ULTRASCHNELLE MEMBRANVENTILE

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1 ULTRASCHNELLE MEMBRANVENTILE Patent angemeldet US 6/90,079 HOCHREINE MEMBRANVENTILE FÜR ATOMLAGENAB- SCHEIDUNG UND SCHNELLWECHSELNDE ANWENDUNGEN

2 PNEUMATISCH BETÄTIGTES ULTRASCHNELLES IN-LINE VENTIL MIT METALLMEMBRAN Die ultraschnelle Serie wurde für Atomlagenabscheidungs-Anwendungen, mit hoher Taktrate und hoher Temperatur und hochreine Prozesse, die höchste Ansprüche an die Wiederholgenauigkeit stellen, entwickelt. Mit ihrem einzigartigen Durchflussanpassungs-Mechanismus (Patent angemeldet Nr. US6/90,079) ermöglicht diese Serie die Feineinstellung des Durchflusses während des Betriebs. Optional erweiterter Ventilhals und Kühlrippe stellen eine hervorragende Lösung für Hochtemperaturanwendungen dar. SPEZIFIKATIONEN DES IN-LINE VENTILS MATERIALIEN Struktur Direktgedichtetes Metallmembran-Ventil ohne Dichtpackung, pneumatisch betrieben Druck Vakuum bis 50 psi (0 bar) Temperatur: Standard Ventilhals bis 8 F, -0 to 0 C (Std. Aktuator) Verlängerter Ventilhals bis 8 F, -0 to 0 C (Std. Aktuator) Leckage: Innenliegende Leckage 3x0 - atm cc He/Sek Über den Sitz x0-9 atm cc He/Sek () Partikel Keine Partikel über 0,µm gefunden. Bedienung Hochgeschwindigkeit, pneumatisch, NC* CV-Wert 0.5 / 0.6 (einstellbar) Richtung -port gerade, -port L, 3-port, -port Oberflächenvergütung Ra (Durch.)-Standard 5µin Luftzufuhr psig, - 6 bar Ventil-Reaktionszeit Weniger als 5ms () M5 () Nur für eine Gehäusegröße von / *NC-Normal Geschlossen Artikel- Nr. Teilenummer Material * Körper Edelstahl, 36L Var oder Vim/Var ** * Sitz (eingepresst) PFA 3* Membrane Co-Cr-Ni Legierung Gleitstück Edelstahl, 36L 5 Gleitstückhalter Edelstahl, ASTM 630 H900 6 Führungsbuchse Kohlenstoffstahl + PTFE 7A einstellbarer Ventilhals Edelstahl, 36L 7B Verlängerter, einstellbarer Ventilhals Edelstahl, 36L 8 Verbindungsstab Edelstahl, 30 9 Sicherungsmutter Edelstahl, 30 0 Steuerkopfeinheit Edelstahl, 36L Kühllamelle Aluminium 606 *mediumberührte Teile ** gemäß SEMI F0 0 Pneumatischer Steuerkopf Speziell entwickelt für eine hohe Lebensdauer und ultraschnelle Geschwindigkeiten (weniger als 5 ms) () 7A 7B 8 9 Einstellbarer Ventilhals für die Regulierung des Durchflusses und die Reduzierung des Temperatureffekts Patent angemeldet US 6/90,079 (Optionaler verlängerbarer Ventilhals für hohe Temperaturen) PFA-Sitze für hohe Temperaturen bis zu 00 C & hohe Lebensdauer Kartuschenheizkörper und Thermoelement- Löcher als Option *Der Sitz ist im Gehäuse eingepresst. 38

3 PNEUMATISCH BETÄTIGTES ULTRASCHNELLES VENTIL MIT METALL-MEMBRAN FÜR OBER- FLÄCHENMONTAGE Das Oberflächenmontage-Design entspricht SEMI PR 3. für. C-Dichtungen. Diese Serie wird gemäß den UHP-Spezifikationen von SEMI F-0 mit pneumatischen Betätigungsmechanismen hergestellt. SPEZIFIKATIONEN DES OBERFLÄCHENMONTAGE-VENTILS MATERIALIEN Struktur Direktgedichtetes Metallmembran-Ventil ohne Dichtpackung, pneumatisch betrieben Druck Vakuum bis 50 psi (0 bar) Temperatur: Standard Ventilhals bis 8 F, -0 to 0 C (Std. Aktuator) Verlängerter Ventilhals bis 8 F, -0 to 0 C (Std. Aktuator) Leckage: Innenliegende Leckage 3x0 - atm cc He/Sek Über den Sitz x0-9 atm cc He/Sek () Partikel Keine Partikel über 0,µm gefunden. Bedienung Hochgeschwindigkeit, pneumatisch, NC* CV-Wert 0.5 / 0.6 (einstellbar) Richtung -port, 3-port Oberflächenvergütung Ra (Durch.)-Standard 5µin Luftzufuhr psig, - 6 bar Ventil-Reaktionszeit Weniger als 5ms () M5 Artikel- Nr. Teilenummer Material * Körper Edelstahl, 36L Var oder Vim/Var ** * Sitz (eingepresst) PFA 3* Membrane Co-Cr-Ni Legierung Gleitstück Edelstahl, 36L 5 Gleitstückhalter Edelstahl, ASTM 630 H900 6 Führungsbuchse Kohlenstoffstahl + PTFE 7A einstellbarer Ventilhals Edelstahl, 36L 7B Verlängerter, einstellbarer Ventilhals Edelstahl, 36L 8 Verbindungsstab Edelstahl, 30 9 Sicherungsmutter Edelstahl, 30 0 Steuerkopfeinheit Edelstahl, 36L Kühllamelle Aluminium 606 *mediumberührte Teile ** gemäß SEMI F0 () Nur für eine Körpergröße von / *NC-Normalerweise Geschlossen 0 8 7A 7B HAM-LET ADVANCED CONTROL TECHNOLOGY 39

4 ABMESSUNGEN DER STANDARD-KONFIGURATION VENTILABMESSUNGEN ZOLL (MM) / / SERIE Außengewinde Die Abmessungen dienen nur zur Referenz und können jederzeit geändert werden. A B C D E F G H J Zoll mm Zoll mm Zoll mm Zoll mm Zoll mm Zoll mm Zoll mm Zoll mm Zoll mm.5 9. drehbares Außengewinde drehbares Innengewinde Schweißstutzen S Oberflächenmontage Außengewinde drehbares Außengewinde drehbares Innengewinde Schweißstutzen S Oberflächenmontage G H G H B B B A A C C D Gehäusegröße (x)* Befestigungs- Bohrungen A Leckagetestbohrung B Ansicht von unten *Die M5-Bohrungen sind kompatibel mit 0 3 Befestigungsschrauben. 0

5 BESTELLINFORMATIONEN Ventilbeschreibungs-Beispiel: OPTIONAL - V F LC - BW GF S Ventilserie Inline Oberflächenflächenmontage Sitzmaterial Ventiltyp 0,,,3,,5 -Wege-Ventil 3 3-Wege Ventil -Wege -Ventil () () Gemäß SEMI F () Nur für Inline-Ventile (3) /8 Bohrungen nur für 0 Ventile Port- (Sicht von oben) -Wege-Ventil _ Ventil-Konfiguration 0 Schematisches Fließbild / Körper 8 / Körper F PFA Betätigungsart LC Ventil-Konfiguration 3 Wege-Ventil 3_ 0 Pneumatisch betätigt N.C. normal geschlossen. () BW Schweißstutzen GF drehbares Innengewinde GM drehbares Außengewinde M Außengewinde Schematisches Fließbild Endgröße /" 6* 3/8" 8 /" *Nur für BW Ventil-Konfiguration Wege-Ventil _ 0 X F Verlängerter Ventilshals Verlängerter Ventilhals mit Lamelle Kontrolloptionen D Magnetventil, DC LS Endlagenschalter Schemat. Fließbild H H H H3 Heizoptionen (3) Körpermate- Body Material V SS36L VAR Per oder SEMI-F0 VIM/ VAR() Hochtemperatur-Optionen Körper- Löcher für Thermoelement und Heizgerät Löcher mit Thermoelement Löcher mit Heizgerät Löcher mit Thermoelement und Heizgerät Leckagetest-Bohrung L-Port Leckagetest- Bohrung Leckagetest- Bohrung L-Port Warnung! Die Designer und Benutzer des Systems sind alleine dafür verantwortlich, die für Ihre speziellen Anwendungen geeigneten Produkte auszuwählen und für ihre sichere und problemlose Installation, Betrieb und Wartung zu sorgen. Die Angaben zur Anwendung, Materialkompatibilitäten und Produkteinstufungen müssen für jedes ausgewählte Produkt beachtet werden. Eine unsachgemäße Auswahl, Installation oder Benutzung der Produkte kann zu Schäden am Produkt oder Verletzungen führen. UCV, Rev.0, Januar 05 HAM-LET ADVANCED CONTROL TECHNOLOGY

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