen Materialauswahl verfügbar. Für eine umfassende Qualitätskontrolle beim Warenein- und -ausgang bietet CemeCon für jeden Anspruch passende Prüfgeräte: Aus Kalotten schleifgeräten, rockwelltestern, Mikroskopen und impacttestern lassen sich maß geschneiderte Qualitätssicherungs pakete schnüren. 18 Peripherie und Zubehör

19 BESCHICHTUNGSANLAGEN IM ÜBERBLICK CC800 /9 ML 6 (10) CC800 /9 XL CC800 /9 HiPIMS CC800 /9 MLT 6 (10) CC800 /9 DIA Beschichtungsraum, Ø x h* [mm] Ø400 x 400 (Ø650 x 400) Ø650 x 700 Ø400 x 400 Ø400 x 400 (Ø650 x 400) 1 x (740 x 360 x 30) oder 3 x (50 x 560 x 70) Substrattisch, Ø x Anzahl Satelliten [mm], Stück Ø400 x Ø130 x 6 (Ø650 x Ø130 x 10) Ø650 x Ø130 x 10 Ø400 x Ø130 x 6 Ø400 x Ø130 x 6 (Ø650 x Ø130 x 10) anwendungsabhängig Schnellwechseltisch mechanisch oder elektrohydraulisch elektrohydraulisch optional mechanisch oder elektrohydraulisch Sputterkathoden Stück, [mm] 4 x x x x 500 Filamente Maximale Substratabmessungen, Ø x h [mm] Ø400 x 800 (Ø650 x 800) Ø650 x 800 Ø400 x 800 Ø400 x 800 (Ø650 x 800) Werkzeuge Ø30 x 500 Kapazität Bohrer, Ø6 mm x 60 mm Kapazität WSP, 12,7 mm x 3,5 mm Stück (3.000) (3.000) prozessabhängig Stück (8.200) (8.200) prozessabhängig Beladung [kg] 250 (500) (500) 250 Zykluszeit für 3 µm Hyperlox SN 2 ** [h] 5 6 4,5 (HPN1) prozessabhängig prozessabhängig Prozessverfahren Sputtern mit Booster Technologie Sputtern mit Booster Technologie HiPIMS und Sputtern mit Booster-Technologie. Alle etablierten CemeCon Schichten sind möglich. Sputtern mit bipolarem Pulsen Hot-Filament Substratvorbehandlung (Plasmaätzen) Booster- und MF- Ätzen Booster- und MF- Ätzen Booster-, MF- und HiPIMS-Ätzen Boosterund MF-Ätzen elektrisch leitende Schichten elektrisch nicht leitende Schichten elektrisch nicht leitende Substrate ja ja ja ja ja nein nein ja ja ja nein nein ja ja ja Anschlussleistung [kw] Stromverbrauch pro Charge für 3µm Hyperlox ** [kwh] prozessabhängig prozessabhängig Aussenabmessungen (b * l * h) [mm 3 ] x x x x x x x x x x Gewicht leer (kg) ~ ~ ~ * CC800 /9 DIA: Beschichtungsraum, Anzahl x (b x t x h) ** Auf einem 10 mm Fräser Beschichtungsanlagen im Überblick 19

20 DEUTSCHLAND USA CHINA TSCHECHIEN DÄNEMARK INDIEN JAPAN KOREA TAIWAN RUSSLAND CemeCon ag Tel.: CemeCon Inc. Tel.: baoding tianwei CemeCon Coating technology Co. ltd. Suzhou Tel.: Peking Tel.: CemeCon s.r.o. Tel.: CemeCon Scandinavia a/s Tel.: M+V Marketing & Sales Pvt. ltd. Kontakt: Manish Adwani Tel.: Correns Corporation Kontakt: Shigeru Kuroda Tel.: japan@cemecon.com JetztKorea ltd. Kontakt: Hong-Silk Cho Tel.: korea@cemecon.com DKSH taiwan ltd. Kontakt: Vincent Chu Tel.: taiwan@cemecon.com Zao rosmark-steel Kontakt: ilya Mozgov Tel. +7 (812) mozgov@rosmark.ru Herausgeber CemeCon ag Adenauerstr. 20 a Würselen