BERICHT DES AUFSICHTSRATS

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1 8 SÜSS MICROTEC AG GESCHÄFTSBERICHT 2010 Der Aufsichtsrat möchte Sie, sehr geehrte Aktionärinnen und Aktionäre, im nachfolgenden Bericht über seine Tätigkeit im Geschäftsjahr 2010 informieren. Im Mittelpunkt der Beratungen standen insbesondere die strategischen Investitions- und Desinvestionsprojekte sowie der Umzug der Bonder-Aktivitäten von Waterbury, USA, nach Sternenfels. SEHR GEEHRTE AKTIONÄRINNEN UND AKTIONÄRE, im vergangenen Geschäftsjahr haben wir den Vorstand bei der Leitung des Unternehmens beraten und seine Tätigkeit überwacht. Wir sind damit den vom Gesetz, der Satzung und der Geschäftsordnung verlangten Aufgaben nachgekommen. In alle Entscheidungen von grundlegender Bedeutung für das Unternehmen war der Aufsichtsrat eingebunden. Die strategische Ausrichtung des Unternehmens stimmte der Vorstand mit uns ab. Der Vorstand unterrichtete uns regelmäßig schriftlich und auch mündlich, zeitnah und umfassend über die Unternehmensplanung, den Gang der Geschäfte sowie die aktuelle Lage des Konzerns. Abweichungen des Geschäftsverlaufs von der Planung wurden uns im Einzelnen erläutert und von uns anhand der erhaltenen Unterlagen und Informationen überprüft. Bedeutende Geschäfts vorgänge haben wir auf Basis der Berichte des Vorstands ausführlich erörtert, und zu zustimmungspflichtigen Geschäften haben wir unsere Zustimmung erteilt. Im Geschäftsjahr 2010 fanden insgesamt acht ordentliche Sitzungen sowie drei außerordentliche Sitzungen des Aufsichtsrats statt. An diesen Sitzungen haben stets alle Mitglieder des Aufsichtsrats teilgenommen. Soweit es erforderlich war, hat der Aufsichtsrat Beschlüsse im schriftlichen Verfahren gefasst. Der Aufsichtsratsvorsitzende stand über die Aufsichtsratssitzungen hinaus mit dem Vorstand in engem Kontakt und hat sich über die aktuelle Entwicklung der Geschäftslage und die wesentlichen Geschäftsvorfälle informiert. Es gab keine Interessenkonflikte von Vorstands- und Aufsichtsratsmitgliedern, die dem Aufsichtsrat gegenüber unverzüglich offenzulegen waren und über die die Hauptversammlung zu informieren wäre. SITZUNGEN UND BERATUNGSSCHWERPUNKTE Im Aufsichtsrat wurden regelmäßig die Geschäftsentwicklung der SÜSS MicroTec AG, ihrer Tochtergesellschaften und des Konzerns sowie die Finanzlage und die Investitions- bzw. Desinvestionsprojekte erörtert. Der Vorstand unterrichtete regelmäßig und umfassend über die Unternehmensplanung, die strategische Weichenstellung und die Entwicklung im Auftragseingang, Umsatz und Ergebnis. Der Aufsichtsrat hat sich außerdem mit der Überwachung des Rechnungslegungsprozesses sowie der Wirksamkeit des internen Kontrollsystems und des Risikomanagement-Systems befasst.

2 VORWORT STRUKTUREN OPTIMIEREN INVESTOR RELATIONS KONZERNLAGEBERICHT KONZERNABSCHLUSS SERVICE 9 In der Sitzung am 14. Januar 2010 hat der Aufsichtsrat sich vorrangig mit den strategischen Investitionsund Desinvestitionsprojekten befasst. Es wurde ein Aufsichtsratsbeschluss zum Verkauf des Bereichs Test Systeme gefasst, in dem der Vorstand ermächtigt wurde, alle weiteren Einzelheiten der Transaktion zu den vorliegenden Rahmenbedingungen festzulegen und zu entscheiden und den Verkaufsvertrag und verbundene Verträge zu verhandeln und abzuschließen. Darüber hinaus wurden der Status der Übernahme der HamaTech APE sowie weitere strategische Kooperationsprojekte besprochen. Die zweite ordentliche Aufsichtsratssitzung fand am 10. Februar 2010 statt. Hierbei befassten wir uns insbesondere mit dem Bericht des Vorstands zu den vorläufigen Zahlen für das Geschäftsjahr Ferner beschäftigte sich der Aufsichtsrat in dieser Sitzung noch einmal mit dem am 27. Januar 2010 erfolgten Verkauf des Bereichs Test Systeme. Der vom Vorstand vorgelegten Planung für das Geschäftsjahr 2010 wurde nach ausführlicher Erläuterung zugestimmt. Zudem wurden die langfristigen Ziele für die erfolgs - ab hängige Vergütung des Vorstands erörtert. DR. STEFAN REINECK Vorsitzender des Aufsichtsrats

3 10 SÜSS MICROTEC AG GESCHÄFTSBERICHT 2010 An der Sitzung am 23. März 2010 hat unser Abschlussprüfer teilgenommen. Er informierte den Aufsichtsrat über die wesentlichen Ergebnisse der Prüfung des Jahres- und des Konzernabschlusses für das Geschäftjahr Wir diskutierten mit den Vertretern des Abschlussprüfers Fragen der Bilanzierung sowie die wesentlichen Sachverhalte des abgelaufenen Geschäftsjahres und deren Auswirkungen auf die Vermögens-, Finanz- und Ertragslage der Gesellschaft und des Konzerns. Des Weiteren erläuterte uns der Abschlussprüfer die Schwerpunkte der Einzel- und Konzernabschlussprüfung. Den Bericht des Vorstands zum Geschäftsjahr 2009 und zur aktuellen Geschäftslage haben wir zur Kenntnis genommen. Der Aufsichtsrat billigte nach eingehender Prüfung den vom Vorstand aufgestellten Jahresund Konzernabschluss der SÜSS MicroTec AG für das Geschäftsjahr Außerdem wurde Beschluss über den Bericht des Aufsichtsrats für das abgelaufene Geschäftsjahr gefasst. Weiterhin setzte der Aufsichtsrat die kurz fristigen Ziele und die langfristigen 3-Jahres-ziele für die Bonusvereinbarungen mit den Vorständen fest. Darüber hinaus haben wir mögliche Punkte der Tagesordnung für die Hauptversammlung am 23. Juni 2010 besprochen. Weiterhin beschäftigte sich der Aufsichtsrat eingehend mit zukünftigen Trends im Bereich Lithografie sowie mit der aktuellen Situation des Bereichs Bonder. In der vierten ordentlichen Sitzung am 29. April 2010 hat sich der Aufsichtsrat mit den aktuellen Zahlen zum ersten Quartal 2010 und der Prognose für das Gesamtjahr befasst. Es wurden die Tagesordnung und die Beschlussvorschläge für die Hauptversammlung am 23. Juni 2010 beschlossen. Der Vorstand unterrichtete den Aufsichtsrat über die Zusammenarbeit mit der Firma Thin Materials und den Fortgang anderer strategischer Projekte. Des Weiteren wurde das Thema Kapitalerhöhung in dieser Sitzung diskutiert. Im Anschluss an diese Sitzung hat der Aufsichtsrat seine Effizienzprüfung gemäß Ziffer 5.6 des Deutschen Corporate Governance Kodex durchgeführt und dokumentiert. Dabei konnten keine Defizite festgestellt werden. Die Überprüfung der Effizienz der Aufsichtsratstätigkeit findet in regelmäßigen Abständen durch sämtliche Mitglieder des Aufsichtsrats einzeln und im Plenum mit Unterstützung von unternehmensspezifischen Frage- und Checklisten statt. In den außerordentlichen Sitzungen am 10. Mai und am 11. Mai 2010 befasste sich der Aufsichtsrat intensiv mit dem Thema Kapitalerhöhung und fasste die zur Durchführung notwendigen Beschlüsse.

4 VORWORT STRUKTUREN OPTIMIEREN INVESTOR RELATIONS KONZERNLAGEBERICHT KONZERNABSCHLUSS SERVICE 11 In der außerordentlichen Sitzung am 27. Mai 2010 hat uns der Vorstand über den geplanten Zeitplan des Umzugs des Bereichs Bonder informiert. Der Aufsichtsrat stimmte dem Antrag des Vorstands zu, die Bereiche Produktion, Forschung und Entwicklung sowie Produktmanagement nach Sternenfels zu verlagern. Weiterhin wurde beschlossen, die nordamerikanische Service- und Vertriebsorganisation und das Applikationscenter von Waterbury, Vermont, nach Kalifornien zu verlegen. Der Aufsichtsrat beschäftigte sich zudem mit der im Rahmen des Erwerbs der Anteile an der HamaTech APE GmbH & Co.KG von der Singulus Technologies AG gegebenen Eigenkapitalgarantie. Der Vorstand unterrichtete den Aufsichtsrat über die in diesem Zusammenhang von der SÜSS MicroTec AG gegenüber der Singulus Technologies AG geltend gemachten Ansprüche. In der Sitzung am 23. Juni 2010, unmittelbar vor der ordentlichen Hauptversammlung, hat uns der Vorstand vornehmlich über die aktuelle Geschäftslage informiert. Wir haben außerdem vom Vorstand ein Update zum Umzug der Bonder-Aktivitäten erhalten. Am 2. August 2010 fand die sechste ordentliche Aufsichtsratssitzung statt. In dieser Sitzung wurden die Zahlen zum zweiten Quartal sowie der aktuelle Gesamtjahresausblick erörtert. Der Vorstand erläuterte uns den aktuellen Stand der strategischen Projekte, insbesondere den Status des Bonder-Umzugs sowie diverser Kooperationen. In der Sitzung des Aufsichtsrats vom 2. November 2010 berichtete der Vorstand über die aktuelle Geschäftslage im dritten Quartal sowie den Ausblick auf das Gesamtjahr. Darüber hinaus berichtete der Vorstand über den Status des Bonder-Umzugs. Der Aufsichtsrat diskutierte wesentliche Forschungs- und Entwicklungsprojekte des Konzerns. Ferner wurden die Themen temporäres Bonden und der Umzug der nordamerikanischen Service- und Vertriebsorganisation sowie des Applikationscenters von Waterbury nach Kalifornien besprochen. Zudem haben wir in dieser Sitzung Beschluss über die Entsprechenserklärung zum Deutschen Corporate Governance Kodex gefasst. Gegenstand der am 16. Dezember 2010 stattgefundenen letzten Sitzung des Geschäftsjahres 2010 waren die aktuelle Geschäftslage sowie die vorläufige Planung für das neue Geschäftsjahr. Es wurde der aktuelle Stand der strategischen Projekte, insbesondere des Umzugs der Bonder-Aktivitäten und der nordamerikanischen Service- und Vertriebsorganisation sowie des Applikationscenters, diskutiert. Der Vorstand stellte die kürzlich abgeschlossene Kooperation mit Rolith vor. Zur Debatte standen als weitere Themen die mögliche Aufnahme in den TecDAX und die neue Situation, die sich aus dem vollständigen Rückzug der Sterling Strategic Value Limited aus ihrem Investment bei der SÜSS MicroTec AG ergeben hat.

5 12 SÜSS MICROTEC AG GESCHÄFTSBERICHT 2010 Der Aufsichtsrat hat sich im Geschäftsjahr 2010 erneut mit den Inhalten und der Umsetzung des Deutschen Corporate Governance Kodex befasst. Informationen zur Corporate Governance im Unternehmen sowie der ausführliche Bericht zur Höhe und Struktur der Vergütung von Vorstand und Aufsichtsrat sind im separaten Corporate Governance Bericht auf den Seiten 39 ff. des Geschäftsberichts wiedergegeben. Vorstand und Aufsichtsrat haben in ihren Sitzungen am 2. November 2010 die Entsprechenserklärung nach 161 AktG beschlossen und diese den Aktionären auf der Website der Gesellschaft dauerhaft zugänglich gemacht. In seiner Sitzung am 16. Dezember 2010 hat sich der Aufsichtsrat noch einmal sehr eingehend mit den neuesten Empfehlungen des Kodex zur Zusammensetzung des Aufsichtsrats beschäftigt. Dabei hat der Aufsichtsrat auch festgestellt, dass ihm eine nach seiner Einschätzung ausreichende Anzahl unabhängiger Mitglieder angehört. Ebenso hat der Aufsichsrat festgestellt, dass er durch Teilnahme einzelner AR-Mitglieder an geeigneten Seminaren und Diskussionsveranstaltungen sowie durch aktuelle Fachliteratur seine eigene Fortbildung angemessen betreibt. Eingehend diskutiert wurde zudem das Für und Wider von erfolgsabhängigen Vergütungen für den Aufsichtsrat. JAHRES- UND KONZERNABSCHLUSSPRÜFUNG Die KPMG AG Wirtschaftsprüfungsgesellschaft, München, hat den nach HGB-Grundsätzen aufgestellten Jahresabschluss und den Lagebericht der SÜSS MicroTec AG zum 31. Dezember 2010 sowie den Konzernabschluss und Konzernlagebericht zum 31. Dezember 2010 geprüft und jeweils mit dem uneingeschränkten Bestätigungsvermerk versehen. Der Konzernabschluss und der Konzernlagebericht wurden gemäß 315a HGB auf der Grundlage der internationalen Rechnungslegungsstandards IFRS, wie sie in der EU anzuwenden sind, aufgestellt. Der Abschlussprüfer hat die Prüfung unter Beachtung der vom Institut der Wirtschaftsprüfer (IDW) festgestellten deutschen Grundsätze ordnungsgemäßer Abschlussprüfung sowie unter ergänzender Beachtung der International Standards on Auditing (ISA) vorgenommen. Die Prüfungsberichte der KPMG AG Wirtschaftsprüfungsgesellschaft lagen allen Mitgliedern des Aufsichtsrats vor und wurden in der Bilanzsitzung des Aufsichtsrats am 29. März 2011 in Gegenwart des Abschlussprüfers umfassend behandelt. Der Abschlussprüfer berichtete über die wesentlichen Ergebnisse seiner Prüfung sowie darüber, dass keine wesentlichen Schwächen des internen Kontroll-systems und des Risiko management-systems vorlägen. Insbesondere hat er Erläuterungen zur Vermögens-, Finanz- und Ertragslage der Gesellschaft und des Konzerns abgegeben und uns für ergänzende Auskünfte zur Verfügung gestanden. Der Abschlussprüfer ging ferner auf Umfang, Schwerpunkte und Kosten der Abschlussprüfung ein.

6 VORWORT STRUKTUREN OPTIMIEREN INVESTOR RELATIONS KONZERNLAGEBERICHT KONZERNABSCHLUSS SERVICE 13 Der Jahresabschluss der Gesellschaft und des Konzerns sowie der mit dem Konzern lagebericht zusammengefasste Lagebericht wurden von uns geprüft. Es bestanden keine Einwände. Die Berichte des Abschlussprüfers haben wir nach eingehender Prüfung zustimmend zur Kenntnis genommen. Der Aufsichtsrat hat den vom Vorstand aufgestellten Jahresabschluss gebilligt und damit festgestellt. Der Aufsichtsrat hat auch den Konzernabschluss gebilligt. Dem gemein samen Lagebericht für die AG und den Konzern und insbesondere der Beurteilung der weiteren Entwicklung des Unternehmens haben wir zugestimmt. VERÄNDERUNGEN IM AUFSICHTSRAT UND VORSTAND Im Geschäftsjahr 2010 gab es weder im Vorstand noch im Aufsichtsrat personelle Veränderungen. Der Aufsichtsrat erkennt, dass im abgelaufenen Geschäftsjahr wichtige strategische Weichenstellungen veranlasst und operativ eingeleitet wurden, die außerordentliche Belastungen für die Vorstände und alle Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter bedeuten. Für die erfolgreiche Umsetzung und für ihre engagierte Arbeit im abgelaufenen Geschäftsjahr spricht der Aufsichtsrat den Vorständen sowie allen Mitarbeiterinnen und Mitarbeitern großen Dank und Anerkennung aus. Garching, 29. März 2011 Für den Aufsichtsrat Dr. Stefan Reineck Aufsichtsratsvorsitzender