Stabiles Hochvakuum. Öl-Diffusionspumpen Öl-Dampfstrahlpumpen

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1 Stabiles Hochvakuum Öl-Diffusionspumpen Öl-Dampfstrahlpumpen

2 Hochvakuum mit Die Öl-Diffusionspumpen und Öl-Dampfstrahlpumpen von Leybold sind robust, langlebig und zeichnen sich durch optimierte Bedienmöglichkeiten aus.

3 mehr Effizienz Mit der innovativen PLC-gesteuerten Energieeffi zienzregelung erreichen Sie bis zu 30 % Energieersparnis sowie eine Verlängerung der Standzeit von Treibmittel und Heizpatronen.

4 Öl-Diffusionspumpen Öl-Diffusionspumpen und Öl-Dampfstrahlpumpen von Leybold sind ideal geeignet für industrielle Hochvakuum-Anwendungen. Sie zeichnen sich durch hervorragende vakuumtechnische Leistungsdaten aus und sind wegen ihrer robusten Konstruktion ein zuverlässiger Bestandteil in Fein- und Hochvakuum-Anlagen. Vakuumleistung Öl-Diffusionspumpen DIP und LEYBOJET l/s DIP Öl-Dampfstrahlpumpen OB l/s OB Saugvermögen DIP DIP Saugvermögen OB LEYBOJET 630 DIP OB DIP DIP mbar 10 0 Ansaugdruck mbar -1 Ansaugdruck Ihre Vakuumlösung für Saugvermögen von l/s bis l/s.

5 Design DIP und LEYBOJET Öl-Diffusionspumpen sind Hochvakuumpumpen, ohne verschleißende, bewegliche Teile. Die Pumpwirkung dieser Treibmittelpumpen entsteht durch die Diffusion der zu pumpenden Gase in den Dampfstrahl. Im Vergleich zu anderen Hochvakuumpumpen ist das Saugvermögen bezogen auf die Fläche sehr groß. Bei einem Arbeitsbereich zwischen 10-2 mbar und 10-7 mbar liegt das Saugvermögen je nach Pumpengröße im Bereich von 3000 l/s bis hin zu l/s. Vorteile Lange Wartungsintervalle, verschleißfrei, hoher Sicherheitsstandard. Funktionsprinzip DIP Öl-Diffusionspumpen Saugvermögen DIP: bis l/s LEYBOJET: l/s Arbeitsbereich DIP: < 10-2 bis 10-7 mbar LEYBOJET: < 10-2 bis 10-5 mbar Optimales Saugvermögen im Druckbereich < 10-4 mbar (DIP) und 10-2 bis 10-4 mbar (LEYBOJET) n Stabiles Hochvakuum n Hohe Vorvakuumbeständigkeit n Großes Saugvermögen n Sicher und sparsam n CE konforme Elektronikversorgung n Kein Verschleiß durch drehende Teile n Einfache Bedienung n Wartungsfreundliches Design für einen schnellen und einfachen Austausch der Heizelemente n Umfangreiches Zubehörprogramm n Flexible elektrische Verkabelung für einen weltweiten Einsatz n Innovative Energieeffizienzregelung (ROI < 2 Jahre) Die LEYBOJET 630 verfügt über eine zusätzliche Ejektordüse (Lavaldüse) für ein stabiles Saugvermögen bis in den Feinvakuumbereich und ist damit optimiert für Anwendung im 10-3 mbar Bereich (z.b. Sputterprozesse) Funktionsprinzip LEYBOJET 630

6 Öl-Dampfstrahlpumpen OB Öl-Dampfstrahlpumpen besitzen ein oder mehrere vierstufige Düsensysteme und eine Jet-Stufe. Saugvermögen: bis l/s Arbeitsbereich: 10-1 bis < 10-4 mbar Optimales Saugvermögen im Druckbereich 1 bis 10-3 mbar n Stabiles Saugvermögen in tiefen Druckbereichen n Sehr hohe Vorvakuumbeständigkeit n Hohe Betriebssicherheit n Kompakte Bauform mit zentralen Versorgungszugängen n Einfache Bedienung n Lange Wartungsintervalle n Leichter Heizelemente-Austausch n Zentrale Elektronikversorgung Typische Anwendungen Industrielle Anwendungen zählen zu den Haupt-Einsatzgebieten von Öl-Diffusionspumpen: n Vakuum-Beschichtung n Metallurgie n Vakuumöfen n Vakuum-Trocknung n Weltraumsimulation n Forschung und Entwicklung n Maschinenbau Öl-Dampfstrahlpumpen bewähren sich in Prozessen der Stahlerzeugung und -Verarbeitung: n Vakuum-Induktionsschmelzen (VIM) n Vakuum-Entgasung (VID) Funktionsprinzip OB Öl-Dampfstrahlpumpen Robuste Dauerläufer für Ihren Vakuumbedarf

7 Elektronische Regeleinheit Bis zu 30% Energieeinsparung ohne Leistungsverlust Für einen optimalen Betrieb benötigen Öl-Diffusionspumpen eine bestimmte Mindestöltemperatur. Der Pumpenbetrieb bei höheren Temperaturen führt lediglich zu zusätzlichem Stromverbrauch, ohne das Saugvermögen der Pumpen zu erhöhen. Üblicherweise werden kontinuierlich 100% der installierten Heizleistung genutzt. Der innovative Leybold Energieregler für Öl-Diffusions- und Öldampfstrahlpumpen sorgt für einen optimierten Stromverbrauch, der sich an den tatsächlichen Heizbedarf anpasst. Mit dieser innovativen Regeleinheit wird der Stromverbrauch um bis zu 30% gesenkt, da nach Erreichen der Betriebstemperatur die Energiezufuhr deutlich reduziert wird. Weitere Einsparmöglichkeiten ergeben sich durch Nutzung des Stand-by- Modus, bei welchem die Pumpe bei reduzierter Temperatur in Bereitschaft gehalten wird. n Kostenreduzierung durch Energieeinsparung (bis zu 30%) n Verbesserte Lebensdauer von Öl und Heizpatronen n Hoher Bedienkomfort und einfache Handhabung n Schneller ROI (< 2 Jahre) n Einfache, visuelle Überwachung der Parameter durch grafische Oberfläche: n Ansteuerung durch PLC n USB Interface und Ethernet n Nachrüstsatz für bereits vorhandene Pumpen erhältlich 30% Intelligente Pumpensteuerung Energy Kammerdruck in mbar Zeit in min Druck (p) Öltemperatur ( C) 50% 100% 70% install. install. der Heiz- Heiz- installierten leistung leistung Heizleistung 70% der install. Heizleistung 0% der installierten 50% der Heizleistung installierten Heizleistung Temperatur in C saving Standby Aufheiz- HV-Abpump- Phase Phase Prozess Abkühl- Phase Stand-by 100% Strombedarf während der Aufwärmphase: Nur noch ca. 70% Strombedarf bei Erreichen der definierten Öltemperatur: Funktional und effektiv!

8 LEYBONOL Treibmittel für Diffusionspumpen für jede Anwendung Das passende Treibmittel beeinflusst die Leistungsfähigkeit und das Saugvermögen von Öl-Diffusionspumpen. Unsere LEYBONOL Treibmittel erfüllen die Anforderungen für das Arbeiten im Hochvakuum: n Hochwertige, betriebssichere Schmiermittel für eine lange Ölstandzeit und Pumpenlebensdauer n Garantierte, gleichbleibende Qualität n Ausgezeichnete Vakuum-Leistungsdaten Das Produktprogramm geeigneter Treibmittel und Vakuumöle für Ihre Anwendungsbereiche finden Sie in unserem Gesamtkatalog. Gerne beraten wir Sie auch persönlich für die Auswahl des geeigneten Treibmittels. Bitte sprechen Sie uns an. Technische Daten Öl-Diffusionspumpen DIP DIP DIP DIP DIP DIP LEYBOJET 630 Hochvakuum-Anschluss DN 250 ISO-K 400 ISO-K 500 ISO-K 630 ISO-F 800 ISO-F 1000 ISO-F 630 ISO-F Vorvakuum-Anschluss DN 63 ISO-K 63 ISO-K 100 ISO-K 100 ISO-K 160 ISO-K 160 ISO-K 160 ISO-K Nennsaugvermögen 1) l/s Endtotaldruck 1) mbar < < < < < < < Gewicht kg Kühlwasserverbrauch l/h Ölfüllung LEYBONOL LVO 500 l 1,0-1,4 2-3,5 3-5, Anzahl Heizpatronen Heizleistung kw 2,4 4,8 7, ,8 Bestellinformation DIP mit Standard-Sicherungskasten DIP mit Energie-Regeleinheit EU 22230V V V001 DIP mit Energie-Regeleinheit US 22220V V V V003 DIP mit erweiterter Düsenhut Dampfsperre 22225V V V V005 1) nach ISO/R 1000, DIN mit LVO 500 als Treibmittel Detaillierte Informationen entnehmen Sie bitte unserem Gesamtkatalog. Öl-Dampfstrahlpumpen OB OB OB Hochvakuum-Anschluss Vorvakuum-Anschluss DN DN Nennsaugvermögen 1) l/s Endtotaldruck 1) mbar < 6, < 6, < 6, Gewicht kg Kühlwasserverbrauch l/h Ölfüllung LEYBONOL LVO 540 l Anzahl Heizpatronen 3 à 4 kw 6 à 4 kw 9 à 4 kw Bestell-Nr. OB mit Standard-Sicherungskasten V V V001 OB mit elektronischer Heizungsregelung V V V002 1) nach ISO/R 1000, DIN mit LVO 540 als Treibmittel Zubehör Astrotorusdampfsperre DN250 - DN1000 Thermoschutzschalter Kontakt-Thermometer Widerstandsthermometer (PT 100) Kat.-Nr Treibmittel / Öle Kat.-Nr. LEYBONOL LVO 500 LEYBONOL LVO 510 LEYBONOL LVO 520 LEYBONOL LVO 530 LEYBONOL LVO l 5 l 20 l 1 l 20 l 1 l 5 l 1 l 20 l 200 l L L L L L L L L L L Detaillierte Informationen entnehmen Sie bitte unserem Gesamtkatalog. BICOM 12717/ mzs Printed in Germany on chlorine-free bleached paper Technical alterations reserved Leybold GmbH Bonner Str. 498 D Köln T +49 (0) F +49 (0) info@leybold.com