Optische Geometriemessung im Electronic Packaging

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2 Mahr Historie 2 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

3 Produktionsstandorte 3 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

4 Mahr weltweit NAFTA Providence Cincinnati Charlotte Monterrey Sao Paulo EUROPA Göttingen Esslingen Wadgassen Jena Probostov Igny Luneville ASIEN Beijing Hong Kong Shanghai Suzhou Seoul Bangkok Milton Keynes Malaysia Thalwill Yokohama Wien 4 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

5 Wir sind zertifiziert DIN EN EAQF Q1 Award VDA 6.4 Lieferantenpreis ISO 9001 RENAULT FORD BOSCH A-Lieferant 5 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

6 Multisensor-Messtechnik, Wadgassen 6 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

7 Produktlinie MS-Serie MS 222 MS 442 MS 662 MS December 7, 2005 Wolfram Froehlich

8 Produktlinie OMS-Serie OMS 400 OMS 663 OMS December 7, 2005 Wolfram Froehlich

9 Produktlinie PMC PMC Vision PMC 9 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

10 Mahr Multisensor Technologie Multisensorkopf (MSH) Optischer Sensor Laser Sensor Taktiler Sensor 10 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

11 Bildverarbeitung 11 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

12 Videofokus Flächenfokus Kantenfokus 12 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

13 Lichtquellen Auflicht (koaxial) Enge Bohrungen Durchlicht Profil (wie Projektor) LED Ringlicht Kanten Flache Strukturen 13 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

14 Beleuchtungsarten Auflicht 4-Quadranten LED-Ringlicht Durchlicht (Linienlicht) 14 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

15 LED Ringlicht austauschbar Picture LED Ringlicht (blau, gelb, weiß, rot und rot-grün-blau) 15 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

16 Laser Sensor - Technologie Berührungslos Profil erfassen auf 3D Flächen Schnelle Messpunkterfassung Laserintensität programmierbar Präzise Fokussierung 16 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

17 Foucault Laser Princip 17 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

18 Laser Sensor Profil Scanning Z Der Sensor sorgt zusammen mit der Bewegung der Z-Achse für konstanten Fokus Scanning von Kanten ist nicht möglich 18 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

19 Nutzen der Laser Technologie Flächenfokus erlaubt schnelle Höhen- bzw. Tiefenmessung Berührungslos heißt auch zerstörungsfrei Tausende Messpunkte können aufgenommen werden und an z.b. CAD Systeme übergeben werden TTL (through the lens) Technologie erlaubt nahtlose Umschaltung zwischen Kamera und Laser 19 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

20 Laser Sensor Profil Scanning Start Ende 20 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

21 Mechanische Tastsysteme Picture Grosse Vielfalt von Tastsystemen, z.b. TP20, TP200, SP25 Integrierte automatische Tastmodulwechsler z.b. MCR20, SCR20 Flexible Programmierung 21 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

22 Aufbau der mechanischen Tastsyteme Der Aufbau ist ähnlich bei allen Tastsystemen (TP20, TP200, SP25) Bestandteile: Tasteraufnahme Tastsystem (TP20) Tastmodul Taststift bzw. Taststiftkombination 22 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

23 Nutzen der mechanischen Tastsysteme Antastung möglich an steilen Kanten und an Hinterschneidungen (dort kann die Kamera nicht hinschauen) Voreingestellte optimierte Antastparameter liefern reproduzierbare Messergebnisse 23 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

24 Elektrotechnik / Elektronik 24 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

25 Chipträgergeometrie Messaufgaben Lage der Chips auf dem Trägergurt Geomterie der Chips Lage der Lötstoppmaske Mahr Lösung MS-Gerät mit optischem Sensor und Laser Ergebnis Genaue Messung in kurzer Zeit Benefit Zeit- und Kosteneinsparung 25 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

26 Messung an Filmen Messung der Position der 4 Passmarken in den Eckbereichen des Films Bestimmen des Ausdehnungsbzw. Schrumpfkoeffizienten in X- und Y-Richtung CAD Daten Import und Transfer zum Messprogramm Kein Editieren durch den Bediener notwendig Breite und Abstand der Leiterbahnen 26 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

27 Lötstoppmaskendicke µm 27 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

28 Breite und Abstand von Leiterbahnen Schnelle Messung Mehrere Finger sind gleichzeitig innerhalb eines Bildfeldes messbar Anwenderspezifische Bedienoberfläche, auch in Landessprache 28 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

29 Anwendergerechte Bedienoberfläche Auswahl der Werkstück-Nr. Werkstückkoordinatensystem Alle Einheiten messen Ausdruck Ende Nur ein Einheit messen 29 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

30 CAD/DXF Import 30 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

31 Einfache Programmierung aus CAD-Daten 31 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

32 Off-line Programmerstellung 32 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

33 Online SPC 33 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

34 Automatischer Datentransfer nach Excel 34 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

35 35 December 7, 2005 Wolfram Froehlich

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