PIFOC Objektivscansystem 100 µm
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- Hetty Langenberg
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1 PIFOC Objektivscansystem 100 µm Hochdynamischer Piezoantrieb für Sub-Nanometer-Auflösung PD72Z1x Komplettes System mit Digitalcontroller, Software und optionalem QuickLock- Gewindeadapter USB, RS-232, analoge Schnittstellen Stellweg 100 µm Feinpositionierung von Objektiven mit Sub-nm-Auflösung Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen Direkte Positionsmessung mit kapazitiven Sensoren Kompatibel mit MetaMorph, µmanager und MATLAB Änderung aller Regelparameter im Betrieb Einsatzgebiete Mikroskopie Konfokale Mikroskopie 3-D-Imaging Screening Autofokus-Systeme Oberflächenanalyse Wafer-Inspektion Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im khz-bereich. Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung. Umfangreiche Software für raschen Beginn des produktiven Betriebs Dank Unterstützung von MATLAB und NI LabVIEW sowie aller gängigen Betriebssysteme (Windows, Linux und macos) gelingt die Integration in nahezu jede Umgebung schnell und effizient. Ausgereifte Programmierbeispiele und Software-Tools wie PIMikroMove verkürzen die Zeit bis zum produktiven Betrieb erheblich.
2 Spezifikationen PD72Z1SAA* PD72Z1CAA* PD72Z1SAQ** PD72Z1CAQ** Einheit Toleranz PD72Z1SA0*** PD72Z1CA0*** Aktive Achsen Z Z Bewegung und Positionieren Integrierter Sensor DMS Kapazitiv Stellweg, geregelt µm Auflösung, geregelt 5 1 nm typ. Linearitätsabweichung, geregelt 0,2 0,06 % typ. Wiederholgenauigkeit ±10 ±5 nm typ. Verkippung θ X, θ Y µrad typ. Übersprechen in X, Y nm typ. Einschwingzeit (Schritt 0,5 µm mit 5 % Genauigkeit, 150 g) ms typ. Mechanische Eigenschaften Steifigkeit in Stellrichtung 0,3 0,3 N/µm ±20 % Resonanzfrequenz, unbelastet Hz ±20 % Resonanzfrequenz, belastet, 120 g Hz ±20 % Resonanzfrequenz, belastet, 200 g Hz ±20 % Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung 100 / / 20 N max. Antriebseigenschaften Piezokeramik PICMA P-885 PICMA P-885 Anschlüsse und Umgebung Betriebstemperaturbereich 10 bis bis 50 C Material Aluminium Aluminium Masse 0,22 0,24 kg ±5 % Kabellänge 1 1 m Piezocontroller Schnittstelle / Kommunikation I/O-Stecker Befehlssatz Bedienersoftware Softwaretreiber Unterstützte Funktionen Abmessungen Controller E-709 (im Lieferumfang enthalten) USB, RS-232, SPI HD D-Sub 26 1 Analogeingang 0 bis10 V 1 Sensormonitor 0 bis10 V 1 Digitaleingang (LVTTL, programmierbar) 1 Analogausgang 5 Digitalausgänge (LVTTL, 3 vordefiniert, 2 programmierbar) PI General Command Set (GCS) PIMikroMove NI LabVIEW-Treiber, dynamische Bibliotheken für Windows und Linux Funktionsgenerator, Datenrecorder, Auto Zero, Trigger I/O, MATLAB, MetaMorph, µmanager 160 mm 96 mm 33 mm * Mit M32 QuickLock-Gewindeadapter mit großer Apertur ** Mit M25 QuickLock-Adapter *** Ohne QuickLock-Adapter (separat bestellbar) Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten. Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 C ±3 C).
3 Zeichnungen / Bilder PD72Z1xAQ / PD72Z1xA0, Abmessungen in mm. P-721.xxQ: Passende PIFOC QuickLock-Gewindeadapter.
4 PD72Z1xAA, Abmessungen in mm. P-721.xxA: Passende PIFOC QuickLock-Gewindeadapter. Einschwingzeit von 10 ms mit 150-g-Objektiv (System PD72Z1CAQ)
5 Bestellinformationen PD72Z1CAA Schnelles PIFOC Piezo-Nanofokussystem, 100 µm, kapazitiver Sensor, M32 QuickLock-Gewindeadapter mit großer Apertur, Digitalcontroller mit USB, RS-232 PD72Z1CAQ Schnelles PIFOC Piezo-Nanofokussystem, 100 µm, kapazitiver Sensor, M25 QuickLock-Adapter, Digitalcontroller mit USB, RS-232 PD72Z1CA0 Schnelles PIFOC Piezo-Nanofokussystem, 100 µm, kapazitiver Sensor, Digitalcontroller mit USB, RS-232 PD72Z1SAA Schnelles PIFOC Piezo-Nanofokussystem, 100 µm, DMS-Sensor, M32 QuickLock-Gewindeadapter mit großer Apertur, Digitalcontroller mit USB, RS-232 PD72Z1SAQ Schnelles PIFOC Piezo-Nanofokussystem, 100 µm, DMS-Sensor, M25 QuickLock-Adapter, Digitalcontroller mit USB, RS-232 PD72Z1SA0 Schnelles PIFOC Piezo-Nanofokussystem, 100 µm, DMS-Sensor, Digitalcontroller mit USB, RS-232
PInano Z-Mikroskopiescanner
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Kompakter und kostenoptimierter digitaler Piezocontroller Für DMS, piezoresistive und kapazitive Sensoren, 1 Achse E-709 Linearitätsabweichung bis 0,02 % Schnelle serielle Schnittstelle mit bis zu 25 MBit/s
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PIHera Linearer Präzisionspositionierer Variabel in Stellweg und Achskonfiguration P-620.1 P-629.1 Stellwege 50 bis 1800 µm Auflösung bis 0,1 nm Linearitätsabweichung 0,02 % X-, XY-, Z-Versionen; XYZ-Kombination
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Kompakter und kostenoptimierter digitaler Piezocontroller Für DMS, piezoresistive und kapazitive Sensoren, 1 Achse E-709 Linearitätsabweichung maximal 0,02 % Schnelle serielle Schnittstelle mit bis zu
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PicoCube XY(Z) Piezoscanner Dynamisches Nanopositioniersystem für die Rastersondenmikroskopie P-363 Positionsgeregelter Ultrahochleistungsscanner für AFM / SPM Kompaktes Manipulations-Tool für Bio- / Nanotechnologie
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Schnelle Kippplattform Kurze Einschwingzeit und hohe dynamische Linearität S-331 Kippwinkel bis 5 mrad, optische Ablenkwinkel bis 10 mrad (0,57 ) Parallelkinematisches Design für identisch hohe Leistungsmerkmale
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Digitaler Mehrkanal-Piezocontroller Für Nanopositioniersysteme mit kapazitiven, piezoresistiven oder DMS-Sensoren E-727.x E-727.xAP 20 khz Abtastrate Regelung Option für erhöhten Ausgangsstrom Schnittstellen:
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U-780 PILine Kreuztischsystem mit Controller und Joystick Stabil, dynamisch, flach Hohe Geschwindigkeitskonstanz bei 10 µm/s Geschwindigkeit bis 120 mm/s, Auflösung 0,1 µm Stellweg bis 135 mm 85 mm (modellabhängig)
E-727 Digitaler Mehrkanal-Piezocontroller
E-727 Digitaler Mehrkanal-Piezocontroller Für Nanopositioniersysteme mit kapazitiven, piezoresistiven oder DMS- 25-kHz-Regelbandbreite : Ethernet, USB und RS-232 Digitale Ein- und Ausgänge Optionale analoge
E-727 Digitaler Mehrkanal-Piezocontroller
E-727 Digitaler Mehrkanal-Piezocontroller Für mit kapazitiven, piezoresistiven oder DMS- 20-kHz-Regelbandbreite n: Ethernet, USB und RS-232 Digitale Ein- und Optionale analoge Ein- und ID-Chip-Erkennung
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C-887.52x Hexapod Motion Controller Kompaktes Tischgerät zur Steuerung von 6-Achs-Systemen Leistungsfähiger Controller mit Vektorsteuerung Kommandierung in kartesischen Koordinaten Änderungen des Bezugssystems
Präzisions-Kreuztisch
Präzisions-Kreuztisch Hohe Ablaufgenauigkeit und Stabilität L-731 Stellweg 205 mm 205 mm (8") Unidirektionale bis 0,1 µm Geschwindigkeit bis 90 mm/s 2-Phasen-Schrittmotoren oder DC- Motoren Encoder mit
U-521 PILine Linearversteller
U-521 PILine Linearversteller Kompakter Versteller mit Ultraschall-Piezomotor Positioniert kleine Lasten schnell und präzise: Geschwindigkeit bis 200 mm/s, kleinste Schrittweite bis 0,3 µm Platzsparend:
Präzisions-Kreuztisch
Präzisions-Kreuztisch Freie Apertur, hohe Ablaufgenauigkeit und Stabilität L-738 Stellweg 102 mm 102 mm (4") Große Apertur, 150 mm 150 mm Unidirektionale bis 0,05 µm Geschwindigkeit bis 90 mm/s 2-Phasen-Schrittmotoren,
Kompakter Lineartisch
Kompakter Lineartisch Mit DC- oder Schrittmotor L-505 Stellwege 13 oder 26 mm Schrittmotor oder DC-Servomotor mit und ohne Getriebe Geschwindigkeit bis 15 mm/s Belastbarkeit bis 30 N Integrierte Referenz-
Präzisions-Kreuztisch
Präzisions-Kreuztisch Hohe Ablaufgenauigkeit und Stabilität L-731 Stellweg 205 mm 205 mm (8") Unidirektionale bis 0,05 µm Geschwindigkeit bis 90 mm/s 2-Phasen-Schrittmotoren oder DC- Motoren Encoder mit
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Motorisiertes Präzisions-Goniometer Kompakt, mit großer Apertur WT-100 Rotationsbereich 10 Wiederholgenauigkeit bis 8,7 µrad Belastbarkeit bis 2 kg Option: Direkte Positionsmessung mit Kombination mit
Motorisiertes Präzisions-Goniometer
Motorisiertes Präzisions-Goniometer Kompakt, mit Apertur WT-85 Rotationsbereich 10 Wiederholgenauigkeit bis 8,7 µrad Belastbarkeit bis 2 kg Option: Direkte Positionsmessung mit Kombination mit WT-100 mit
Hochpräzisions-Lineartisch für hohe Lasten
Hochpräzisions-Lineartisch für hohe Lasten Hervorragende Wiederhol- und Ablaufgenauigkeit HPS-170 Stellwege von 52 bis 205 mm (2 bis 8") Max. Geschwindigkeit bis 100 mm/s Belastbar mit 35 kg Optional:
Lineartisch für sehr hohe Lasten
Lineartisch für sehr hohe Lasten Robustes Design mit hoher Steifigkeit LS-270 Stellwege von 305 bis 1016 mm (12 bis 40") Hervorragende Ablaufgenauigkeit Max. Geschwindigkeit bis 150 mm/s Belastbarkeit
Präzisions-Kreuztisch
Präzisions-Kreuztisch Hohe Ablaufgenauigkeit und Stabilität, 305 305 mm Stellweg L-741 Stellweg 305 mm 305 mm (12'') Unidirektionale bis 0,05 µm Geschwindigkeit bis 90 mm/s 2-Phasen-Schrittmotoren oder
Präzisions-Hubtisch. Hervorragende Genauigkeit für hohe Lasten
Präzisions-Hubtisch Hervorragende Genauigkeit für hohe Lasten UPL-120 Stlweg 13 mm (1/2") Unidirektionale Wiederholgenauigkeit bis 0,05 µm Bastbar bis 20 kg Integrierte optische Endschalter Mit direkt
Präzisions-Rotationstisch
Präzisions-Rotationstisch Große Apertur, hohe Ablaufgenauigkeit PRS-200 Unbegrenzter Stellbereich Wiederholgenauigkeit bis 0,5 µrad Belastbarkeit bis 50 kg Option: Direkte Positionsmessung mit Rotationstisch
Kompakter Lineartisch
Kompakter Lineartisch XY(Z)-Kombinationen mit vielen Antriebs- und Stellwegvarianten M-110 M-111 M-112 Sehr kompakt durch gefalteten Antrieb Schrittmotoren und geregelte DC- Motoren Gewinde- und Kugelumlaufspindeln
L-406 Kompakter Linearversteller
L-406 Kompakter Linearversteller Für Lasten bis 10 kg Stellwege von 26 mm bis 102 mm (1" bis 4") Schrittmotor oder DC-Servomotor mit und ohne Getriebe Richtungserkennender Referenzschalter Integrierte
Hochdynamischer PIMag Lineartisch
Hochdynamischer PIMag Lineartisch Voice-Coil-Direktantrieb mit direkter Positionsmessung V 522 V 524 V 528 Schnelles Scannen und Positionieren Stellwege 5 mm, 10 mm, 20 mm Scanfrequenz von über 10 Hz Höchstgeschwindigkeit
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PILine Motion Controller Für zweiachsige Positioniertische mit PILine Ultraschall-Piezomotoren Integrierte Leistungsendstufe mit dynamischer Frequenzregelung Multifunktionaler Encodereingang: A/B, Sin/Cos,
Präzisionshubtisch. Kompakte Multi-Achs-Kombinationen mit Linear- und Drehtischen
Präzisionshubtisch Kompakte Multi-Achs-Kombinationen mit Linear- und Drehtischen L-310 Stellweg 26 mm (1") Hochauflösender Encoder DC-, BLDC- und Schrittmotoren Spielfreie Kugelumlaufspindel MTBF 10000
L-509 Präzisions-Lineartisch
L-509 Präzisions-Lineartisch Kompakte Bauform, für Lasten bis 10 kg Stellwege von 26 bis 102 mm (1'' bis 4") Wiederholgenauigkeit bis 0,1 µm Optional mit Linearencoder zur direkten Positionsmessung Effizienter
Q-Motion Servocontroller, 1 Achse
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Hochpräziser Lineartisch
Hochpräziser Lineartisch Hohe Ablaufgenauigkeit L-511 Stellwege bis 155 mm (6") Wiederholgenauigkeit bis 0,1 µm DC-, BLDC- und DC-Getriebemotoren Schrittmotoren Optional: Linearencoder für direkte Positionsauswertung
LS-180 Lineartisch für hohe Lasten
LS-180 Lineartisch für hohe Lasten Robustes Design für industriellen Einsatz Stellwege von 155 bis 508 mm (6 bis 20") Max. Geschwindigkeit bis 200 mm/s Belastbar mit 100 kg Versionen mit Linearmesssystem
C x Hexapod Motion Controller mit EtherCAT
C-887.53x Hexapod Motion Controller mit EtherCAT 6-Achs-Positioniersystem über Feldbus-Schnittstelle steuern Integration in Automatisierungsverbund Taktsynchrone Bewegung in 6 Achsen Zykluszeit 1 ms Kommandierung
PiezoMike Linearaktor
PiezoMike Linearaktor Mit Positionssensor für den geregelten Betrieb N-472 Hohe Stabilität und Haltekraft >100 N Selbsthemmend im Ruhezustand auch bei ausgeschalteter Regelung Kompakte Bauform mit integriertem
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Präzisions-Lineartisch
Präzisions-Lineartisch Kompakte Bauform, für Lasten bis 10 kg L-509 Stellwege von 26 bis 102 mm (1'' bis 4") Wiederholgenauigkeit bis 0,1 µm Optional mit Linearencoder zur direkten Positionsmessung ActiveDrive
Kompakter Lineartisch
Kompakter Lineartisch Für Lasten bis 10 kg L-406 Stellwege von 26 mm bis 102 mm (1" bis 4") Schrittmotor oder DC-Servomotor mit und ohne Getriebe Richtungserkennender Referenzschalter Integrierte optische
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Hexapod Motion Controller mit EtherCAT
Hexapod Motion Controller mit EtherCAT 6-Achs-Positioniersystem über Feldbus-Schnittstelle steuern C-887.53x Integration in Automatisierungsverbund Taktsynchrone Bewegung in 6 Achsen Zykluszeit 1 ms Kommandierung
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PIMag Hochlast-Lineartisch Hohe Leistungsfähigkeit und Kosteneffizienz, Linearmotor V-417 Breite 166mm Stellweg bis 813 mm Nennkraft 87 N Inkrementeller oder absoluter Linearencoder Präzise Kugelumlaufführungen,
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Hochlast-Lineartisch Hohe Leistungsfähigkeit und Kosteneffizienz, Spindelantrieb L-417 Breite 166 mm Stellweg bis 813 mm Präzisions-Kugelumlaufspindel Inkrementeller oder absoluter Linearencoder, verschiedene
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Benutzerhandbuch KSch/CBo, P725T0010, gültig für P-725 P-725 PIFOC Objektiv-Scanner mit langem Stellweg P-725.xDD PIFOC Hochdynamischer Scanner Seite 2 / 25 Inhaltsverzeichnis Über dieses Dokument... 3
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PIglide RM Rotationstisch mit Luftlager Reibungsfrei, ideal für Indexierung, Positionierung, Scannen, Messtechnik A-62x Reinraumtauglich Durchmesser Bewegungsplattform von 50 mm bis 300 mm Belastbarkeit
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