Überblick - Lehrtätigkeiten zur Plasmaoberflächentechnologie Stand

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1 Überblick - Lehrtätigkeiten zur Plasmaoberflächentechnologie Stand Aachen RWTH Aachen Lehrstuhl für Werkstoffchemie Prof. Jochen Schneider Surface Engineering Institut für (IOT) Prof. Kirsten Bobzin, Dr. Tobias Brögelmann 1. I, 2. II, 3. Verfahren der, 4. Thermische Spritztechnik, 5. Beschichtungstechnik für Mobilitätsanwendungen 1. Physikalisches Institut Prof. Matthias Wuttig physikalische Prozesse bei der Sputterdeposition Institut für Theorie der Statistischen Prof. Hans-Jörg Kull Plasmaphysik - Grundlagen Physik Institut für Mikrowellen- und Plasmatechnik Prof. Holger Heuermann Vorlesung Mikrowellentechnik (Technisch erzeugte Plasmen) Augsburg Augsburg Institut für Physik, Experimentelle Prof. Ursel Fantz, Plasma-Material-Wechselwirkung Plasmaphysik Dr. Marco Wischmeier Berlin Max-Planck-Institut für Plasmaphysik Prof. Robert Wolf, Plasmaphysik Berlin Bochum Ruhr- Bochum Lehrstuhl für Allgemeine Elektro- und Plasmatechnik Lehrstuhl für Experimentalphysik II Prof. Wolf-Christian Müller Prof. Peter Awakowicz Dr. Julian Schulze Jun. Prof. Katharina Stapelmann Prof. Jörg Winter, Prof. Achim von Keudell Lehrstuhl Theoretische Elektrotechnik Prof. Ralf-Peter Brinkmann Plasmatechnik - Grundlagen, Plasmatechnik- Anwendungen, Biomedizinische Anwendungen in der Plasmatechnik, Plasmamedizin, Plasmaspektroskopie, Physik und Technik von Lichtquellen Hochfrequenzplasmen, Elektrophsyik Biomedizinische Anwendungen in der Plasmatechnik, Plasmamedizin Einführung in die Plasmaphysik, Plasmadiagnostik, Angewandte Plasmaphysik, Schichtdiagnostik, Niedertemperaturplasmen, Plasmachemie, Plasma-Oberflächen-Wechselwirkungen Plasmarandschichten, Plasmatechnik in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik, Numerical Plasma Simulation, Modellierung technischer Plasmen, Plasmachemie 1

2 Bochum Ruhr- Bochum Institut für Experimentalphysik V Prof. Uwe Czarnetzki Moderne Probleme in der Plasmaphysik Braunschweig Braunschweig IOT Institut für Prof. Günter Bräuer Schicht- und (Vakuum, Plasma, Sputtern, PACVD); Schicht- und 2 (Ionenstrahl, Arc- Verfahren, Elektrochemische Schichtabscheidung); Anwendung dünner Schichten (Glasbeschichtungen, optische Schichten, Tribologie, Sensorik); Herstellung und Anwendung dünner Schichten; Struktur und Eigenschaften von Funktionsschichten, Produnktionstechnik Luft- und Raumfahrt, Produktionstechnik Kfz, im Fahrzeugbau Prof. Claus-Peter Klages Grundlagen der Grenzflächenwissenschaften; mit Atmosphärendruckverfahren; Gasphasen- Beschichtungsverfahren aktuelle Anwendungen; Plasmachemie für Ingenieure; Grundlagen von Benetzung, Haftung und Reibung Dr. Michael Thomas Analytik und Prüfung in der ; Charakterisierung von Oberflächen und Schichten; Ausgewählte Funktionsschichten Priv.-Doz. Sven Ulrich Superharte und verschleißbeständige Schichten Institut für Theoretische Physik Prof. Uwe Motschmann Plasmaphysik Bremen Bremen Stiftung Institut für Werkstofftechnik Prof. Hans-Werner Zoch, (IWT) Prof. Lutz Mädler, Reaktives Sprühen Chemnitz Lehrstuhl für Verbundwerkstoffe Prof. Bernhard Wielage Thermisches Spritzen Chemnitz Institut für Werkstoff- und Prof. Thomas Lampke Oberflächenveredlung Dortmund Dortmund Lehrstuhl für Werkstofftechnologie Prof. Wolfgang Tillmann, Dr. Norman Sievers, Beschichtungstechnologien 2

3 Dresden Professur für Laser- und Institut für Festkörperelektronik Prof. Eckhard Beyer Plasmatechnik, Dünnschichttechnologien Prof. Gerald Gerlach, Plasmatechnik Dr. Peter Frach Frankfurt am Main Goethe Institut für Angewandte Physik Prof. Joachim Jacoby Einführung in die Plasmaphysik, Plasmen hoher Energiedichte und Röntgenstrahlung im Universum und Labor Gießen Göttingen Dresden Technische Hochschule Mittelhessen Justus-Liebig- Gießen HAWK Prof. Jörg Krempel-Hesse Prof. Dr. Stephan Wieneke Plasmatechnik, Ionenstrahltechnik, Dünnschichttechnik, Vakuumtechnik, Computersimulation Institut für Angewandte Physik Prof. Schlettwein Oberflächen- und Grenzflächenphysik; Dünne Schichten und Oberflächen Fakultät Naturwissenschaften und Prof. Dr. Wolfgang Viöl Technik Laser- und Plasmamedizin Greifswald Hannover Ilmenau Jena Ernst-Moritz-Arndt- Institut für Physik Dr. Andreas Dinklade Plasmadiagnostik Leibnitz-Institut für Plasmaforschung und Technologie Prof. Klaus-Dieter Weltmann Umwelt- und Energietechnik, Oberflächen und Materialien, Biologie und Medizin Ernst-Moritz-Arndt- / smedizin Greifswald /INP Institut für Hygiene und Umweltmedizin Prof. Thomas von Woedtke Plasmamedizin Leibniz Institut für Werkstoffkunde (IW) Apl. Prof. Kai Möhwald, Nils Thermisches Spritzen, Hannover Murray Plasma- und Dr. Birger Dzur Plasma- und Ilmenau Friedrich-Schiller- Institut für Optik und Prof. Christian Spielmann, Plasmaphysik Quantenelektronik Prof. Malte C. Kaluza Ernst-Abbe-Hochschule INNOVENT Mitarbeiter Chemische Nanotechnologie Kaiserslautern Kaiserslautern Institut für Oberflächen- und Schichtanalytik GmbH Prof. Michael Kopnarski Physik und Anwendung elektrischer Gasplasmen 3

4 Kiel Christian-Albrecht- Kiel Institut für Experimentelle und Angewandte Physik Prof. Holger Kersten Plasma-Oberflächen-Wechselwirkungen, Plasmaquellen, Leipzig Leipzig Oberflächenphysik Prof. Stefan G. Mayr Modern Developments in Solid State Physics: Modern surface physics - experiments and modeling Rostock Rostock / INP Institut für Physik, Leibniz-Professur für Angewandte Physik: Bioelectrics Prof. Jürgen Kolb Bioelectrics, Pulsed Power Institut für Elektrische Energietechnik, Prof. Dirk Uhrlandt Lichtbögen Hochspannungs- und Hochstromtechnik Plasmen für Oberflächen Prof. Ronny Brandenburg Plasmachemische Prozesse, Plasmen für Oberflächen, Barriereentladungen München der Institut für Plasmatechnik und Prof. J. Schein Plasmaquellen-Entwicklung Bundeswehr München München Mathematik Max-Planck-Institut für Plasmaphysik Einführung in die kinetische Plasmaphysik Plasmaphysik für Ingenieure; Plasma-Material- Wechselwirkung Plasmaphysik I + II, Turbulenzen in Fluiden und Plasmen Ludwig-Maximilians- Max-Planck-Institut für Plasmaphysik Stuttgart Stuttgart Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Prof. Sibylle Günter Priv. Doz. Klaus Hallatschek Prof. Rudolph Neu Prof. Ulrich Stroth Dr. Jörg Stober, Prof. Dr. Hartmut Zohm apl. Prof. Günter Tovar (kommissarisch) Dr. Walter Kasparek, Dr. Carsten Lechte Dr. Mirko Ramisch Dr. Matthias Walker Grundlagen der Plasmaphysik Plasmaphysik Grenzflächen und Hochleistungsmikrowellen, Mikrowellenübertragung und -heizung, Mikrowellendiagnostik Plasmadiagnostik und -modellierung Plasmaquellen-Entwicklung, Modifizierung von Oberflächen mit Plasmen 4

5 Stuttgart Stuttgart Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und N.N., momentan: apl. Prof. Günter Tovar (kommissarisch) Plasmadiagnostik, Plasmadynamische Prozesse, Plasmamodellierung, Mikrowellentechologie, Hochleistungsmikrowellen, Niedertemperaturplasmen, Atmosphärendruckplasmen, Plasma- Oberflächen-Wechselwirkungen Prof. Christian Oehr Grenzflächenverfahrenstechnik II (technische Prozesse, Membrantechnik, Plasmatechnik zur Abscheidung dünner Schichten) Wildau Technische Hochschule Wildau Fachbereich Ingenieur- und Naturwissenschaften Prof. Ute Geißler Prof. Christoph Gerhard Prof. Asta Richter Prof. Sigurd Schrader Beschichtungsverfahren Materialanalytik Nanotechnologie Photonik Plasma- und Lasertechnologien 5