TURBOVAC i Turbomolekular-Pumpen

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1 TURBOVAC i Turbomolekular-Pumpen

2 Ein großer Scritt für die Welt des Vakuums Es ist noc nie so einfac gewesen, Ire Prozesse zu optimieren. TURBOVAC (T) i ermöglict Inen die Optimierung Irer Abpumpzeiten und das Erreicen Irer Zieldrücke und Gasdurcsätze und das präzise und zuverlässig. Mit dem besten Verältnis von Leistung zu Größe im ISO 100- und 160-Bereic bieten unsere neuen Turbomolekularpumpen innovatives Rotor- und Holweckstufendesign. Das Resultat: ervorragende Performance und bislang unerreictes Saugvermögen vor allem für leicte Gase. Die Flexibilität der Rotor- und Holweckstufe sorgt nict nur für maximale Leistung, sondern stellt auc sicer, dass Ire Pumpe perfekt auf Ire spezielle Anwendung abgestimmt ist. Für noc mer Flexibilität können Sie zwiscen versciedenen elektroniscen Steuer ungsfunktionen und Geäuse- und Flansckonfigurationen sowie einem breiten Angebot an Zubeör wälen. Das einzigartige wartungs- und ölfreie Hybridlager-System steigert Ire Produktivität und senkt gleiczeitig die Betriebskosten. Was Sie davon aben? Ein Vakuumsystem, das effizienter ist als jemals zuvor. Ire Vorteile auf einen Blick Price & Performance: Bestes Preis-Leistungs- Verältnis Flexible & Fast: Höcste Produktflexibilität und damit perfekte Anpassung an Ire Bedürfnisse Plug & Play: Einface und scnelle Installation, Prozessabläufe und Steuerung dank flexiblen Produktdesigns, integrierter Elektronik und einem breiten Angebot an Kommunikationsscnittstellen Fit & Forget: Absolute Zuverlässigkeit durc inno - vatives Pumpendesign und dem einzigen auf dem Markt befindlicen wartungs- und ölfreien Lagerkonzept 02 TURBOVAC i

3 Typisce Anwendungen Analytisce Tecnologien/ Forscung & Entwicklung Massenspektrometrie Elektronenmikroskopie Oberfläcenanalyse Röntgenanalyse Teilcenbescleuniger und Syncrotrone Labor-Bescictungssysteme MBE (Molekularstralepitaxie) UHV-Systeme Life Sciences Protonenterapie Gammasterilisation Produktion von ocwertigen Implantaten Industrielle Anwendungen und Bescictungen PVD (Pysikalisce Absceideverfaren) - Optisce Bescictungen - Produktion von CD/DVD/Blu-Ray - Dünnscicttecnologien, Potovoltaik Sputteranlagen, Transferkammern, Handabungssysteme Elektronenstralscweißen Vakuumisolation und Lecksuce TURBOVAC i 03

4 Verlässlice Leistung Dank seines variablen Rotor- und Holweckstufen-Designs bietet unsere neue TURBOVAC i-produktlinie auc bei untersciedlicsten Anforderungen immer maximale Leistung: So sind TURBOVAC 350 i and 450 i für UHV- Anwendungen und kompakte Pumpsystemlösungen die rictige Wal. Mit einem Saugvermögen für leicte Gase, das bis zu 60 % über dem vergleicbarer Produkte liegt, und einem Kompressionswert, der rund 100 Mal öer ist als bei Produkten der vorerigen Generation, sind sie besonders für Prozesse mit kleinen Vorpumpen geeignet. Ire Vorteile: ein ereblic kompakteres Vakuum-System sowie reduzierte Anscaffungs- und Betriebskosten. Wenn es um ansprucsvolle Applikationen mit oem Gasdurcsatz oder verscärften Prozessbedingungen get, überzeugen die Varianten TURBOVAC T 350 i and T 450 i durc ire eröte Toleranz gegenüber Staub- und Partikelanfall, kürzere Hoclaufzeiten und gesteigerten Gasdurcsatz. Überdurcscnittlice Zuverlässigkeit Die einzigartige wartungs- und ölfreie Hybridlagerung mit Lebensdauerscmierung zeicnet sic durc extreme Zuverlässigkeit und Haltbarkeit aus und mact Regelwartungen durc Ölwecsel überflüssig. Das Lagersystem sorgt für einen vibrations- und geräuscfreien Betrieb und so für wenig Beansprucung oder negative Auswirkungen bei vibrationsempfindlicen Anwendungen. Das optimierte termisce Design von TURBOVAC i gewärleistet eine optimale Külung der Lager. Um die Lager vor kritiscen Gasen oder Partikeln zu scützen, sind alle Pumpen mit einem Sperrgasanscluss ausgestattet. Dadurc wird nict nur die Laufzeit der Pumpe deutlic eröt, sondern auc die Anlagenverfügbarkeit und damit die Produktivität. Zusammen mit den geringen Betriebskosten wird Ir Vakuumsystem effizienter und günstiger als jemals zuvor. 04 TURBOVAC i

5 Unendlice Optionen Die TURBOVAC i-serie bietet zalreice Optionen, um untersciedlicsten Anforderungen gerect zu werden. Sowol TURBOVAC 350 i als auc 450 i sind mit einem zusätzlicen Interstage-Port erältlic, der das Abpumpen einer weiteren Kammer ermöglict. Um Installation, Betrieb und Wartung so unkompliziert wie möglic zu gestalten, ist TURBOVAC i mit einer drebaren Vorvakuum-Flanscverbindung, einer integrierten Antriebselek tronik mit direkter 24/48V DC-Versor gung sowie einer Kommunikationsscnittstelle mit USB-, RS 485-und digitalen I/O-Ports ausgestattet. Zusätzlice Scnittstellenoptionen sind auf An frage erältlic. Ein variables und umfangreices Angebot an Zubeör ergänzt die neue Produktreie. Es umfasst unter anderem kostengünstige Netzteile für 100 bis 240 V Netzspannungsversorgung (als Onboard- oder Standalone-Unit), justierbare Luft- oder Wasserkülungen, Heizmanscetten, Belüftungsund Sperrgaszubeör sowie Installations- und Befestigungssets, die die Inbetriebname vereinfacen. Entdecken Sie unendlice Möglickeiten mit der Flexibilität von TURBOVAC i. TURBOVAC i 05

6 Mer für Sie drin... Leistung Brancenbestes Saugvermögen insbesondere für leicte Gase (bis zu 60 % öer als derzeitige Produkte) Maximale Pumpleistung durc optimierten Rotor- Durcmesser für ISO 100- und 160-Flansce Flexibilität Individualisierbares Design der Vakuumansclüsse Drebarer Vorvakuumanscluss Geäuse optional mit Interstage-Ansclüssen verfügbar Variable Rotor- und Drag Stage-Konfigurationen zur perfekten Abstimmung auf Ire Anforderungen Installation, Betrieb und Steuerung Integrierte Antriebselektronik mit 24/48V DC-Versorgung vermeidet kostenintensive Verkabelung Breites Angebot an Kommunikationsscnittstellen: USB, RS485 und remote 15 pin digital I/O als Standardoptionen Hoceffizienter Motor Optimiertes termisces Design für bestmöglice Külung der Lager und verlängerte Laufzeit der Pumpe Innovatives Lagersystem zur Reduzierung von Vibrationen Wartungsfreies oberes Permanentmagnetlager Ölfreies, lebensdauergescmiertes unteres mecanisces Keramikkugellager, vor Ort austauscbar 06 TURBOVAC i

7 ... olt mer für Sie raus Bestes Preis-Leistungs-Verältnis Flexible Leistungsanpassung individuell auf untersciedlicste Anforderungen zuscneidbar Hervorragende Leistung bei allen Applikationen dank innovativer Pumpentecnologie Installation, Betrieb und Steuerung scnell und einfac Plug & Play: Integrierte Elektronik, versciedene Kommunikationsoptionen und flexibles Zubeör Installation in jeder Lage möglic Gesteigerte Produktivität und Systemverfügbarkeit bei niedrigen Kosten Höcste Zuverlässigkeit dank des innovativen Pumpen- und Lagerkonzepts Fit & Forget: erste und einzige wartungsfreie ybridgelagerte mecanisce Turbomolekularpumpe keine Ölwecsel nötig Eröte Anlagenverfügbarkeit und reduzierte Betriebskosten durc Lagerwecselmöglickeit vor Ort TURBOVAC i 07

8 Tecnisce Spezifikationen TURBOVAC 450 i Saugvermögen (l/s) Saugvermögen (l/s) TURBOVAC 350 i Ø Hocvakuum-Druck (mbar) 10 Ø Hocvakuum-Druck (mbar) Nitrogen Argon Helium Wasserstoff,8,8 100,7,8 G 1/ ,7 5, PURGE DN 25 KF ,4 G 1/8" 232 P DN 2 PU DN ,8,8 18,8 18,8 216 G 1/8" 32, , ,7 0,8,8 232 G 1/8" PURGE DN 25 KF 216 TURBOVAC (T) 450 i,8 G 1/8" Ø PURGE DN 25 KF Ø Ø ,4 TURBOVAC (T) 350 i,8 G 1/8" Ø ,8 G 1/8" P

9 Tecnisce Spezifikationen Tecnisce Daten TURBOVAC 350 i 450 i T 350 i T 450 i Hocvakuum-Anscluss DN Vorvakuum-Anscluss DN 25 KF 25 KF 25 KF 25 KF Saugvermögen für I s -1 N Ar He H Gasdurcsatz mbar I s -1 N 2 4,5 4,5 11,5 11,5 Ar He 8 8 H Kompressionsverältnis N Ar He H Enddruck / mit mbar < 10-8 /< zweistufiger ölgedicteter Drescieberpumpe Maximaler mbar ,5 0,5 Vorvakuum-Druck für N 2 Nenndrezal rpm Külung Standard Konvektion Külung optional Luft- oder Wasserkülung Gewict / kg 7,5/11,5 7,7/12,5 7,0/11,0 7,2/12,0 Empfolene Vorvakuum-Pumpen TRIVAC D 4 B D 4 B D 16 B D 16 B SCROLLVAC SC 5 D/15 D SC 5 D/15 D SC 15 D/30 D SC 15 D/30 D DIVAC 3,8 HV3 3,8 HV3 Versorgungsspannung 24/48V DC ± 10 % Maximale Stromaufname 10A bei 24V DC Maximaler Stromverbrauc 240W Scnittstellen RS 485, USB, 15-pin digital I/O

10 Bestellinformationen Für den Betrieb einer TURBOVAC i werden eine passende Vorvakuumpumpe sowie ein Netzgerät und entsprecende Kabel benötigt. Je nac Einsatzgebiet und Anwendung ist weiteres Zubeör notwendig. Pumpen TURBOVAC 350 i 450 i T 350 i T 450 i Hocvakuum-Flansc Kat.-Nr V V V V1000 Hocvakuum-Flansc cf Kat.-Nr V V V V1000 Zubeör Netzgerät, Kabel und Zubeör V0003 TURBO.POWER integra V0100 Kabel TURBOVAC i TURBO.POWER integra, 1 m V0300 Kabel TURBOVAC i TURBO.POWER integra, 3 m V0500 Kabel TURBOVAC i TURBO.POWER integra, 5 m V0002 Netzleitung, 3 m, Euro-Stecker V0003 Netzleitung, 3 m, UK-Stecker V1002 Netzleitung, 3 m, US-Stecker 5-15P, 115V V /48 V DC-Stecker TURBOVAC i V0021 An/Aus-Scalter TURBOVAC i Külung V0005 Luftkülung TURBOVAC 300 i radial V0006 Luftkülung TURBOVAC 300 i axial V0005 Wasserkülung TURBOVAC 300/400 i Heizung V0005 Heizmanscette DN 100, 230V V0006 Heizmanscette DN 100, 115V V0007 Heizmanscette DN 160, 230V V0008 Heizmanscette DN 160, 115V Firmensitz Deutscland Oerlikon Leybold Vacuum GmbH Bonner Straße 498 D Köln T +49 (0) F +49 (0) info.vacuum@oerlikon.com Belüftung und Sperrgas 8001V0012 Belüftungsventil TURBOVAC i, 24V DC, G 1/8 8001V0013 Sperrgasventil TURBOVAC i, 24V DC, 24 sccm, G 1/8 8001V0014 Sperrgasdrossel TURBOVAC i, 24 sccm, G 1/8 8001V0022 Stromausfallfluter TURBOVAC i, 24V DC, G 1/ V0022 Luftfilter für TMP, G 1/8 Installation V0021 Scutzgitter DN V0022 Splitterscutz DN V0031 Scutzgitter DN V0032 Splitterscutz DN V0021 Zentrierring mit Scutzgitter DN 100 /F V0022 Zentrierring mit Splitterscutz DN 100 /F V0031 Zentrierring mit Scutzgitter DN 160 /F V0032 Zentrierring mit Splitterscutz DN 160 /F V00 Befestigungssatz TURBOVAC DN V0021 Befestigungssatz TURBOVAC DN V0025 Befestigungssatz TURBOVAC DN 100 auf ISO-F V0030 Befestigungssatz TURBOVAC DN V0031 Befestigungssatz TURBOVAC DN V0035 Befestigungssatz TURBOVAC DN 160 auf ISO-F reinfaktor Gedruckt in Deutscland auf clorfreiem gebleictem Papier Tecnisce Änderungen vorbealten