Mehr Präzision. confocaldt // Konfokal-chromatisches Sensorsystem

Transkript

1 Mehr Präzision. confocaldt // Konfokal-chromatisches Sensorsystem

2 2 Konfokal-chromatische Weg- und Dickenmessung confocaldt Verschleißfreies Messprinzip mit passivem Sensor Genaue Messung mit Submikrometer Auflösung Schnelle Oberflächenkompensation 70kHz Einstellbare Messrate bis 70 khz Einsetzbar zur Abstandsmessung und Dickenmessung Extrem kleiner Messfleck Konfiguration über Web-Interface Die neue Generation der konfokal-chromatischer Messsysteme Das confocaldt steht für höchste Präzision in der konfokal-chromatischen Messtechnik. Das Messsystem verfügt über den derzeit schnellsten Controller weltweit und erzielt hochpräzise Messergebnisse sowohl bei Weg- und Abstandsmessungen als auch bei der Dickenmessung von transparenten Objekten. Ein großes Programm an Sensoren und verschiedene Schnittstellen am Controller eröffnen vielfältige Anwendungen, z.b. in der Halbleiterindustrie, Glasindustrie, Medizintechnik und Kunststoffproduktion. Systemaufbau Das konfokal-chromatische Messsystem confocaldt besteht aus einem Controller und einem Sensor, die über ein Lichtleiterkabel verbunden sind. Die gesamte Konfiguration des Controllers und der Sensoren wird ohne zusätzliche Software über ein einfach zu bedienendes Webinterface durchgeführt. Das Sensorprogramm umfasst die universell einsetzbaren Sensoren 2405 und die Miniatursensoren der Serie 2402 / Mit diesen Miniatur sensoren können Messungen in schmalen Bohrungen und Versenkungen durchgeführt werden. Die 2406 Sensoren können darüber hinaus im Vakuum eingesetzt werden. Über die Ethernet-Schnittstelle wird das Webinterface aufgerufen, mit dem der Controller konfiguriert wird Besonderheiten Der Controller liefert ein hervorragendes Signal-/Rauschverhältnis und ermöglicht Messungen mit höchster Präzision. Die schnelle Oberflächenkompensation sorgt für die Regelung der Belichtungszyklen, um eine hohe Signalstabilität zu erreichen. Im Gegensatz zu Systemen mit schwingender Linse ist confocaldt verschleißfrei konstruiert. Alle Sensoren sind in passiver Bauweise ausgeführt und kommen ohne elektrische Bauteile aus. Darüber hinaus strahlen die Sensoren keine Abwärme ab und sind somit für empfindliche Anwendungsumgebungen geeignet. Das einzigartige Messprinzip erlaubt es, Wege und Abstände hochpräzise zu messen sowohl auf diffusen als auch auf spiegelnden Oberflächen. Bei transparenten Messobjekten ist darüber hinaus eine Dickenmessung möglich.

3 3 Übersicht confocaldt Konfokale Miniatursensoren Seite 6-7 confocaldt 2402 Miniatursensoren ø4 mm, ideal für Montagen im begrenzten Bauraum Ideal für Bohrungen ab ø4,5 mm Robuste Konstruktion (Stahlgehäuse) Axiale oder radiale (90 ) Messrichtung Einsetzbar zur Abstandsmessung Konfokale Hybrid-Sensoren Seite 8-9 confocaldt 2403 Hybridsensoren mit ø8 mm Einsetzbar zur Abstandsmessung sowie zur einseitigen Dickenmessung von transparenten Materialien und mehrschichtigen Objekten Axiale oder radiale (90 ) Messrichtung Gradientenindex-Linse mit Relaisoptik Robuste Konstruktion (Stahlgehäuse) Präzise konfokale Sensoren Seite confocaldt 2405 Kompakte Sensoren mit großem Grundabstand Einsetzbar zur Abstandsmessung sowie zur einseitigen Dickenmessung von transparenten Materialien und mehrschichtigen Objekten Extrem kleiner Messfleck und hohe Auflösung zur Erkennung kleinster Details Hohe Empfindlichkeit Konfokale Sensoren (vakuumtauglich) Seite confocaldt 2406 Sensoren mit axialem oder radialem Strahlengang Einsetzbar zur Abstandsmessung sowie zur einseitigen Dickenmessung von transparenten Materialien und mehrschichtigen Objekten Extrem kleiner Messfleck Submikrometer Auflösung Für VAC-Bereiche geeignet Der neue konfokale Universalcontroller Seite confocaldt 242x Controller mit integrierter Lichtquelle Ein- oder Zweikanal-Variante Schnelle Oberflächenkompensation durch Belichtungszeitregelung Dickenkalibrierung für präzise Dickenmessung Controller für Messraten bis 25 khz Seite confocaldt 2461 Controller mit integrierter Lichtquelle Leistungsstarke optische Komponenten Schnelle Oberflächenkompensation durch Belichtungszeitregelung Dickenkalibrierung für präzise Dickenmessung High-Speed Controller Seite confocaldt 2471 HS High-Speed Ausführung mit bis zu 70 khz Messrate Controller mit integrierter Lichtquelle Schnelle Oberflächenkompensation durch Belichtungszeitregelung Dickenkalibrierung für präzise Dickenmessung High-End Controller Seite confocaldt 2451/2471 High-Speed Ausführung IFC2471 mit bis zu 70 khz Messrate Hervorragendes Signal- / Rauschverhältnis Schnelle Oberflächenkompensation durch Belichtungszeitregelung Dickenkalibrierung für präzise Dickenmessung

4 4 Applikationen confocaldt Das konfokal-chromatische Messprinzip Polychromatisches Licht (Weißlicht) wird durch eine mehrlinsige Optik auf die Messobjektoberfläche fokussiert. Die Linsen sind so angeordnet, dass durch kontrollierte chromatische Abweichung das Licht in seine monochromatischen Wellenlängen zerlegt wird. Durch eine werkseitige Kalibrierung wird jeder Wellenlänge ein bestimmter Abstandspunkt zum Messobjekt zugeordnet. Im Sensorsystem wird diejenige Lichtwellenlänge zur Messung herangezogen, die sich exakt auf dem Messobjekt fokussiert. Das von diesem Punkt reflektierte Licht wird über eine optische Anordnung auf ein lichtempfindliches Sensorelement abgebildet, auf der die zugehörige Spektralfarbe erkannt und ausgewertet wird. Für Multipeakmessungen werden entsprechend mehrere Abstandspunkte ausgewertet. Prinzipskizze Linsenanordnung Strahlengang Messobjekt Abstandsmessung und Intensitätsauswertung Neben der Abstandsauswertung kann die Signalintensität zur Messung herangezogen werden. Die Intensitätsauswertung ist besonders zur Erkennung feinster Strukturen geeignet. Nebenstehendes Beispiel zeigt die Messung auf eine plan geschliffenen Oberfläche. Durch die Intensitätsauswertung lassen sich Bereiche darstellen, die nicht mehr durch Abstandsmessung erfasst werden können. Plan geschliffene Oberfläche Abstandsauswertung Intensitätsauswertung Signal bei Dickenmessung Dickenmessung transparenter Materialien Das einzigartige Messprinzip erlaubt die einseitige Dickenmessung von transparenten Materialien wie Glas. Dabei wird die Materialdicke mit nur einem Sensor mikrometergenau erfasst. Im Controller ist eine umfangreiche Materialdatenbank hinterlegt, die über das Webinterface individuell editierbar und erweiterbar ist. Für die Messung von mehrschichtigen Materialien wie z.b. Verbundglas, können bis zu sechs Peaks herangezogen werden. Messung in Vertiefungen und Bohrungen Durch den axialen Strahlengang treten keine Abschattungseffekte auf, wodurch Messungen in Hülsen und Vertiefungen realisiert werden können. Mit der 90 -Ausführung der Miniatursensoren 2402 und 2403 können geometrische Merkmale im Inneren von Bohrungen und Vertiefungen gemessen werden.

5 5 Die Oberflächentopografie von Wafern wird mit konfokalen Sensoren sehr schnell erfasst. Durch den hohen Grundabstand wird die Glasdicke beim Auskühlen gemessen. Die 90 Sensoren ermöglichen eine hochpräzise Durchmesserprüfung von Bohrungen und Zylindern. Schnelle 2-Kanal-Dickenmessung von Glasflaschen im industriellen Fertigungsprozess.

6 6 Konfokal-chromatische Miniatursensoren confocaldt 2402 Miniatursensoren ø4 mm mit axialem oder radialen Strahlengang Submikrometer Auflösung Einsetzbar zur Abstandsmessung Extrem kleiner Messfleck Passive Bauform ohne elektronische Komponenten Die miniaturisierten Sensoren der Serie 2402 sind mit Stahlgehäusen ausgestattet. Im Sensor befindet sich ein speziell entwickelter Linsenstab, der die kleine Bauform mit einem Außendurchmesser von nur 4 mm ermöglicht. Dadurch können diese Sensoren auch in engsten Bauräumen eingesetzt werden, beispielsweise um in Vertiefungen oder Bohrungen zu messen. Neben Sensoren mit axialer Messrichtung sind Sensoren mit radialem Strahlengang (90 -Winkel) erhältlich, mit denen die Wandstruktur von Vertiefungen mit extremer Genauigkeit erfasst werden kann. Lichtleiter ø2,1 Lichtleiter ø2,1 Knickschutz und Zugentlastung ,4/1,5/4 Stahlrohr Linse ø1,8 15 Knickschutz und Zugentlastung 2402/90-1,5/4 6,25 Fase: Montagefläche 15 Ø4 Fase: Montagefläche Stahlrohr ø4 MB MBA 4 3 2,5 1,94 73,25 7,25 MBA 2 MB Mechanische Toleranzen ±0,1 mm MB = Messbereich MBA = Messbereichsanfang Alle Abmessungen in mm. Innendurchmessererfassung von kleinen Bohrungen

7 7 Sensor-Modell (Miniaturausführung) , ,5 2402/90-1, /90-4 Messbereich 400 µm 1,5 mm 1,5 mm 3,5 mm 2,5 mm Messbereichsanfang ca. 1,5 mm 0,9 mm 2,5 mm 1) 1,9 mm 2,5 mm 1) Lichtfleckdurchmesser 10 µm 20 µm 20 µm 20 µm 20 µm Linearität ~0,3 µm 1,2 µm 1,2 µm ~3 µm 2 µm ±0,08 % d.m. Auflösung 2) 16 nm 60 nm 60 nm 0,1 µm 0,1 µm Gewicht 15 g Max. zulässige Verkippung (direkte Reflexion) ± 8 ± 5 ± 5 ± 3 ± 3 Schutzart IP 40 Betriebstemperatur C Lagertemperatur C Sensorkabel (Lichtwellenleiter) Schock Länge: integriertes Kabel 2 m; Verlängerung bis 50 m Biegeradius: statisch 30 mm; dynamisch 40 mm 15 g, 6 ms Vibration 2g / 10 Hz Hz d. M. = des Messbereichs Alle Daten ausgehend von konstanter Raumtemperatur (25±2 C) bei Messung auf planparalleles Prüfglas; bei anderen Messobjekten können die Daten abweichen. 1) Messbereichsanfang ab Sensorachse gemessen 2) Gemittelt über 512 Werte Zubehör: Sensor-Montageadapter MA2402 für Sensoren ,5±0,1 ø 3, ø8 4 7,5 ø4 H ,5 M ,5

8 8 Konfokal-chromatische Hybrid-Sensoren confocaldt 2403 Hybridsensoren ø8 mm mit axialem oder radialen Strahlengang Submikrometer Auflösung Einsetzbar zur einseitigen Dickenmessung Einsetzbar zur Abstandsmessung Extrem kleiner Messfleck Passive Bauform ohne elektronische Komponenten Die Sensoren der Serie 2403 sind mit einer Kombination aus Gradientenindex- Linse und Relaisoptik ausgestattet. Mit einem geringen Außendurchmesser von nur 8 mm können die Sensoren zur präzisen Messung in relativ beengten Einbausituationen eingesetzt werden. Aufgrund der im Vergleich zum 2402 größeren numerischen Apertur lassen sich deutlich größere Grundabstände und größere Verkippungswinkel realisieren als für die Miniatursensoren Neben Sensoren mit axialer Messrichtung sind Sensoren mit radialem Strahlengang (90 -Winkel) erhältlich, die zur Messung in Vertiefungen eingesetzt werden ,4/1,5/4/10 Lichtleiter ø2,1 Knickschutz und Zugentlastung ca. 100 Lichtleiter ø2,1 Knickschutz und Zugentlastung 2403/90-1,5/4/ ,5 ca. 110 ø8 3,24 MBA MB MBA ø8 Messung in Bohrungen und Vertiefungen mit 2403/90 Sensoren MB Mechanische Toleranzen ±0,1 mm MB = Messbereich MBA = Messbereichsanfang Alle Abmessungen in mm.

9 9 Sensor-Modell (GRIN-Linse mit Relaisoptik) , ,5 2403/90-1, / /90-10 Messbereich 400 µm 1,5 mm 1,5 mm 4 mm 4 mm 10 mm 10 mm Messbereichsanfang ca. 2,5 mm 8,0 mm 4,9 mm 1) 14,7 mm 12 mm 1) 11 mm 8,6 mm 1) Lichtfleckdurchmesser 9 µm 15 µm 15 µm 28 µm 28 µm 56 µm 56 µm Linearität bei Weg- und Abstandsmessung Linearität bei Dickenmessung 0,3 µm 1,2 µm 1,2 µm 3 µm 3 µm 20 µm 20 µm ±0,08 % d.m. ±0,2 % d.m. 0,6 µm 2,4 µm 2,4 µm 6 µm 6 µm 40 µm 40 µm ±0,16 % d.m. ±0,4 % d.m. Auflösung 2) 16 nm 60 nm 60 nm 0,2 µm 0,1 µm 0,25 µm 0,25 µm Gewicht 25 g Max. zulässige Verkippung (direkte Reflexion) ± 13 ± 16 ± 16 ± 6 ± 6 ± 6 ± 6 Schutzart IP 40 Betriebstemperatur C Lagertemperatur C Sensorkabel (Lichtwellenleiter) Schock Länge: integriertes Kabel 2 m, Verlängerung bis 50 m Biegeradius: statisch 30 mm, dynamisch 40 mm 15 g, 6 ms Vibration 2g / 10 Hz Hz d. M. = des Messbereichs Alle Daten ausgehend von konstanter Raumtemperatur (25±2 C) bei Messung auf planparalleles Prüfglas; bei anderen Messobjekten können die Daten abweichen. 1) Messbereichsanfang ab Sensorachse gemessen 2) Gemittelt über 512 Werte Zubehör: Sensor-Montageadapter MA2403 für Sensoren ,5±0,1 3, ø8 18 7, ,5 M5x0.8 M5x ,5

10 10 Präzise konfokale Sensoren confocaldt 2405 Robuste Universalsensoren für vielfältige Anwendungen Einsetzbar zur einseitigen Dickenmessung Einsetzbar zur Abstandsmessung Extrem kleiner Messfleck Submikrometer Auflösung Passive Bauform ohne elektronische Komponenten Die konfokalen Sensoren der Serie 2405 sind für Messaufgaben konzipiert, in denen höchste Genauigkeit gefordert ist. Die neu entwickelten Sensoren zeichnen sich durch eine hohe Empfindlichkeit aus. Der große Verkippungswinkel und der vergleichsweise große Grundabstand ermöglichen dabei vielfältige Anwendungen. Neben der Abstandsmessung gegen spiegelnde oder transparente Oberflächen ist der Sensor für die einseitige Dickenmessung transparenter Folien, Platten oder Schichten einsetzbar , ø19,2 6 Spannbereich ca. 6 6 Spannbereich 99 ø10,4 ø14,4 ø27 0,3 ø19,2 ø Spannbereich 81,3 145 Spannbereich 103,3 185 Spannbereich 113,7 ca ,4 ø19,2 ø19,2 ø19,2 ø22 ø34 3 ca. 20 9,5 ø54 ø62 ø38,2 10 ca ca. 100 Dickenmessung von KFZ Heckscheiben Spannbereich 106,7 ø47 ø62 ø ca. 220,4 216 ø19,2

11 11 Sensor-Modell , Messbereich 0,3 mm 1 mm 3 mm 10 mm 28 mm 30 mm Messbereichsanfang ca. 6 mm 10 mm 20 mm 50 mm 220 mm 100 mm Lichtfleckdurchmesser 6 µm 8 µm 9 µm 16 µm 60 µm 50 µm Linearität bei Weg- und Abstandsmessung Linearität bei Dickenmessung 0,15 µm 0,25 µm 0,75 µm 2,5 µm 7 µm 7,5 µm ±0,05 % d.m. ±0,025 % d.m. 0,3 µm 0,5 µm 1,5 µm 5 µm 14 µm 15 µm ±0,1 % d.m. ±0,05 % d.m. Auflösung 1) 10 nm 28 nm 36 nm 60 nm 250 nm 180 nm Gewicht (ohne Kabel) 140 g 125 g 225 g 500 g 750 g 730 g Max. zulässige Verkippung 2) ± 34 ± 30 ± 24 ±17 ± 5 ± 9 Schutzart IP 65, Frontseitig Betriebstemperatur C Lagertemperatur -20 C +70 C Sensorkabel (Lichtwellenleiter) Schock Länge: Standard 3 m; Verlängerung bis 50 m; Biegeradius: statisch 30 mm; dynamisch 40 mm 15 g, 6 ms Vibration 2g / 10 Hz Hz d.m. = des Messbereichs Alle Daten ausgehend von konstanter Raumtemperatur (25±2 C) bei Messung auf planparalleles Prüfglas; bei anderen Messobjekten können die Daten abweichen. 1) Gemittelt über 512 Werte, bei 1 khz, in Messbereichsmitte 2) Maximale Verkippung des Sensors, bei der ein verwertbares Signal erzielt werden kann, in Messbereichsmitte Zubehör: Sensor-Montageadapter MA2400 für Sensoren 2405 (bestehend aus Montageblock und Montagering) Montageblock Montageringe ø46 ø27 20 ø50 ø34 20 ø70 ø54 20 ø78 ø , ,5 7 MA für Sensoren ,3 / -1 MA für Sensor MA für Sensor MA für Sensor /

12 12 Konfokal-chromatische Sensoren für Weg- und Dickenmessung confocaldt 2406 Sensoren mit axialem oder radialem Strahlengang Einsetzbar zur einseitigen Dickenmessung Einsetzbar zur Abstandsmessung Extrem kleiner Messfleck Submikrometer Auflösung Optional für VAC-Bereiche geeignet Die konfokalen Sensoren der Serie 2406 zeichnen sich durch kompakte Baugröße und hohe Genauigkeit aus. Der Sensoraufbau ist für den Einsatz im Vakuum geeignet und durch die axiale und radiale Messrichtung besonders vielseitig in der Anwendung. Neben der Abstandsmessung gegen spiegelnde oder transparente Oberflächen ist der Sensor für die einseitige Dickenmessung transparenter Folien, Platten oder Schichten einsetzbar ,5/VAC(001) 2406/90-2,5/VAC(001) ø 19,2 ø 27 ø16 ø16 wechselbares Schutzglas 7,8 Spannbereich 60 ø12,8 ø20 77,5 ±2 2,5 ca. 17,2 Spannbereich 60 6,85 79,8 89 ±2 wechselbares Schutzglas 2,0 dick 20 ø20 ca. 12,6 2,

13 13 Sensor-Modell ,5/VAC(001) 2406/90-2,5/VAC(001) Messbereich 2,5 mm 2,5 mm 10 mm Messbereichsanfang ca. 17,2 mm ab Schutzglasfassung gemessen 12,6 mm ab Sensorachse gemessen Lichtfleckdurchmesser 10 µm 10 µm 15 µm 27 mm Linearität bei Weg- und Abstandsmessung Linearität bei Dickenmessung 0,75 µm 0,75 µm 2,5 µm ±0,03 % d.m. ± 0,025 % d.m. 1,5 µm 1,5 µm 5 µm ±0,06 % d.m. ±0,05 % d.m. Auflösung 1) 24 nm 24 nm 60 nm Gewicht (ohne Kabel) 105 g 130 g 128 g Max. zulässige Verkippung 2) ± 16 ± 16 ± 13,5 Schutzart IP 40, vakuumtauglich IP 65 Betriebstemperatur +5 C +70 C Lagertemperatur -20 C +70 C Sensorkabel (Lichtwellenleiter) Schock Vibration Länge: Standard 3 m; Verlängerung bis 50 m; Biegeradius: statisch 30 mm; dynamisch 40 mm 15 g, 6 ms 2g / 10 Hz Hz d.m. = des Messbereichs Alle Daten ausgehend von konstanter Raumtemperatur (25±2 C) bei Messung auf planparalleles Prüfglas; bei anderen Messobjekten können die Daten abweichen. 1) Gemittelt über 512 Werte, bei 1 khz, in Messbereichsmitte 2) Maximale Verkippung des Sensors, bei der ein verwertbares Signal erzielt werden kann, in Messbereichsmitte

14 14 Der neue konfokale Universalcontroller confocaldt IFC242x 6,5kHz INTER FACE Messrate bis 6,5 khz Schnittstellen: Ethernet / EtherCAT / RS422 / Analog Schnelle Oberflächenkompensation Konfiguration über Webinterface Submikrometer Auflösung Dickenmessung von mehrschichtigen Materialien Synchrone beidseitige Dickenmessung Robuster Aufbau mit passiver Kühlung Die Controller confocaldt 2421 und 2422 sind der neue industrielle Standard in der präzisen konfokalen Messtechnik. Ausgeführt als Ein- oder Zweikanal-Variante ermöglichen die konfokal-chromatischen Messsysteme eine kostengünstige Lösung insbesondere für Serienanwendungen. Die aktive Belichtungsregelung der CCD-Zeile erlaubt eine schnelle und genaue Kompensation unterschiedlicher Oberflächen. Alle Einstellungen werden über das Webinterface vorgenommen. Für die Dickenmessung ist eine Materialdatenbank hinterlegt, die beliebig erweitert werden kann. Der Controller ist mit allen Sensortypen der -Baureihe kompatibel und ist als Standardvariante für Abstandsmessungen und Multipeak-Variante zur mehrlagigen Dickenmessung erhältlich. Eine spezielle Rechenfunktion ermöglicht bei der Zweikanal-Variante confocaldt 2422 die Verrechnung der beiden Kanäle. Die Messwerterfassung läuft dabei synchronisiert und kann unter Nutzung der vollen Messrate für beide Kanäle erfolgen. Die gesamte Konfiguration des Controllers und der Sensoren wird ohne zusätzliche Software über ein einfach zu bedienendes Webinterface durchgeführt. Die Datenausgabe erfolgt über Ethernet, EtherCAT, RS422 und Analogausgang. An einen konfokalen Controller können zwei Sensoren angeschlossen werden.

15 15 Controller IFC2421 IFC2421MP IFC2422 IFC2422MP Mehrschichtmessung 2 Peaks 6 Peaks 2 Peaks 6 Peaks Messkanäle Lichtquelle Messrate Auflösung Speicher Ein-/Ausgänge des Controllers Ethernet / EtherCAT RS422 Analog interne weiße LED stufenlos einstellbar von 100 Hz bis 6,5 khz 1 nm 18 bit 16 bit Ablage von bis zu 20 Kalibriertabellen verschiedener Sensoren pro Kanal, Auswahl über Menü Sync-In/Trig-In, Sync-Out Fehler1-Out, Fehler2-Out Encoder (2x A,, B,, Index) EtherCAT/Ethernet RS422 Analog: Strom, Spannung (16 bit D/A Wandler) EtherCAT Bedienelemente, Anzeigen des Controllers Multifunktionstaste (Dunkelabgleich sowie Reset auf Werkseinstellung nach 10 s) 5x LED für Intensity, Range, Status, Versorgungsspannung Versorgungsspannung, Leistungsaufnahme 24 VDC ±15 %, ca. 10 W Gehäuse Aluminiumgehäuse für Hutschienenmontage Schutzart IP40 Betriebstemperatur 5 C C Lagertemperatur -20 C C Zulässiges Fremdlicht lx Sicherheit; EMV Störaussendung Störfestigkeit Schock Vibration Kabellänge (Lichtwellenleiter) Maximale Kabellängen (Alle Kabel geschirmt) Sensor Steckertyp EtherCAT, Ethernet Versorgung, RS422, Sync./Fehler Analog Encoder CE EN / DIN EN (Klasse B) EN / DIN EN g, 6ms 2g / 10 Hz Hz m E2000 CAT5E; Kabellänge <100 m <30 m <30 m <3 m Controller IFC2421 ca. 63 Alle elektrischen Kabel: kleinerer Bauraum ,8 218 (Füße können entfernt werden) Hutschiene 76,2 83,7 R30 min. LWL-Kabel des Sensors Controller IFC LWL-Kabel 123,8 120 ca. 63 R30 min. 239 (Füße können entfernt werden) Hutschiene 76,2 83,7 Alle elektrischen Kabel: kleinerer Bauraum

16 16 Controller mit integrierter Lichtquelle für Messraten bis 25 khz confocaldt IFC kHz INTER FACE Schneller Controller: Messrate bis 25 khz Schnittstellen: Ethernet / EtherCAT / RS422 / Analog Schnelle Oberflächenkompensation Konfiguration über Webinterface Submikrometer Auflösung Dickenmessung von mehrschichtigen Materialien Robuster Aufbau mit passiver Kühlung Die Controller confocaldt 2461 werden für anspruchsvolle Messaufgaben aus der Abstands- und Dickenmessung eingesetzt. Die Controller der Serie IFC2461 sind mit verbesserten optischen Komponenten ausgestattet, die Messraten bis zu 25 khz ermöglichen, ohne eine zusätzliche externe Lichtquelle zu verwenden. Die hohe Lichtintensität erlaubt darüber hinaus die sichere Messung auf schwierigen Oberflächen, z.b. auf matt-schwarzen Objekten oder bei der Mehrschicht-Dickenmessung von Glas. Die aktive Belichtungsregelung der CCD-Zeile erlaubt eine schnelle und genaue Kompensation unterschiedlicher Oberflächen, auch bei dynamischen Messprozessen. Der Controller ist mit allen Sensortypen der -Baureihe kompatibel und ist als Standard-variante für Abstandsmessungen und Multipeak-Variante zur Dickenmessung erhältlich. Alle Einstellungen werden über das Webinterface vorgenommen. Für die Dickenmessung ist eine Materialdatenbank hinterlegt, die beliebig erweitert werden kann. Die gesamte Konfiguration des Controllers und der Sensoren wird ohne zusätzliche Software über ein einfach zu bedienendes Webinterface durchgeführt. Die Datenausgabe erfolgt über Ethernet, EtherCAT, RS422 und Analogausgang Sensor 240x Abstand 1 Abstand 2 Dicke Messbereichsanfang Messbereich

17 17 Controller IFC2461 IFC2461MP Mehrschichtmessung 2 Peaks bis zu 6 Peaks Lichtquelle Messrate interne weiße LED stufenlos einstellbar von 100 Hz bis 25 khz Auflösung Speicher Ein-/Ausgänge des Controllers Ethernet / EtherCAT RS422 Analog 1 nm 18 bit 16 bit Ablage von bis zu 20 Kalibriertabellen verschiedener Sensoren, Auswahl über Menü Sync-In/Trig-In, Sync-Out Fehler1-Out, Fehler2-Out Encoder (3x A, B, Index) EtherCAT/Ethernet RS422 Analog: Strom, Spannung (16 bit D/A Wandler) EtherCAT Bedienelemente, Anzeigen des Controllers Versorgungsspannung, Leistungsaufnahme Gehäuse Schutzart Ein-Aus-Wippschalter; Taster für Dunkelabgleich (sowie für Reset auf Werkseinstellung nach 10 s) 4x LED für Intensity, Range, Status, Versorgungsspannung 24 VDC ±15 %, ca. 10 W Aluminiumgehäuse für Hutschienenmontage IP40 Betriebstemperatur 5 C C Lagertemperatur -20 C C Zulässiges Fremdlicht 30,000lx Sicherheit; EMV Störaussendung Störfestigkeit CE EN / DIN EN (Klasse B) EN / DIN EN Schock 15 g, 6ms Vibration 2g / 10 Hz Hz Kabellänge (Lichtwellenleiter) Sensor Steckertyp m E2000 EtherCAT, Ethernet CAT5E; Kabellänge <100 m Maximale Kabellängen (Alle Kabel geschirmt) Versorgung, RS422, Sync./Fehler Analog <30 m <30 m Encoder <3 m Controller IFC2461 LWL-Kabel des Sensors 123,8 120 ca. 63 R (Füße können entfernt werden) Hutschienenhalter 76,2 81,2 ca. 75

18 18 Konfokaler Highspeed-Controller confocaldt HS 70kHz INTER FACE Schnellster Controller weltweit: Messrate bis 70 khz Schnittstellen: Ethernet / EtherCAT / RS422 / Analog Schnelle Oberflächenkompensation Konfiguration über Webinterface Submikrometer Auflösung Dickenmessung von mehrschichtigen Materialien Robuster Aufbau mit passiver Kühlung Die Controller confocaldt 2471 HS werden für schnelle Abstands- und Dickenmessungen von hoch reflektierenden und spiegelnden Oberflächen eingesetzt. Die Controller sind mit verbesserten optischen Komponenten ausgestattet, die Messraten bis zu 70 khz ermöglichen, ohne eine zusätzliche externe Lichtquelle zu verwenden. Somit zählen die confocaldt HS Controller zu den schnellsten konfokalen Messsystemen weltweit. Die aktive Belichtungsregelung der CCD-Zeile erlaubt eine schnelle und genaue Kompensation unterschiedlicher Oberflächen, auch bei dynamischen Messprozessen. Der Controller ist mit allen Sensortypen der -Baureihe kompatibel und ist als Standard-Variante für Abstandsmessungen und Multipeak-Variante zur Dickenmessung erhältlich. Alle Einstellungen werden über das Webinterface vorgenommen. Für die Dickenmessung ist eine Materialdatenbank hinterlegt, die beliebig erweitert werden kann. Die gesamte Konfiguration des Controllers und der Sensoren wird ohne zusätzliche Software über ein einfach zu bedienendes Web-interface durchgeführt. Die Datenausgabe erfolgt über Ethernet, EtherCAT, RS422 und Analogausgang Sensor 240x Abstand 1 Abstand 2 Dicke Messbereichsanfang Messbereich

19 19 Controller IFC2471LED IFC2471MP LED Mehrschichtmessung 2 Peaks bis zu 6 Peaks Lichtquelle Messrate interne weiße LED stufenlos einstellbar von 100 Hz bis 70 khz Auflösung Speicher Ein-/Ausgänge des Controllers Ethernet / EtherCAT RS422 Analog 1 nm 18 bit 16 bit Ablage von bis zu 20 Kalibriertabellen verschiedener Sensoren, Auswahl über Menü Sync-In/Trig-In, Sync-Out Fehler1-Out, Fehler2-Out Encoder (3x A, B, Index) EtherCAT/Ethernet RS422 Analog: Strom, Spannung (16 bit D/A Wandler) EtherCAT Bedienelemente, Anzeigen des Controllers Versorgungsspannung, Leistungsaufnahme Gehäuse Schutzart Ein-Aus-Wippschalter; Taster für Dunkelabgleich (sowie für Reset auf Werkseinstellung nach 10 s) 4x LED für Intensity, Range, Status, Versorgungsspannung 24 VDC ±15 %, ca. 10 W Aluminiumgehäuse für Hutschienenmontage IP40 Betriebstemperatur 5 C C Lagertemperatur -20 C C Zulässiges Fremdlicht Sicherheit; EMV Störaussendung Störfestigkeit Schock Vibration Kabellänge (Lichtwellenleiter) Maximale Kabellängen (Alle Kabel geschirmt) Sensor Steckertyp EtherCAT, Ethernet Versorgung, RS422, Sync./Fehler Analog Encoder lx CE EN / DIN EN (Klasse B) EN / DIN EN g, 6ms 2g / 10 Hz Hz m E2000 CAT5E; Kabellänge <100 m <30 m <30 m <3 m Controller IFC2471 LED LWL-Kabel des Sensors 123,8 120 ca. 63 R (Füße können entfernt werden) Hutschienenhalter 76,2 81,2 ca. 75

20 20 High-End Controller für präzise Messungen confocaldt IFC2451/ kHz INTER FACE Messrate bis 70 khz Schnittstellen: Ethernet / EtherCAT / RS422 / Analog Schnelle Oberflächenkompensation Konfiguration über Web-Interface Submikrometer Auflösung Dickenmessung von mehrschichtigen Materialien Robuster Aufbau mit passiver Kühlung Die Highend-Controller confocaldt IFC2451/ 2471 stehen für eine neue Generation in der konfokal-chromatischen Messtechnik. Durch ein sehr gutes Signal-Rauschverhältnis erreichen die Controller Messraten von 10 khz mit Weißlicht-LED (IFC2451) und 70 khz (IFC2471) mit der zusätzlichen Xenon-Lichtquelle. Die aktive Belichtungsregelung der CCD-Zeile erlaubt eine schnelle und genaue Kompensation unterschiedlicher Oberflächen, auch bei dynamischen Messprozessen. Über eine Ethernet-Verbindung zwischen Controller und PC wird das Webinterface aufgerufen, worüber alle Einstellungen für Controller und Sensoren vorgenommen werden. Für die Dickenmessung ist eine Materialdatenbank hinterlegt, die beliebig erweitert werden kann. Die gesamte Konfiguration des Controllers und der Sensoren wird ohne zusätzliche Software über ein einfach zu bedienendes Webinterface durchgeführt. Die Datenausgabe erfolgt über Ethernet, EtherCAT, RS422 und Analogausgang. Die confocaldt Controller werden für anspruchsvolle Messaufgaben aus der Abstands- und Dickenmessung eingesetzt und sind mit allen -Sensoren verwendbar. Zur Dickenmessung stehen bis zu 6 Peaks zur Verfügung, was die Messung von transparenten Material mit mehreren Schichten erlaubt. Die Übertragung der optischen Signale zwischen Sensor und Controller erfolgt über Lichtwellenleiter. Sensor 240x Abstand 1 Abstand 2 Dicke Messbereichsanfang Messbereich EtherCAT Conformance tested: IFC2451

21 21 Controller IFC2451 IFC2451MP IFC2471 IFC2471MP Mehrschichtmessung 2 Peaks bis zu 6 Peaks 2 Peaks bis zu 6 Peaks Lichtquelle interne weiße LED externe Xenon-Lichtquelle IFX2471 Messrate stufenlos einstellbar von 100 Hz bis 10 khz stufenlos einstellbar von 300 Hz bis70 khz Auflösung Speicher Ethernet / EtherCAT RS422 Analog 1 nm 18 bit 16 bit Ablage von bis zu 20 Kalibriertabellen verschiedener Sensoren, Auswahl über Menü Ein-/Ausgänge des Controllers Sync-In/Trig-In, Sync-Out Fehler1-Out, Fehler2-Out Encoder (3x A, B, Index) EtherCAT/Ethernet RS422 Analog: Strom, Spannung (16 bit D/A Wandler) Sync-In/Trig-In, Sync-Out Fehler1-Out, Fehler2-Out Encoder (3x A, B, Index) EtherCAT/Ethernet RS422 Analog: Strom, Spannung (16 bit D/A Wandler) Externe Lichtquelle: Temperatur, Lampenwechsel EtherCAT Bedienelemente, Anzeigen des Controllers Ein-Aus-Wippschalter; Taster für Dunkelabgleich (sowie für Reset auf Werkseinstellung nach 10 s) 4x LED für Intensity, Range, Status, Versorgungsspannung Versorgungsspannung, Leistungsaufnahme Controller Externe Lichtquelle 24 VDC ±15 %, ca. 10 W - 24 VDC ±15 %, ca. 10 W VAC, ca. 100 W Gehäuse Schutzart Aluminiumgehäuse für Hutschienenmontage IP40 Betriebstemperatur Controller Externe Lichtquelle 5 C C - 5 C C 5 C C Lagertemperatur -20 C C Zulässiges Fremdlicht Sicherheit; EMV Störaussendung Störfestigkeit Schock Vibration lx CE EN / DIN EN (Klasse B) EN / DIN EN g, 6 ms 2g / 10 Hz Hz Sensor m Kabellänge (Lichtwellenleiter) Xenon-Lichtquelle - 1 m Maximale Kabellängen (Alle Kabel geschirmt) Steckertyp EtherCAT, Ethernet Versorgung, RS422, Sync./Fehler Analog Encoder E2000 CAT5E; Kabellänge <100 m <30 m <30 m <3 m Controller IFC2451/2471 Xenon-Lichtquelle IFX2471 min 150 ca. 63 LWL-Kabel des Sensors 123, ,2 R ,2 184,2 218 (Füße können entfernt werden) Hutschienenhalter 76,2 81,2 Alle anderen Kabel: kürzerer Bauraum ca ,5

22 22 Konfokales Weg-Messsystem confocaldt Systemaufbau Das Messsystem confocaldt 242x setzt sich zusammen aus: Sensor 240x Controller IFC242x Das Messsystem confocaldt 2451 / 2461 / 2471 HS setzt sich zusammen aus: Sensor 240x Controller IFC2451 / IFC2461 / IFC2471LED Das Messsystem confocaldt 2471 setzt sich zusammen aus: Sensor 240x Controller IFC2471 (für externe Lichtquelle) Xenon-Lichtquelle IFX2471 Sensor Controller IFC242x IFC2451 IFC2461 IFC2471LED IFC2471 EtherCAT, Ethernet, RS422 Vakuumdurchführung (optional) Externe Lichtquelle IFX2471 (optional) Versorgung Encoder (optional) Analogausgang (optional) Kundenspezifische Anpassungen Immer wieder treten Anwendungsfälle auf, bei denen die Standardausführungen der Sensoren und Controller an ihre Grenzen stoßen. Für diese besonderen Aufgabenstellungen besteht die Möglichkeit, das Sensordesign anzupassen und den Controller entsprechend abzustimmen. Oft angefragte Änderungen sind z.b. geänderte Bauformen, Befestigungsoptionen, individuelle Kabellängen und abgeänderte Messbereiche. Mögliche Anpassungen Ausführung mit Stecker 90 Kabelabgang Vakuumtaugliche Ausführung ohne Ausgasung, bis UHV Verkürzte Baulängen Kundenspezifische Montage-/ Befestigungsmöglichkeiten Erweiterte Sensorlanze Optische Filter zur Fremdlichtausblendung Gehäusematerial

23 23 Zubehör Software IFD24n1-Tool Zubehör Lichtquelle IFX2471/Xe/75 IFX2471/Xe/75 IFL2451/LE IFL2451/LED(003) CL2471-1/Xe Software-Demotool (im Lieferumfang enthalten) externe Xenonlichtquelle für Controller IFC2471 (70 khz) Lampenmodul für IFX2471 Lampenmodul für IFC2451 Lampenmodul für IFC2451(003) mit Kühlkörper Lichtquellenkabel, 1 m Aufbau Lichtwellenleiter Temperaturbereich: -50 C bis 90 C Biegeradius: 30/40 mm Multimode-Kern 50 µm Mantel 125 µm Acrylat <250 µm Zubehör 2406 C2401-X (01) Lichtwellenleiter ø26 µm (3 m, 10 m) Zubehör 2405 C2401-X Lichtwellenleiter (3 m, 10 m, kundenspezifische Länge bis zu 50 m) C2401/PT-X Schutzschlauch bei mechanischer Beanspruchung (3 m, 10 m, kundenspezifische Länge bis zu 50 m) C2401-3(10) schleppkettentaugliches Sensorkabel, 3 m C2401-5(10) schleppkettentaugliches Sensorkabel, 5 m Zubehör 2402/2403 CE2402-X Sensorkabel-Verlängerung (3/10/13/30/50 m) CE2402-X/PT Sensor mit Schutzschlauch (bei mechanischer Beanspruchung) (3m, 10 m, kundenspezifische Länge bis zu 50 m) C2402/Vac/KF16 Vakuumdurchführung für Lichtwellenleiter, 1 Kanal C2405/Vac/6/CF63 Vakuumdurchführung für Lichtwellenleiter, 6 Kanal C2405/Vac/9/CF63 Vakuumdurchführung für Lichtwellenleiter, 9 Kanal E2000/APC Standard Stecker Ø2 Ø6 25,5 6 Schutzmantel PVC: Polyvinylchlorid Zugentlastung PVDF: Polyvinylidenfluorid 8,8 Sonstiges Zubehör SC2471-3/USB/IND SC2471-3/IF2008 SC2471-3/CSP SC /IF2008 SC /CSP SC /USB/IND SC /USB/IND PS2020 EC2471-3/OE Verbindungskabel IFC2451/61/71, 3 m Verbindungskabel IFC2451/61/71-IF2008, 3 m Verbindungskabel IFC2451/61/71-CSP2008, 3 m Verbindungskabel IFC2451/61/71-IF2008, 10 m Verbindungskabel IFC2451/61/71-CSP2008, 10 m Verbindungskabel IFC2451/61/71, 10 m Verbindungskabel IFC2451/61/71, 20 m Netzgerät 24 V / 2,5 A Encoder-Kabel, 3 m

24 Sensoren und Systeme von Micro-Epsilon Sensoren und Systeme für Weg, Position und Dimension Sensoren und Messgeräte für berührungslose Temperaturmessung Mess- und Prüfanlagen zur Qualitätssicherung Optische Mikrometer, Lichtleiter, Mess- und Prüfverstärker Sensoren zur Farberkennung, LED Analyser und Online-Farbspektrometer Technische Endoskopie, Lichtquellen Änderungen vorbehalten / Y M061107GKE MICRO-EPSILON MESSTECHNIK GmbH & Co. KG Königbacher Str Ortenburg / Deutschland Tel. +49 (0) 8542 / Fax +49 (0) 8542 / info@micro-epsilon.de