Schlagworte: Lasersintern, Lasermikrosintern, Micro Cladding, gepulste Laserstrahlung, Cermet, Hochrate

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1 Laser in der Elektronikproduktion & Feinwerktechnik Tagungsband: LEF 2014 Hrsg.: M. Schmidt, S. Roth, T. Stichel Meisenbach Bamberg D Microprint von Metallen mit Laserstrahlung verfügbare Technologien R. Ebert 1, F. Ullmann 2, S. Gronau Laserinstitut Hochschule Mittweida / LIM Laserinstitut Mittelsachsen GmbH A. Streek, M. Horn, M. Erler, L. Hartwig, U. Löschner, H. Exner 3 Laserinstitut Hochschule Mittweida Zusammenfassung Das 3D Drucken von Metall im Mikrobereich ist mit den beiden Verfahren Lasermikrosintern und Micro Cladding bereits industrienah möglich. Dabei erfordert aber jede Anwendung die Ermittlung des am besten geeigneten Pulvers sowie die Anpassung der Baustrategie an die individuellen Erfordernisse des Bauteiles. Es kann eine breite Palette an metallischen Pulvern und Gemischen verarbeitet werden. Die Eigenschaften der Teile können lateral (Dichte) und vertikal (Material, Dichte) variiert werden. Schlagworte: Lasersintern, Lasermikrosintern, Micro Cladding, gepulste Laserstrahlung, Cermet, Hochrate Dipl.-Physiker Robby Ebert: Projekt Manager Laserinstitut Hochschule Mittweida und Geschäftsführer LIM Laserinstitut Mittelsachsen GmbH, Technikumplatz 17, Mittweida, ebert@htwm.de, URL: Dipl.-Ing. (FH) Frank Ullmann: Entwicklungsingenieur am Laserinstitut Hochschule Mittweida und an der LIM Laserinstitut Mittelsachsen GmbH, Technikumplatz 17, Mittweida, ullmann@htwm.de, URL: Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. Horst Exner: Direktor Laserinstitut Hochschule Mittweida, Technikumplatz 17, Mittweida, exner@htwm.de, URL:

2 2 R. Ebert at al. 1 Einleitung Die Begriffe 3D Drucken oder 3D Printing sind innerhalb kurzer Zeit zum Synonym für das schnelle Herstellen von kompliziert geformten Teilen nach einer digitalen Vorgabe der äußeren Form geworden, meist kommt als Datenformat STL zum Einsatz. Dazu haben wesentlich die Verfahren Fused Deposition Modeling (FDM) und Digital Light Processing Modeling (DLPM) beigetragen, die sich durch eine extreme Verringerung der Investitionskosten derzeit massenhaft verbreiten. Mit den Verfahren lassen sich 3D Kunststoffteile z.t. in sehr hoher Präzision und Auflösung (DLPM) preiswert drucken. Dies wird zum allgemeinen Verständnis der neuen Einsatzmöglichkeiten der 3D Druckverfahren führen. Infolge ist damit zu rechnen, dass Konstrukteure zunehmend die neuen Möglichkeiten von 3D Formen, die sich ausschließlich durch 3D Drucken herstellen lassen, nutzen werden. Alle 3D Druckverfahren müssen sich zukünftig diesem Erfolgsdruck stellen. Im Kunststoffbereich existiert bereits eine unüberschaubare Vielzahl von 3D Druckverfahren. Bei Keramik und Metall ist das noch nicht so. Für Metall sind bisher nur die Verfahren Selektives Lasersintern (SLS), Selektives Laserschmelzen (SLM) und Lasergenerieren relevant. Die früher übliche Zuordnung zu Rapid Prototyping suggeriert, dass diese Verfahren nur für kleine Stückzahlen eingesetzt werden können. Das hat sich spätestens seit der massenhaften Erzeugung von Zahnkäppchen mit SLM gewandelt. Die Verfahren entwickeln sich zu Produktionsverfahren, bei sehr kleinen Teilen auch zu Massenproduktionsverfahren. Für das 3D Mikrodrucken von Metall wird am Laserinstitut Hochschule Mittweida seit 2001 das Lasermikrosinterverfahren untersucht und ständig weiterentwickelt. In der Zeit sind zahlreiche spezielle Technologievarianten und Kombinationen daraus entstanden. Zum 2,5D Drucken auf beliebig geformten Oberflächen ist das Micro Cladding Verfahren geeignet. Als Besonderheit werden bei beiden Verfahren Laserpulsdauern kleiner als eine Mikrosekunde und Scanner zur schnellen Strahlablenkung eingesetzt. Allen 3D Druckverfahren ist gemein, dass es sich um Schichtbauverfahren handelt. 2 Lasermikrosintern 2.1 Grundlagen Das Lasermikrosinterverfahren wurde geometrisch vom makroskopischen SLS Verfahren abgeleitet. Der Ablauf ist der Gleiche: es werden sukzessive Pulverschichten gerakelt und jeweils selektiv mit Laserstrahlung entsprechend der geslicten Kontur des 3D Körpers beaufschlagt. Für den Innenbereich werden entsprechende Schraffur-Muster angewandt. Dabei werden die bestrahlten Bereiche gesintert oder geschmolzen.

3 3D Microprint von Metallen mit Laserstrahlung verfügbare Technologien 3 Zur Erhöhung der Auflösung des Lasersinterverfahrens bis in den Mikrobereich wurden zunächst der Fokusdurchmesser des Laserstrahles, der Pulverkorndurchmesser und die Schichtdicke des gerakelten Pulvers entsprechend verkleinert. Dabei stellte sich heraus, dass die Schüttdichte des Pulvers mit kleiner werdenden Korngrößen überproportional abnahm bis zu Werten unter 10%. Beim makroskopischen SLS werden Werte über 50% erreicht. Gleichzeitig kam es bei sehr kleinen Pulverpartikeln mit Durchmessern unter 1 µm zur Bildung von festen Agglomeraten mit Abmessungen größer 10 µm. Dies führte zu einer schlechten Rakelbarkeit des feinen Pulvers mit normalen geraden Klingen und zu ungenügender Vernetzung der Schmelze mit cw-laserstrahlung. Die Lösung fand sich in einer kleinen Ringrakel (patentiert) mit einem Durchmesser bis maximal 35 mm, angepassten Rakelprozeduren sowie der Verwendung von kurzen Laserpulsen im ns-bereich, die durch Rückstoßeffekt und Plasmadruck zu einer guten vertikalen Vernetzung der bestrahlten Bereiche führten [1, 2]. Die neuartige Verfahrensvariante wurde Lasermikrosintern genannt. Die Intensität im Laserfokus musste dabei so eingestellt werden, dass es zu einer geringfügigen Verdampfung der Pulveroberfläche kam, die Pulslänge wiederum musste so bemessen sein, dass die Pulsenergie ausreichte, um einen Mikro-Schmelzpool zu erzeugen. Durch Variation von Fokusdurchmesser und Pulsenergie konnte der Prozess an die verschiedenen metallischen Pulvermaterialien angepasst werden. Die Pulslänge lag bei ns. Das Verfahren kann technisch sowohl in einer Vakuumkammer unter Vakuum oder Schutzgas als auch an Luft ausgeführt werden. Dies hängt von den verwendeten Materialien und Pulverkorngrößen ab [2]. 2.2 Technologie mit nicht überlappenden Laserpulsen Besonderheiten Durch die geringe Schüttdichte des feinen Pulvers wurde bei der Bestrahlung mit einem Laserpuls ein relativ großes Volumen an Pulver verbraucht. Bei einer Schüttdichte von 10% war es mindestens das zehnfache Volumen gegenüber dem erzeugten Schmelzpool. Deshalb erwies es sich als vorteilhaft, die Laserpulse geometrisch so weit auseinanderzulegen, dass der nächste Laserpuls in ein unbestrahltes Gebiet der Pulveroberfläche traf. Als praktikabler Wert stellte sich ein Abstand von 75 µm heraus. Damit wurde eine gute vertikale Vernetzung erreicht. Die laterale Vernetzung erfolgte durch mehrfache Bestrahlung der Pulveroberfläche und eine quasi-stochastische geometrische Verteilung der Pulse. Im Mittel wurde die Pulveroberfläche somit vollständig bestrahlt. Die Technologie hat Vor- und Nachteile: mit der Variation der mittleren geometrischen Pulsdichte lässt sich die Dichte des erzeugten Volumenkörpers zwischen 40 und 90% variieren. Eine Dichte von nahezu 100% konnte mit einkomponentigem Pulver jedoch nicht erreicht werden. Die Begrenzung der Konturen wurde durch die quasi-stochastische geometrische Verteilung der Pulse

4 4 R. Ebert at al. besser als es der große geometrische Abstand der Laserpulse vermuten ließ. Es entstanden Bauteile mit guter Kantenausbildung. Selbst bei größeren Bauteilen mit Längen über 20 mm wurde kein Verzug festgestellt. Zwei- oder mehrkomponentige Pulver konnten mit der Technologie ebenfalls gut verarbeitet werden. Die Komponenten wurden nicht entmischt. Bei Gemischen aus Wolfram und Kupfer sowie Wolfram und Aluminium wurden Bauteildichten von 95% erreicht [1] Beispiele Mit nicht überlappenden Laserpulsen wurde bereits 2003 ein erstes Funktionsteil aus Wolfram-Nanopulver (Partikelgröße < 1µm) generiert (Bild 1) [1]. Es wurde dazu eine Rakelschichtdicke von 1 µm unter Schutzgas realisiert. Der geometrische Pulsabstand betrug 75 µm, pro Schicht fanden 8 Überfahrten statt. Mit einer Pulsfrequenz von 30 khz betrug die Bauzeit ca. 30 Stunden. Mit derselben Technologie wurden infolge zahlreiche weitere Miniaturwerkzeuge aus Wolfram oder Wolframgemischen erzeugt. Alle waren spannungs- und somit verzugsfrei. Bild 1: erstes Funktionsteil aus Wolfram, Größenvergleich mit Streichholz 2.3 Technologie mit überlappenden Laserpulsen Besonderheiten Um Bauteile mit einer hohen Dichte aus einkomponentigem Pulver erzeugen zu können, war es notwendig, die Laserpulse geometrisch überlappen zu lassen, damit die Schmelzpools untereinander ohne Lücken angebunden sind. Zur Bereitstellung von genügend Pulvermasse wurde das Pulver dazu in der Bauplattform verdichtet. Es konnten Schüttdichten über 30% erreicht werden [3]. Die Materialdichte der generierten Teile betrug bei der Technologievariante nun über 97%. Durch die hohe Dichte konnten sich allerdings im Bauteil bei ungünstigen geometrischen Formen auch Spannungen aufbauen. Die Auflösung betrug ca. 25 µm.

5 3D Microprint von Metallen mit Laserstrahlung verfügbare Technologien Beispiele Es wurde die Konstruktion eines Turboladers für den Automobilbereich um den Faktor 40 verkleinert und das komplexe mehrteilige Gebilde aus Molybdänpulver generiert [3]. Die Bauhöhe betrug lediglich 5 mm. Die Mikro Turbinenflügel mit einer Dicke von unter 50 µm sind voll ausgebildet (Bild 2). Eine hochauflösende Nano CT Aufnahme zeigte porenfreies Material und somit die hohe Baudichte. Die 3D Darstellung lies weiterhin darauf schließen, dass alle internen Komponenten in höchster Auflösung vollständig erzeugt wurden. Auch der für die Funktion des Lagers wichtige Abstand zwischen dem Gehäuse und der inneren Welle, welche die Turbinenflügel trägt, wurde realisiert. Bild 2: Mikroturbolader aus Molybdän, Detail Turbinenflügel (Maßstab 100 µm) Interessant ist auch die Möglichkeit, sehr dünne Wände in beliebigen Formen vertikal anzuordnen. Realisiert wurde eine Wabenstruktur aus Edelstahl mit einer Wandstärke von 50 µm und einer Wabenbreite von 300 µm, wobei die Wände in hoher Materialdichte bei einem geometrischen Pulsabstand von 5 µm gebaut wurden (Bild 3). Eine solche Struktur lässt sich mit einer Bauhöhe von 1 mm auf einer Fläche von 25 mm 2 innerhalb einer Stunde generieren. Für elektronische Anwendungen wurden Kupferstrukturen in guter Konturtreue auf LTCC-Folie aufgebracht (Bild 4) [4]. Dazu wurde Kupferpulver mit einer mittleren Korngröße von 4 µm verwendet und mit einem geometrischen Pulsabstand von 6 µm und einem Linienabstand von 25 µm an Luft verarbeitet. Solche Strukturen können für ungewöhnliche Leiterbahnen, die ein hohes Aspektverhältnis und somit eine hohe Stromtragfähigkeit aufweisen, genutzt werden. Bild 3: Mikro - Wabenstruktur aus Edelstahl (Maßstab 500 µm) Bild 4: Kupfer - Leiterbahnstruktur auf LTCC - Folie

6 6 R. Ebert at al. 2.4 Geometrie- und materialangepasste Technologien Hochaspekt-Strukturen Zur Erzeugung von sehr hohen mikrostrukturierten Körpern mit dünnen Wänden und massiven Gehäusestrukturen wurden spezielle Sinterstrategien entwickelt. Insbesondere durften die einhüllenden Gehäuse nicht zu massiv ausgebildet sein, da es sonst nach einer Bauhöhe von einigen 100 µm zur lateralen Rissbildung kam. Gelöst wurde das Problem durch einen vertikalen Schalenaufbau, wobei die Schalen untereinander durch einzelne Schweißpunkte verbunden wurden. Die Schalen selbst wurden mit überlappenden Pulsen in hoher Dichte generiert. Diese Verbundbauweise führte zur Vermeidung von Rissen und trotzdem einem mechanisch widerstandsfähigen Aufbau. Bei großen Aspektverhältnissen von über 100 war zusätzlich darauf zu achten, dass die entstehenden Mikrolöcher so groß waren, dass das restliche Pulver entfernt werden konnte Cermet Cermets sind Materialgemische aus einem metallischen und einem keramischen Anteil. Der Vorteil ist eine relativ hohe Elastizität des Metallanteils verbunden mit der hohen Härte des Keramikanteils. Bisher wurden mit Lasermikrosintern Mischungen aus Kupfer bzw. Molybdän in Verbindung mit einer Mullit-Keramik aus Al 2 O 3 und SiO 2 untersucht. Prinzipiell sind auf der Metallseite alle Materialien einsetzbar, die auch im Metallsinterprozess verarbeitet werden können. Der Metallgehalt wurde von 0,5 bis hin zu 0,02 Massenanteilen variiert. Die realisierten Stegbreiten lagen bei minimal 45 µm. Zum Sintern wurden generell überlappende Laserpulse angewandt. Damit wurden entweder Linien oder sich nicht überlappende stochastisch verteilte gesinterte Mikrobereiche mit Durchmessern von µm erzeugt. Die Linien wiesen eine hohe Auflösung und Dichte auf und konnten auch nebeneinander angeordnet werden. Die verteilten Mikrobereiche reduzierten wiederum die Spannung im Bauteil und damit den Verzug und beförderten den Rakelprozess, da die gebaute Oberfläche in Strahlrichtung rauer wurde. Die Baustrategien wurden meist in einem Bauteil geometrieangepasst verwendet, um anwendungsoptimierte Ergebnisse erzielen zu können Mikroteile Bei der Generierung von Mikroteilen können sowohl überlappende als auch nicht überlappende Laserpulse angewandt werden, da sich bei sehr kleinen Teilen kaum Spannungen ausbilden können. Entscheidend sind hier eher notwendige zusätzliche Beschleunigungs- und Abbremsstrecken, da es sonst zu einer

7 3D Microprint von Metallen mit Laserstrahlung verfügbare Technologien 7 undefinierten Energieeinbringung am Bauteilrand kommt. Die dafür benötigten Zeiten dominieren im Mikrobereich die Bauzeit Beispiele Zum Aufzeigen der Möglichkeiten beider Technologievarianten wurden Würfel mit variierender Dichte aus Molybdänpulver gebaut (Bild 5). Die Pulverkorngröße lag zwischen 3 und 7 µm. Mit einem geometrischen Puls- und Linienabstand von 50 µm bei einer Pulsfrequenz von 100 khz entstanden trotz hoher Pulsenergie von 160 µj bei 4 Überfahrten pro Schicht poröse Bereiche. Die Porosität konnte mit Variation des Pulsabstandes definiert geändert werden. Die dichten Strukturen zur lokalen Erhöhung der Festigkeit wurden mit einem Pulsüberlapp erreicht. Dazu wurde der geometrische Pulsabstand auf 10 µm verringert. Die Porenhäufigkeit nahm extrem ab. Eine solche Bauweise eröffnet völlig neue Funktionalitäten. In Anwendung der Erkenntnisse wurde eine Wolfram-Scheibe mit einem Durchmesser von 20 mm und einer Höhe von 2 mm mit nicht überlappenden Laserpulsen zur Erzielung einer definierten offenen Porosität gesintert (Bild 6). Diese konnte im Praxistest nachgewiesen werden. Zur Stabilisierung der porösen Struktur wurde im Abstand von 1 mm eine dicht gesinterte Gitterstruktur eingebaut, welche die Porosität kaum beeinflusste. Es war kein Verzug festzustellen. Die mechanische Stabilität war so hoch, dass die Scheibe einer Druckdifferenz von 1 bar standgehalten hat. Bild 5: Würfel aus Molybdän, Detail an der Oberfläche Bild 6: Scheibe aus porösem Wolfram mit dicht gesintertem Gitter zur Stabilisierung Mit der in beschriebenen Modifizierung der Technologie konnten erste anwendungsrelevante Hochaspekt-Strukturen aus Edelstahl erstellt werden (Bilder 7 und 8). Der mittlere Pulverkorndurchmesser betrug 7 µm. Der Sinterprozess lief an Luft ab. Mit einem Puls- und Linienabstand von 25 µm entstanden relativ dichte Mikrowände mit einer Breite von 50 µm.

8 8 R. Ebert at al. Der Mikrowärmeübertrager (Bild 7) wies eine komplizierte innere Struktur aus 200 sich kreuzenden Mikrokanälen auf, die komplett erzeugt werden konnten. An das gesinterte Gehäuse wurden Rohre angeschweißt. Die für die Funktionalität notwendige absolute Dichtheit an den Schweißstellen und den Mikrowänden konnte noch nicht erreicht werden. An einem Mikrofilter (Bild 8) mit einer Höhe von 5 mm konnte die Langzeitstabilität des Bauprozesses demonstriert werden. Alle Löcher mit je einer Fläche von 50 x 50 µm 2 waren bei einem Aspektverhältnis von 1:100 voll ausgebildet. Das Gehäuse verlieh der Struktur eine hohe mechanische Stabilität. Bild 7: Mikrowärmeübertrager aus Edelstahl mit angeschweißten Rohren, Durchmesser 6 mm Bild 8: Mikrofilter aus Edelstahl, Durchmesser 7 mm, Höhe 5 mm, Maßstab 500 µm Eine weitere Gitterstruktur wurde aus Cermet - Material gesintert (Bild 9). Dies enthielt 0,25 Masseanteile Molybdän, der Rest war Mullit - Keramik. Durch den Metallanteil konnte das Material in hoher Auflösung mit einem NIR -Faserlaser gesintert werden. Ein Mikroteil für die Medizintechnik wurde aus körperverträglichem Tantal gebaut (Bild 10) [5]. Der Bauprozess fand unter Argon- Schutzgas statt. Mit einem geometrischen Pulsabstand von 25 µm und einer Rakelschichthöhe von jeweils 0,5 µm konnte eine hohe Auflösung erzielt werden. Bild 9: Wabenstruktur aus Cermet (Maßstab Detail 100 µm) Bild 10: Mikroteil aus Tantal mit Ameise

9 3D Microprint von Metallen mit Laserstrahlung verfügbare Technologien Neue Entwicklungen Ultrakurzpuls - Lasermikrosintern Durch Anwendung von hochrepetierender fs - Laserstrahlung sollte die Auflösung des Verfahrens weiter verbessert werden. Es stellte sich aber heraus, dass sich die Technologie bei relativ hoher Streckenenergie von über 3 J/m nicht von der Verwendung von cw - Laserstrahlung unterschied [6]. Bei geringer Streckenenergie und hohen Intensitäten von über 6 * W/cm 2 wurde allerdings eine neuartige Kompaktierung des Pulvers unter Bildung von Nanoschmelze beobachtet (Bild 11). Mikrokörper konnten mit der Technologie bisher nicht aufgebaut werden, da eine vertikale Vernetzung der Sinterspuren nicht stattfand. Bild 11: REM - Aufnahme von aus Wolfram Nanopulver kompaktiertem Material Hochrate - Lasermikrosintern Um die Produktivität des Verfahrens weiter zu erhöhen, wurde untersucht, wie hoch die Scangeschwindigkeit bei dem Verfahren skaliert werden kann. Dazu wurden ein cw - Laser mit Leistungen im Bereich der bisher verwendeten Pulsleistung (300 bis W) und eine mit einem Polygonspiegelscanner erzeugte ultrahohe Scangeschwindigkeit von 150 m/s eingesetzt. Die mittlere Einwirkzeit betrug ca. 500 ns, lag also im Zeitbereich der sonst applizierten Laserpulse. Die Streckenenergie bewegte sich zwischen 2 und 13 J/m. Selbst bei dieser ultrahohen Scangeschwindigkeit konnten eine Schmelze erzeugt und sukzessive Strukturen aufgebaut werden [3]. Das war insofern überraschend, da sonst bei Bestrahlung von Metalloberflächen ab einer Geschwindigkeit von 10 m/s und der verwendeten Intensität von größer 7*10 6 W/cm 2 immer ein Abtrag eintrat. Der Grund liegt in der überwiegenden Volumenabsorption der Laserstrahlung in einem Pulverbett gegenüber der Oberflächenabsorption auf Metallkörpern. Bild 12: Sinterspur aus Molybdän

10 10 R. Ebert at al. Die Sinterspur in Bild 12 wurde mit einer Laserleistung von W bei einer Scangeschwindigkeit von 150 m/s und einem Fokusdurchmesser von 73 µm erzeugt. Die eingebrachte Streckenenergie lag somit bei 9 J/m. Es erfolgten 50 Überfahrten bei jeweils einer zugestellten Rakelschichthöhe von 2 µm. Die vertikale Vernetzung war gut. 3 Micro Cladding Das Micro Cladding Verfahren kann zum 3D Drucken von Mikrostrukturen auf nahezu beliebig geformten Oberflächen eingesetzt werden [3]. Die Form ist dabei auf 2,5D Strukturen beschränkt, da Überhänge nur mit einem stark eingeschränkten Winkel gebaut werden können. Die Auflösung war abhängig vom erzielten Fokusdurchmesser, bisher wurden 50 µm erreicht. Es konnten sowohl Mikrowände als auch erhabene Strukturen mit gekrümmten Oberflächen aus Edelstahl erzeugt werden (Bild 13). Mit einem nachträglichen Laserpolieren der Oberfläche wurde die Rauheit stark reduziert. Bild 13: durch Micro Cladding erzeugte 2,5D Struktur aus Edelstahl Ausblick Teile mit einem sehr kleinen Volumen von 0,1 mm 3 können mit den vorhandenen Technologien bereits in sehr großen Stückzahlen produziert werden. Für das 3D Drucken regelmäßiger Hochapertur-Strukturen wie Mikrosiebe, Mikrofilter oder Streustrahlenraster mit dem Verfahren Lasermikrosintern existieren neuartige Hochrate - Anlagenkonzepte für Volumenbaurauraten von 20 cm 3 /h, die zukünftig umgesetzt werden können. Beim Verfahren Micro Cladding soll die Baurate in einem laufenden Forschungsprojekt auf einen ähnlichen Wert gebracht werden. Damit eröffnen sich völlig neue Anwendungsmöglichkeiten wie z.b. die effektive Mikro - Texturierung von Oberflächen. Für die Industrieüberführung des Verfahrens Lasermikrosintern steht die neugegründete 3D MicroPrint GmbH aus Chemnitz bereit. Sie bietet sowohl verfahrensangepasste Anlagen als auch Dienstleistungen an. Die Laservorm GmbH aus Altmittweida widmet sich dem Verfahren Micro Cladding ebenfalls mit Anlagen und Dienstleistungen. Für industrienahe Forschung steht die LIM Laserinstitut Mittelsachsen GmbH aus Mittweida zur Verfügung.

11 3D Microprint von Metallen mit Laserstrahlung verfügbare Technologien 11 5 Literatur [1] microsintering - ein neues Verfahren der Mikrobearbeitung, Abschlussbericht des vom BMBF geförderten Verbundprojektes "Vakuum SLS", Mittweida, 2004, 91 Seiten [2] P. Regenfuß, A. Streek, L. Hartwig, S. Klötzer, Th. Brabant, M. Horn, R. Ebert, H. Exner: Principles of Laser Micro Sintering, D. L. Bourell et al. (eds), The Proceedings of the 17th Annual SFF Symposium 2006, Austin (Texas/USA), pp [3] Rapid Microtooling mit laserbasierten Verfahren, Abschlussbericht des gleichnamigen vom BMBF geförderten Verbundprojektes, Mittweida, 2011, 205 Seiten [4] Kontrollierter Einsatz von Pulvern mit nanoskaligen Charakteristiken zur Erzeugung von Mikroteilen (Konami), Abschlussbericht des gleichnamigen vom BMBF geförderten Verbundprojektes, Mittweida, 2010, 23 Seiten [5] M. Horn, F. Ullmann, A. Gruner, P. Regenfuß, H. Exner: Neue Ergebnisse zum Lasermikrosintern, Lasermagazin 2/2010, S. 32/33. [6] R. Ebert, F. Ullmann, J. Schille, U. Löschner, H. Exner: Investigation of cw and ultrashort pulse laser irradiation of powder surfaces: a comparative study, Proc. of SPIE Vol X, 2013,