AK Plasma Fachausschuss Normung Bericht Frühjahrssitzung 2009, Kiel

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1 AK Plasma Fachausschuß Normung AK Plasma Fachausschuss Normung Bericht Frühjahrssitzung 2009, Kiel Dünnschichttechnik VDI DIN ISO VAMAS Nanotechnologie ISO, CEN, OECD

2 ISO/TC 164 Mechanical Testing of Metals ISO TC SC 3 Hardness : ISO TR Metallic Materials Measurement of mechanical properties by instrumented indentation test Indentation tensile properties Arbeit abgeschlossen, Veröffentlichung ~ Mitte DIN Spiegelausschuss NA (Vorsitz: H.-R. Wilde, MPA Dortmund) BAM-Vertreter in ISO+DIN: Dr. M. Griepentrog

3 ISO/TC 201 "Surface Chemical Analysis" Neu bzw. überarbeitet: ISO 23830:2008 Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Repeatability and constancy of the relative-intensity scale in static secondary-ion mass spectrometry (Norm bedeutsam für SIMS-Laboratorien) ISO/TR 22335:2007 Surface chemical analysis -- Depth profiling -- Measurement of sputtering rate: meshreplica method using a mechanical stylus profilometer (Norm bedeutsam für Prüflaboratorien, die Tiefenprofile durchführen) ISO 18115:2001/Amd 2:2007 Zusatz zu Surface chemical analysis Vocabulary (konsistente Terminologie für scanned probe microscopy )

4 ISO/TC 202 ISO/TC 202 "Mikrobereichsanalyse" Nach 13 Jahren endlich wieder ein Spiegelausschuss im DIN : NA AA Elektronenmikroskopie & Mikrobereichsanalyse (Initiative CARL ZEISS SMT, Gründungssitzung ) Ansprechpartner: Dr. V. Hodoroaba (BAM) Tel.: dan.hodoroaba@bam.de!

5 VDI/VDE GMA FG 3.40 Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik FA 3.42 Nicht-geometrische Größen

6 VDI/VDE GMA FG 3.40 Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik FA 3.42 Nicht-geometrische Größen Mögliche Ursachen für große Messunsicherheit: Derivatisierung mittels TFAA* im Vakuum nicht ausreichend lange durchgeführt Strahlenschäden durch zu lange Analysezeit... * TFAA: TrifluorEssigsäureAnhydrid spezifische Reaktion mit den OH-Gruppen! Konsequenzen: mit vorliegendem Messunsicherheitsbudget nicht als RefMat zertifizierbar Verbesserung durch besseres Verständnis der OH-Derivatisierungs-kinetik Diskussion weiterer Einflussgrößen auf die Messunsicherheit

7 VDI/VDE GMA FG 3.40 Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik FA 3.42 Nicht-geometrische Größen Meeting 18. November 2008: Die Ringversuchsergebnisse zur Bestimmung des Gehalts an OH-Gruppen auf der Oberfläche eines Polymers (chemisch reduzierte Plasma-Probe) werden publiziert. Diese Publikation befindet sich gegenwärtig in der Feinabstimmung. Parallel wird nach einer besser geeigneten Probe (homogen innerhalb der Informationstiefe) gesucht. Kooperation FhG Angewandte Polymerforschung (IAP) und BAM Gemeinsame Untersuchungen an Polyhydroxyethylmethacrylat (PHEMA) wurden bereits durchgeführt. Danach weiterer Ringversuch mit stärker eingegrenztem Protokoll (Präparations- und Messvorschrift)

8 Normung in den Nanotechnologien

9 Normung in den Nanotechnologien

10 Normung in den Nanotechnologien

11 ISO/TC 229 Structure (deutsche Vertreter in ROT) Delegationsleiter/in Stintz Reiners Reiners Voetz Barthel Dubbert Engel Engel Pridöhl Pridöhl Reiners Reiners Voetz Voetz Stand: Mai

12 ISO/TC 229 Arbeitsprogramm 2 fertige Dokumente ISO/TR 12885:2008 Nanotechnologies -- Health and safety practices in occupational settings relevant to nanotechnologies ISO/TS 27687:2008 Nanotechnologies -- Terminology and definitions for nano-objects -- Nanoparticle, nanofibre and nanoplate 31 laufende Normungsprojekte International Standards: 4 Technical Specifications : 22 Technical Reports : 5 JWG1: 7, JWG2: 13, WG3: 7, WG4: 4 2 Neuanträge im Abstimmungsprozess (1 TR, 1 TS) Stand März

13 DIN CEN ISO/TS DIN CEN ISO/TS Nanotechnologies - Terminology and definitions for nanoobjects nanoparticle, nanofibre (nanowire, nanotube, nanorod) and nanoplate Nanoobject nanoscale size range from approximately 1 nm to 100 nm Nanoparticle Nanofibre Nanoplate Nanowire Nanotube Nanorod

14 CEN/TC 352 Work Programme WG 1: Measurement, characterization and performance evaluation (Convenor Professor M Gee, United Kingdom WG 2: Commercial and other stakeholder aspects (Convenor Professor G Hunt, United Kingdom) ISO lead CEN lead 14

15 Ab Juni 2009 auf der Webseite der BAM verfügbar:

16 Structure of microsite z.z. 13 Kategorien Start Page List of categories External links Stufenhöhe, Streifenmuster, Partikel/Objekte, ) Category Category. Nanobjects Category.. z.z. 60 Referenzmaterialien von 20 Anbietern erfasst CRM Data Sheet Polystyrene Spheres RM Data Sheets RM Data Sheet Silica nanoparticles

17 Example:

18 Vielen Dank für Ihre Aufmerksamkeit

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