Mikroskop- und Messsysteme für Qualitätssicherung und -kontrolle

Transkript

1 Mikroskop- und Messsysteme für Qualitätssicherung und -kontrolle Erfassen Sie das Wesen Ihres Bauteils: Schnell. Einfach. Übergreifend.

2 Der Moment, in dem Sie ein präzises Ergebnis erhalten. Und absolute Sicherheit. Für diesen Moment arbeiten wir. // präzision made by Carl Zeiss

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5 Erkennen Sie Ihre Wettbewerbs-Vorteile Ihr Wettbewerbsdruck im Automobil-, Flugzeug- und Maschinenbau, in der Elektro- und Chemieindustrie und in den erneuerbaren Energien ist enorm. Ihren Vorsprung vergrößern Sie mit immer besseren Produktionsprozessen. Sie haben Ihre Wertschöpfungskette im Auge: Jede Optimierung steigert die Leistung Ihrer Produktion. Sie verschaffen sich wertvolle Wettbewerbsvorteile. Sie achten auf Ihre Energieeffizienz. Sie verbessern Ihre Umweltbilanz. Und Sie senken Ihre Herstellungskosten. Ihre Kunden verlangen, dass Sie Ihre Werkstücke prüfen. Mikroskopie ist für Qualitätskontrolle und Fehleranalyse längst unerlässlich geworden. Erkennen Sie schon in der Produktion fehlerhafte oder verunreinigte Stellen, läuft die Zeit: Sie ermitteln die Ursache so zügig wie möglich und ergreifen alle Maßnahmen, damit nicht ganze Produktionslose entsorgt werden müssen. Durch die Kombination sich ergänzender Mikroskopieverfahren und -methoden analysieren und charakterisieren Sie Bauteile, Werkstoffe und Materialien umfassend. Lichtmikroskopische Techniken liefern Ihnen Informationen über Farbe, Morphologie, Struktur, Textur und Dimensionen. Untersuchungen mit Elektronen mikroskopen geben zusätzlich Aufschluss über die Zusammensetzung des Materials und die einzelnen Elemente. 5

6 Von Mikro bis Nano das breiteste Produktportfolio auf dem Markt Wählen Sie das beste Mikroskop für Ihre Anwendung: Die Systeme von Carl Zeiss Microscopy sorgen für Erkenntnisse vom Mikro- bis zum Nano-Bereich. Stereo Zoom Compound Konfokal 5 µm 5 µm 1 µm 500 nm 6

7 FIB REM Helium-Ionen TEM 5 nm 1 nm 0,5 nm 0,1 nm 7

8 Die Wahl des Werkzeugs zeigt den Meister Sie untersuchen Stahl, Verbundwerkstoffe, Kunststoffe, Keramiken und Biomaterialien. Sie quantifizieren Strukturen und Objekte. Sie analysieren mikroskopische Aufnahmen und dokumentieren Ihre Erkenntnisse. Nutzen Sie schon bei der Wahl Ihres Mikroskops die Erfahrung aus dem Hause Carl Zeiss: Mit einer umfassenden Auswahl an Methoden und Systemen unterstützen wir Sie rund um Produktion, Fertigung und Qualitätsprüfung. 8

9 Visuelle Inspektions-Systeme Sie produzieren und kontrollieren kleinste Komponenten mit Abmessungen im Mikrometerbereich. Ihre Fingerfertigkeit wird auf die Probe gestellt, wann immer Sie filigrane Zahnräder in Uhrenwerken justieren und medizintechnische Bauteile bearbeiten. Sie inspizieren die Lötstellen von Platinen und Leiterplatten oder untersuchen die Struktur Ihrer Metalle. Einfach, schnell, visuell. Automatisierte Imaging-Systeme Seite 10 Mikroskopische Analysen liefern Ihnen präzise, reproduzierbare Ergebnisse. Motorisierte Komponenten Ihres Mikroskops und automatisierte Arbeitsabläufe vereinfachen Ihre Auswertung. Sie finden heraus, wie Herstellungsprozesse und Verschleiß Tex turen beeinflussen und sich auf Interaktionen mit anderen Komponenten und Materialien auswirken. Zahlreiche Software-Module runden Ihr System ab. Korrelative Mikroskopie Seite 24 Charakterisieren Sie identische Probenstellen in Licht- und Elektronenmikroskopen umfassend: Mit Shuttle & Find, der Lösung für die korrelative Mikroskopie, schaffen Sie eine Verbindung zwischen beiden Systemen in der Material analyse. Topografie und 3D-Messtechnik Seite 42 Sie analysieren und vermessen technische und funktionale Oberflächen dreidimensional im Mikro- und Nanometerbereich. Von Ihren exakten und reproduzierbaren Ergebnissen hängen wesentliche Eigenschaften ab wie Haftung, Rauheit und Reibung. Seite 48 9

10 Visuelle Inspektions-Systeme Bearbeiten Sie kleine Teile mit großer Präzision 10

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12 Visuelle Inspektions-Systeme Stemi DV4 und Stemi DV4 SPOT Ein Mikroskop wie Ihre Bauteile: klein, präzise, stabil. Konfigurieren Sie Ihr System. Stemi DV4 ist ein besonders kompaktes Stereomikroskop. Die solide, strapazierfähige Technik ist leicht zu bedienen. Sie erfassen hochaufgelöste Bilder dreidimensional und stufenlos von der Übersicht bei 8-facher Ver größerung bis ins 32-fach vergrößerte Detail. Ihr Bild bleibt über den gesamten Zoombereich im Fokus kontrastreich und scharf bis zum Objektfeldrand. In den Mikroskopkörper von Stemi DV4 SPOT ist eine faseroptische Kaltlichtquelle integriert. Sie leuchtet Ihr Objektfeld homogen und schattenfrei aus. In Kombination mit dem Neigarmstativ U eignet sich Stemi DV4 SPOT ganz besonders für Ihre Proben: Sie fokussieren präzise und Ihre Probe bleibt immer zugänglich dafür sorgt das variabel einstellbare Vorsatzsystem. Mikroskop Stemi DV4 Stemi DV4 SPOT mit integrierter faseroptischer Kaltlichtbeleuchtung Beleuchtungsverfahren Auflicht: Spot-Beleuchtung, neigbar, Optional: Polarisation Durchlicht: homogenes Hellfeld, Optional: Polarisation, Dunkelfeld, Schräglicht mit Reliefkontrast Zubehör Okulare, Okularmesseinrichtung, Kamera-Okularadapter, Vorsatzsysteme, faseroptische Kaltlichtquellen mit diversen Lichtleitern 12

13 Mit Stemi DV4 verarbeiten Sie winzige Rädchen, Federn, Kloben, Brücken, Triebe, Glocken- und Sperrradschrauben, Zifferblatt-, Federkern-, Riegel- und Ansatzschrauben in Ihrem Uhrwerk Die Kombination von Stemi DV4 SPOT mit dem flexiblen Stativ U ist ein unentbehrliches Arbeitsmittel für den Zahntechniker. Sie bearbeiten Ihre Objekte durch die verbesserte Feinmotorik in besserer Qualität und kürzerer Zeit Einfacher, intelligenter, integrierter. Profitieren Sie in der industriellen Qualitätskontrolle von der hochwertigen Optik und der variabel einstellbaren LED-Beleuchtung in einer kompakten Einheit. Am Okular mikrometer 8x/32x/18 lesen Sie die Werte direkt an der Skala ab entweder in der Übersicht bei 8-facher Vergrößerung oder am Detail bei 32-facher Vergrößerung. Sie dokumentieren Ihre mikroskopischen Bilder digital: Bringen Sie Ihre digitale Kompakt-, Spiegelreflex- oder C-Mount-Kamera über einen Okular-Adapter am Mikroskop an. Mit dem am Stativ C LED nachrüstbaren Objektmagazin positionieren Sie bis zu 16 unterschiedliche Objekte zielsicher unter dem Stereomikroskop. ClickStop sorgt für die exakte Position unter dem Mikroskop, eine reflexarme Glasplatte schützt die Objekte. Für Ihre Anwendungen geschaffen. Sie sind Zahntechniker und bearbeiten vollkeramische Kronen exakt und sicher Gussperlen im Gerüst erkennen und entfernen Sie mit höchster Präzision. Ein gutes Auge zählt zu Ihren wichtigsten Uhrmacher- Eigenschaften: Mit Stemi DV4 verarbeiten Sie winzige Rädchen, Federn, Kloben, Brücken, Triebe, Glocken- und Sperrradschrauben, Zifferblatt-, Federkern-, Riegel- und Ansatzschrauben. Sie kontrollieren und bearbeiten Elektroden für Herzschrittmacher. Sie erfassen wertvolle forensische Beweise indem Sie Munitionsteile, Werkzeugspuren, Dokumente, Fasern, Lacke, Glas, Textilien und Haare analysieren. Körnen, bohren und fräsen Sie filigranste Schmuckstücke. Stechen Sie feinste Konturen, ohne zu ermüden. Sie sind Archäologe und dokumentieren Fundstellen und Fundstücke wie Splitter oder Schmuckstücke. 13

14 Visuelle Inspektions-Systeme Stemi 2000 Zoomen Sie sich stufenlos in wichtige Details Konfigurieren Sie Ihr System. Stemi 2000 zeigt Ihnen Proben so wie sie sind: detailreich, scharf bis zum Objektfeldrand und absolut verzeichnungsfrei. Profitieren Sie von be ein druckendem Bildkontrast. Sie verschaffen sich Überblick in einem 35 mm großen Objektfeld und bringen mit Ihrem großen Zoombereich von 7,7:1 Ihr Detail auf 50-fache Vergrößerung. Das leistet kaum ein anderes Stereomikroskop dieser Klasse. Sie zoomen komfortabel stufenlos oder reproduzierbar mit Clickstops das Objekt bleibt scharf fokussiert. Ihr Stemi 2000 ist robust und universell einsetzbar, und es arbeitet präzise. 14 Mikroskop Stemi 2000 Stemi 2000C (mit schaltbarem Anschluss für Foto- oder Videokamera) Stemi 2000CS (mit fester Strahlenteilung zum Anschluss für Foto- oder Videokamera) Beleuchtungsverfahren Auflicht und Durchlicht: Hellfeld, Dunkelfeld, Schräglicht, Polarisation Beleuchtung Faseroptische Kaltlichtquellen mit Spot-, Ring-, Linien-, Vertikal-, Diffusor- und Flächen beleuchtungen, LED-Ringleuchten mit Segmentfunktion, faseroptische sowie LED-Durchlichteinrichtungen Zubehör Okulare, Okularstrichplatten, Vorsatzsysteme, Kamaraadapter, Tischund Auslegerstative, Gleit-, Kugel- und Drehtisch, faseroptische und LED-Beleuchtungen, Pol-Einrichtungen für Auflicht und Durchlicht

15 Stemi 2000 liefert Ihnen brillante Bilder Ihrer dreidimensionalen Objekte und erlaubt die präzise Untersuchung von Lötverbindungen, Bohrungen, Rissen und Gewindeformen an zum Beispiel Leiterplatten und Platinen Qualitätsanalyse von Trikotagen Einfacher, intelligenter, integrierter. Kombinieren Sie Ihr Stemi 2000 mit Ausleger- und Neigarmstativen zur Untersuchung großflächiger Proben. Ein Arbeitsabstand von maximal 286 mm bietet Ihnen viel Raum zum Beleuchten, Positionieren und Bearbeiten Ihrer Probe. Eine Vielzahl an Wechseloptiken geben Ihnen zusätzliche Auflösung, Vergrößerung, Arbeitsabstand oder Objektfeldgröße. Flexibel zugeschnitten auf Ihre Bedürfnisse. Mit dem Vorsatzsystem 0,3x erhalten Sie ein Objektfeld bis 118 mm, mit dem Sie selbst eine CD als Ganzes betrachten. An Stemi 2000C und -CS schließen Sie komfortabel Fotound Video-Kameras an. Für Ihre Anwendungen geschaffen. Sie kontrollieren Leiterplatten auf Lötstellen, Partikel und Artefakte. Sie arbeiten in der Forensik, begutachten Munitionsteile und ordnen Geschosshülsen ihren Waffen zu. Sie vergleichen Dokumente, Sie prüfen Werkzeugspuren, Fasern, Lacke, Glas, Textilien und Haare. Sie analysieren, restaurieren, reinigen und konsvervieren Kunstwerke wie Gemälde und Skulpturen. Schicht für Schicht analysieren und identifizieren Sie das Material. 15

16 Visuelle Inspektions-Systeme SteREO Discovery.V8 Steigern Sie Ihre Flexibilität Konfigurieren Sie Ihr System. Mit SteREO Discovery.V8 erleben Sie deutlich mehr Flexibilität durch den modularen Aufbau. Wählen Sie zwischen Ergotuben, koaxialer Beleuchtung, Mitbeobachterbrücke und Zeichen-, Foto- und Fluoreszenzzwischentuben. Profitieren Sie von dem intensiven 3D-Eindruck Ihrer Objekte, parallaxefrei und brillant. Das Stativ 450 von SteREO Discovery.V8 ist groß, stabil und besonders schwingungsarm. Genießen Sie Platz im Probenraum, der auch die Adaption großer Tische erlaubt. 16 Mikroskop SteREO Discovery.V8 Beleuchtungsverfahren Hellfeld, Dunkelfeld, Schräglicht, Polarisation, Fluoreszenz Beleuchtung Faseroptische Kaltlichtquellen mit Spot-, Ring-, Linien-, Vertikal-, Diffusor-, Flächen- und Koaxialbeleuchtungen, LED-Ringleuchten mit Segmentfunktion, faseroptische und LED-Durchlichteinrichtungen Zubehör Okulare, Okularstrichplatten, Kameraadapter, Binokular und Trinokulartuben, Foto-, Zeichen-, Fluoreszenz- und Y-Zwischentuben sowie Mitbeobachtereinrichtung, diverse Objektive Achromat S, Plan S und PlanApo S, Tisch- und Auslegerstative, manuelle und motorische Fokussiersäulen, Gleit- und Kugeltisch, 360 -Pol-Drehtisch, Kreuz- und Messtische, faseroptische und LED Beleuchtungen und Polarisationseinrichtungen für Auflicht und Durchlicht

17 SMD-Platine mit weißem Lötstopplack, Auflicht mit Spaltringleuchte mit Polfiltereinrichtung zur Minimierung spiegelnder Reflexe, Objektiv: Plan S 1,0x; Vergrößerung: 15x Leiterplatte, Ringlicht, Objektiv: PlanApo S 1,5x; Vergrößerung: 16x Einfacher, intelligenter, integrierter. VisiLED Ringleuchten mit Segmentfunktion: Per Knopfdruck wechseln Sie von Ringbeleuchtung zu seitlichem Schräglicht. Drehen Sie das Schräglicht um Ihr Objekt und rotieren die Beleuchtung für einen räumlichen Objekteindruck in Ihrem Live-Bild. Die faseroptischen Kaltlichtquellen CL6000 LED und CL9000 LED liefern intensives Kaltlicht bei homogener Ausleuchtung des Objektfeldes. Durch die lange Lebensdauer der LED sind Lampenwechsel unnötig. Mit ihrem breiten Spektrum an Lichtleitern und Zubehör heben sie Ihre Objektstrukturen deutlich hervor. Sie nutzen verschiedene Fototuben mit der Schnittstelle 60N für Ihre digitalen Foto- und Videokameras. Für Ihre hohen Ansprüche empfehlen wir die hochauflösenden Mikroskopkameras AxioCam und die Imaging Software AxioVision von Carl Zeiss. Mit Objektivschlitten oder Objektivrevolver S/doc schieben Sie Ihr Objektiv senkrecht unter den rechten Stereokanal. Für senkrechte Beobachtung und Z-Stapel erhalten Sie so Abbildungen ohne Parallaxenfehler. Für Ihre Anwendungen geschaffen. Sie analysieren Lötstellen, Partikel und Artefakte auf Leiterplatten. Sie erfassen wertvolle forensische Beweise indem Sie Munitionsteile, Werkzeugspuren, Dokumente, Fasern, Lacke, Glas, Textilien und Haare analysieren. Sie sichern die Qualität medizinischer Geräte mit kontrast reichen Bildern, die kleinste Unregelmäßigkeiten auf und unter der Oberfläche von Kathetern und Skalpell klingen zeigen. 17

18 Visuelle Inspektions-Systeme Axio Vert.A1 Alle Kontraste. Keine Kompromisse. Konfigurieren Sie Ihr System. Axio Vert.A1 ist ein kompaktes, inverses Mikroskop, das Ihnen brillante Einblicke verschafft: Sie untersuchen große, schwere Bauteile mit allen üblichen Kontrastverfahren im Auflicht und im Durchlicht. Sie wählen ohne Kompromisse das beste Verfahren. Oder Sie kombinieren mehrere Kontrasttypen und gewinnen zusätzliche Erkenntnisse. Der kodierte 5-fach Objektivrevolver erfasst einen Objektivwechsel automatisch. Mit Hilfe des Lichtmanagers passen Sie die Beleuchtungsintensität an. Sie quantifizieren Ihr Gefüge effizient, beurteilen Eigenschaften und Qualität Ihrer Werkstoffe. Mikroskop Axio Vert.A1 (kodiert) Kontrastverfahren Auflicht: Hellfeld, Dunkelfeld, DIC, C-DIC, Polarisation, Fluoreszenz Durchlicht: Hellfeld, Polarisation, Phasenkontrast Beleuchtung 50 W HAL, 100 W HAL, VisLED Zubehör Strich- und Gefügevergleichsplatten, Ergotuben und Ergofototuben, Kreuz-, Gleit- und Scanningtische 18

19 Aluminiumlegierung, 100x, Hellfeld Aluminiumguss, 500x, C-DIC, Fotogenehmigung: Allied High Tech Products Inc. Einfacher, intelligenter, integrierter. Mit dem 5-fach Objektivrevolver von Axio Vert.A1 haben Sie immer die passende Vergrößerung zur Hand. Der Revolver ist so kodiert, dass Axio Vert.A1 Ihr Objektiv automatisch erkennt. Mit dem 4-fach Reflektorrevolver von Axio Vert.A1 bewegen Sie sich einfach und schnell zwischen den Kon trastverfahren. Strich- und Gefügevergleichsplatten statten Sie für Überblicksmessungen bestens aus. Die Imaging-Software AxioVision von Carl Zeiss hält zusätzlich ein leistungs fähiges Spektrum an Modulen wie Korngrößen- und Phasen analysen, Schichtdicken und Interaktives Messen für Ihre Untersuchungen bereit. Für Ihre Anwendungen geschaffen. Sie analysieren die Gefügestrukturen geätzter Oberflächen. Sie erkennen Korngrenzen und ziehen Rückschlüsse auf Korngrößen, Phasen und Gefügebestandteile. Sie sehen Farben und Pigmente. Verunreinigungen und Gefügebestandteile, wie zum Beispiel Graphit im Gusseisen, erfassen Sie bereits vor dem Ätzen. Mechanische Störungen der Oberfläche, Bruchstellen, Poren und Einschlüsse kommen genauso gut zum Vorschein wie Risse, Kratzer und Lunker. Sie beurteilen die Oberflächengüte bearbeiteter Werkstücke präzise und erkennen ebenso leicht Korngrenzen an geätzten Schliffen. Sie untersuchen die Struktur anisotroper Materialien, wie zum Beispiel Magnesium, Aluminium, Bronze und Messing. Im polarisierten Licht zeigen Ihnen die einzelnen Körner des Kristallgitters ihre charakteristische Farbe. Höhenunterschiede in Form von natürlichen Differenzen oder durch die Präparation erzeugte Artefakte erhalten als reliefartige Struktur einen 3D-Effekt. 19

20 Visuelle Inspektions-Systeme Axio Lab.A1 Ihr Universalwerkzeug für Materialanalyse Konfigurieren Sie Ihr System. Axio Lab.A1 ist in Leistung und Optik unschlagbar: Sie nutzen hervorragende Ergonomie, leichte Bedienbarkeit und exzellente Bildqualität für Ihre Anwendungen. Das Mikroskop ist klein und flexibel. Sie setzen es überall ein Axio Lab.A1 ist enorm strapazierfähig. Alle wichtigen Bedienelemente sind ergonomisch angeordnet und ausge sprochen leicht zu bedienen. Mit dem Stativ für Polarisation machen Sie anisotrope Strukturen sichtbar, wie zum Beispiel Kristalle und Fasern. Mikroskope Axio Lab.A1 (integrierte Auflichtbeleuchtung) Axio Lab.A1 (integrierte Durchlichtbeleuchtung für Orthoskopie) Axio Lab.A1 ( integrierte Durchlichtbeleuchtung für Konoskopie) Kontrastverfahren Auflicht: Hellfeld, Dunkelfeld, C-DIC, Polarisation Durchlicht: Orthoskopie: lineare und zirkulare Polarisation, Konoskopie, Hellfeld, Dunkelfeld, Phasenkontrast Beleuchtung Auflicht: 12 V 50 W HAL, Optional: LED Durchlicht: 12 V 35 W HAL, Optional: LED Zubehör Kreuztisch, Polarisationsstativ für Orthoskopie und Konoskopie und 360 -Polarisations-Drehtische, Messkompensatoren, Fototuben, Ergofototuben 20

21 Plagioklas (Feldspat), Zwillingslamellierung im Polarisationskontrast. Dr. M. Magnus, Institut für Geologie und Paläontologie, TU Bergakademie Freiberg Stahlgefüge, EC Epiplan 20x/0,4 im Dunkelfeld Einfacher, intelligenter, integrierter. Mit 5 Objektivpositionen bietet Axio Lab.A1 ausreichend Platz für Ihre wichtigen Objektive für schnellen Probendurchsatz und hohen Bedienkomfort. Wählen Sie zwischen Hellfeld-, Hell- und Dunkelfeld- sowie DIC- oder POL-Objektiven. Wechseln Sie mit dem 4-fach Reflektorrevolver ganz einfach zwischen den verschiedenen Kontrastverfahren. Das Kontrastverfahren C-DIC wandelt auch kleinste Änderungen der Oberflächenmorphologie in Helligkeitsunterschiede um und sorgt so für einen sehr guten Kontrast bei sonst kontrastarmen Proben. Axio Lab.A1 für Konoskopie sorgt für besonders einfache Bedienung: Analysator und Bertrandlinse sind im Gerät integriert und logisch miteinander gekoppelt. Mit dem Einschwenken der Bertrandlinse in den Strahlengang sorgt diese mechanisch logische Koppelung dafür, dass auch der Analysator in die Betriebsposition schwenkt. Ihre Werkzeuge und Kabel bewahren Sie in einer Klappe an der Rückseite Ihres Axio Lab.A1 auf. Für Ihre Anwendungen geschaffen. Axio Lab.A1 ist das kompakte Mikroskop für Ihre Gefügeuntersuchungen, für das Bestimmen von Korngrößen, Struktur, Verteilung, Phasen und für Ihre schnellen Analysen vor Ort. Sie analysieren die Mikrostruktur von Metallen und erfassen Informationen über Mechanismen, die zu Materialfehlern wie Ermüdung, Korrosion, Kriechverformung, Spannungsrissen und Brüchen fuhren. Mit dem Polarisationskontrast charakterisieren Sie Haare, Erde und Fasern in der Forensik. Farbsplitter analysieren Sie mit Hellfeld-, Fluoreszenz- und Polarisations-Mikroskopie. Als Geologe analysieren Sie Gesteins- und Mineralproben, zum Beispiel für die Erdölproduktion. Im Umweltschutz identifizieren Sie beispielsweise Typen von Asbestfasern. 21

22 Visuelle Inspektions-Systeme Axio Scope.A1 Nutzen Sie genau das Mikroskop, das Sie gerade brauchen Konfigurieren Sie Ihr System. Das Allround-Mikroskop Axio Scope.A1 ist modular konzipiert. Aus fünf Oberteilen, drei Unterteilen oder zwei Vario-Säulen konfigurieren Sie Ihr System nach Maß. Für Durchlicht, Auflicht oder beides. Axio Scope.A1 ist besonders wirtschaftlich: Sie beschaffen immer nur die Komponenten, die Sie gerade brauchen. Alle weiteren rüsten Sie nach, sobald Sie Ihr Einsatzgebiet ausweiten oder verändern. Mit umfangreichem Zubehör passen Sie das System individuell an Ihre Anwendungen an. Mikroskop Axio Scope.A1 Kontrastverfahren Auflicht: Hellfeld, Dunkelfeld, DIC, C-DIC, Polarisation, Fluoreszenz Durchlicht: Hellfeld, Dunkelfeld, DIC, PlasDIC, Polarisation, Phasenkontrast Beleuchtung Auflicht: 12 V 50 W HAL, 12 V 100 W HAL, 100 W HBO, 75 W XBO, LED Durchlicht: 12 V 50 W HAL, 12 V 100 W HAL, LED Zubehör Reflektoreinsätze, Zwischenstücke, Kreuztische, Ergotuben, Infinity Space Camera Port 22

23 Dünnschicht-Solarzelle, Auflicht, Polarisationskontrast, EC Epiplan-NEOFLUAR 50x/0,80 Kupfersulfatkristalle, Auflicht, PlasDIC, A-Plan 10x/0,25 /- Einfacher, intelligenter, integrierter. Sie untersuchen große Proben zerstörungsfrei in einem Stück: Variieren Sie Ihren Probenraum durch Zwischenstücke. Mit Axio Scope.A1 erreichen Sie bis zu 110 mm Probenraumhöhe, mit der Vario Säule sogar bis zu 380 mm. Durch 23 Stativvarianten und zahlreiche Schnittstellen passen Sie Ihr Mikroskop Ihren Anforderungen an. So sind Sie auf alles vorbereitet, was Ihre Arbeit auch in Zukunft mit sich bringen wird. Konsequent schwingungsarm, basierend auf einer Grundplatte aus Metall, erfüllt die spezielle Konstruktion der Stativsäulen höchste Anforderungen an die Standfestigkeit. Für Ihre Anwendungen geschaffen. Sie prüfen Gefüge großer Bauteile und analysieren Korngrößen, Struktur, Phasen und Kornverteilung. Sie messen die Schichtdicken und den gleichmäßigen Auftrag von Lacken. Sie bewerten die Oberflächenqualität und erkennen Einschlüsse und Schmutzpartikel. 23

24 Automatisierte Imaging-Systeme Schnelles und komfortables Imaging erleichtert die Analyse 24

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26 Automatisierte Imaging-Systeme SteREO Discovery.V12 und SteREO Discovery.V20 Brillante Bilder in 3D Konfigurieren Sie Ihr System. Mit SteREO Discovery.V12 und SteREO Discovery.V20 profitieren Sie von vielseitig verwendbaren, motorisierten Stereomikroskopen. Umfangreiches Zubehör stattet Sie für Ihre individuellen Anforderungen bestens aus. Wählen Sie zwischen Ergotuben, Mitbeobachterbrücke- und Foto- und Fluoreszenzzwischentuben. Sie arbeiten mit professionellen Komplettsystemen zur digitalen Bildverarbeitung. Der große Arbeitsabstand lässt Ihnen Spielraum für Ihre Proben. Mit dem 20-fach Zoom von SteREO Discovery.V20 gewinnen Sie an Flexibilität und wechseln von der Übersicht bis in kleinste Details brillant, kontrastreich, dreidimensional. 26 Mikroskope SteREO Discovery.V12 (motorisierter Zoom) SteREO Discovery.V20 (motorisierter Zoom) Beleuchtungsverfahren Hellfeld, Dunkelfeld, Schräglicht, Polarisation, Fluoreszenz Beleuchtungen Faseroptische Kaltlichtquellen mit Spot-, Ring-, Linien-, Vertikal-, Diffusor-, Flächen- und Koaxialbeleuchtungen, LED-Ringleuchten mit Segmentfunktion, faseroptische sowie LED-Durchlichteinrichtungen. Zubehör Okulare, Okularstrichplatten, Kameraadapter, Binokular und Tri no kulartuben, Foto-, Zeichen-, Fluoreszenz- und Y-Zwischentuben sowie Mitbeobachtereinrichtung, diverse Objektive Achromat S, Plan S und PlanApo S, Tisch- und Auslegerstative, manuelle und motorische Fokussiersäulen, Gleit- und Kugeltisch, 360 -Pol-Drehtisch, Kreuz- und Messtische, faseroptische und LED-Beleuchtungen

27 Halbleiterelement, Auflicht-Dunkelfeld, Objektiv: PlanApo S 1,5x, Vergrößerung: 125x Halbleiter, Auflicht-Dunkelfeld, Objektiv: PlanApo S 1x, Vergrößerung: 7,5x Einfacher, intelligenter, integrierter. SteREO Discovery.V12 und SteREO Discovery.V20 arbeiten mit einer elektronisch erzeugten Zoomsteuerkurve. Sie profitieren von der präzisen Ansteuerung frei wählbarer Vergrößerungsposititonen mit einer Reproduziergenauigkeit des Abbildungsmaßstabes von mehr als 99%. Durch den großen Zoombereich des Mikroskopkörpers realisieren Sie mit SteREO Discovery.V20 auch hohe Vergrößerungen mit kleineren Objektiven. Die damit verbundenen kleineren Stereowinkel verbessern den Raumeindruck des mikroskopischen Bildes. Sie nehmen selbst kleinste Details sehr viel schneller wahr. SteREO Discovery bietet Ihnen ein breites Spektrum an Modulen und Zubehörkomponenten. Für welchen Gerätetyp Sie sich entscheiden, Sie haben jederzeit die Freiheit, Ihr System bedarfsgerecht auszubauen. Bis hin zu dem leistungsfähigsten Imaging- System, das die Stereomikroskopie zu bieten hat. Mit dem Controlpanel SyCoP steuern Sie alle wesentlichen Funktionen des Mikroskops. Schnell, präzise und reproduzierbar. Ohne dabei den Blick vom Okular zu nehmen: Ihre Aufmerksamkeit gilt dem Objekt. Für Ihre Anwendungen geschaffen. Sie analysieren Lötstellen, Partikel und Artefakte auf Leiterplatten. Sie erfassen wertvolle forensische Beweise, indem Sie Munitionsteile, Werkzeugspuren, Dokumente, Fasern, Lacke, Glas, Textilien und Haare analysieren. In der Pharmaindustrie testen Sie therapeutische Produkte, analysieren deren Zusammensetzung und Qualität. 27

28 Automatisierte Imaging-Systeme Axio Zoom.V16 Ihr ezoom-mikroskop für große Objektfelder Konfigurieren Sie Ihr System. Ihr Axio Zoom.V16 ist das hochauflösende, apochromatische On-Axis-Zoommikroskop von Carl Zeiss mit einem Vergrößerungsbereich von 16:1. Mit großen Arbeitsabständen und einem einzigen Objektiv zoomen Sie von großen Objektfeldern bis zum kleinsten Detail. Die besondere Stärke Ihres Axio Zoom.V16 sind große Kachel- Bilder bei niedriger Vergrößerung zum automatischen Stitchen. Durch die große Objektivapertur im Vergleich zu Stereomikroskopen erzielen Sie gerade im unteren Vergrößerungsbereich eine deutlich bessere Auflösung. Durch deutlich geringere Aufnahmezeiten erfassen Sie Ihre Bilder effizienter. Und Sie beschleunigen Ihre quantitative Analyse. Mikroskop Axio Zoom.V16 (manueller Fokus) Axio Zoom.V16 (Fokusmotor) Beleuchtungsverfahren Durchlicht: Hellfeld, Dunkelfeld, Schräglicht Auflicht: Hellfeld, Dunkelfeld, Schräglicht, Fluoreszenz Beleuchtung Kaltlichtquellen CL 1500 Eco, CL 6000 LED, CL 9000 LED CAN mit faseroptischen Spot-, Ring-, Linien-, Vertikal-, Diffusor-, Flächen- und Koaxial-Beleuchtungen. VisiLED Ringleuchten mit Segmentfunktion. Faseroptische sowie LED- Durchlichteinrichtungen. Zubehör Gleittisch, Kreuztisch, HIP, MaRC, SyCoP 3 28

29 Zündkerze: Inspektion von Funktionskeramikbauteilen; Analyse unterschiedlicher Werkstoffgefügetypen wie zum Beispiel Porenausbildung in Isolatorkeramik, leitfähige Verbundmaterialien, Stahl- und Kupferstifte Kohlebürste: Großflächige Betrachtungen von Gefügeinhomogenitäten; Verteilung leitender Phasen wie zum Beispiel Cu-Partikel und harter Phasen; Visualisierung von Fertigungseinflüssen Einfacher, intelligenter, integrierter. Ihr Axio Zoom.V16 kombiniert seinen 16-fachen Zoom mit hoher Apertur und großem Arbeitsabstand: Schon im unteren bis mittleren Vergrößerungs bereich erzielen Sie eine sehr hohe Auflösung. In großen Objektfeldern erhalten Sie deutlich mehr Informationen. Und das bis zu viermal schneller und effektiver als mit konventionellen Mikroskopen. Ihr Axio Zoom.V16 nutzt eine motorische Irisblende. Per Knopfdruck wählen Sie den Ideal-Modus für Ihre Anwendung Mit dem EpiRel-Kontrast Ihres Axio Zoom.V16 erfassen Sie Höhen unterschiede im Hellfeld: Sie beleuchten Ihre Probe von der Seite im koaxialen Auflicht. Helle und dunkle Flanken verleihen Ihrem Objekt deutlich mehr Plastizität als im herkömmlichen Hellfeld. Für Ihre Anwendungen geschaffen. Sie analysieren den Gefügeaufbau (z.b. Phasen, Korngröße, Texturen, Ausscheidungen) und Gefügefehler (z.b. Einschlüsse, Poren, Lunker, Risse, Inhomogenitäten) Ihrer Bauteile. Sie erstellen Übersichtsaufnahmen kompletter Bauteile und zoomen in kleinste Details ohne Objektivwechsel. Sie erfassen die Morphologie und inneren Strukturen Ihrer Wafer. 29

30 Automatisierte Imaging-Systeme Axio Imager und Axio Imager Vario Navigieren Sie komfortabel Konfigurieren Sie Ihr System. Sie sichern die Qualität und untersuchen unterschiedlichste Materialien. Axio Imager 2 und Axio Imager Vario passen sich Ihren Aufgaben an. Die leistungsstarken Imaging-Systeme sind leicht zu bedienen und liefern verlässliche Ergebnisse. Alle wesentlichen Komponenten sind kodiert und auf Wunsch motorisiert. Von der Bildaufnahme über automatisierte Workflows bis zum komplexen Scanning sind Ihre Aufgaben jederzeit präzise reproduzierbar. Mikroskop Axio Imager.A2m (manuell, kodiert) Axio Imager.D2m (teilweise motorisiert) Axio Imager.M2m (teilweise motorisiert) Axio Imager.Z2m (motorisiert) Axio Imager Vario.A2 (manuell, kodiert mit motorisiertem Fokus) Axio Imager Vario.Z2 (motorisiert) Kontrastverfahren Auflicht: Hellfeld, Dunkelfeld, DIC, C-DIC, Polarisation, Fluoreszenz Durchlicht: Hellfeld, Dunkelfeld, DIC, PlasDIC, Polarisation, Phasenkontrast Beleuchtung Auflicht: 12 V, 100 W HAL und 12 V 100 W HBO, 12 V LED, 75 W XBO Durchlicht: DL 12 V 100 W HAL und 12 V LED 30 Zubehör Manuelle und motorische Kreuztische, 360 -Polarisations-Drehtische, Scanningtische, Einlegeplatten und Objekthalter, Ergotuben, Ergofototuben, Docking Station, MARC

31 Monokristalline Silizium-Solarzelle, C-DIC, EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0,95 TFT-Bildschirm im Durchlicht, Hellfeld, EC Epiplan-APOCHROMAT, 10x/0,30 Einfacher, intelligenter, integrierter. Die stabile und verwindungssteife Säule von Axio Imager Vario verschafft Ihnen einen XXL-Probenraum für Werkstücke bis zu 254 mm Höhe und 300 mm seitlicher Ausdehnung. Ihre Arbeitsabläufe lassen sich automatisieren, Sie messen schnell und reproduzierbar. Die Kernelemente von Axio Imager wie Objektivrevolver, Fokusführung und Tisch sind als Stabile Zelle vom Rest des Stativs entkoppelt. Die gesamte Einheit ist praktisch schwingungsfrei ausgelegt und unempfindlich gegenüber thermischen Einflüssen. Die Objektivrevolver von Axio Imager bieten Platz für bis zu sieben Objektive. Nutzen Sie die gesamte Normvergrößerungsreihe von 1-fach bis 100-fach. Mit Axio Imager Vario wird nicht die Probe, sondern der Objektivrevolver fokussiert. Vor allem bei schweren Proben haben Sie somit eine hohe Fokussier- und Wiederholgenauigkeit. Für Ihre Anwendungen geschaffen. Sie untersuchen die Oberflächen von Solarzellen auf Homogenität und Regelmäßigkeit der Struktur, auf Verteilung und auf Spannungen und Mikrorisse. Sie bestimmen Partikel, Kratzer und Defekte bei Wafern. Sie finden Pixeldefekte bei TFT-Displays. Sie analysieren automatisiert metallische Gefüge. Sie führen Restschmutzanalysen automatisiert durch. 31

32 Automatisierte Imaging-Systeme Solarzellen unter dem Mikroskop Prüfen Sie die Mikrostruktur und verbessern Sie die Energieausbeute Isolationsgraben einer monokristallinen Silizium-Solarzelle, Axio Imager, EC Epiplan-APOCHROMAT 20x/0,60 Silizium-Oberflächen: Der Wirkungsgrad steigt mit der Homogenität Photonen übertragen Kräfte. Wenn sie beim Auftreffen auf eine Oberfläche Elektronen aus ihrer Bindung lösen, entsteht elektrischer Strom man spricht vom Fotoeffekt. Hersteller fotoelektrischer Oberflächen betrachten Effizienz und Kosten-Nutzen-Verhältnis als entscheidende Größen. Die Anforderungen an Reinheit und Güte sind enorm. Mit Mikroskopie-Systemen von Carl Zeiss sichern Solarspezialisten die Qualität ihrer Produkte. 32 In mono- oder polykristalline Silizium-Oberflächen wird eine Struktur geätzt, damit sie mehr Licht aufnehmen. Je gleichmäßiger die Struktur, desto höher ist der Wirkungsgrad. Auf Vorder- und Rückseite werden Metallkontakte aufgebracht. Die feinsten Kontakte sind rund 120 Mikrometer breit und nur 20 bis 30 Mikrometer hoch. Mit Ihrem Mikroskop erkennen Sie Topografie und Güte der Verbindung. Als einer der letzen Arbeitsschritte bei der Herstellung werden die Isolationsgräben gezogen mechanisch oder mit Laserlicht. Ihr ZEISS-Mikroskop erfasst, wie gleichförmig Ihre Isolierung gearbeitet ist.

33 Silberfinger auf polykristalliner Solarzelle, Axio Imager, EC Epiplan-APOCHROMAT 20x/0,60 Oberfläche einer Dünnfilm- Solarzelle, Axio Imager, Auflicht, Polarisation, EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0, µm Oberfläche einer monokristallinen Silizium-Solarzelle, Axio Imager, EC Epiplan-APOCHROMAT 100x/0,95 Oberfläche einer Dünnfilm- Solarzelle, Axio Imager, Durchlicht, Polarisation mit Lambda-Platte, EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0,95 20 µm Dünnschichtzellen: Präzision prüfen im Nanometer-Bereich Dünnschichtzellen bestehen aus nur wenigen Mikrometer starken Siliziumschichten auf Glasträgern. Wird der Träger erhitzt, bilden sich Kristalle. Mit dem Mikroskop erfassen Sie Verteilung und Ausrichtung der Kristalle. Sie erhalten Rückschlüsse zu Spannungsdifferenzen, und Sie untersuchen die kristallinen Siliziumschichten auf Haarrisse. Im Hellfeld mit Auf- und Durchlicht prüfen Sie die Homogenität der Schichten. Die Schichtstärke beträgt nur einige hundert Nanometer. An den Zellrändern misst ein konfokales Mikroskop oder ein Lichtmikroskop mit Total Interference Contrast die Schichtdicke einfach, präzise und berührungsfrei. Das Zusammenspiel hunderter Zellen sorgt für die nötige Spannung. Die Zellen werden mechanisch oder mit Laserlicht isoliert. Der Isolationsgraben muss durchgängig und gleichmäßig tief sein. Mit Ihrem Lichtmikroskop von Carl Zeiss prüfen Sie, ob er zuverlässig trennt, die untere Schicht nicht verletzt und frei von Rückständen ist. 33

34 Automatisierte Imaging-Systeme System NMI Analysieren Sie nicht-metallische Einschlüsse. Automatisch. Normgerecht. Konfigurieren Sie Ihr System. Nicht-metallische Einschlüsse beeinflussen die Eigenschaften von Stahl. Die Kenntnis des Gefüges und die Identifikation von Einschlüssen liefern Ihnen wichtige Informationen für Produktentwicklung und Qualitätssicherung. Mikroskope Axio Imager.M2m Axio Imager.Z2m Axio Observer.Z1m Die neue Norm EN sieht Standards vor, nach denen Sie die Reinheit von Stahl automatisch erfassen. Die europaweite Richtlinie setzt präzise Messergebnisse voraus. Gemeinsam mit Stahlexperten hat Carl Zeiss eine vollautomatisierte Bildanalyse entwickelt: Das System NMI. Damit greifen Sie jederzeit auf exakt reproduzierbare Ergebnisse zu. Software NMI (Bildanalyse), MosaiX (Bildaufnahme Scanningtisch) Optional: weitere metallographische Module, z.b. Korngrößenanalyse, Mehrphasenanalyse, Gusseisenanalyse, Richtreihen Zubehör AxioCam MRc AxioCam MRm 34

35 Bei der Aufnahme von MosaiX Bildern werden große Einschlüsse vollständig erfasst, bei der Einzelbildaufnahme könnten diese abgeschnitten werden. Mit freundlicher Genehmigung der SKF GmbH, Schweinfurt Sulfidische Einschlüsse in Stahl Einfacher, intelligenter, integrierter. Reproduzierbarkeit: Die Stative Axio Imager.Z2m und Axio Observer.Z1m arbeiten motorisch, die automatische Bildanalyse sowie speicherbare Einstellparameter stehen für exakte Reproduzierbarkeit. Arbeiten Sie gleichzeitig nach mehreren Normen: Das System NMI misst nach den Normen DIN 50602, EN 10247, ASTM E45, ISO 4967 und JIS G 0555 gleichzeitig. Sie profitieren vor allem in der Übergangsphase von DIN zu EN vom Vergleich Ihrer Ergebnisse. Verschaffen Sie sich einen schnellen Überblick: Der Workflow des Systems NMI passt sich Ihren Arbeitsabläufen in der Routine an. Mit wenigen Klicks starten Sie die Analyse, erstellen Sie Ihren Prüfbericht und archivieren Sie Ihre Ergebnisse. Das System präsentiert Ihnen Ihre Kenngrößen auf einen Blick. Normspezifische Verfahren sind übersichtlich dargestellt. Die Galerieansicht erfasst die Einschlusstypen Sie erhalten einen schnellen Überblick über sulfidische, oxidische und globulare Einschlüsse. Interessante Einschlüsse relokalisieren Sie per Mausklick. Für Ihre Anwendungen geschaffen. Sie analysieren die Mikrostruktur von Stahl qualitativ und quantitativ und bestimmen die Stahlreinheit. Sie untersuchen Gehalt und Verteilung nicht-metallischer Einschlüsse basierend auf Farbe, Helligkeit, Form und Anordnung. Sie bewerten Einschlüsse über Vergleiche mit Bildern einer Richtreihe. Sie identifizieren Sulfide und Oxide präzise und normgerecht. 35

36 Automatisierte Imaging-Systeme System Particle Analyzer Untersuchen Sie kleinste Partikel im großen Stil Konfigurieren Sie Ihr System. Ihre Anforderungen an die Sauberkeit von Materialien steigen. Sie tragen dieser Entwicklung Rechnung, beobachten immer kleinere Partikel und analysieren Ihr Material wiederholt. Particle Analyzer ist für die Praxis gemacht, für die Qualitätskontrolle in der industriellen Routine. Sie identifizieren Partikel lichtmikroskopisch anhand ihrer Morphologie. Ob ISO 16232, VDA Band 19, ISO 4406/4407. ParticleScan VP ist das Prozess-Analyse-Tool für Ihre Produktionsumgebung: Die Partikelanalyse-Software SmartPI macht Ihr ParticleScan-System zum Spezialisten für pharmazeutische Pulver bis zu Stahleinschlüssen. Sie erhalten Aufschlüsse über die Materialzusammensetzung der Partikel im nanoskopischen Bereich und ziehen Rückschlüsse auf den Fertigungsprozess. Mikroskope Axio Imager.M2m und Axio Imager.Z2m: mit Scanningtisch Partikelgröße ab 2,5 µm SteREO Discovery.V8 und SteREO Discovery.V12: mit Scanningtisch Partikelgröße ab 25 µm Rasterelektronenmikroskop: ParticleSCAN VP Software Particle Analyzer (Bildanalyse) MosaiX (Bildaufnahme Scanningtisch) Optional: GxP SmartPI Zubehör AxioCam MRc AxioCam MRm AxioCam ICc 36

37 Reflektierende, nicht-reflektierende Partikel, Polymere und Fasern auf Filtermembran Mikroskop: Axio Imager.Z2m Objektiv: EC Epiplan-NEOFLUAR 10x/0,25 Kamera: AxioCam MRc 3 Klassifikation der Partikel anhand ihrer Elementzusammensetzung und Morphologie Einfacher, intelligenter, integrierter. Von den Kontrastverfahren, der Wahl der Objektive, der Belichtungszeit der Kamera bis hin zu Beleuchtungseinstellungen: Ihre motorischen Mikroskopsysteme stellen sicher, dass alle Einstellungen korrekt gewählt sind. In Kombination mit der vollautomatischen Bildanalyse in AxioVision erhalten Sie jederzeit reproduzierbare Ergebnisse sicher und zuverlässig. Die Galerieansicht bietet einen schnellen Überblick über die reflektierenden, nicht-reflektierenden und faserförmigen Partikel. Interessante Partikel relokalisieren Sie so schnell. In Kombination mit einem Röntgenstrahlen-Analyse-System messen, klassifizieren und dokumentieren Sie Größe, Form und chemische Zusammensetzung Ihrer Partikel-Proben. Für Ihre Anwendungen geschaffen. Überprüfung der Bauteilsauberkeit: Sie bestimmen den Restschmutzgehalt auf Bauteilen nach Reinigung normgerecht und automatisch bzgl. Anzahl, Größe, Morphologie, Typ (reflektierend, nicht-reflektierend, Fasern) nach ISO 16232, VDA 19. Sie bestimmen den Restschmutzgehalt in Frisch- und Gebrauchtölen sowie in Schmierstoffen normgerecht und automatisch bzgl. Anzahl, Größe, Morphologie, Typ (reflektierend, nicht-reflektierend, Fasern) nach ISO 4406/4407. Druckgussbauteile inspizieren Sie auf herstellungsbedingte Fehler wie Poren, Lunker und Hohlräume vollautomatisch bzgl. Anzahl, Größe und Flächenanteile. In der Pharmaindustrie, Medizintechnik sowie der Chemischen Industrie detektieren und bestimmen Sie Objekte und Strukturen vollautomatisch bzgl. Anzahl, Größe und Morphologie. 37

38 Automatisierte Imaging-Systeme EVO MA und EVO HD Rasterelektronen-Mikroskopie für Ihre anspruchsvollen Proben Konfigurieren Sie Ihr System. Mit den Rasterelektronen-Mikroskopen der EVO-Serie genießen Sie ein Maximum an Freiheit: Sie nutzen genau die zu Ihren bildgebenden und analytischen Verfahren passenden Detektoren, Kammergrößen und Probentische auch bei Ihren In-situ- Experimenten. Sie wählen aus drei Strahlquellen und einer umfassenden Palette an Zubehör. Sie betrachten und analysieren Ihre elektrisch leitenden und nichtleitenden Proben. Druck und Restfeuchte stellen Sie variabel ein. Die High-Definition-Technologie brilliert mit stark verbesserter Bildgebung und Analytik. Bei niedriger Beschleunigungs-Spannung sorgt sie für oberflächensensitive Abbildung mit hohem Materialkontrast. Sie erfassen deutlich mehr Details und erhalten reproduzierbare Daten. Auflösung 3 nm (2 30 kv SE und W (LaB6) 4,5 30 kv BSD (VP Modus) kv 1 na 20 nm (15 nm / 8 1 kv SE und W (LaB6 / HD) 10 nm (5 3 kv SE und W (HD) Beschleunigungsspannung 0,2 30 kv Vergrößerung < x / < x Röntgenstrahlenparameter 8,5 mm WD / 35 TOA Druckbereich Pa 38 Verfügbare Detektoren BSD, ETSE, VPSE, SCD

39 Hartmetall Stellit abgebildet bei 1 kv mit dem SE Detektor im EVO HD Schaltkreis eines Halbleiters, aufgenommen bei 20 kv mit dem SE Detektor Einfacher, intelligenter, integrierter. Die analytische Plattform macht Ihr System besonders vielseitig: Sie wählen aus drei Kammergrößen. Die langen Verfahrwege des Probentisches ermöglichen Ihnen die Arbeit mit großen Proben. Dank EasyVP wechseln Sie schnell zwischen Hochvakuum und variablem Druck. Mit dem SmartSEM Interface bedienen Sie Ihr System leichter und Sie arbeiten produktiver. Ihr System ist zukunftssicher und jederzeit erweiterbar: Sie ergänzen Ihr System mit Detektoren künftiger Generationen. Für Ihre Anwendungen geschaffen. Sie analysieren Autolacke. Sie prüfen die Sauberkeit im Produktionsprozess. Sie betrachten Einschlüsse in Stählen. Sie arbeiten forensisch und bewerten Schmauchspuren und Schlagbolzenabdrucke in Patronenhülsen. Sie untersuchen Glühlampen und Farbschichten nach Autounfällen. Sie erfassen Edelmetalle in Gesteinsproben und Aushub. Bei der Suche nach fossilen Brennstoffen erhalten Sie wertvolle Informationen aus Bohrkern-Untersuchungen. 39

40 Automatisierte Imaging-Systeme Sigma Bildanalyse mit Feldemissions-Rasterelektronenmikroskopen Konfigurieren Sie Ihr System. Ihr Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop SIGMA erzielt bei jedem Material herausragende Abbildungen und Analyse-Ergebnisse. Das System setzt auf die bewährte GEMINI -Technologie, die auf Ihre analytischen Anwendungen zugeschnitten ist: SIGMA ist einfach zu bedienen und einzigartig in der Bildgebung bei Niederspannung das System erfasst Ihre Probe mit stabilen Sondenströmen. SIGMA ist mit variabler Drucktechnologie verfügbar. Sie erhalten außergewöhnliche präzise Bild- und Analyse-Ergebnisse selbst bei Ihren nicht-leitenden Proben. Das Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop ist mit einer Vielzahl von Zubehör kompatibel zum Beispiel mit zahlreichen Detektoren für beeindruckenden Kontrast. Auflösung 1,3 20 kv 1,5 15 kv 2,8 1 kv 2,5 30 kv (im VP Modus) Beschleunigungsspannung 0,1 30 kv Sondenstrom 4 pa 20 na (100 na optional) Vergrößerung 12x x Elektronenemitter Thermische Feldemission Standarddetektoren In-lens SE Detektor, ETSE Detektor, VPSE Detektor (im VP Modus) 40

41 Sekundär-Elektronenbild der Oberfläche einer Solarzelle Chrombeschichtete Polymerfolie, aufgenommen mit 5 kv. Mit freundlicher Genehmigung der Universität von Brighton Einfacher, intelligenter, integrierter. Analytische Plattform SIGMA erlaubt simultane EDS und EBSD Analysen. Der Universal-WDS-Port gehört bei SIGMA zum Standard: Ihr System bleibt offen für Erweiterungen. Mit dem erweiterten Verfahrweg analysieren Sie auch Ihre großen Proben bis 250 mm Durchmesser und 145 mm Höhe. Sie untersuchen Ihr Material hochauflösend mit präziser Röntgenstrahlen-Geometrie für EDS und WDS. Beste Abbildungsqualität durch GEMINI Technologie Sie nutzen In-lens- und SE-Detektion für echte Oberflächenanalyse. Strahlempfindliche und nicht-leitende Proben stellen Sie bei niedrigen Spannungen exzellent dar. Ihre magnetischen Proben untersuchen Sie mit GEMINI - Objektiven: Ihre Abbildungen sind frei von Verzerrungen. Für Ihre Anwendungen geschaffen. Sie analysieren Ihre Materialien in-situ bei erhöhten Temperaturen, um die Prozesse beim Erwärmen und Abkühlen besser zu verstehen beispielsweise beim Sintern, bei der Rekristallisation, bei der Korngrenzenmigration und der Phasentransformation. Ihre mikroelektronischen Bauteile werden immer kleiner. Sie analysieren im Nanometerbereich. Sie bewerten Lagerstätten von Bodenschätzen in der Öl- und Gasindustrie: Mit Hilfe der chemischen Analyse treffen Sie quantitative und qualitative Aussagen zu Dichte, Bestandteilen und Reinheit. Sie betrachten als Forensiker eine große Materialpalette von hoher bis niedriger Auflösung mit außergewöhnlicher Schärfentiefe. Ihre Element-Analysen liefern wertvolle Hinweise zur Herkunft von Materialien und damit stichhaltige Beweise zum Beispiel bei Schussrückständen und Waffen, Edelsteinen und Schmuck, Lacken und Fasern, Papieren und Fälschungen. 41

42 Korrelative Mikroskopie Verbinden Sie die Mikromit der Nano-Welt 42

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44 Korrelative Mikroskopie Shuttle & Find Das Beste aus Licht- und Elektronenmikroskopie auf den Punkt gebracht Konfigurieren Sie Ihr System. Kombinieren Sie die optischen Kontrastverfahren Ihres Lichtmikroskops mit den analytischen Methoden Ihres Elektronenmikroskops. Gewinnen Sie Informationen über Struktur und Funktion Ihrer Probe. Das Softwaremodul Shuttle & Find sorgt für einen einfach zu bedienenden, produktiven Workflow zwischen Ihrem Licht- und Ihrem Elektronenmikroskop. Mit Ihrem Lichtmikroskop erfassen und markieren Sie interessante Stellen Ihrer Probe. Über Shuttle & Find und den speziellen Probenhalter relokalisieren Sie die Stelle anschließend im Elektronenmikroskop. Dort lösen Sie das Abbild Ihrer Probe mehr als doppelt so hoch auf und untersuchen Ihr Material umfassend weiter. Absolut reproduzierbar. Mikroskope Lichtmikroskope: Axio Scope.A1, Axio Imager.M2m, Axio Imager.Z2m, Axio Observer.Z1, SteREO Discovery Elektronenmikroskope: EVO, SIGMA, SUPRA, ULTRA, MERLIN Software Lichtmikroskope: AxioVision, Modul Shuttle & Find Elektronenmikroskope: SmartSEM, AxioVision, Modul Shuttle & Find Zubehör Adapter Probenhalter 44

45 Lichtmikroskopische Aufnahme einer ADI Probe, Vergrößerung: 400:1 BSE Aufnahme der selben Probenstelle; Die Mikrostruktur ist deutlich sichtbar Einfacher, intelligenter, integrierter. Mehr Produktivität: Mit nur wenigen Klicks relokalisieren Sie interessante Probenstellen innerhalb der beiden Mikroskopsysteme. Im Lichtmikroskop markierte Probenstellen speichert Shuttle & Find in Kombination mit deren Koordinaten. So finden Sie sie im Elektronenmikroskop innerhalb weniger Sekunden. Mehr Information: Aufgrund der zahlreichen optischen Kontrastverfahren gewinnen Sie mit Lichtmikroskopen Informationen über Größe, Morphologie und Farbe Ihrer Probe. Mit Elektronenmikroskopen erweitern Sie Ihre Kenntnisse um Details zur Struktur sowie der chemischen Materialzusammensetzung. Und das mit bis in den Nanometerbereich gesteigerten Auflösung. Mehr Sicherheit: Durch die vollautomatische Bildanalyse erhalten Sie zuverlässige und reproduzierbare Ergebnisse. Für Ihre Anwendungen geschaffen. Bei Ihren Restschmutzanalysen in der Automobilindustrie typisieren Sie metallische und nichtmetallische Partikel im Lichtmikroskop. Interessante Partikel identifizieren Sie umfassend im Elektronenmikroskop Sie prüfen die Reinheit von Stahl: Anhand von Farbe und Form identifizieren Sie Sulfide, Oxide und Silikate im Lichtmikroskop. Untypische Einschlüsse charakterisieren Sie über die chemische Zusammensetzung mit Hilfe der Röntgen- Spektroskopie im Rasterelektronen-Mikroskop. Der präzise, schnelle und zuverlässige Workflow steigert die Produktivität Ihrer Nanofabrikation. Sie arbeiten mit beiden Mikroskopsystemen hochgradig automatisiert und effektiv. So reduzieren Sie Ihre Zykluszeiten und steigern Ihren Durchsatz erheblich. 45

46 Korrelative Mikroskopie Struktur- und Komponentenanalyse von Li-Ionen-Batterien Analysieren Sie Li-Ionen-Batterien mit Shuttle & Find a) Merkmale charakterisieren und quantifizieren Die Weiterentwicklung von Stromspeichern hilft uns, erneuerbare Energien wirkungsvoller einzusetzen. Lithium-Ionen-Akkumulatoren stehen mit ihrer hohen Energiedichte und einem Wirkungsgrad von 90 Prozent ganz oben auf der Liste. Ihre Materialien unterliegen Diffusionsprozessen Mikrostrukturen geben uns wertvolle Hinweise auf die Zusammenhänge von Batterie-Design und Leistung. Die korrelative Mikroskopie leistet einen entscheidenden Beitrag zur Erforschung der Akku-Materialien: Die quantitative Gefügeanalyse gibt Aufschluss über morphologische Eigenschaften der Aktivmaterialien, den inneren Aufbau, die Geometrie sowie Zelldesignparameter. Sie macht Unregelmäßigkeiten innerhalb und an den Übergängen zwischen den verschiedenen Schichten sichtbar. Lichtmikroskope geben Auskunft über die Oberflächenstruktur, das optische Erscheinungsbild und Schadstellen. Im Anschluss erfasst das Elektronenmikroskop Größe und Form von Teilchen und deren chemische Zusammensetzung. 46

47 CLEM einer interessierenden Probenstelle a) mit verschiedenen lichtmikroskopischen Kontrastverfahren wie b) Hellfeld und c) Polarisationskontrast sowie d) BSE Signal und e) EDS-Kartierung aus dem Elektronenmikroskop 40 µm b) c) Schneller und intelligenter Workflow mit Shuttle & Find Shuttle & Find beschleunigt die Analyse mit Licht- und Elektronenmikroskopie an ausgewählten Regionen Ihrer Probe signifikant. Sie untersuchen deutlich mehr Proben und verkürzen Ihre Entwicklungszyklen. Sie profitieren von der systematischen Auswertung Ihrer Bilddaten aus beiden Mikroskopie-Welten. Shuttle & Find ist kompatibel mit Ihrer CrossBeam -Workstation: Sie übernehmen Ihre Probe komfortabel und erhalten zusätzliche Details zur Analyse. Mit Focused Ion Beam (FIB) erfassen sie Strukturen in 3D. Feine Lamellen untersuchen Sie in hoher Auflösung mit Transmissions-Elektronenmikroskopie (TEM) und Elektronen- Energieverlustspektroskopie (EELS), bei der Sie Erkenntnisse übe die lokale Verteilung des Lithiums erhalten. d) e) 47

48 Topografie und 3D-Messtechnik Bringen Sie Oberflächen-Strukturen dreidimensional ans Licht 48

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50 Topografie und 3D-Messtechnik Axio CSM 700 Betrachten Sie 3D-Topografien in Echtfarben Konfigurieren Sie Ihr System. Mit dem Echtfarben-Konfokalmikroskop Axio CSM 700 erstellen Sie Ihre 3D-Topografien in hoher Auflösung. Sie arbeiten zerstörungsfrei und sparen sich zeitraubende Probenvorbereitung. Mikroskop Axio CSM 700 Echtfarben-Konfokalmikroskop Berührungslos vermessen Sie Oberflächen mit über 100 Aufnahmen pro Sekunde. Sie messen Rauheit, bestimmen Schichtdicken, untersuchen Partikel und protokollieren Ihre Ergebnisse digital. Aus Ihren Messwerten schließen Sie auf Oberflächenbeschaffenheit, Farbe und Glanz. In Ihren Multilayer-Proben und semi-transparenten Materialien erfassen Sie mit Axio CSM 700 auch die Strukturen unterhalb der Oberfläche zum Beispiel Inhomogenitäten, Hohlräume, Einschlüsse und Schnittstellen. Beleuchtung Xenon-Leuchte (400 bis 700 nm) Zubehör Scanning-Tisch mit 6-Zoll-XY-Verfahrweg, flacher Auflage oder Wafer-Halterung, optionaler Vakuum-Fixierung und optionaler 12-Zoll Wafer-Halterung mit Vakuum-Fixierung 50

51 Bohrkopf, 3D-Topografie in Echtfarben, EC Epiplan-NEOFLUAR 50x/0,80 Polymerfolie mit rauer Kante auf Metallsubstrat, Multilayer 3D-Ansicht, EC Epiplan-NEOFLUAR 20x/0,50 Einfacher, intelligenter, integrierter. Sie erfassen Topografien präzise und schnell: in der Regel nehmen Sie einen vollständigen Z-Stapel in Echtfarben in weniger als 30 Sekunden auf. Das erleichtert Ihre tägliche Arbeit und erhöht Ihre Produktivität. Sie erhalten bis zu 100 Aufnahmen pro Sekunde und untersuchen berührungslos. So analysieren Sie auch Polymere, die zu weich sind, um berührend gemessen zu werden. Sie verfügen über zahlreiche Analyseoptionen: Rauheitsmessungen, Schichtdickenbestimmung, Partikelanalyse, laterale Messungen, Höhenmessungen und Messungen von Volumen, Winkel und Traganteilen. Nutzen Sie Spacer-Systeme für zusätzlichen Probenraum in Z-Richtung beim manuellen Tisch insgesamt 123 mm. Für Ihre Anwendungen geschaffen. Sie messen Rauheiten und detektieren Höheninformationen von ca. 20 nm Stufenhöhe bis in den Millimeterbereich in einer vibrationsfreien Umgebung nach DIN EN ISO 4287 in weniger als 1 Minute. Messen Sie Radien und Winkel von metallischen Bauteilen im Mikrometerbereich ganz einfach. Um die Lebensdauer zu verbessern und die Menge an Schmiermitteln zu reduzieren kann die Rauheit von kleinen Flächen und Profilen analysiert werden. Ra Werte von 0,1 µm und höher messen Sie reproduzierbar und dreidimensional. Messen Sie die Dicke transparenter Schichten schnell und berührungslos. Ziehen Sie aus den Messwerten Rückschlüsse auf die Oberflächenbeschaffenheit, Farbe, Glanz und andere Eigenschaften. Erfassen Sie Strukturen unterhalb der Oberfläche in Schichten: Inhomogenitäten, Hohlräume, Einschlüsse. 51