Ultra High Purity Transducer Typen WU-10, WU-15 und WU-16 mit und ohne Side-Access

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1 Elektronische Druckmesstechnik Ultra High Purity Transducer Typen WU-10, WU-15 und WU-16 mit und ohne Side-Access WIKA Datenblatt PE Anwendungen Halbleiter und Flat Panel Display Industrie Mikroelektronik-Technologie Gasverteilungssysteme (Gas Sticks, Gas Panels, Bulk-Gas Versorgung) Reinstwasserversorgung Besonderheiten Dünnfilm-Sensor Hervorragende Langzeitstabilität Austauschbare Elektronik Keinerlei Spannejustage erforderlich Schutzart IP 65 / IP 54 mit Side-Access Beschreibung Universell Der Typ WU-10 bietet mit seinem weiten Druckbereichsspektrum von Vakuum bis zu 400 bar (5000 psi), seiner kompakten Bauform und seiner sehr guten Performance eine perfekte Kombination aus ansprechendem Design und bewährter Messtechnologie. Flow Through Transducer der Reihe WU-15 wurden für Reinstmedien-Applikationen entwickelt, bei denen neben der einfachen Spülbarkeit des Transducers ein hoher Anspruch an eine bewährte, stabile Sensortechnologie gestellt wird. Durch den konstruktiv optimierten Sensoranschluss können Beeinflussungen des Sensorsignals auch bei unterschiedlichen Drehmomentbelastungen der Druckanschlüsse ausgeschlossen werden. Zuverlässig Von WIKA hergestellte Dünnfilm-Sensoren sind bereits seit Jahrzenten ein Garant für hohe Genauigkeit und Langzeitstabilität in der industriellen Druckmesstechnik. Wir verwenden spezielle Dünnfilm-Sensoren aus (Elgiloy ) um den besonderen Anforderungen der Reinstmedien-Industrie gerecht zu werden. WIKA Datenblatt PE /2007 Abb. links Transducer WU-10, Single End Abb. Mitte Transducer WU-15, Flow Through Abb. rechts Transducer WU-16, Modular Surface Mount Die von den Anwendern geforderte Langzeitdichtigkeit der UHP-Transducer sowie die vollständige Medientrennung, werden durch die hermetisch verschweißten Dünnfilm- Sensoren erreicht. Vielseitig Um den vielfältigen Bedürfnissen der UHP-Applikation gerecht zu werden, ermöglicht das modulare Design die Realisierung einer großen Zahl an Varianten. Alle medienberührten Teile werden bereits vor der Endmontage mit den modernsten Verfahren elektropoliert. Mit dem eingebauten Potentiometer kann der Nullpunkt bis zu 5 % des Endwertes justiert werden. Eine Spannejustage ist nicht erforderlich. Die austauschbare Elektronik ermöglicht den Wechsel des Verstärkers ohne die Geräte vom Prozess zu trennen. Die hohe Schutzart IP 65 (NEMA-4) gewährleistet den Einsatz auch unter schwierigen Bedingungen. Seite 1 von 6 UHP Transducer Nicht funkendes Betriebsmittel ; Typ NWU-1S; siehe Datenblatt PE UHP LED-Aufsteckanzeige; Typ WUR-1; siehe Datenblatt PE 87.20

2 Technische Daten Typ WU-10, WU-15, WU-16 WU-10 / WU-15 WU-16 Messbereich bar psi Überlastgrenze 1) bar Berstdruck 1) bar Messprinzip Werkstoff Messstoffberührte Teile Gehäuse Weitere Druckbereiche und Druckeinheiten (z. B. MPa, kg/cm 2 ) auf Anfrage 1) 1 bar = 14,50 psi Dünnfilm-Sensor Elgiloy (sensor); 316L VIM/VAR (Druckanschluss) CrNi-Stahl Oberflächengüte Elektropoliert, typ. Ra 0,18 µm (RA 7); max. Ra 0,25 µm (RA 10) Totraumvolumen mm 3 WU-10 < 1500, WU-15 < 1000, WU-16 < 1000 Zulässige Messstoffe Flüssigkeiten / Gase / Nebel Hilfsenergie UB UB in VDC 10 < UB 30 ( bei Ausgang 0, ,1 V und V) Kapazitive Bürde µf Max. 0,1 (Spannungsausgang) Max. Ausgangsstrom ma < 1 Ausgangssignal Spannung; Source ma < 30 Ausgangssignal Strom Einstellbarkeit Nullpunkt % d. Spanne ± 5 durch Potentiometer Einstellzeit ( %) ms 2 Spannungsfestigkeitsprüfung VDC 500 Genauigkeit % d. Spanne 0,25 für Messbereiche > 4 bar (BFSL) % d. Spanne 0,5 für Messbereiche 4 bar (BFSL) % d. Spanne 0,5 2) für Messbereiche > 4 bar % d. Spanne 1,0 2) für Messbereiche 4 bar 2) Einschließlich Nichtlinearität, Hysterese, Nullpunkt- und Endwertabweichung (entspricht Messabweichung nach IEC ). Kalibriert bei senkrechter Einbaulage Druckanschluss nach unten. Nichtlinearität % d. Spanne 0,15 für Messbereiche > 4 bar (BFSL) nach IEC % d. Spanne 0,3 für Messbereiche 4 bar (BFSL) nach IEC Stabilität pro Jahr % d. Spanne 0,2 (bei Referenzbedingungen) Zulässige Temperaturbereiche Messstoff C Umgebung C Lagerung C Kompensierter Temperaturbereich C Temperaturkoeffizienten im kompensierten Temperaturbereich: Mittlerer TK des Nullpunktes % d. Spanne 0,1 / 10 K Mittlerer TK der Spanne % d. Spanne 0,15 / 10 K CE-Kennzeichen Druckgeräterichtlinie 97/23/EG EMV-Richtlinie 89/336/EWG Störemission (Grenzwertklasse B) und Störfestigkeit nach EN Schockbelastbarkeit g 500 nach IEC (Schock mechanisch) Vibrationsbelastbarkeit g 10 nach IEC (Vibration bei Resonanz) Elektrische Schutzarten Kurzschlussfestigkeit Verpolschutz Masse kg ca. 0,1 Sig+ gegen UB- UB+ gegen UB- Seite 2 von 6 WIKA Datenblatt PE /2007

3 Ausgangssignal und zulässige Bürde ma, 2-Leiter zulässiger Bereich Stromausgang (2-Leiter) ma: R A < (U B 10 V) / 0,02 A Spannungsausgang (3-Leiter) 0,1... 5,1 V: R A > 5 kohm 0, ,1 V: R A > 10 kohm V: R A > 5 kohm V: R A > 5 kohm V: R A > 10 kohm mit R A in Ohm und U B in VDC Abmessungen in inch [mm] WU-10 mit Side-Access (IP 54 / Nema 3S) Bestellcode: M4 1/4 Überwurfmutter, drehbar Bestellcode: 72 Process connection variants 1/4 Schweißanschluss, 1/4 Druckschraube, drehbar Bestellcode: 71 1/4 T-Connector, Schweißanschluss Bestellcode: WT 1/4 T-Connector, Schweißanschluss (1 ) Bestellcode: WR WIKA Datenblatt PE /2007 Page 3 von 6

4 Abmessungen in inch [mm] WU-15 mit Side-Access (IP 54 / Nema 3S) Bestellcode: M4 1/4 Überwurfmutter, drehbar Bestellcode: 72 1/4 Überwurfmutter, drehbar Bestellcode: 72 Prozessanschluss-Varianten 1/4 Überwurfmutter, drehbar Bestellcode: 72, 1/4 Druckschraube, drehbar Bestellcode: 71 1/4 Druckschraube, fest Bestellcode: WG 1/4 Überwurfmutter, drehbar Bestellcode: 72, 1/4 Druckschraube, drehbar Bestellcode: 71 1/4 Druckschraube, drehbar Bestellcode: 71 1/4 Druckschraube, drehbar Bestellcode: 71 1/4 Schweißanaschluss, drehbar 1/4 Schweißanschluss, drehbar 1/4 Schweißanschluss, drehbar Seite 4 von 6 WIKA Datenblatt PE /2007

5 Prozessanschluss-Varianten WU-15 1/4 Druckschraube, fest, High Flow Through, Bestellcode: WM 1/4 Druckschraube, fest, High Flow Through, Bestellcode: WM nur verfügbar bei Messbereichen bis 25 bar / 300 psi Abmessungen in inch [mm] WU-16 Bestellcode: O4 mit Side-Access (IP 54 / Nema 3S) MSM C 1 1/2 SQ, Bestellcode: WC Prozessanschluss-Varianten MSM W 1 1/2 Bestellcode: WD MSM C 1 1/8 SQ Bestellcode: WE MSM W 1 1/8 Bestellcode: WF WIKA Datenblatt PE /2007 Seite 5 von 6

6 Abmessungen und elektrischer Anschluss WU-1 Abmessungen in inch [mm] 2-Leiter 3-Leiter Schutzart IP nach IEC M 12x1 4-polig, IP 65 (NEMA 4) *) Bestellcode: M4 Kabelausgang IP 65 (NEMA 4) *) Bestellcode: DI rot rot braun schwarz schwarz Bajonett- 4-polig, IP 65 (NEMA 4) *) Bestellcode: O4 SUB-D Stecker 15-polig, IP 54 (NEMA 3S) Bestellcode: TX R03 6-polig, IP 54 (NEMA 3S) Bestellcode: U6 * ) mit Side-Access IP 54 (NEMA 3S) Änderungen und den Austausch von Werkstoffen behalten wir uns vor. Die beschriebenen Geräte entsprechen in ihren Konstruktionen, Maßen und Werkstoffen dem derzeitigen Stand der Technik. Seite 6 von 6 WIKA Datenblatt PE / /2007 D WIKA Alexander Wiegand GmbH & Co. KG Alexander-Wiegand-Straße Klingenberg/Germany Tel. (+49) 9372/132-0 Fax (+49) 9372/ info@wika.de