Ermittlung von Leckrate und Enddruck einer Strahlungsquelle der Firma Peschl-Ultraviolet
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- Alwin Krämer
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1 Arbeiten durchgeführt von Bernhard Lanz und Jan-S. Schmidt begutachtet von Christian Kalus Elektronenspeicherring BESSY II Albert-Einstein-Straße Berlin Tel.: /4659 bernhard.lanz@helmholtz-berlin.de jan-simon.schmidt@helmholtz-berlin.de Berlin, Technischer Bericht Ermittlung von Leckrate und Enddruck einer Strahlungsquelle der Firma Peschl-Ultraviolet Die Firma Peschl-Ultraviolet hat die Strahlungsquelle vom Typ DTS-VUV CF40/200-5VH zur Ermittlung der Leckrate und des Enddruckes zur Verfügung gestellt. Die Strahlungsquelle ist mit einem NW40CF Flansch ausgerüstet. Eine doppelte 0-Ring Dichtung trennt den Hüllkörper mit der Strahlungsquelle von der Umgebung. Aufbau und Funktion sind im Produktdatenblatt und in der mitgelieferten Anleitung zur Inbetriebnahme dargelegt. Für die Ermittlung von Leckrate und Enddruck ist das Hüllrohr der Strahlungsquelle maßgeblich. Ermittlung der Leckrate Mit einem kalibrierten Lecksucher Typ HLT260 der Firma Pfeiffer Vacuum wurde unter HeliumStandard-Bedingungen mittels Unterdruck Methode durch Sprühtechnik im Hauptstrombetrieb (der Prüfling ist direkt mit dem Lecksucher verbunden) eine lokale Lecksuche durchgeführt (Illustration 1). Die nach dem Abpumpen angezeigte Leckrate betrug 4*10-10 mbar*l/s. Die mit Helium gemessene maximale Leckrate betrug 1*10-8 mbar*l/s.
2 Ermittlung des Enddruckes Testaufbau 1 Rezipient ø150 x 660 mm² 2 Rohr ø70x300 mm² 3 Schieber, VAT 4 Turbo Pumpe, Pfeiffer TMU63, max. Saugleistung 53l/s 5 Getterpumpe, GammaVacuum 75S DI (Enddruck <10-11 mbar, Illustration 6) 6 Kaltkathodenmeßröhre, Pfeiffer IKR270 ohne Nummerierung: Hüllkörper der Strahlungsquelle in den Rezipienten ragend Der Testaufbau wurde mit der Turbo Pumpe angepumpt. Nach ca. 5h wurde der Aufbau leckgesucht. Die maximale Leckrate betrug 3.4*10-8 mbar*l/s. Danach wurde das System für 5 Tage bei 120 C ausgeheizt und mit der Turbo Pumpe gepumpt. In der Abkühlphase wurde die Getterpumpe eingeschaltet. Nach 24h Abkühlen betrug der Enddruck gemessen mit der Kaltkathodenmeßröhre mit abgeschalteter Turbo Pumpe 1*10-9 mbar. Zum Vergleich wurde das System ohne Hüllrohr ausgeheizt und ein Enddruck von 5.5*10-10 mbar ermittelt. Zusammenfassung Für die Strahlungsquelle kann eine He-Leckrate von 1*10-8 mbar*l/s angegeben werden. Mit dem hier getesteten Aufbau konnte ein Enddruck von 1*10-9 mbar ermittelt werden.
3 Anlage Illustration 1: Aufbau Leckrate Illustration 2: Montierter Hüllkörper
4 Illustration 3: Innenansicht Illustration 4: Aufbau vorbereitet zum Ausheizen
5 Illustration 5: Aufbau vorbereitet zum Ausheizen Illustration 6: Saugleistung Getterpumpe 75S
/l t,/ -_$ Prüfbericht. Fachbereich Physikalische Techn ik Prof. Dr.-l ng. A. Riedl / Forschungsbereich Dichtun gstechnik Bürgerkamp 3
Fachbereich Physikalische Techn ik Prof. Dr.-l ng. A. Riedl / Forschungsbereich Dichtun gstechnik Bürgerkamp 3 D-48565 Steinfurt Tel: 02551/9:62-161 Fax: 02551/962-201 e-mail: riedl @ fh-muenster.de Fachhochschule
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