molbox RFM mit molbloc-l

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Renate Keller
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molbox RFM mit molbloc-l Misst Massen- und Volumendurchfluss von Gasen Durchflussmessunsicherheit von maximal ± 0,5 % des Messwertes mit :1 Arbeitsbereich (mit microrange Option) Mit piezoresistiven

1 molbox RFM mit molbloc-l Misst Massen- und Volumendurchfluss von Gasen Durchflussmessunsicherheit von maximal ± 0,5 % des Messwertes mit :1 Arbeitsbereich (mit microrange Option) Mit piezoresistiven Silizium-Drucksensoren Deckt einen Durchflussbereich von 1 sccm bis slm ab, mit molbloc-s sogar bis 00 slm Niedrigere Anschaffungskosten als das Modell molbox1 Microrange Option zur Verminderung der Messunsicherheit Druck (DAkkS) Temperatur Durchfluss Feuchte elektrische Grössen Massen und Waagen 1 / 6 GmbH Tel.: + 49 (0) 6181 / [email protected] Hanau Fax: + 49 (0) 6181 /

2 Beschreibung Die molbox RFM stellt zusammen mit dem molbloc-l und dem molbloc-s ein komplettes Massendurchfluss- Messsystem dar. Die molbloc Elemente werden über zwei Druckverbindungen und einer Datenverbindung an die molbox RFM angeschlossen. Die molbox RFM liest dabei die Kalibrierdaten des molbloc EEPROM aus und misst mit den eingebauten Referenzsensoren (RPTs) den Ein- und Ausgangsdruck des molbloc. Ein Ohmsches Messsystem liest den Widerstand des molbloc Platinum Widerstandsthermometers (Pt ) aus, von welchem die molbloc Temperatur bestimmt wird. Mit Hilfe der abgespeicherten molbloc- Kalibrierdaten, des Druckes, der Temperatur und der Gaseigenschaften wird die Durchflussrate des Gases, welches durch den molbloc strömt berechnet. Für molbloc-l Durchflusselemente ist eine microrange Option verfügbar. Diese erhöht die Messauflösung und die Genauigkeit des Durchflusses bei unter 10% vom Endwert des Durchflussbereiches. Die molbox RFM und die molbloc Durchflusselemente sind vielseitig verwendbar und kommen bei Messungen von geringen Gasdurchflüssen zum Einsatz, bei denen höchste Genauigkeit zu geringen Kosten gefordert ist. Technische Daten molbloc-l (Bereiche 1E1-L bis 3E4-L) Aktualisierungsrate: Bereich: Auflösung: Linearität: Wiederholbarkeit: Genauigkeit: vorhersagbare Stabilität: (Ein Jahr) Messunsicherheit: 1 Sekunde 0 bis molbloc v.e., abhängig vom Gas und druckabhängigen Kalibriertypen (siehe molbloc-l Tabelle) 0,01% v.e. ± 0,23% vom Messwert von 10 bis % v.e., ± 0,023% v.e. unter 10% v.e. ± 0,1% vom Messwert von 10 bis % v.e., ± 0,01% v.e. unter 10% v.e. ± 0,25% von Messwert von 10 bis % v.e., ± 0,025% v.e. unter 10% v.e. ± 0,15% vom Messwert von 10 bis % v.e., ± 0,015% v.e. unter 10% v.e. ± 0,5% vom Messwert von 10 to % v.e., ± 0,05% v.e. unter 10% v.e. Druckabhängige Kalibriertypen für molbloc-l Verschiedene druckabhängige Kalibrieroptionen des molbloc-ls legen den Druckbereich fest mit dem der Durchfluss eines molbloc L gemessen werden kann. Diese Optionen bieten dem Benutzer die Möglichkeit das Gerät auf seine Bedürfnisse auszurichten. Alle molbloc-ls werden standardmäßig für N 2 Kalibrierungen (full mod, low pressure) ausgeliefert. Für Kalibrierungen mit anderen Gasen oder N 2 Kalibrierungen (nicht full mod, low pressure) muss der molbloc angepasst werden. Technische Änderungen vorbehalten 2 / 6 GmbH Tel.: + 49 (0) 6181 / [email protected] Hanau Fax: + 49 (0) 6181 /

3 molbox RFM mit microrange Option Aktualisierungsrate: Bereich: molbloc-l molbloc-l (Bereiche 1E1-L bis 3E4-L) (nur Bereich 1E5) 1 Sekunde 0 bis molbloc vom Endwert, abhängig vom Gas und druckabhängigen Kalibriertypen (siehe molbloc-l Tabelle) Auflösung: 0,01% v.e. 0,01% v.e. 0,001% v.e. unter 10% v.e. Linearität: ± 0,23% ± 0,25% v.m. von 1 bis % v.e., v.m. von 5 bis % v.e., ± 0,023% v.e. unter 1% v.e. ± 0,0125% v.e. unter 5% v.e. Wiederholbarkeit: ± 0,1% 0,2% v. M. von 1 bis % v.e., v. M. von 5 bis % v.e., ± 0,001% v.e. unter 1% v.e. ± 0,001% v.e. unter 5% v.e. Genauigkeit: ± 0,32% v. M. von 1 bis % v.e., v. M. von 5 bis % v.e., ± 0,025% v.e. unter 1% v.e. ± 0,016% v.e. unter 5% v.e. vorhersagbare ± 0,15% ± 0,2% Stabilität: v. M. von 1 bis % v.e., v.m. von 5 bis % v.e., (ein Jahr) ± 0,015% v.e. unter 1% v.e. ± 0,01% v.e. unter 5% v.e. Messunsicherheit: ± 0,5% ± 0,5% v.m. von 1 bis % v.e., v.m. von 5 bis % v.e., ± 0,05% v.e. unter 1% v.e. ± 0,025% v.e. unter 5% v.e. Technische Änderungen vorbehalten 3 / 6 GmbH Tel.: + 49 (0) 6181 / [email protected] Hanau Fax: + 49 (0) 6181 /

4 molbloc-l Bereiche mit low pressure Kalibrierungen full mod, low pressure full mod, downstream single P, low pressure molbloc-l UND DURCHFLUSS- Bereiche (sccm) Gase 1E1 5E1 1E2 2E2 5E2 1E3 5E3 1E4 3E4 1E5 Stickstoff N INERT BRENNBAR FLUORKOHLEN- WASSERSTOFFE ANDERE Argon Ar Helium He Schwefelhexafluorid SF Xenon XE Butan C 4 H Ethan C 2 H Ethylen C 2 H Wasserstoff H Methan CH Propan C 3 H Tetrafluormethan Hexafluorethan Trifluormethan CF C 2 F CHF Luft Luft Kohlendioxid CO Kohlenmonoxid Distickstoffmonoxid Octafluorcyclobutan CO N 2 O C 4 F Sauerstoff O Technische Änderungen vorbehalten 4 / 6 GmbH Tel.: + 49 (0) 6181 / [email protected] Hanau Fax: + 49 (0) 6181 /

5 molbloc-l Bereiche mit high pressure Kalibrierungen full mod, high pressure single P, high pressure molbloc-l UND DURCHFLUSS- Bereiche (sccm) INERT Gase 1E1 5E1 1E2 2E2 5E2 1E3 5E3 1E4 Stickstoff N Argon Ar E Helium He Schwefelhexafluorid SF Xenon XE E5 Butan C 4 H 10 N/A N/A N/A N/A N/A N/A N/A N/A N/A N/A BRENNBAR FLUORKOHLEN- WASSERSTOFFE ANDERE Ethan C 2 H Ethylen C 2 H Wasserstoff H Methan CH Propan C 3 H 8 Tetrafluormethan Hexafluorethan Trifluormethan CF C 2 F CHF Luft Luft Kohlendioxid CO Kohlenmonoxid Distickstoffmonoxid Octafluorcyclobutan CO N 2 O C 4 F 8 N/A N/A N/A N/A N/A N/A N/A N/A N/A N/A Sauerstoff O Technische Änderungen vorbehalten 5 / 6 GmbH Tel.: + 49 (0) 6181 / [email protected] Hanau Fax: + 49 (0) 6181 /

6 Spezifikationen molbox RFM Strombedarf: 85 bis 264 VAC. 47 bis 440 Hz, 18 VA max. Ausschöpfung Arbeitstemperaturbereich: 15 to 35 C Lagertemperatur: -20 to 70 C Vibration: vereinbar mit MIL-T-28800D Gewicht: 2.55 kg Abmessungen (H x B x T): 8 cm x 22,5 cm x 20 cm Mikroprozessor: Motorola 682, 16 MHz Anschlüsse: RS-232 (COM1), RS-232 (COM2), IEEE-488 Referenz- Druck- Standard: 2 x kpa piezoresistiver Sensor Sensoren (RPTs): Microrange Option: 12,5 kpa piezoresistiver Sensor Unterstütze Gase: mit molbloc-l: Stickstoff, Luft, Argon, Kohlenmonoxid, Helium, Sauerstoff, Kohlendioxid, Tetrafluormethan, Ethan, Ethylene, Trifluormethan, Hexafluorethan, Wasserstoff, Methan, Distickstoffmonoxid, Propan Schwefelhexafluorid mit molbloc-s: Stickstoff, Helium, Argon, Wasserstoff, Sauerstoff, Methan, Luft, Distickstoffmonoxid, Schwefelhexafluorid, Kohlendioxid, Kohlenmonoxid Druckanschlüsse: Schnellanschlüsse entsprechen Swagelok QM Serie (-QM2-B200) Druckbegrenzung: maximaler Arbeitsdruck: kpa absolut Durchflussbereiche: mit molbloc-l: deckt einen Durchflussbereich von 1 sccm (1 Ncm³/m) bis slm (1 Nl/m) ab mit molbloc-s: deckt einen Durchflussbereich von 1 sccm (1 Ncm³/m) bis 00 slm (1 Nl/m) ab Durchfluss- ± 0,5% vom Messwert messunsicherheit: Kalibrier- Typ Full mod, low pressure Full mod, high pressure Ausgangsstrom Single P, low pressure (alle Gase außer N) Single P, high pressure (alle Gase außer N) Betriebs- Druck 2 to 325 kpa absolut (Eingangsstrom am molbloc) 325 to 525 kpa absolut (Eingangsstrom am molbloc) Atmosphärischer Druck (Ausgangsstrom am molbloc) Jeder spezifische Single- molbloc Druck am Eingangsstrom zwischen 2 and 325 kpa absolut Jeder spezifische Single- molbloc Druck am Eingangsstrom zwischen 325 und 525 kpa absolut Nominaler Differenzdruck bei max. Durchfluss kpa kpa 80 kpa kpa kpa Technische Änderungen vorbehalten 6 / 6 GmbH Tel.: + 49 (0) 6181 / [email protected] Hanau Fax: + 49 (0) 6181 /

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