Mehr Präzision. confocaldt // Konfokal-chromatisches Sensorsystem

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1 Mehr Präzision. confocaldt // Konfokal-chromatisches Sensorsystem

2 confocaldt IFS2403 Lichtleiter ø2,1 Konfokal-chromatische Hybrid-Sensoren 10 Knickschutz und Zugentlastung Hybridsensoren ø8 mm mit axialem oder radialen Strahlengang Submikrometer Auflösung Einsetzbar zur einseitigen Dickenmessung Einsetzbar zur Abstandsmessung Kleiner Lichtpunkt MBA ø8 MB MB = Messbereich MBA = Messbereichsanfang Alle Abmessungen in mm, nicht maßstabsgetreu. Modell Messbereich Messbereichsanfang Auflösung ca. IFS2403-1,5 IFS IFS ,4 mm 2,5 mm 1,5 mm 4 mm 10 mm 8 mm 14,7 mm 11 mm 16 nm 60 nm 100 nm 250 nm bei Weg- und Abstandsmessung < ± 0,3 µm < ± 1,2 µm < ± 3 µm < ± 20 µm bei Dickenmessung 1) Linearität 2) IFS2403-0,4 < ± 0,6 µm < ± 2,4 µm < ± 6 µm < ± 40 µm Lichtpunktdurchmesser 9 µm 15 µm 28 µm 56 µm Max. Verkippung ± 20 ± 16 ± 6 0,3 0,15 3) Numerische Apertur 0,5 integrierter Lichtwellenleiter 2 m; Verlängerung bis 50 m; Biegeradius: statisch 30 mm; dynamisch 40 mm Anschluss Montage Temperaturbereich Radialklemmung; Montageadapter (siehe Zubehör) Lagerung C Betrieb C Schock (DIN-EN ) 15 g / 6 ms in XY-Achse / 1000 Schocks je Achse Vibration (DIN-EN ) 2 g / 20 Hz 500 Hz in XY-Achse / 10 Zyklen je Achse Schutzart (DIN-EN 60529) IP64, frontseitig Material Aluminiumgehäuse, Glaslinsen Gewicht 200 g inkl. Lichtwellenleiter Gemittelt über 512 Werte, bei 1 khz, in Messbereichsmitte auf Prüfglas 2) Alle Daten ausgehend von konstanter Raumtemperatur (25 ±1 C) bei Messung auf planparalleles Prüfglas; bei anderen Messobjekten können die Daten abweichen 3) Maximale Verkippung des Sensors, bis zu der auf spiegelnden Oberflächen ein verwertbares Signal erzielt werden kann, wobei die Genauigkeit zu den Grenzwerten abnimmt. 1)

3 12 4, ,5 4,5 0,7 0,7 4 82,5 3,3 ø7,9 8,6 10 ø7,95,9,9 Alle Abmessungen in mm, nicht maßstabsgetreu. Modell IFS2403/90-1,5 Messbereich Messbereichsanfang ca. Auflösung 1) Linearität 2) IFS2403/90-4 IFS2403/ ,5 mm 4 mm 10 mm 4,9 mm 4) 12 mm 4) 8,6 mm 4) 60 nm 100 nm 250 nm bei Weg- und Abstandsmessung < ± 1,2 µm < ± 3 µm < ± 20 µm bei Dickenmessung < ± 2,4 µm < ± 6 µm < ± 40 µm Lichtpunktdurchmesser 15 µm 28 µm 56 µm Max. Verkippung ± 16 3) Numerische Apertur 0,15 integrierter Lichtwellenleiter 2 m; Verlängerung bis 50 m; Biegeradius: statisch 30 mm; dynamisch 40 mm Anschluss Montage Temperaturbereich ± 6 0,3 Radialklemmung; Montageadapter (siehe Zubehör) Lagerung C Betrieb C Schock (DIN-EN ) 15 g / 6 ms in XY-Achse / 1000 Schocks je Achse Vibration (DIN-EN ) 2 g / 20 Hz 500 Hz in XY-Achse / 10 Zyklen je Achse Schutzart (DIN-EN 60529) IP40 Material Aluminiumgehäuse, Glaslinsen Gewicht 200 g inkl. Lichtwellenleiter Gemittelt über 512 Werte, bei 1 khz, in Messbereichsmitte auf Prüfglas 2) Alle Daten ausgehend von konstanter Raumtemperatur (25 ±1 C) bei Messung auf planparalleles Prüfglas; bei anderen Messobjekten können die Daten abweichen 3) Maximale Verkippung des Sensors, bis zu der auf spiegelnden Oberflächen ein verwertbares Signal erzielt werden kann, wobei die Genauigkeit zu den Grenzwerten abnimmt. 4) Messbereichsanfang ab Sensorachse gemessen 1) ø4 12 ø4,9 ø7,95 ø4 4,9 1,5 3,9 3,24 83,6 87, ,7

4 24 High-Performance Controller für Messraten bis 25 khz confocaldt IFC kHz Schneller Controller: Messrate bis 25 khz INTER FACE Schnittstellen: Ethernet / EtherCAT / RS422 / Analog Schnelle Oberflächenkompensation Konfiguration über Webinterface Submikrometer Auflösung Dickenmessung von mehrschichtigen Materialien Robuster Aufbau mit passiver Kühlung Die Controller confocaldt 2461 werden für anspruchsvolle Messaufgaben aus der Abstands- und Dickenmessung eingesetzt. Die Controller der Serie IFC2461 sind mit verbesserten optischen Komponenten ausgestattet, die Messraten bis zu 25 khz ermöglichen, ohne eine zusätzliche externe Lichtquelle zu verwenden. Die hohe Lichtintensität erlaubt darüber hinaus die sichere Messung auf schwierigen Oberflächen, z.b. auf matt-schwarzen Objekten oder bei der Mehrschicht-Dickenmessung von Glas. Die aktive Belichtungsregelung der CCD-Zeile erlaubt eine schnelle und genaue Kompensation unterschiedlicher Oberflächen, auch bei dynamischen Messprozessen. Alle Einstellungen werden über das Webinterface vorgenommen. Für die Dickenmessung ist eine Materialdatenbank hinterlegt, die beliebig erweitert werden kann. Der Controller ist mit allen Sensortypen der IFS-Baureihe kompatibel und ist als Standard- Variante für Abstands- und Dickenmessungen und Multipeak-Variante zur Mehrschicht messung erhältlich. Die gesamte Konfiguration des Controllers und der Sensoren wird ohne zusätzliche Software über ein einfach zu bedienendes Web interface durchgeführt. Die Datenausgabe erfolgt über Ethernet, EtherCAT, RS422 und Analogausgang Abstand 1 Abstand 2 Abstand 3 Sensor IFS240x Abstand 4 Dickenwerte Messbereichsanfang Messbereich

5 25 Controller Mehrschichtmessung IFC2461 IFC2461MP 1 Schicht bis zu 5 Schichten Lichtquelle interne weiße LED Messrate stufenlos einstellbar von 100 Hz bis 25 khz Ethernet / EtherCAT Auflösung 1 nm RS bit analog 16 bit teachbar Speicher Ablage von bis zu 20 Kalibriertabellen verschiedener Sensoren, Auswahl über Menü Sync-In/Trig-In, Sync-Out Fehler1-Out, Fehler2-Out Encoder (3x A, B, Index) EtherCAT/Ethernet RS422 analog: Strom, Spannung (16 bit D/A Wandler) Ein-/Ausgänge des Controllers EtherCAT Bedienelemente, Anzeigen des Controllers Ein-Aus-Wippschalter; Taster für Dunkelabgleich (sowie für Reset auf Werkseinstellung nach 10 s) 4x LED für Intensity, Range, Status, Versorgungsspannung Versorgungsspannung, Leistungsaufnahme 24 VDC ± 15 %, ca. 10 W Material Aluminiumgehäuse für Hutschienenmontage Schutzart IP40 Temperaturbereich Betrieb C Lager C Zulässiges Fremdlicht lx Schock 15 g, 6ms Vibration 2g / 10 Hz Hz Kabel (Lichtwellenleiter) Anschluss m Steckertyp Maximale Kabellängen (Alle Kabel geschirmt) E2000 EtherCAT, Ethernet CAT5E; Kabellänge < 100 m Versorgung, RS422, Sync./Fehler < 30 m analog < 30 m Encoder <3m Controller IFC R 218 (Füße können entfernt werden) Hutschienenhalter 123,8 ca. 63 LWL-Kabel des Sensors 76,2 81,2 ca

6 26 Konfokaler Highspeed-Controller bis 70 khz confocaldt 2471 HS 70kHz Schnellster Controller weltweit: Messrate bis 70 khz INTER FACE Schnittstellen: Ethernet / EtherCAT / RS422 / Analog Schnelle Oberflächenkompensation Konfiguration über Webinterface Submikrometer Auflösung Dickenmessung von mehrschichtigen Materialien Robuster Aufbau mit passiver Kühlung Die Controller confocaldt 2471 HS werden für schnelle Abstands- und Dickenmessungen von hoch reflektierenden und spiegelnden Oberflächen eingesetzt. Die Controller sind mit verbesserten optischen Komponenten ausgestattet, die Messraten bis zu 70 khz auf spiegelnden Oberflächen ermöglichen, ohne eine zusätzliche externe Lichtquelle zu verwenden. Somit zählen die confocaldt HS Controller zu den schnellsten konfokalen Messsystemen weltweit. Die aktive Belichtungsregelung der CCD-Zeile erlaubt eine schnelle und genaue Kompensation unterschiedlicher Oberflächen, auch bei dynamischen Messprozessen. Der Controller ist mit allen Sensortypen der IFS-Baureihe kompatibel und ist als Standard- Variante für Abstands- und Dickenmessungen und Multipeak-Variante zur Mehrschicht messung erhältlich. Die gesamte Konfiguration des Controllers und der Sensoren wird ohne zusätzliche Software über ein einfach zu bedienendes Web-interface durchgeführt. Die Datenausgabe erfolgt über Ethernet, EtherCAT, RS422 und Analogausgang

7 27 Controller Mehrschichtmessung IFC2471LED IFC2471MP LED 1 Schicht bis zu 5 Schichten Lichtquelle interne weiße LED Messrate stufenlos einstellbar von 100 Hz bis 70 khz Ethernet / EtherCAT Auflösung 1 nm RS bit analog 16 bit teachbar Speicher Ablage von bis zu 20 Kalibriertabellen verschiedener Sensoren, Auswahl über Menü Sync-In/Trig-In, Sync-Out Fehler1-Out, Fehler2-Out Encoder (3x A, B, Index) EtherCAT/Ethernet RS422 analog: Strom, Spannung (16 bit D/A Wandler) Ein-/Ausgänge des Controllers EtherCAT Bedienelemente, Anzeigen des Controllers Ein-Aus-Wippschalter; Taster für Dunkelabgleich (sowie für Reset auf Werkseinstellung nach 10 s) 4x LED für Intensity, Range, Status, Versorgungsspannung Versorgungsspannung, Leistungsaufnahme 24 VDC ± 15 %, ca. 10 W Material Aluminiumgehäuse für Hutschienenmontage Schutzart IP40 Temperaturbereich Betrieb C Lager C Zulässiges Fremdlicht lx Schock 15 g, 6ms Vibration 2g / 10 Hz Hz Kabel (Lichtwellenleiter) Anschluss m Steckertyp Maximale Kabellängen (Alle Kabel geschirmt) E2000 EtherCAT, Ethernet CAT5E; Kabellänge < 100 m Versorgung, RS422, Sync./Fehler < 30 m analog < 30 m Encoder <3m LWL-Kabel des Sensors 120 R 218 (Füße können entfernt werden) Hutschienenhalter 123,8 ca. 63 Controller IFC2471 LED 76,2 81,2 ca

8 Änderungen vorbehalten / Y P011039GKE Sensoren und Systeme von Micro-Epsilon Sensoren und Systeme für Weg, Position und Dimension Sensoren und Messgeräte für berührungslose Temperaturmessung Mess- und Prüfanlagen zur Qualitätssicherung Optische Mikrometer, Lichtleiter, Mess- und Prüfverstärker Sensoren zur Farberkennung, LED Analyser und Inline-Farbspektrometer 3D Messtechnik zur dimensionellen Prüfung und Oberflächeninspektion MICRO-EPSILON MESSTECHNIK GmbH & Co. KG Königbacher Str Ortenburg / Deutschland Tel. +49 (0) 8542 / Fax +49 (0) 8542 / info@micro-epsilon.de