DC-Sputter- Stromversorgungen
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- Ursula Gundi Frei
- vor 8 Jahren
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1 DC-Sputter- Stromversorgungen Technische Daten Geräteserie GS Geräteserie
2 Serie GS Tabelle 1 GS05 GS10 GS15 GS20 GS30 Nennleistung 0,5kW 1kW 1,5kW 2kW 3kW Ausgangsspannung 800V Ausgangsstrom 0,9A 1,7A 3A 3,5A 5,3A Manuell über Frontpanel oder externe Steuerung über A/D Schnittstelle AS 4 oder Profibus 3½-stellige Digitalanzeigen für Spannung, Strom und Leistung 230V, +5/-10%, 50/60Hz, PE 3 x 400V, +5/-10%, 50/60Hz, PE Leistungsaufnahme 0,6kVA 1,2kVA 1,8kVA 2,4kVA 3,6kVA Absicherung 6A 10A 6A 6A 10A Gewicht 9,5 Einschub, 3HE (132,5mm) 560mm tief 12kg Technische Daten Version
3 Tabelle 2 GS60 GS100 GS120 GS150 Nennleistung 6kW 10kW 12kW 15kW Ausgangsspannung 800V Ausgangsstrom 10A 17A 20A 25A Manuell über Frontpanel oder externe Steuerung über A/D Schnittstelle AS 4 oder Profibus 3½-stellige Digitalanzeigen für Spannung, Strom und Leistung 3 x 400V, +5/-10%, 50/60Hz, PE Leistungsaufnahme 6,6kVA 11kVA 13,2kVA 16,5kVA Absicherung 16A 20A 25A 25A 19 Einschub, 3HE (132,5mm) 570mm tief Gewicht 27kg 29kg 29kg 31kg Technische Daten Version
4 Tabelle 3 GS200 GS240 GS300 GS360 Nennleistung 20kW 24kW 30kW 36kW Ausgangsspannung 800V Ausgangsstrom 40A 50A 60A 75A Manuell über Frontpanel oder externe Steuerung über A/D Schnittstelle AS 4 oder Profibus 3½-stellige Digitalanzeigen für Spannung, Strom und Leistung Konverter 2 x E100 2 x E120 3 x E100 3 x E120 3 x 400V, +5/-10%, 50/60Hz Leistungsaufnahme 22kVA 27kVA 33kVA 40kVA Absicherung 3 x 35A 3 x 50A 3 x 50A 3 x 63A 19 Schaltschrank x 10HE x 770mm tief Gewicht 128kg 132kg 150kg 156kg Netzkabel Ausgangskabel 4 x 6mm² 4 x 10mm² 4 x 10mm² 4 x 16mm² 3 x 10mm² 3 x 10mm² 3 x 16mm² 3 x 25mm² Technische Daten Version
5 Tabelle 4 GS400 GS480 GS600 GS720 GS840 Nennleistung 40kW 48kW 60kW 72kW 84kW Ausgangsspannung 800V Ausgangsstrom 80A 100A 125A 150A 175A Manuell über Frontpanel oder externe Steuerung über A/D Schnittstelle AS 4 oder Profibus 3½-stellige Digitalanzeigen für Spannung, Strom und Leistung Konverter 4 x E100 4 x E120 5 x E120 6 x E120 7 x E120 3 x 400V, +5/-10%, 50/60Hz Leistungsaufnahme 44kVA 53kVA 66kVA 80kVA 93kVA Absicherung 3 x 80A 3 x 80A 3 x 100A 3 x 125A 3 x 160A 19 Schaltschrank x 31HE x 770mm tief Gewicht 265kg 273kg 297kg 321kg 345kg Netzkabel Ausgangskabel 4 x 25mm² 4 x 25mm² 4 x 35mm² 4 x 50mm² 4 x 70mm² 3 x 25mm² 3 x 35mm² 3 x 50mm² 3 x 70mm² 3 x 70mm² Technische Daten Version
6 Tabelle 5 GS960 GS1080 GS1200 Nennleistung 96kW 108kW 120kW Ausgangsspannung 800V Ausgangsstrom 200A 225A 250A Manuell über Frontpanel oder externe Steuerung über A/D Schnittstelle AS 4 oder Profibus 3½-stellige Digitalanzeigen für Spannung, Strom und Leistung Konverter 8 x E120 9 x E x E120 3 x 400V, +5/-10%, 50/60Hz Leistungsaufnahme 106kVA 119kVA 132kVA Absicherung 3 x 160A 3 x 200A 3 x 200A 19 Schaltschrank x 40HE x 770mm tief Gewicht 422kg 446kg 470kg Netzkabel Ausgangskabel 4 x 70mm² 4 x 95mm² 4 x 95mm² 3 x 95mm² 3 x 120mm² 3 x 120mm² Technische Daten Version
7 Serie Tabelle / 500/400 Nennleistung 20kW 25kW 30kW 20kW Ausgangsspannung 800V 800V 800V 500V Ausgangsstrom 40A 50A 60A 70A Externe Steuerung über A/D Schnittstelle AS 4, AS 4 F oder Profibus 3 x 400V, +/-10%, 50/60Hz Leistungsaufnahme 22kVA 28kVA 33kVA 22kVA Absicherung 3 x 35A 3 x 50A 3 x 63A 3 x 35A Wasseranschluß Wasser, > 3 L/Min, 2 bis 8 Bar, < 40 C Swagelok SS-QC6 Kühlleistung Wasser 900W 1100W 1300W 950W Kühlleistung Luft 100W 110W 150W 150W 19 Einschub, 3HE x 700mm tief (ohne Stecker) Gewicht 49kg 51kg 53kg 49kg Netzkabel 4 x 6mm² 4 x 10mm² 4 x 10mm² 4 x 6mm² Ausgangskabel 3 x 10mm² 3 x 10mm² 3 x 16mm² 3 x 16mm² (X2) Harting Han k4/0 DC-Anschluß (X1) Harting Han 2 MOD Technische Daten Version
8 ! " Tabelle 7 100/500/ 150/500/ 150/750/ 200/750/ 250/750/ Nennleistung 10kW 15kW 15kW 20kW 25kW Ausgangsspannung 500V 500V 750V 750V 750V Ausgangsstrom 40A 60A 38A 50A 60A Externe Steuerung über A/D Schnittstelle AS 4, AS 4 F oder Profibus 3 x 440V, +/-10%, 50/60Hz Leistungsaufnahme 11kVA 16,5kVA 16,5kVA 22kVA 28kVA Absicherung 3 x 20A 3 x 25A 3 x 25A 3 x 35A 3 x 50A Wasseranschluß Wasser, > 3 L/Min, 2 bis 8 Bar, < 40 C Swagelok SS-QC6 Kühlleistung Wasser 500W 680W 680W 900W 1100W Kühlleistung Luft 80W 80W 80W 100W 110W 19 Einschub, 3HE x 700mm tief (ohne Stecker) Gewicht 42kg 44kg 44kg 49kg 51kg Netzkabel Ausgangskabel 4 x 2,5mm² 4 x 4mm² 4 x 4mm² 4 x 6mm² 4 x 10mm² 3 x 10mm² 3 x 16mm² 3 x 10mm² 3 x 10mm² 3 x 16mm² (X2) Harting Han k4/0 DC-Anschluß (X1) Harting Han 2 MOD Technische Daten Version
9 # $ % & ' Tabelle 8 100/500/ 150/500/ 150/750/ 200/750/ 250/750/ Nennleistung 10kW 15kW 15kW 20kW 25kW Ausgangsspannung 500V 500V 750V 750V 750V Ausgangsstrom 40A 60A 38A 50A 60A Externe Steuerung über A/D Schnittstelle AS 4, AS 4 F oder Profibus 3 x 480V, +/-10%, 50/60Hz Leistungsaufnahme 11kVA 16,5kVA 16,5kVA 22kVA 28kVA Absicherung 3 x 20A 3 x 25A 3 x 25A 3 x 35A 3 x 50A Wasseranschluß Wasser, > 3 L/Min, 2 bis 8 Bar, < 40 C Swagelok SS-QC6 Kühlleistung Wasser 500W 680W 680W 900W 1100W Kühlleistung Luft 80W 80W 80W 100W 110W 19 Einschub, 3HE x 700mm tief (ohne Stecker) Gewicht 42kg 44kg 44kg 49kg 51kg Netzkabel Ausgangskabel 4 x 1,5mm² 4 x 4mm² 4 x 4mm² 4 x 6mm² 4 x 10mm² 3 x 10mm² 3 x 16mm² 3 x 10mm² 3 x 10mm² 3 x 16mm² (X2) Harting Han k4/0 DC-Anschluß (X1) Harting Han 2 MOD Technische Daten Version
10 ( ) * +, Maris Remote Control Typ RC4 Schnittstellenkompatibilität AS 3, AS 4, AS 4F (mit Adapter) Steueranschluß Betriebsspannung Sollwerteinstellung Gewicht 25-pol. Sub.-D 24V DC, interne Spannungsversorgung über die Schnittstelle 3½-stellige LCD, umschaltbar auf Istwert-Leistung, Istwert -Strom und Istwert -Spannung, Sollwert, Referenzspannung Umschaltbar: Ferngesteuerter Betrieb oder Bedienung über das Gerätefrontpanel Umschaltbar: Strom-, Spannungs- oder Leistungsregelung 10-Gang-Potentiometer mit Skalenknopf 280mm x 140mm x 110mm Ca. 0,7kg (ohne Kabel) Technische Daten Version
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